專利名稱：高精度一維形貌檢測儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于高精度檢測裝置領(lǐng)域，特別是涉及到一種一維形貌的檢測裝置。
背景技術(shù)：
觸針式形貌檢測法是臺(tái)階尺寸檢測的方法之一。其原理是用一個(gè)很小的觸針接觸在被測表面上，然后用驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)觸針移動(dòng)，觸針沿著被測表面的輪廓做上下往復(fù)的運(yùn)動(dòng)，然后將這微小的位移信號通過傳感器轉(zhuǎn)換為可以運(yùn)算處理的電信號，表面形貌特征或者表面輪廓即可由此測得。近年來，觸針式形貌檢測儀的發(fā)展取得了驚人的進(jìn)步，具有了功能多、成本低、效率高、倍率高等特點(diǎn)。目前普遍應(yīng)用的觸針式儀器多采用單觸針類型的檢測儀器，此種檢測儀器的縱向壓力較大，在與被測表面接觸時(shí)就有可能損傷到被測表面，同時(shí)如果被測表面的硬度較大時(shí)也容易使觸針受到磨損，使得測試精度難以得到有效的保證。綜上所述現(xiàn)有技術(shù)當(dāng)中亟需要一種操作簡便、工作高效的檢測儀器來解決其所存在的不足之處。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種利用雙觸針、雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的高精度一維形貌檢測儀。高精度一維形貌檢測儀，其特征是:包括測量端直線滑軌、測量端探針、牽引固定桿、測量杠桿、杠桿固定軸、配重塊、測量杠桿凹槽、接觸端直線滑軌、軸承滾動(dòng)軌道槽、軸承固定軸、滾動(dòng)軸承甲、接觸端探針、滾動(dòng)軸承乙，所述的測量端直線滑軌的下端安裝有測量端探針，且測量端直線滑軌位于牽引固定桿的上方；所述的測量端探針穿過牽引固定桿上的圓孔與測量杠桿接觸；所述的測量杠桿與牽引固定桿通過杠桿固定軸連接，且測量杠桿與配重塊滑動(dòng)連接；所述的接觸端直線滑軌的軌道桿穿過測量杠桿凹槽，且接觸端直線滑軌的下端安裝有接觸端探針；所述的軸承固定軸穿過接觸端直線滑軌軌道下端的圓孔，且軸承固定軸的中心位置固定于接觸端直線滑軌軌道下端的圓孔內(nèi)；所述的滾動(dòng)軸承甲和滾動(dòng)軸承乙分別安裝于軸承固定軸的兩端，且滾動(dòng)軸承甲和滾動(dòng)軸承乙位于軸承滾動(dòng)軌道槽內(nèi)，并與軸承滾動(dòng)軌道槽滾動(dòng)接觸。所述的測量端直線滑軌與接觸端直線滑軌位于測量杠桿上的杠桿固定軸的兩端。所述的測量杠桿凹槽安裝在測量杠桿的一端，且測量杠桿凹槽的一端安裝有軸承滾動(dòng)軌道槽。所述的牽引固定桿的水平位移帶動(dòng)檢測儀系統(tǒng)整體水平移動(dòng)。通過上述設(shè)計(jì)方案，本實(shí)用新型可以帶來如下有益效果:本實(shí)用新型采用雙觸針、雙導(dǎo)軌的機(jī)械結(jié)構(gòu)，減少了被測表面的損傷，延長了觸針的使用壽命，同時(shí)避免了由于觸針的上升，與被測表面形成微小角度而引起的誤差，提高了精度。使用本實(shí)用新型的觸針式測量儀器，成本低、精度高、操作簡便。將實(shí)現(xiàn)柔性工件的表面尺寸的高精度檢測及形貌再現(xiàn)，替代進(jìn)口產(chǎn)品而廣泛應(yīng)用于各種柔性墊片的生產(chǎn)加工過程中。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明:

圖1為本實(shí)用新型的高精度一維形貌檢測儀的結(jié)構(gòu)主視圖。圖2為本實(shí)用新型的高精度一維形貌檢測儀的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖3為本實(shí)用新型的高精度一維形貌檢測儀的測量杠桿俯視圖。圖中:1_測量端直線滑軌、2-測量端探針、3-牽引固定桿、4-測量杠桿、5-杠桿固定軸、6-配重塊、7-測量杠桿凹槽、8-接觸端直線滑軌、9-軸承滾動(dòng)軌道槽、10-軸承固定軸、11-滾動(dòng)軸承甲、12-接觸端探針、13-滾動(dòng)軸承乙。
具體實(shí)施方式
如圖所示本實(shí)用新型是這樣設(shè)計(jì)的:系統(tǒng)整體可在牽引固定桿3的帶動(dòng)下在水平方向來回移動(dòng)，接觸端探針12與被測物體表面相接處，隨著牽引固定桿3的水平移動(dòng)，接觸端探針12帶動(dòng)接觸端直線滑軌8按被測物體表面特征上下運(yùn)動(dòng)；滾動(dòng)軸承甲11、滾動(dòng)軸承乙13通過軸承固定軸10固定于接觸端直線滑軌8軌道上，滾動(dòng)軸承甲11和滾動(dòng)軸承乙13與軸承滾動(dòng)軌道槽9接觸，隨著接觸端直線滑軌8的上下運(yùn)動(dòng)，滾動(dòng)軸承甲11和滾動(dòng)軸承乙13帶動(dòng)測量杠桿4 一端上下運(yùn)動(dòng)，配重塊6用來保證測量杠桿4與滾動(dòng)軸承甲11和滾動(dòng)軸承乙13在測量杠桿4上下運(yùn)動(dòng)時(shí)保持緊密接觸；杠桿固定軸5固定牽引固定桿3與測量杠桿4，測量杠桿4以杠桿固定軸5為支點(diǎn)。接觸端直線滑軌8的上下運(yùn)動(dòng)通過測量杠桿4傳遞到測量端探針2上，使得測量端直線滑軌I上下運(yùn)動(dòng)，通過測量測量端直線滑軌I的位移距離，得到被測物體表面特征。上述實(shí)例只是對本實(shí)用新型做出的舉例說明，以方便業(yè)內(nèi)技術(shù)人員理解，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不僅限于此。本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員根據(jù)本實(shí)用新型做出的改進(jìn)，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.高精度一維形貌檢測儀，其特征是:包括測量端直線滑軌(I)、測量端探針(2)、牽引固定桿(3 )、測量杠桿(4 )、杠桿固定軸(5 )、配重塊(6 )、測量杠桿凹槽(7 )、接觸端直線滑軌(8)、軸承滾動(dòng)軌道槽(9)、軸承固定軸(10)、滾動(dòng)軸承甲(11)、接觸端探針(12)、滾動(dòng)軸承乙(13)，所述的測量端直線滑軌(I)的下端安裝有測量端探針(2)，且測量端直線滑軌(I)位于牽引固定桿(3)的上方；所述的測量端探針(2)穿過牽引固定桿(3)上的圓孔與測量杠桿(4)接觸；所述的測量杠桿(4)與牽引固定桿(3)通過杠桿固定軸(5)連接，且測量杠桿(4)與配重塊(6)滑動(dòng)連接；所述的接觸端直線滑軌(8)的軌道桿穿過測量杠桿凹槽(7)，且接觸端直線滑軌(8)的下端安裝有接觸端探針(12);所述的軸承固定軸(10)穿過接觸端直線滑軌(8)軌道下端的圓孔，且軸承固定軸(10)的中心位置固定于接觸端直線滑軌(8)軌道下端的圓孔內(nèi)；所述的滾動(dòng)軸承甲(11)和滾動(dòng)軸承乙(13)分別安裝于軸承固定軸(10)的兩端，且滾動(dòng)軸承甲(11)和滾動(dòng)軸承乙(13)位于軸承滾動(dòng)軌道槽(9)內(nèi)，并與軸承滾動(dòng)軌道槽(9)滾動(dòng)接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度一維形貌檢測儀，其特征是:所述的測量端直線滑軌(O與接觸端直線滑軌(8)位于測量杠桿(4)上的杠桿固定軸(5)的兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度一維形貌檢測儀，其特征是:所述的測量杠桿凹槽(7)安裝在測量杠桿(4)的一端，且測量杠桿凹槽(7)的一端安裝有軸承滾動(dòng)軌道槽(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度一維形貌檢測儀，其特征是:所述的牽引固定桿(3)的水平位移帶動(dòng)檢測儀系統(tǒng)整體水平移動(dòng)。
專利摘要高精度一維形貌檢測儀，屬于高精度檢測裝置領(lǐng)域。包括測量端直線滑軌等部件。測量端直線滑軌下端安裝測量端探針，且位于牽引固定桿上方；測量端探針穿過牽引固定桿上的圓孔與測量杠桿接觸；測量杠桿與牽引固定桿通過杠桿固定軸連接，且與配重塊滑動(dòng)連接；接觸端直線滑軌的軌道桿穿過測量杠桿凹槽，且其下端安裝接觸端探針；軸承固定軸穿過接觸端直線滑軌軌道下端的圓孔，且中心位置固定于其內(nèi)；滾動(dòng)軸承安裝于軸承固定軸的兩端，且位于軸承滾動(dòng)軌道槽內(nèi)并與其接觸。本實(shí)用新型為雙觸針、雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，減少被測表面損傷，延長觸針使用壽命，同時(shí)避免觸針與被測表面形成微小角度引起的誤差提高了精度。本測量儀器成本低、精度高、操作簡便。
文檔編號G01B21/20GK202994120SQ201220659420
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者秦旭磊, 王景奕, 李野, 郭劍 申請人:長春理工大學(xué), 河北省激光研究所