專利名稱：針壓檢測(cè)電路以及使用該電路的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型與用于點(diǎn)測(cè)芯片或光電零組件的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)有關(guān)，特別·是指一種可取代機(jī)械式尋邊器來(lái)確保探針針壓的針壓檢測(cè)電路，以及使用該針壓檢測(cè)電路的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
點(diǎn)測(cè)設(shè)備(prober)是一種利用探針(probe)來(lái)檢測(cè)諸如發(fā)光二極管等半導(dǎo)體晶粒性能表現(xiàn)或特性參數(shù)的設(shè)備。在點(diǎn)測(cè)作業(yè)進(jìn)行時(shí)，假使探針針壓(probing force)過(guò)大，不但晶粒表面會(huì)因針痕過(guò)長(zhǎng)影響外觀檢驗(yàn)質(zhì)量，且可能會(huì)造成晶粒表面損傷，也容易造成探針磨損，而一旦針壓過(guò)小，可能造成探針與晶粒接點(diǎn)接觸不良，進(jìn)而影響點(diǎn)測(cè)結(jié)果，因此，如何確保探針能以適當(dāng)?shù)尼槈旱纸泳Я＝狱c(diǎn)，一直是業(yè)者關(guān)注的議題。傳統(tǒng)上，利用搭載在點(diǎn)測(cè)裝置中的機(jī)械式尋邊器(edge sensor)，例如在中國(guó)臺(tái)灣第M345241、M382589等新型專利說(shuō)明書(shū)中所揭示的各式各樣的尋邊器，可達(dá)到確保探針能確實(shí)接觸并在待測(cè)晶粒的接點(diǎn)施加一定壓抵力量的目的。一般而言，這些習(xí)用機(jī)械式尋邊器的結(jié)構(gòu)，大抵上包含有一基座、一與該基座之間通過(guò)一彈片彈性連接并可相對(duì)該基座擺動(dòng)的擺臂，以及一可調(diào)預(yù)力施加器，其中，探針固定于該擺臂上，且該可調(diào)預(yù)力施加器為利用磁性吸力、磁性斥力或者彈簧回復(fù)力來(lái)施加一作用于該基座與該擺臂之間的預(yù)力，使該探針在未受力的狀態(tài)下，二個(gè)分別設(shè)于該基座與該擺臂上的電性接點(diǎn)可以保持接觸而電導(dǎo)通，而一旦探針接觸并持續(xù)壓抵待測(cè)晶粒的接點(diǎn)至前述預(yù)力被克服的程度時(shí)，該擺臂將相對(duì)該基座擺動(dòng)使該二電性接點(diǎn)分離造成斷路，因此，通過(guò)該可調(diào)預(yù)力施加器給予特定的預(yù)力，并在偵測(cè)到前述二電性接點(diǎn)斷開(kāi)時(shí)的關(guān)鍵點(diǎn)停止承載晶粒的升降載臺(tái)上升，即可確保探針在點(diǎn)測(cè)作業(yè)時(shí)已經(jīng)確實(shí)接觸并在待測(cè)晶粒的接點(diǎn)上施加一特定壓抵力量。上述機(jī)械式尋邊器的缺點(diǎn)在于，連接在基座與擺臂之間的彈片在長(zhǎng)期使用之下容易彈性疲乏，以致在進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，往往需要頻繁地調(diào)整施加的預(yù)力以校正針壓；其次，二個(gè)分別設(shè)于基座與擺臂上的電性接點(diǎn)在長(zhǎng)期使用之下容易碳化，不但必須清理保養(yǎng)，且清理完成之后還需要重新校正整個(gè)機(jī)械式尋邊器，徒增作業(yè)時(shí)間；此外，由于傳統(tǒng)的機(jī)械式尋邊器具有相當(dāng)?shù)母叨龋谂浜戏e分球(integrating sphere)進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)時(shí)，因積分球的開(kāi)口無(wú)法盡量貼近待測(cè)晶粒的發(fā)光區(qū)，以致容易影響其測(cè)量準(zhǔn)確度。此外，中國(guó)臺(tái)灣第M406740號(hào)新型專利公開(kāi)了一種利用光學(xué)辨識(shí)技術(shù)來(lái)確認(rèn)針尖位置的自動(dòng)調(diào)整裝置，然而，此自動(dòng)調(diào)整裝置是使用監(jiān)視組件來(lái)擷取針尖影像，并輔助一發(fā)光元件照射針尖來(lái)提高監(jiān)視組件的辨識(shí)率，因此并不適合用于利用積分球來(lái)檢測(cè)光電組件的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，況且，利用光學(xué)辨識(shí)技術(shù)是否能確保探針每次都能以同樣的、適當(dāng)?shù)尼槈旱钟|待測(cè)物的接點(diǎn)，實(shí)是有待商榷。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其可避免上述習(xí)用技術(shù)的缺點(diǎn)。[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所提供的一種點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于包含有一升降載臺(tái)，用于承載一待測(cè)物；一針壓檢測(cè)模塊，具有一針壓檢測(cè)電路以及對(duì)應(yīng)于所述待測(cè)物上方的一第一與一第二探針，所述針壓檢測(cè)電路具有一電源以及與所述電源電連接的一針壓檢測(cè)單元，所述針壓檢測(cè)單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯(lián)的一探針連接線路，所述探針連接線路具有一第一與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第一與第二探針；一升降控制器，與所述升降載臺(tái)電連接，用于控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作，使待測(cè)物能與所述第一與第二探針接觸而彼此電連接，或者使待測(cè)物能與所述第一與第二探針?lè)蛛x而彼此電性絕緣；一信號(hào)轉(zhuǎn)換器，與所述針壓檢測(cè)電路電連接，以擷取所述針壓檢測(cè)單元的跨電壓，并通過(guò)判斷所述跨電壓的數(shù)值使所述升降控制器控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作；一測(cè)試電路，用于電連接所述第一與第二探針。上述本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，所述針壓檢測(cè)電路還包含有一與所述電源電連接并與所述針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件。所述分壓元件的電阻值小于所述針壓檢測(cè)單元的升壓元件的電阻值。 所述針壓檢測(cè)電路還包含有一第一開(kāi)關(guān)以及一第二開(kāi)關(guān)，所述第一開(kāi)關(guān)用于使所述第一探針能切換地與所述探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)電性耦接；所述第二開(kāi)關(guān)用于使所述第二探針能切換地與所述探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第二接點(diǎn)電性耦接。還包含有一切換裝置，用于當(dāng)所述信號(hào)轉(zhuǎn)換器所擷取的跨電壓下降到達(dá)一預(yù)定的閾值時(shí)，將與所述探針連接電路的第一與第二接點(diǎn)分別電性耦接的第一與第二探針，切換至分別與所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)與一第二接點(diǎn)電性耦接。所述切換裝置包含有一第一開(kāi)關(guān)，一端與所述第一探針電連接，另一端能切換至與所述探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的第一接點(diǎn)電連接；一第二開(kāi)關(guān)，一端與所述第二探針電連接，另一端能切換至與所述探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的第二接點(diǎn)電連接。本實(shí)用新型的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)還提供了另一技術(shù)方案一種點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于包含有一升降載臺(tái)，用于承載一待測(cè)物；一針壓檢測(cè)模塊，具有一針壓檢測(cè)電路以及對(duì)應(yīng)于所述待測(cè)物上方的第一至第四探針，所述針壓檢測(cè)電路具有一電源以及與所述電源電連接的一第一與一第二針壓檢測(cè)單元，所述第一針壓檢測(cè)單元包含有一第一升壓元件以及與所述第一升壓元件并聯(lián)的一第一探針連接線路，所述第一探針連接線路具有一第一與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第一與第二探針；所述第二針壓檢測(cè)單元包含有一第二升壓元件以及與所述第二升壓元件并聯(lián)的一第二探針連接線路，所述第二探針連接線路具有一第三與一第四接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第三與第四探針；一升降控制器，與所述升降載臺(tái)電連接，用于控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作，使待測(cè)物能與所述第一至第四探針接觸而彼此電連接，或者使待測(cè)物能與所述第一至第四探針?lè)蛛x而彼此電性絕緣；一信號(hào)轉(zhuǎn)換器，與所述針壓檢測(cè)電路電連接，用于擷取所述第一與第二針壓檢測(cè)單元的跨電壓，并通過(guò)判斷各所述跨電壓的數(shù)值，使所述升降控制器控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作；一測(cè)試電路，用于電連接所述第一至四探針。其中，所述針壓檢測(cè)電路還包含有一與所述電源電連接并與所述第一針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件，以及一與所述電源電連接并與所述第二針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的另一分壓元件。所述針壓檢測(cè)電路還包含有一第一至第四開(kāi)關(guān)，其中所述第一開(kāi)關(guān)用于使所述第一探針能切換地與所述第一探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)電性耦接；所述第二開(kāi)關(guān)用于以使所述第二探針能切換地與所述第一探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的另一第一接點(diǎn)電性耦接；所述第三開(kāi)關(guān)用于使所述第三探針能切換地與所述第二探針連接線路的第三接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第二接點(diǎn)電性耦接；所述第四開(kāi)關(guān)用于使所述第四探針能切換地與所述第二探針連接線路的第四接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的另一第二接點(diǎn)電性耦接。承載于所述升降載臺(tái)的待測(cè)物為一芯片，所述芯片包含有二電性接點(diǎn)，所述第一與第二探針用于接觸并電連接所述芯片的其中的一電性接點(diǎn)，所述第三與第四探針用于接觸并電連接所述芯片的另一電性接點(diǎn)。所述第一至第四探針設(shè)置于一探針卡。再者，本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種可取代習(xí)用的機(jī)械式尋邊器的針壓檢測(cè)電路。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所提供的一種針壓檢測(cè)電路，其特征在于包含有一電源；一與所述電源電連接的針壓檢測(cè)單元，所述針壓檢測(cè)單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯(lián)的一探針連接線路，所述探針連接線路具有一第一接點(diǎn)與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接一第一探針與一第二探針。本實(shí)用新型的針壓檢測(cè)電路還包含有一與所述電源電連接并與所述針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件。還包含有一第一開(kāi)關(guān)以及一第二開(kāi)關(guān)，所述第一開(kāi)關(guān)的一端與所述第一探針電連接，另一端能切換至與所述第一接點(diǎn)電連接；所述第二開(kāi)關(guān)的一端與所述第二探針電連接，另一端能切換至與所述第二接點(diǎn)電連接。所述針壓檢測(cè)單元的二端電連接至一用于讀取所述針壓檢測(cè)單元的跨電壓的模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器。所述第一與第二探針用于分別點(diǎn)觸于一芯片的二電性接點(diǎn)。所述第一與第二探針用于同時(shí)點(diǎn)觸于一芯片的一電性接點(diǎn)。采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型利用以上的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，在點(diǎn)測(cè)作業(yè)開(kāi)始進(jìn)行時(shí)，由升降控制器操作升降載臺(tái)上升，并通過(guò)信號(hào)轉(zhuǎn)換器同時(shí)擷取針壓檢測(cè)單元的跨電壓，且當(dāng)待測(cè)物上升至確實(shí)與各探針接觸而電連接時(shí)，因探針連接線路導(dǎo)通并與電阻并連，所測(cè)量的針壓檢測(cè)單元的跨電壓將明顯下降，由此，當(dāng)判斷前述跨電壓一下降或下降至一預(yù)定的閾值(threshold value)時(shí),升降臺(tái)控制器即控制升降載臺(tái)停止動(dòng)作,使待測(cè)物可保持在與各探針確實(shí)接觸的狀態(tài)，以利測(cè)試作業(yè)的進(jìn)行。換言之，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)省去習(xí)用機(jī)械式尋邊器的設(shè)置，因而可免除習(xí)用機(jī)械式尋邊器的缺點(diǎn)。其次，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)可搭配積分球進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)，使得適用性較好。其次，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，也可應(yīng)用于需使用多對(duì)探針的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，例如應(yīng)用于待測(cè)物包含有多個(gè)芯片的晶圓的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，此時(shí)前述多對(duì)探針可固定于一探針卡，且每一對(duì)探針可電性耦接至一單獨(dú)的針壓檢測(cè)電路，并通過(guò)檢測(cè)機(jī)擷取并判斷各針壓檢測(cè)電路的針壓檢測(cè)單元的跨電壓，來(lái)確認(rèn)每一對(duì)探針是否已經(jīng)確實(shí)接觸各個(gè)對(duì)應(yīng)芯片的電性接點(diǎn)；另一方面，本實(shí)用新型的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)也可應(yīng)用于高功率的發(fā)光二極管芯片的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，此時(shí)，一對(duì)電性耦接于一針壓檢測(cè)電路的探針，同時(shí)接觸該高功率LED芯片的其中的一電性接點(diǎn)，而另一對(duì)探針同時(shí)接觸該高功率LED芯片的另一電性接點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的示意圖，其中顯示探針耦接于針壓檢測(cè)電路且待測(cè)物尚未與探針接觸；圖2類同圖I，顯示待測(cè)物與探針接觸；圖3類同圖2，顯示探針耦接于測(cè)試電路；圖4是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的針壓檢測(cè)電路的等效電路不意圖； 圖5A是升降載臺(tái)的位置以及針壓檢測(cè)單元的跨電壓相對(duì)時(shí)間的關(guān)系圖；圖5B是圖5A的部分放大圖，用于說(shuō)明升降載臺(tái)的位移關(guān)系；圖6是本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的示意圖；圖7A是本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的示意圖；圖7B是一示意圖，顯示一對(duì)探針同時(shí)接觸待測(cè)物的一電性接點(diǎn)，而另一對(duì)探針同時(shí)接觸該待測(cè)物的另一電性接點(diǎn)；圖7C是本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的針壓檢測(cè)電路的等效電路不意圖。
具體實(shí)施方式
為了詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特點(diǎn)及功效，現(xiàn)舉以下較佳實(shí)施例并配合附圖說(shuō)明如下。申請(qǐng)人:首先在此說(shuō)明，在以下將要介紹的實(shí)施例以及圖式中，相同的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的構(gòu)件或結(jié)構(gòu)特征。如圖I至圖4所示，本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10，主要包含有一升降載臺(tái)12、一針壓檢測(cè)模塊14、一檢測(cè)機(jī)16以及一測(cè)試機(jī)18。圖I至圖3之間的差異在于，圖I顯示探針耦接于針壓檢測(cè)電路且待測(cè)物尚未與探針接觸；圖2是顯示待測(cè)物與探針接觸；圖3是顯示探針耦接于測(cè)試電路；圖4是第一較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的針壓檢測(cè)電路的等效電路不意圖。升降載臺(tái)12與一般用于工具機(jī)或點(diǎn)測(cè)設(shè)備中可沿Z軸上下垂直移動(dòng)或可沿X、Y與Z三軸移動(dòng)的工作平臺(tái)相同，升降載臺(tái)12的頂面用于承載固定一準(zhǔn)備進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)的待測(cè)物20，待測(cè)物20可以是(但不限于)LED芯片、LED封裝模塊、具有多個(gè)芯片的晶圓等對(duì)象。如圖4所示，在此實(shí)施例中，待測(cè)物20是以LED封裝模塊為例。針壓檢測(cè)模塊14主要包含有一針壓檢測(cè)電路22以及對(duì)應(yīng)于待測(cè)物20的第一接點(diǎn)20a與第二接點(diǎn)20b上方的一第一探針24a與一第二探針24b。針壓檢測(cè)電路22具有一電源(如本實(shí)施例所提供的直流電源)26、一與電源26電連接的分壓兀件(如本實(shí)施例所提供的電阻R1)，以及與該分壓元件串聯(lián)的一針壓檢測(cè)單元28。其中，該分壓元件具有保護(hù)針壓檢測(cè)電路22的回路電流的功用，用于承受針壓檢測(cè)單元28可能產(chǎn)生的短路電流。針壓檢測(cè)單元28包含有一升壓元件(如本實(shí)施例所提供的電阻R2)以及與該升壓元件并聯(lián)的一探針連接線路30，探針連接線路30具有斷開(kāi)的一第一接點(diǎn)30a與一第二接點(diǎn)30b，該升壓元件為第一接點(diǎn)30a與第二接點(diǎn)30b提供一特定偏壓。此外，針壓檢測(cè)電路22還包含有一一端與第一探針24a電連接的第一開(kāi)關(guān)SWl以及一一端與第二探針24b電連接的第二開(kāi)關(guān)SW2，通過(guò)第一、第二開(kāi)關(guān)SW1、SW2，第一接點(diǎn)30a可電性耦接于第一探針24a，而第二接點(diǎn)30b可電性耦接于第二探針24b，使該升壓元件所提供的特定偏壓可通過(guò)第一探針24a及第二探針24b分別輸入待測(cè)物20的第一接點(diǎn)20a與第二接點(diǎn)20b。再者，該升壓元件主要設(shè)計(jì)為克服待測(cè)物20的第一接點(diǎn)20a與第二接點(diǎn)20b之間導(dǎo)通所需的能障，或者依待測(cè)物20的內(nèi)部元件特性而觸發(fā)待測(cè)物20在特定導(dǎo)通狀態(tài)下運(yùn)作所需施加于第一接點(diǎn)20a與第二接點(diǎn)20b之間的操作偏壓，電源26及該分壓元件是依照待測(cè)物20在導(dǎo)通狀態(tài)可承受的電流功率而提供最適的電性規(guī)格。因此，在本實(shí)施例中，當(dāng)待測(cè)物20為L(zhǎng)ED封裝模塊時(shí)，若為以LED組件的正、負(fù)電極分別與第一接點(diǎn)20a及第二接點(diǎn)20b電連接，則升壓元件所提供的特定偏壓則需大于LED組件的順向?qū)妷?forward-bias),從而使LED封裝模塊導(dǎo) 通運(yùn)作，并在第一探針24a及第二探針24b之間存在一等效電阻，該等效電阻包括第一、第二探針24a、24b與第一、第二接點(diǎn)20a、20b的歐姆接觸電阻、模塊導(dǎo)線線電阻、模塊導(dǎo)線與LED組件的歐姆接觸電阻以及LED組件的歐姆接觸電阻與接面橫向電阻，相比于升壓元件有較低甚至接近短路的電阻特性，此時(shí)分壓元件則需承受較高的直流分壓甚至接近電源26的直流電壓。故在最為簡(jiǎn)便的電路設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)下，申請(qǐng)人實(shí)際采用的電源26為可產(chǎn)生5V的直流電源，而分壓元件及升壓元件分別具有可調(diào)變或固定為100K及400K歐姆的電阻R1、R2，使第一探針24a及第二探針24b與待測(cè)物20的第一接點(diǎn)20a與第二接點(diǎn)20b達(dá)到歐姆接觸的瞬間，升壓元件可向待測(cè)物20提供約4V的操作偏壓，使LED組件由截止轉(zhuǎn)為導(dǎo)通狀態(tài)，并由LED組件的導(dǎo)通電流特性使升壓元件與探針連接線路30的并聯(lián)等效電阻降低為接近分壓元件甚至近似待測(cè)物20的等效電阻，進(jìn)而降低針壓檢測(cè)電路22中針壓檢測(cè)單元28的分壓。其次，上述的探針24a、24b的型態(tài)并無(wú)特定的限制，例如，可為由探針夾具夾持固定的直線狀針體或具有預(yù)定彎曲角度的彎針，或者為固定于一探針卡的懸臂式探針。檢測(cè)機(jī)16主要具有一信號(hào)轉(zhuǎn)換器32、一升降控制器34以及一接口控制器36。其中信號(hào)轉(zhuǎn)換器32可以是一般用于擷取電壓訊號(hào)的電位計(jì)或進(jìn)而更轉(zhuǎn)換電壓訊號(hào)的模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器(A/D converter)，其訊號(hào)擷取線路32a跨接于針壓檢測(cè)電路22的針壓檢測(cè)單元28的二端，以擷取并供判讀針壓檢測(cè)單元28的跨電壓。而升降控制器34，是與信號(hào)轉(zhuǎn)換器32及升降載臺(tái)12電連接，升降控制器34可控制升降載臺(tái)12的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(圖中未示)，使升降載臺(tái)12可帶動(dòng)待測(cè)物20，在一待測(cè)物20與第一、第二探針24a、24b分離而彼此電性絕緣的預(yù)備位置(如圖I所示)，與于一使待測(cè)物20與各探針24a、24b接觸而電連接的接觸位置(如圖2所示)之間往復(fù)位移，而且，在升降控制器34控制升降載臺(tái)12由預(yù)備位置上升至接觸位置的過(guò)程中，升降控制器34更可根據(jù)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32所擷取的電壓訊號(hào)，判斷待測(cè)物20已經(jīng)確實(shí)與各探針24a、24b接觸而停止升降載臺(tái)12的動(dòng)作，使待測(cè)物20可確實(shí)保持在與各探針24a、24b接觸而電連接的狀態(tài)，以便測(cè)試機(jī)18進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)。而接口控制器36為電連接測(cè)試機(jī)18的一接口控制器38，以利檢測(cè)機(jī)16與測(cè)試機(jī)18彼此之間控制指令的交換。測(cè)試機(jī)18主要包含有與檢測(cè)機(jī)16的接口控制器36電連接的接口控制器38，以及一與接口控制器38電連接的測(cè)試單元40，測(cè)試單元40具有一測(cè)試電路42，其具有斷開(kāi)的一第一接點(diǎn)42a與一第二接點(diǎn)42b,而且,如圖3所不,通過(guò)第一、第二開(kāi)關(guān)SW1、SW2的切換動(dòng)作，第一接點(diǎn)42a可電性耦接于第一探針24a，而第二接點(diǎn)42b可電性耦接于第二探針24b，如此一來(lái)，測(cè)試機(jī)18即可對(duì)待測(cè)物20進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)。以下將針對(duì)如何利用針壓檢測(cè)電路22來(lái)判斷探針已經(jīng)確實(shí)接觸待測(cè)物的電性接點(diǎn)(探針已經(jīng)施加電性接點(diǎn)足夠的針壓)的原理，以及整個(gè)點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的作業(yè)流程進(jìn)一步詳細(xì)介紹，以使所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)的人士能更加了解本實(shí)用新型的技術(shù)特征并能夠據(jù)此實(shí)施本實(shí)用新型。當(dāng)待測(cè)物固定于升降載臺(tái)12開(kāi)始進(jìn)行測(cè)試時(shí)(如圖I所示)，點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10的檢測(cè)機(jī)16首先將利用升降控制器34操作升降載臺(tái)12，使升降載臺(tái)12可位移并保持在預(yù)備位置。其次，整個(gè)點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)將切換到針壓檢測(cè)模式，即，檢測(cè)機(jī)16將下達(dá)控制指令，使第一開(kāi)關(guān)SWl與第二開(kāi)關(guān)SW2同步切換到第一探針24a與探針連接線路30的第一接點(diǎn)30a電性耦接，且第二探針24b與第二接點(diǎn)30b電性耦接的狀態(tài)(如圖I所示)。而后，檢測(cè)機(jī)16便 用信號(hào)轉(zhuǎn)換器32讀取針壓檢測(cè)單元28的跨電壓。而后，檢測(cè)機(jī)16通過(guò)升降控制器34控制升降載臺(tái)12上升至待測(cè)物20的第一與第二接點(diǎn)20a與20b分別與第一與第二探針24a與24b接觸而電連接的接觸位置(如圖2所示)。信號(hào)轉(zhuǎn)換器32在上述過(guò)程中持續(xù)讀取針壓檢測(cè)單元28的跨電壓，此時(shí)，升降載臺(tái)12仍持續(xù)上升，以致各探針24a、24b施加在待測(cè)物接點(diǎn)20a、20b的針壓持續(xù)增加。信號(hào)轉(zhuǎn)換器32同時(shí)擷取針壓檢測(cè)單元28的跨電壓并通過(guò)判斷跨電壓的數(shù)值是否自一恒定值下降，從而決定是否停止升降載臺(tái)12的上升動(dòng)作。詳而言之，如圖5A與圖5B所示，圖5A為升降載臺(tái)的位置以及針壓檢測(cè)單元的跨電壓相對(duì)時(shí)間的關(guān)系圖；在圖5A中，左邊縱軸代表升降載臺(tái)12的位置，右邊縱軸表示信號(hào)轉(zhuǎn)換器32所量測(cè)的針壓檢測(cè)單元28的跨電壓，橫軸代表時(shí)間，而曲線Cl表示升降載臺(tái)位置與時(shí)間的關(guān)系曲線，而曲線C2表示跨電壓與時(shí)間的關(guān)系曲線。如圖中所示，在時(shí)間開(kāi)始到tl (約略十幾毫秒)的區(qū)間中，曲線Cl隨時(shí)間遞增，意味著升降載臺(tái)12自初始位置Xi持續(xù)上升，此時(shí)由于第一與第二探針24a、24b尚未與待測(cè)物20接觸，故探針連接線路30呈斷路的狀態(tài)，此時(shí)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32所量得的跨電壓為電阻R2的跨電壓(約為4V)，故在此區(qū)間中，曲線C2呈一直線，也就是電壓保持在一;〖亙定值(constant value)。其次，當(dāng)?shù)谝慌c第二探針24a、24b與待測(cè)物20的第一與第二接點(diǎn)20a、20b接觸之后(tl之后)，由于此時(shí)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32所量得的針壓檢測(cè)單元28跨電壓，為電阻R2與探針24a、24b本身電阻加上待測(cè)物20內(nèi)電阻并聯(lián)后的等效電阻的跨電壓，因此曲線C2將呈現(xiàn)一明顯的電壓下降趨勢(shì)，在此同時(shí)，當(dāng)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32 —偵測(cè)到跨電壓數(shù)值由恒定值下降時(shí)，可立刻通知升降控制器34發(fā)出指令控制升降載臺(tái)12停止上升(停止位置Xf);或者，也可如本實(shí)施例所提供的，通知升降控制器34發(fā)出指令控制升降載臺(tái)12以一較低的上升速率緩步進(jìn)給，并在一預(yù)定時(shí)間后停止升降載臺(tái)12的動(dòng)作。詳而言之，如圖5B所示，圖5B為圖5A的部分放大圖，用于說(shuō)明升降載臺(tái)的位移關(guān)系，當(dāng)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32偵測(cè)到電壓下降時(shí)，即控制升降載臺(tái)12緩步進(jìn)給，使各探針24a、24b施加在待測(cè)物接點(diǎn)20a、20b的針壓緩步增加，而后，當(dāng)信號(hào)轉(zhuǎn)換器32擷取并判斷針壓檢測(cè)單元28的跨電壓數(shù)值下降到達(dá)一預(yù)先設(shè)定的閾值Vt時(shí)，對(duì)應(yīng)于時(shí)間t2，即立刻通知升降控制器34發(fā)出指令控制升降載臺(tái)12停止上升(停止位置Xf )，使待測(cè)物20可保持在與各探針24a與24b確實(shí)接觸的狀態(tài)(即探針24a與24b以特定的針壓確實(shí)抵接待測(cè)物的接點(diǎn)20a與20b)。在此需說(shuō)明的是，閾值Vt的設(shè)定可依據(jù)探針、待測(cè)物的種類、封裝模塊結(jié)構(gòu)或其他需要而定，實(shí)際上，若預(yù)定的閾值設(shè)定更低至使第一、第二探針24a、24b與第一、第二接點(diǎn)20a、20b之間存在最小的歐姆接觸電阻(針壓檢測(cè)單元28的跨電壓接近曲線C2的末端水平漸進(jìn)線)，則探針的針壓將相對(duì)提高(因?yàn)樯递d臺(tái)的上升量將增加)，反之，若閾值設(shè)定更高，針壓將相對(duì)降低(因?yàn)樯递d臺(tái)停止的時(shí)間提早)。此外，申請(qǐng)人曾經(jīng)就傳統(tǒng)使用機(jī)械式尋邊器的針壓設(shè)定方法與此方法進(jìn)行比較，實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，使用此方法進(jìn)行針壓設(shè)定，當(dāng)跨電壓到達(dá)所設(shè)定的閾值Vt即停止升降載臺(tái)上升的時(shí)間點(diǎn)t2，比利用機(jī)械式尋邊器利用其二電性接點(diǎn)跳脫斷開(kāi)而停止升降載臺(tái)上升的時(shí)間點(diǎn)t3約提早了 5ms左右，換言之，本發(fā)明具有較佳的反應(yīng)速度，可避免針壓過(guò)負(fù)荷的情況發(fā)生，有效提升待測(cè)物表面針痕的外觀檢驗(yàn)質(zhì)量，且降低待測(cè)物表面損傷與探針磨損的缺陷。其次，若判斷跨電壓的數(shù)值尚未到達(dá)設(shè)定的閾值，則判斷升降載臺(tái)是否到達(dá)所設(shè)定的一最高位置，若尚未到達(dá)，則升降載臺(tái)12仍持續(xù)上升，以致各探針24a、24b施加在待測(cè)物接點(diǎn)20a、20b的針壓持續(xù)增加，若已經(jīng)到達(dá)(雖然測(cè)量的跨電壓尚未到達(dá)所設(shè)定的閾值)，則立即停止升降載臺(tái)的動(dòng)作，以避免施加在待測(cè)物20的針壓有超負(fù)載的可能。之后，整個(gè) 點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10將切換到待測(cè)物測(cè)試模式，即，檢測(cè)機(jī)16將下達(dá)控制指令，使第一開(kāi)關(guān)SWl與第二開(kāi)關(guān)SW2同步切換到使第一探針24a與測(cè)試電路42的第一接點(diǎn)42a電性耦接，且第二探針24b與第二接點(diǎn)42b電性耦接的狀態(tài)(如圖3所示)。之后，檢測(cè)機(jī)16將判斷升降載臺(tái)12是否真正已經(jīng)停止上升，等到確定升降載臺(tái)12已經(jīng)停止，檢測(cè)機(jī)16將通過(guò)其接口控制器36發(fā)出指令，經(jīng)由接口控制器38通知測(cè)試機(jī)18進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)。當(dāng)測(cè)試機(jī)18完成點(diǎn)測(cè)作業(yè)之后，升降載臺(tái)12即下降回到預(yù)備位置，以準(zhǔn)備另一梯次的待測(cè)物點(diǎn)測(cè)作業(yè)。由以上的陳述可知，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10可通過(guò)針壓檢測(cè)電路22配合檢測(cè)機(jī)16自動(dòng)偵測(cè)探針24a、24b是否已經(jīng)確實(shí)接觸待測(cè)物的接點(diǎn)20a、20b，并通過(guò)判讀針壓檢測(cè)單元28的跨電壓數(shù)值是否下降或到達(dá)預(yù)先設(shè)定的一閾值而停止升降載臺(tái)12的動(dòng)作，確保探針24a、24b以適當(dāng)?shù)尼槈弘娦缘纸哟郎y(cè)物，以利后續(xù)的測(cè)試作業(yè)進(jìn)行。本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)與習(xí)用的點(diǎn)測(cè)設(shè)備相比，因不需設(shè)置機(jī)械式尋邊器來(lái)確保針壓，故整體結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，并可省去習(xí)用點(diǎn)測(cè)設(shè)備需要定時(shí)或不定時(shí)調(diào)整尋邊器的作業(yè)時(shí)間，而且，應(yīng)用于本實(shí)用新型的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的探針，可使用簡(jiǎn)單的夾具夾持，使積分球可較為接近待測(cè)物的發(fā)光區(qū)，以獲得較為準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。另一方面，在上述公開(kāi)的實(shí)施例中，本實(shí)用新型的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)為應(yīng)用于一般LED模塊只需一對(duì)探針進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)的情形，然而，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)也可應(yīng)用于需使用多對(duì)探針的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，例如應(yīng)用于待測(cè)物包含有多個(gè)芯片的晶圓的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，或者應(yīng)用于單一電性接點(diǎn)需要一對(duì)探針進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)的高功率發(fā)光二極管芯片的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中。詳而言之，在多芯片的晶圓點(diǎn)測(cè)作業(yè)中，可使用包含有多對(duì)探針的探針卡進(jìn)行點(diǎn)測(cè)作業(yè)，此時(shí)每一對(duì)探針可電性耦接至一單獨(dú)的針壓檢測(cè)單元，并通過(guò)檢測(cè)機(jī)擷取并判斷各個(gè)針壓檢測(cè)單元的跨電壓數(shù)值是否全部下降或到達(dá)所設(shè)定的閾值，來(lái)確認(rèn)每一對(duì)探針是否已經(jīng)以預(yù)定的針壓確實(shí)接觸各個(gè)對(duì)應(yīng)芯片的電性接點(diǎn)，再進(jìn)行測(cè)試作業(yè)。有關(guān)此部分的具體技術(shù)內(nèi)容，可參照?qǐng)D6所示的本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例所揭示的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10’，在此實(shí)施例中，是以包含有四對(duì)探針的針壓檢測(cè)模塊14’為例，當(dāng)然，取決于待測(cè)物的型態(tài)，探針的數(shù)量可以更少或更多。如圖6所示，點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10’的針壓檢測(cè)電路22’包含有一共享的直流電源26以及四組并聯(lián)的針壓 檢測(cè)單元28a 28d，每組針壓檢測(cè)單元同樣具有并聯(lián)的一電阻(R21 R24)與一分別可與二探針(24a 24h)電性耦接的探針連接線路(301 304)，且四組針壓檢測(cè)單元28a 28d分別電連接于點(diǎn)測(cè)機(jī)16的信號(hào)轉(zhuǎn)換器32，如此一來(lái)，信號(hào)轉(zhuǎn)換器32可同時(shí)監(jiān)測(cè)各針壓檢測(cè)單元28a 28d的跨電壓，并通 過(guò)判斷各針壓檢測(cè)單元28a 28d的跨電壓數(shù)值是否下降或全部到達(dá)所設(shè)定的閾值，來(lái)決定是否停止升降載臺(tái)12動(dòng)作，如此，可確保每一對(duì)探針以適當(dāng)?shù)尼槈航佑|各個(gè)對(duì)應(yīng)芯片的電性接點(diǎn)，以利后續(xù)測(cè)試作業(yè)的進(jìn)行。由于此實(shí)施例的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10’的整個(gè)作業(yè)流程與第一較佳實(shí)施例所揭示的作業(yè)流程類同，差異僅在于在此實(shí)施例中必須確認(rèn)每一針壓檢測(cè)單元28a 28d的跨電壓數(shù)值都下降或到達(dá)所設(shè)定的閾值才停止升降載臺(tái)12的動(dòng)作，因此，有關(guān)具有多對(duì)探針的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)的詳細(xì)作業(yè)流程，容申請(qǐng)人在此不予贅述。其次，就高功率發(fā)光二極管芯片而言，正、負(fù)電極大多設(shè)計(jì)為大面積的接觸電極以降低歐姆接觸電阻承受大電流功率，同理，芯片封裝模塊也大多有大面積的電性接點(diǎn)與正、負(fù)電極電性導(dǎo)通；因此就高功率LED芯片的點(diǎn)測(cè)作業(yè)而言，如圖7A至圖7C所示，通常是以一對(duì)探針(第一探針24a與第二探針24b)同時(shí)接觸高功率LED芯片(待測(cè)物20)的其中的一電性接點(diǎn)20a，而另一對(duì)探針(第三探針24c與第四探針24d)同時(shí)接觸高功率LED芯片20的另一電性接點(diǎn)20b。在應(yīng)用于此點(diǎn)測(cè)作業(yè)時(shí)，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)可具體實(shí)施如下。如圖7A至圖7C所示，本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10”同樣包含有一用于承載待測(cè)物20的升降載臺(tái)12、一針壓檢測(cè)模塊14”、一檢測(cè)機(jī)16以及一測(cè)試機(jī)18。針壓檢測(cè)模塊14”具有一針壓檢測(cè)電路22”以及對(duì)應(yīng)于待測(cè)物上方的第一至第四探針24a 24d，針壓檢測(cè)電路22”具有一直流電源26以及與直流電源26電連接的一第一針壓檢測(cè)單元28a與一第二針壓檢測(cè)單元28b。第一針壓檢測(cè)單元28a包含有一第一電阻R21以及與第一電阻R21并聯(lián)的一第一探針連接線路301，第一探針連接線路301具有一第一接點(diǎn)30a與一第二接點(diǎn)30b,用于分別電性稱接第一與第二探針24a與24b。同樣地,第二針壓檢測(cè)單元28b包含有一第二電阻R22以及與第二電阻R22并聯(lián)的一第二探針連接線路302，第二探針連接線路302具有一第三接點(diǎn)30c與一第四接點(diǎn)30d，用于分別電性耦接第三與第四探針24c與24d。其次，針壓檢測(cè)電路22”還包含有一與直流電源26電連接并與第一針壓檢測(cè)單元28a串聯(lián)的電阻R11，以及一與直流電源26電連接并與第二針壓檢測(cè)單元28b串聯(lián)的另一電阻R12。檢測(cè)機(jī)16實(shí)質(zhì)上與第一較佳實(shí)施例所公開(kāi)的相同，即主要具有一信號(hào)轉(zhuǎn)換器32、一升降控制器34以及一接口控制器36。其差異在于信號(hào)轉(zhuǎn)換器32電連接于針壓檢測(cè)電路22的方式，使得信號(hào)轉(zhuǎn)換器32可同時(shí)擷取并判讀第一與第二針壓檢測(cè)單元28a與28b的跨電壓。而測(cè)試機(jī)18與第一實(shí)施例所公開(kāi)的實(shí)質(zhì)上相同，均具有一與檢測(cè)機(jī)16的接口控制器36電連接的接口控制器38，以及一與接口控制器38電連接的測(cè)試單元40。但測(cè)試單元40的測(cè)試電路42具有并聯(lián)的二個(gè)第一接點(diǎn)42a、42b，用于分別電性耦接第一與第二探針24a與24b，以及并聯(lián)的二個(gè)第二接點(diǎn)42c、42d，用于分別電性耦接第三與第四探針24c與24d。此外，通過(guò)設(shè)置于針壓檢測(cè)電路22”中的一第一至第四開(kāi)關(guān)SWl SW4，使得第一至第四探針24a 24d可切換地分別與針壓檢測(cè)電路22”的第一至第四接點(diǎn)30a 30d同步率禹接，或者與測(cè)試單元40的第一至第二接點(diǎn)42a 42d同步電性稱接。如此一來(lái)，本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)10”便可應(yīng)用于高功率發(fā)光二極管芯片的點(diǎn)測(cè)作業(yè)中。當(dāng)然，本實(shí)用新型所提供的針壓檢測(cè)電路，也可應(yīng)用于待測(cè)物的一接點(diǎn)同時(shí)點(diǎn)觸有一第一與一第二探針，而另一接點(diǎn)只點(diǎn)觸有一第三探針的點(diǎn)測(cè)作業(yè)情形，此時(shí)第一、二探針之間可電連接一組針壓檢測(cè)電路，而第三探針與第一與第二探針之間，可以按實(shí)際針壓設(shè)定的需要與否，而連接或不連接另一組針壓檢測(cè)電路。綜上所述，本實(shí)用新型所提供的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)具有用于檢測(cè)針壓的針壓檢測(cè)電路，以確保探針能以適當(dāng)?shù)尼槈弘娦缘纸哟郎y(cè)物。本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)系統(tǒng)省去習(xí)用機(jī)械式尋邊器的設(shè)計(jì)，故整體結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，可加速整體點(diǎn)測(cè)作業(yè)時(shí)間，并可使積分球盡量貼近光電待測(cè)物的發(fā)光區(qū)，以獲得較為準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。 最后，必須再次說(shuō)明，在上述實(shí)施例中，是以信號(hào)轉(zhuǎn)換器32與升降控制器34設(shè)置在檢測(cè)機(jī)16中，以及測(cè)試單元40設(shè)置在測(cè)試機(jī)18中的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，然而，前述各構(gòu)件的設(shè)置位置并無(wú)特別的限制，甚至，檢測(cè)機(jī)與測(cè)試機(jī)也可整合為一體。換言之，本實(shí)用新型在前述實(shí)施例中所揭示的構(gòu)成元件，僅為舉例說(shuō)明，并非用來(lái)限制本案的專利范圍，其他等效元件的替代或變化，也應(yīng)被本案的專利保護(hù)范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于包含有 一升降載臺(tái)，用于承載一待測(cè)物； 一針壓檢測(cè)模塊，具有一針壓檢測(cè)電路以及對(duì)應(yīng)于所述待測(cè)物上方的一第一與一第二探針，所述針壓檢測(cè)電路具有一電源以及與所述電源電連接的一針壓檢測(cè)單元，所述針壓檢測(cè)單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯(lián)的一探針連接線路，所述探針連接線路具有一第一與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第一與第二探針； 一升降控制器，與所述升降載臺(tái)電連接，用于控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作，使待測(cè)物能與所述第一與第二探針接觸而彼此電連接，或者使待測(cè)物能與所述第一與第二探針?lè)蛛x而彼此電性絕緣； 一信號(hào)轉(zhuǎn)換器，與所述針壓檢測(cè)電路電連接，以擷取所述針壓檢測(cè)單元的跨電壓，并通過(guò)判斷所述跨電壓的數(shù)值使所述升降控制器控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作； 一測(cè)試電路，用于電連接所述第一與第二探針。
2.如權(quán)利要求I所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述針壓檢測(cè)電路還包含有一與所述電源電連接并與所述針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件。
3.如權(quán)利要求2所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述分壓元件的電阻值小于所述針壓檢測(cè)單元的升壓元件的電阻值。
4.如權(quán)利要求I所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述針壓檢測(cè)電路還包含有一第一開(kāi)關(guān)以及一第二開(kāi)關(guān)，所述第一開(kāi)關(guān)用于使所述第一探針能切換地與所述探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)電性耦接；所述第二開(kāi)關(guān)用于使所述第二探針能切換地與所述探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第二接點(diǎn)電性耦接。
5.如權(quán)利要求I所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于還包含有一切換裝置，用于當(dāng)所述信號(hào)轉(zhuǎn)換器所擷取的跨電壓下降到達(dá)一預(yù)定的閾值時(shí)，將與所述探針連接電路的第一與第二接點(diǎn)分別電性耦接的第一與第二探針，切換至分別與所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)與一第二接點(diǎn)電性耦接。
6.如權(quán)利要求5所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述切換裝置包含有 一第一開(kāi)關(guān)，一端與所述第一探針電連接，另一端能切換至與所述探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的第一接點(diǎn)電連接； 一第二開(kāi)關(guān)，一端與所述第二探針電連接，另一端能切換至與所述探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的第二接點(diǎn)電連接。
7.一種點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于包含有 一升降載臺(tái)，用于承載一待測(cè)物； 一針壓檢測(cè)模塊，具有一針壓檢測(cè)電路以及對(duì)應(yīng)于所述待測(cè)物上方的第一至第四探針，所述針壓檢測(cè)電路具有一電源以及與所述電源電連接的一第一與一第二針壓檢測(cè)單元，所述第一針壓檢測(cè)單元包含有一第一升壓元件以及與所述第一升壓元件并聯(lián)的一第一探針連接線路，所述第一探針連接線路具有一第一與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第一與第二探針；所述第二針壓檢測(cè)單元包含有一第二升壓元件以及與所述第二升壓元件并聯(lián)的一第二探針連接線路，所述第二探針連接線路具有一第三與一第四接點(diǎn)，用于分別電性耦接所述第三與第四探針； 一升降控制器，與所述升降載臺(tái)電連接，用于控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作，使待測(cè)物能與所述第一至第四探針接觸而彼此電連接，或者使待測(cè)物能與所述第一至第四探針?lè)蛛x而彼此電性絕緣； 一信號(hào)轉(zhuǎn)換器，與所述針壓檢測(cè)電路電連接，用于擷取所述第一與第二針壓檢測(cè)單元的跨電壓，并通過(guò)判斷各所述跨電壓的數(shù)值，使所述升降控制器控制所述升降載臺(tái)的動(dòng)作； 一測(cè)試電路，用于電連接所述第一至四探針。
8.如權(quán)利要求7所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述針壓檢測(cè)電路還包含有一與所述電源電連接并與所述第一針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件，以及一與所述電源電連接并與所述第二針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的另一分壓元件。
9.如權(quán)利要求7所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述針壓檢測(cè)電路還包含有一第一至第四開(kāi)關(guān)，其中所述第一開(kāi)關(guān)用于使所述第一探針能切換地與所述第一探針連接線路的第一接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第一接點(diǎn)電性耦接； 所述第二開(kāi)關(guān)用于以使所述第二探針能切換地與所述第一探針連接線路的第二接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的另一第一接點(diǎn)電性耦接； 所述第三開(kāi)關(guān)用于使所述第三探針能切換地與所述第二探針連接線路的第三接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的一第二接點(diǎn)電性耦接； 所述第四開(kāi)關(guān)用于使所述第四探針能切換地與所述第二探針連接線路的第四接點(diǎn)或所述測(cè)試電路的另一第二接點(diǎn)電性耦接。
10.如權(quán)利要求7所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于承載于所述升降載臺(tái)的待測(cè)物為一芯片，所述芯片包含有二電性接點(diǎn)，所述第一與第二探針用于接觸并電連接所述芯片的其中的一電性接點(diǎn)，所述第三與第四探針用于接觸并電連接所述芯片的另一電性接點(diǎn)。
11.如權(quán)利要求10所述的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述第一至第四探針設(shè)置于一探針卡。
12.—種針壓檢測(cè)電路，其特征在于包含有 一電源； 一與所述電源電連接的針壓檢測(cè)單元，所述針壓檢測(cè)單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯(lián)的一探針連接線路，所述探針連接線路具有一第一接點(diǎn)與一第二接點(diǎn)，用于分別電性耦接一第一探針與一第二探針。
13.如權(quán)利要求12所述的針壓檢測(cè)電路，其特征在于還包含有一與所述電源電連接并與所述針壓檢測(cè)單元串聯(lián)的分壓元件。
14.如權(quán)利要求12所述的針壓檢測(cè)電路，其特征在于還包含有一第一開(kāi)關(guān)以及一第二開(kāi)關(guān)，所述第一開(kāi)關(guān)的一端與所述第一探針電連接，另一端能切換至與所述第一接點(diǎn)電連接；所述第二開(kāi)關(guān)的一端與所述第二探針電連接，另一端能切換至與所述第二接點(diǎn)電連接。
15.如權(quán)利要求12所述的針壓檢測(cè)電路，其特征在于所述針壓檢測(cè)單元的二端電連接至一用于讀取所述針壓檢測(cè)單元的跨電壓的模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器。
16.如權(quán)利要求12所述的針壓檢測(cè)電路，其特征在于所述第一與第二探針用于分別點(diǎn)觸于一芯片的二電性接點(diǎn)。
17.如權(quán)利要求12所述的針壓檢測(cè)電路，其特征在于所述第一與第二探針用于同時(shí)點(diǎn)觸于一芯片的一電性接點(diǎn)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種針壓檢測(cè)電路以及使用該電路的點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，該點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)包含有一用于承載一待測(cè)物的升降載臺(tái)，以及一針壓檢測(cè)電路。針壓檢測(cè)電路具有一包含有一升壓元件以及一與升壓元件并聯(lián)的探針連接線路的針壓檢測(cè)單元，探針連接線路具有二接點(diǎn)，用于分別電性耦接用于點(diǎn)測(cè)待測(cè)物的二探針。通過(guò)擷取并判斷針壓檢測(cè)單元的跨電壓的數(shù)值來(lái)控制升降載臺(tái)的動(dòng)作，可使待測(cè)物接觸或離開(kāi)各探針，如此，可確保探針以適當(dāng)?shù)尼槈号c待測(cè)物確實(shí)電性接觸而進(jìn)行測(cè)試作業(yè)。
文檔編號(hào)G01R31/26GK202649398SQ201220252688
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者范維如, 劉永欽, 洪嘉宏, 陳興洲 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司