專利名稱：玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在顯示設(shè)備制造過程中，玻璃基板在進(jìn)行制程工藝之前都必須經(jīng)過紫外線清洗機(jī)進(jìn)行清洗，紫外線清洗機(jī)通過紫外線燈管的網(wǎng)狀電極施加高壓交流電，在內(nèi)部合成石英玻璃(電離層)之間形成等離子狀態(tài)，形成電離后放電氣體氙原子被激發(fā)時(shí)瞬間轉(zhuǎn)換為激態(tài)準(zhǔn)分子狀態(tài)，激態(tài)準(zhǔn)分子狀態(tài)轉(zhuǎn)換為原來狀態(tài)時(shí)發(fā)出172納米的真空紫外線；制程氣體(主要成分:氮?dú)夂脱鯕?中的氧氣吸收受激紫外線燈發(fā)射的172納米的紫外線生成氧自由基和臭氧，172納米的紫外線同時(shí)破壞玻璃基板上有機(jī)(碳?xì)浠衔?的分子結(jié)構(gòu)，氧自由基與分解后的有機(jī)物結(jié)合，生成水、二氧化碳、一氧化碳等揮發(fā)性氣體，從而達(dá)到去除有機(jī)物清洗基板的目的。紫外線清洗機(jī)對(duì)于基板表面上的有機(jī)薄膜具有清洗作用，但如果照射條件高于基板表面有機(jī)薄膜可承受的程度，那紫外線清洗機(jī)將會(huì)對(duì)基板表面有機(jī)薄膜造成損壞。因此需要對(duì)紫外線清洗機(jī)照射強(qiáng)度進(jìn)行監(jiān)控。目前在顯示設(shè)備制造領(lǐng)域，例如TFT (薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管)IXD、LTPS (低溫多晶硅)、OLED (有機(jī)發(fā)光二極管)生產(chǎn)線上，應(yīng)用于生產(chǎn)線上的紫外線清洗機(jī)照射時(shí)，涉及(玻璃)基板表面積光量的檢測(cè)。一般情況下由于紫外線清洗機(jī)與玻璃基板表面距離很近，普通照度計(jì)無法放置，所以只能進(jìn)行燈管表面照度檢測(cè)而不能進(jìn)行基板表面積光量的檢測(cè)。這樣檢測(cè)的數(shù)據(jù)不是很準(zhǔn)確，無法判斷出基板實(shí)際接收到的有效照射量。另外由于172納米紫外線具有腐蝕性，當(dāng)照度如果過高時(shí)，將會(huì)造成基板表面有機(jī)膜的損壞。當(dāng)照度過低時(shí)，又會(huì)造成基板清潔不夠干凈，導(dǎo)致后續(xù)工藝出現(xiàn)異物不良。照度高低直接影響到整個(gè)工序的良品率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置，能夠準(zhǔn)確檢測(cè)紫外線燈管的照射強(qiáng)度。一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置，其特別之處在于:包括傳送機(jī)構(gòu)，在該傳送機(jī)構(gòu)上設(shè)有一鋁板，在該鋁板中間開有一通孔，在該通孔內(nèi)安裝有紫外線傳感器。其中傳送機(jī)構(gòu)為滾軸傳送機(jī)或滾輪傳送機(jī)。其中紫外線傳感器的探頭與鋁板上表面平齊。采用本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置后，檢測(cè)到的數(shù)據(jù)很準(zhǔn)確，能確切的判斷出基板實(shí)際接收到的有效照射量，從而可以通過有效地進(jìn)行監(jiān)控、調(diào)整來提高玻璃基板良品率。

附圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所不,一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置,包括傳送機(jī)構(gòu)6,傳送機(jī)構(gòu)6可以采用滾軸或滾輪傳送機(jī)，在該傳送機(jī)構(gòu)6上設(shè)有一鋁板5，在該鋁板5中間開有一通孔，在該通孔內(nèi)安裝有紫外線傳感器4，紫外線傳感器4的探頭與鋁板5上表面(按圖1中方向)平齊，當(dāng)然也可以略低。本實(shí)用新型的使用方法及工作原理如下:如圖1所示，紫外線清洗機(jī)I安裝在上部，紫外線清洗機(jī)I下部安裝紫外線燈管2。紫外線傳感器4連接在鋁板5上，其探頭頂部與鋁板5上表面水平，而紫外線傳感器4的其它部分則置于鋁板5下。使用時(shí)玻璃基板3放置于鋁板5之上，紫外線燈管2距離玻璃基板3為2.5
3.5_。鋁板5放置在滾軸或滾輪傳送機(jī)上，紫外線傳感器4放置于相鄰2個(gè)滾軸或滾輪間隙之內(nèi)，滾軸或滾輪之間的間距為100mm。滾軸或滾輪運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)鋁板5和玻璃基板3運(yùn)動(dòng)，通過紫外線清洗機(jī)1，同時(shí)紫外線傳感器4的探頭記錄紫外線燈管2照射強(qiáng)度。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型之精神的范圍內(nèi)，可作一些更動(dòng)與改進(jìn)，因此本實(shí)用新型之保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置,其特征在于:包括傳送機(jī)構(gòu)(6),在該傳送機(jī)構(gòu)(6)上設(shè)有一鋁板(5)，在該鋁板(5)中間開有一通孔，在該通孔內(nèi)安裝有紫外線傳感器⑷。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置，其特征在于:其中傳送機(jī)構(gòu)(6)為滾軸傳送機(jī)或滾輪傳送機(jī)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置，其特征在于:其中紫外線傳感器(4)的探頭與鋁板(5)上表面平齊。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板表面積光量的檢測(cè)裝置，其特點(diǎn)是包括傳送機(jī)構(gòu)(6)，在該傳送機(jī)構(gòu)(6)上設(shè)有一鋁板(5)，在該鋁板(5)中間開有一通孔，在該通孔內(nèi)安裝有紫外線傳感器(4)。采用本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置后，檢測(cè)到的數(shù)據(jù)很準(zhǔn)確，能確切的判斷出基板實(shí)際接收到的有效照射量，從而可以通過有效地進(jìn)行監(jiān)控、調(diào)整來提高玻璃基板良品率。
文檔編號(hào)G01J1/00GK203037348SQ20122066062
公開日2013年7月3日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者史祥 申請(qǐng)人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司