專利名稱：一種藍(lán)寶石晶體r向偏角測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x，該測(cè)量?jī)x用于晶棒R向以及晶片R向的檢測(cè)。
背景技術(shù)：
隨著市場(chǎng)的發(fā)展需要，市場(chǎng)范圍內(nèi)對(duì)藍(lán)寶石晶體的需求增加，國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石生產(chǎn)廠家對(duì)藍(lán)寶石的晶向使用開發(fā)慢慢的從傳統(tǒng)的C向、A向使用，慢慢的開發(fā)出對(duì)藍(lán)寶石晶體R向使用逐漸增多，又由于生產(chǎn)エ藝限制，目前無法對(duì)藍(lán)寶石R向直接定位半成品晶棒。所以對(duì)藍(lán)寶石R向的檢測(cè)在國(guó)內(nèi)一直處于空白。本專利項(xiàng)目X射線偏角測(cè)量?jī)x就是填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)對(duì)監(jiān)寶石晶體R向檢測(cè)的技術(shù)空白。深受廣大客戶的青陳?？梢蕴崧剰V品精度及質(zhì)量，可以提聞生廣效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為解決藍(lán)寶石生產(chǎn)廠家對(duì)藍(lán)寶石R向的檢測(cè)，而提供ー種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x。采用的技術(shù)方案是ー種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x，包括機(jī)體，機(jī)體內(nèi)設(shè)置有變壓器、穩(wěn)壓器及氣泵，機(jī)體上端固定有工作臺(tái)，工作臺(tái)上固定有X射線發(fā)生器和測(cè)角儀，測(cè)角儀內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副，測(cè)角儀上裝設(shè)有手輪和主軸，主軸的下端與渦輪蝸桿副的渦輪連接，手輪與渦輪蝸桿副的蝸桿連接，主軸的上部穿出測(cè)角儀的殼體外，主軸的上端固定有樣品臺(tái)，樣品臺(tái)上固定有R向調(diào)整夾具、閃爍探測(cè)器和編碼器，樣品臺(tái)連接ー氣泵吸管，氣泵吸管與設(shè)置在機(jī)體內(nèi)的氣泵相連接。X光射發(fā)生器上安裝單晶反射器和控制面板，并配有電動(dòng)光閘，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。工作臺(tái)上還設(shè)置有顯示被測(cè)晶體峰值角度的顯示器。本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)约鞍氤善沸问酱嬖诘木О暨M(jìn)行R向檢測(cè)。提聞廣品精度，提聞生廣效率，同時(shí)對(duì)監(jiān)寶石R向的使用以及其它科研做出了卓越的貢獻(xiàn)。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
ー種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x，包括機(jī)體17，機(jī)體17內(nèi)設(shè)置有變壓器2、穩(wěn)壓器I及氣泵16，機(jī)體17上端固定有工作臺(tái)3，工作臺(tái)3上安裝有X射線發(fā)生器12和測(cè)角儀5，測(cè)角儀5內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副6，測(cè)角儀5上裝設(shè)有手輪4和主軸7，主軸7的下端與渦輪蝸桿副6的渦輪連接，手輪4與渦輪蝸桿副6的蝸桿連接，主軸7的上部穿出測(cè)角儀5的殼體夕卜，主軸7的上端固定有樣品臺(tái)15，樣品臺(tái)15上固定有R向調(diào)整夾具9、閃爍探測(cè)器8和編碼器13，樣品臺(tái)15連接ー氣泵吸管18，氣泵吸管18與設(shè)置在機(jī)體17內(nèi)的氣泵16相連接。X光射發(fā)生器12上安裝單晶反射器11和控制面板14，并配有電動(dòng)光閘，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。エ作臺(tái)3上還設(shè)置有顯示被測(cè)晶體峰值角度的顯示器10。R向調(diào)整夾具9在樣品臺(tái)上實(shí)現(xiàn)與樣品臺(tái)的同步旋轉(zhuǎn)，將被測(cè)晶棒放置在R向調(diào)整夾具9上以后通過調(diào)整R向夾具自身調(diào)整機(jī)構(gòu)可以對(duì)晶棒進(jìn)行上下調(diào)節(jié)，最終調(diào)節(jié)到R晶向與水平成57. 6°使R向與X射線發(fā)生器12發(fā)射出來的X光通過單晶衍射器11衍射成垂直狀態(tài)，此時(shí)精度及射線接收強(qiáng)度最強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石晶體R向的測(cè)量。因?yàn)榘氤善愤^程中晶棒端面并非都是與C面垂直，所以藍(lán)寶石定向時(shí)，定向角度時(shí)晶棒及晶片也都與水平面成57. 6°。調(diào)節(jié)藍(lán)寶石R向于X光垂直的角度往往有偏差，本機(jī)構(gòu)的藍(lán)寶石R向調(diào)整夾具9可以進(jìn)行微調(diào)角度，解決了半成品藍(lán)寶 石晶棒晶片的R向偏角的技術(shù)問題。最終將測(cè)量讀數(shù)通過微安表以及編碼器13顯示在控制面板及數(shù)顯裝置10上，使操作者能準(zhǔn)確的讀數(shù)。實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石生產(chǎn)中對(duì)藍(lán)寶石半成品及藍(lán)寶石成品的R晶向檢測(cè)。
權(quán)利要求1.ー種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x，包括機(jī)體，機(jī)體內(nèi)設(shè)置有變壓器、穩(wěn)壓器及氣泵，機(jī)體上端固定有工作臺(tái)，工作臺(tái)中間通過螺栓安裝固定X射線發(fā)生器，其特征在于所述的工作臺(tái)的兩側(cè)分別固定有測(cè)角儀，測(cè)角儀內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副，測(cè)角儀上裝設(shè)有手輪和主軸，主軸的下端與渦輪蝸桿副的渦輪連接，手輪與渦輪蝸桿副的蝸桿連接，主軸的上部穿出測(cè)角儀的殼體外，主軸的上端固定有樣品臺(tái)，樣品臺(tái)上固定有R向調(diào)整夾具、閃爍探測(cè)器和編碼器，樣品臺(tái)連接ー氣泵吸管，氣泵吸管與設(shè)置在機(jī)體內(nèi)的氣泵相連接，X光射發(fā)生器上安裝單晶反射器和控制面板，并配有電動(dòng)光閘，工作臺(tái)上還設(shè)置有顯示被測(cè)晶體峰值角度的顯不器。
專利摘要一種藍(lán)寶石晶體R向偏角測(cè)量?jī)x，包括工作臺(tái)、X射線管、偏角調(diào)整夾具、渦輪蝸桿副，控制面板及數(shù)顯裝置，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石晶體R向偏角的測(cè)量，提高測(cè)量精度，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01N23/207GK202661415SQ20122032142
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月5日
發(fā)明者甄偉, 趙松彬 申請(qǐng)人:丹東新東方晶體儀器有限公司