專利名稱：檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔[0001]技術(shù)領(lǐng)域[0002]本實(shí)用新型與氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔有關(guān)。[0003]背景技術(shù)[0004]目前國內(nèi)外氦質(zhì)譜檢漏儀所用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔大多數(shù)采用薄膜滲透型，利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，但溫度對滲氦率的影響很大，溫度系數(shù)為3%/°C左右，使用時需要進(jìn)行修正，否則溫度變化會對測試結(jié)果帶來一定的影響。[0005]實(shí)用新型內(nèi)容[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠的檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔。[0007]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔，儲氣瓶I的一端與內(nèi)套管3連接，內(nèi)套管除了出口端5外，其余部分軸向位于儲氣瓶內(nèi)儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥4連接，內(nèi)套管內(nèi)軸向有毛細(xì)管2，毛細(xì)管2的一端通過內(nèi)套管端面上的小孔與儲氣瓶I相通，毛細(xì)管2的另一端與過濾蓋6的內(nèi)端面連接，過濾蓋6的外螺紋與內(nèi)套管3的出口端5的內(nèi)螺紋配合。[0009]毛細(xì)管2與內(nèi)套管端面上的小孔動配合，與過濾蓋6內(nèi)端面固連或與過濾蓋6內(nèi)端面的盲孔動配合。[0010]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠，受溫度影響小。采用毛細(xì)管型，溫度對漏率的影響很小，溫度系數(shù)為O. 3%/K，使用時不需要進(jìn)行修正，能夠提供穩(wěn)定可靠的氦氣泄漏率。[0011]
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。[0013]具體實(shí)施方式
[0014]內(nèi)套管3先與儲氣瓶I的一側(cè)焊接，然后再焊接儲氣瓶I的另一側(cè)；內(nèi)套管3上有略大于毛細(xì)管2外徑的小孔，毛細(xì)管插內(nèi)套管3中，縫隙填入AB膠。過濾蓋6通過螺紋與出口端5連接，過濾蓋為6為燒結(jié)型，可以過濾外面的灰塵和水氣。出口端5位于儲氣瓶I 外側(cè)。[0015]本實(shí)用新型的工作原理[0016]根據(jù)一定壓力下，毛細(xì)管兩端存在壓差，向外進(jìn)行氣體的泄漏。[0017]將氣源閥4與高純氦氣瓶相連，打開氣源閥4，向儲氣瓶I內(nèi)充入O. 3Mpa壓力的氦氣后，關(guān)閉氣源閥4，切斷與氦氣瓶的連接。儲氣瓶I內(nèi)的氦氣會通過毛細(xì)管2經(jīng)裝有過濾蓋6的出口端5流出，毛細(xì)管的泄漏率通過下面的方法校準(zhǔn)確定[0018]將本校準(zhǔn)漏孔與氦檢漏儀相連，記錄此時在檢漏儀上的輸出值UL，，然后再將參照漏孔接入檢漏儀，記錄輸出值UE，則本校準(zhǔn)漏孔的漏率為[0019]Ql=Ul/Ue XQe[0020]式中也一校準(zhǔn)漏孔漏率，PamVs[0021]Ul —校準(zhǔn)漏孔在檢漏儀上產(chǎn)生的輸出值[0022]Ur一參照漏孔在檢漏儀上產(chǎn)生的輸出值[0023]Qr一參照漏孔漏率(由上級計量機(jī)構(gòu)測定)[0024]主要技術(shù)參數(shù)[0025]1.漏率I(T8Pa. m3/s[0026]2.漏孔類型毛細(xì)管[0027]3.介質(zhì)99. 999% He[0028]4.不確定度土 15%[0029]5.有效期一年?！?br> 權(quán)利要求1.檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔，其特征在于儲氣瓶(I)的一端與內(nèi)套管(3)連接，內(nèi)套管除了出口端(5)外，其余部分軸向位于儲氣瓶內(nèi)，儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥(4)連接， 內(nèi)套管內(nèi)軸向有毛細(xì)管(2)，毛細(xì)管(2)的一端通過內(nèi)套管端面上的小孔與儲氣瓶(I)相通，毛細(xì)管(2)的另一端與過濾蓋(6)的內(nèi)端面連接，過濾蓋(6)的外螺紋與內(nèi)套管(3)的出口端(5)的內(nèi)螺紋配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔，其特征在于毛細(xì)管(2)與內(nèi)套管端面上的小孔動配合，與過濾蓋(6)內(nèi)端面固連或與過濾蓋(6)內(nèi)端面的盲孔動配合。
專利摘要本實(shí)用新型為檢漏儀用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔，解決已有校準(zhǔn)漏孔滲氦率受溫度影響，測試精度差，使用不便的問題。儲氣瓶(1)的一端與內(nèi)套管(3)連接，內(nèi)套管除了出口端(5)外，其余部分軸向位于儲氣瓶內(nèi)，儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥(4)連接，內(nèi)套管內(nèi)軸向有毛細(xì)管(2)，毛細(xì)管(2)的一端通過內(nèi)套管端面上的小孔與儲氣瓶(1)相通，毛細(xì)管(2)的另一端與過濾蓋(6)的內(nèi)端面連接，過濾蓋(6)的外螺紋與內(nèi)套管(3)的出口端(5)的內(nèi)螺紋配合。
文檔編號G01M3/20GK202836897SQ20122054542
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月24日
發(fā)明者張果, 江鑫, 朱思蓮, 袁陽 申請人:愛發(fā)科東方真空(成都)有限公司