專利名稱：一種測液硅壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及傳感器領(lǐng)域，具體涉及一種測液硅壓力傳感器。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體傳感器具有體積小、重量輕、精度高、可靠性好、制造工藝與半導(dǎo)體集成電路平面工藝兼容等特點，現(xiàn)在已經(jīng)被應(yīng)用到非常廣闊的領(lǐng)域(如汽車、醫(yī)學(xué)、航天、環(huán)境等)。目前，市面上使用的硅片壓力傳感器絕大多數(shù)中采用彈性膜片充油隔離或硅膠隔離做成能測液體介質(zhì)的壓力傳感器，用硅片表面(正面)添加硅膠保護的辦法測量氣體的壓力，由于充油方式硅片壓力傳感器的工藝復(fù)雜成本高，加硅膠保護的方法只能檢測氣體介質(zhì)，且可靠性差；另外也有少數(shù)背面測壓的表壓壓力傳感器或絕壓傳感器，但采用的方式不能直接檢測液體介質(zhì)或壓力沖擊壽命短，不能滿足實際應(yīng)用過程中的需求，還可能導(dǎo)致傳感器輸出不穩(wěn)定的現(xiàn)象發(fā)生。目前市面上還沒有比較完善的可直接測液體的成熟產(chǎn)品，主要原因是在粘接膠、硅片傳感器的選擇及工藝上存在缺陷。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種體積小、結(jié)構(gòu)簡單、精度高、可靠性好，壽命長，抗沖擊能力強、使用方便的一種測液硅壓力傳感器。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種測液硅壓力傳感器，主要由變送器與接插件組成，變送器通過導(dǎo)線與接插件連接，所述變送器內(nèi)部腔體中設(shè)有傳感器組件與補償電路組件，所述補償電路組件設(shè)置于所述傳感器組件的外側(cè)，所述傳感器組件包括傳感器裸片、邦定線、傳感器支架、PCB板，所述傳感器裸片通過高性能粘接膠固定于所述PCB板的表面，所述傳感器裸片的內(nèi)部設(shè)有采用硅與玻璃制成的引壓腔或背壓腔，所述邦定線的兩端分別與所述傳感器裸片及所述PCB板相連接，所述PCB板的表面設(shè)有傳感器弓I出線，所述傳感器引線的另一端與所述補償電路組件相連接，所述PCB板的下側(cè)表面還設(shè)有密封圈與緩沖塞，所述緩沖塞設(shè)置于所述密封圈內(nèi)部，所述傳感器支架設(shè)置于所述傳感器裸片的外側(cè)，所述傳感器支架通過固定件將所述PCB板與所述密封圈設(shè)置于所述變送器殼體內(nèi)部的腔體中。進一步地，所述PCB板的上側(cè)表面設(shè)有多個焊盤，內(nèi)部設(shè)有貫通的引壓孔，所述引壓孔的位置與所述傳感器引壓腔或背壓腔的位置相對應(yīng)。進一步地，所述傳感器裸片與PCB板之間采用的是高性能粘接膠粘接或玻璃粉燒結(jié)而成。進一步地，所述變送器殼體由壓力接頭與外罩構(gòu)成，在所述外殼底座內(nèi)部還設(shè)有緩沖裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點:本實用新型提供一種測液硅壓力傳感器，主要由變送器與接插件組成，變送器通過導(dǎo)線與接插件連接，所述變送器內(nèi)部腔體中包括傳感器組件與補償電路組件，其中，傳感器組件包括傳感器裸片、邦定線、傳感器支架、PCB板，所述邦定線的兩端分別與所述傳感器裸片及所述PCB板相連接，所述PCB板的表面設(shè)有傳感器引出線，所述傳感器引線的另一端與所述補償電路組件相連接，所述傳感器支架設(shè)置于所述傳感器裸片的外側(cè)，并且通過固定件將所述PCB板與所述密封圈設(shè)置于所述殼體內(nèi)部的腔體中。本實用新型體積小、結(jié)構(gòu)簡單、精度高、可靠性好，壽命長，抗沖擊能力強、使用方便，能夠有效解決低成本直接檢測非腐蝕性(與硅材料兼容)液體與氣體(含水和油)壓力的難題；其加工方法包括邦定、保護、裝配、檢漏、封裝與調(diào)試補償六個步驟，其加工方法簡單，便于實現(xiàn)大規(guī)模自動化生產(chǎn)。

圖1是本實用新型的整裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖3、圖4是本實用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了更清楚的表述本實用新型，
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。如圖1、圖2、圖3或圖4所示，所述測液硅壓力傳感器，主要由變送器16與接插件14組成，變送器16通過導(dǎo)線15與接插件14連接，所述變送器16內(nèi)部腔體中設(shè)有傳感器組件與補償電路組件8，所述補償電路組件8設(shè)置于所述傳感器組件的外側(cè)，所述傳感器組件包括傳感器裸片1、邦定線6、傳感器支架7、PCB板2，所述傳感器裸片I通過高性能粘接膠4固定于所述PCB板2的表面，所述傳感器裸片I的內(nèi)部設(shè)有采用硅與玻璃制成的引壓腔或背壓腔3，所述邦定線6的兩端分別與所述傳感器裸片I及所述PCB板2相連接，所述PCB板2的表面設(shè)有傳感器引出線10，所述傳感器引線10的另一端與所述補償電路組件8相連接，所述PCB板2的下側(cè)表面還設(shè)有密封圈11與緩沖塞，所述緩沖塞設(shè)置于所述密封圈11內(nèi)部，所述傳感器支架7設(shè)置于所述傳感器裸片I的外側(cè)，所述傳感器支架7通過固定件將所述PCB板2與所述密封圈11設(shè)置于所述變送器殼體內(nèi)部的腔體中。所述PCB板的上側(cè)表面設(shè)有多個焊盤9，內(nèi)部設(shè)有貫通的引壓孔5，所述引壓孔5的位置與所述傳感器引壓腔或背壓腔3的位置相對應(yīng)。所述傳感器裸片I與PCB板2之間采用的是高性能粘接膠粘接或玻璃粉燒結(jié)而成。所述變送器殼體由壓力接頭13與外罩12構(gòu)成，在所述壓力接頭13內(nèi)部還設(shè)有緩沖裝置。本實用新型體積小、結(jié)構(gòu)簡單、精度高、可靠性好、壽命長、抗沖擊能力強、使用方便，能夠有效解決低成本直接檢測液體與氣體壓力的難題，其加工方法包括邦定、保護、裝配、檢漏、封裝與調(diào)試補償六個步驟，其加工方法簡單，便于實現(xiàn)大規(guī)模自動化生產(chǎn)。另外，通過對本實用新型提供的硅壓力傳感器進行不同封裝形式，適用于對液體或氣體等多領(lǐng)域的測量，由于其工作時的溫度達-40°C 130°C，因此，還用于在低溫惡劣環(huán)境下對各領(lǐng)域流體或氣體的控制與檢測。應(yīng)當(dāng)理解的是，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進或變換，而所有這些改進和變換都應(yīng)屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種測液硅壓力傳感器，其特征在于:主要由變送器與接插件組成，變送器通過導(dǎo)線與接插件連接，所述變送器內(nèi)部腔體中設(shè)有傳感器組件與補償電路組件，所述補償電路組件設(shè)置于所述傳感器組件的外側(cè)，所述傳感器組件包括傳感器裸片、邦定線、傳感器支架、PCB板，所述傳感器裸片通過高性能粘接膠固定于所述PCB板的表面，所述傳感器裸片的內(nèi)部設(shè)有采用硅與玻璃制成的引壓腔或背壓腔，所述邦定線的兩端分別與所述傳感器裸片及所述PCB板相連接，所述PCB板的表面設(shè)有傳感器引出線，所述傳感器引線的另一端與所述補償電路組件相連接，所述PCB板的下側(cè)表面還設(shè)有密封圈與緩沖塞，所述緩沖塞設(shè)置于所述密封圈內(nèi)部，所述傳感器支架設(shè)置于所述傳感器裸片的外側(cè)，所述傳感器支架通過固定件將所述PCB板與所述密封圈設(shè)置于所述變送器殼體內(nèi)部的腔體中。
2.如權(quán)利要求1所述的一種測液硅壓力傳感器，其特征在于，所述PCB板的上側(cè)表面設(shè)有多個焊盤，內(nèi)部設(shè)有貫通的引壓孔，所述引壓孔的位置與所述傳感器引壓腔或背壓腔的位置相對應(yīng)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種測液硅壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器裸片與PCB板之間采用的是高性能粘接膠粘接或玻璃粉燒結(jié)而成。
4.如權(quán)利要求1所述的一種測液硅壓力傳感器，其特征在于，所述變送器殼體由壓力接頭與外罩構(gòu)成，在所述外殼底座內(nèi)部還設(shè)有緩沖裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種測液硅壓力傳感器，主要由變送器與接插件組成，變送器通過導(dǎo)線與接插件連接，所述變送器內(nèi)部腔體中設(shè)有傳感器組件與補償電路組件，其中，傳感器組件包括傳感器裸片、邦定線、傳感器支架、PCB板，所述邦定線的兩端分別與所述傳感器裸片及所述PCB板相連接，所述PCB板的表面設(shè)有傳感器引出線，所述傳感器引線的另一端與所述補償電路組件相連接，所述傳感器支架設(shè)置于所述傳感器裸片的外側(cè)，所述傳感器支架通過固定件將所述PCB板與所述密封圈設(shè)置于所述殼體內(nèi)部的腔體中。本實用新型體積小、結(jié)構(gòu)簡單、精度高、可靠性好，壽命長，抗沖擊能力強、使用方便。
文檔編號G01L9/00GK202956240SQ20122052338
公開日2013年5月29日 申請日期2012年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月12日
發(fā)明者劉鐵輝 申請人:深圳恒敏傳感科技有限公司