專利名稱：一種基板異物檢測裝置及曝光機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及基板檢測技術領域，特別涉及ー種基板異物檢測裝置及曝光機。
背景技術：
接近式曝光機因具有較高的曝光精度而廣泛使用，在使用接近式曝光機時，曝光機上的掩模板與基板之間的距離需要控制在一定的范圍內，以免因待曝光基板上的顆粒狀的異物劃傷掩模板而增加生產成本。為了進一歩減少異物劃傷掩模板發(fā)生的風險，在對基板曝光之前，需要檢測基板上的異物高度是否異常；目前，通常采用基板異物檢測裝置來檢測基板上異物的高度是否異常，具體地，基板異物檢測裝置包括:拍照系統(tǒng)，與拍照系統(tǒng)信號連接的控制裝置，其中，拍照系統(tǒng)拍攝整個待曝光基板，獲得基板上異物的平面圖，控制裝置根據(jù)上述圖像，把異物的平面直徑近似為異物的高度，將平面圖形模擬成近似球形，從而計算出異物的高度不過，上述計算出異物高度的方法存在缺陷，得到只是異物的近似高度，并不能準確反映出實際存在的異物高度，特別是對針形異物或不均勻異物不能準確計算異物高度，會導致異物劃傷掩模板情況發(fā)生，而且，當基板上異物較多時，控制裝置處理的數(shù)據(jù)量大，導致在設定的時間內不能計算出所有異物的高度，存在劃傷掩模板的風險。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供ー種基板異物檢測裝置及曝光機，用于快速地、準確地檢測基板上異物高度是否異常，進而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供以下技術方案:ー種基板異物檢測裝置，包括:平行設置的第一導軌和第二導軌；滑動裝配在所述第一導軌上的信號發(fā)射器；滑動裝配在所述第二導軌上且與所述信號發(fā)射器位置相対的信號接收器；傳動連接所述信號發(fā)射器，用于驅動所述信號發(fā)射器沿所述第一導軌移動的第一馬達；傳動連接所述信號接收器，用于驅動所述信號接收器沿所述第二導軌移動的第二馬達；信號連接所述信號發(fā)射器、信號接收器、第一馬達和第二馬達的控制裝置，用于控制所述第一馬達和第二馬達驅動所述信號發(fā)射器和信號接收器同步移動，并控制所述信號發(fā)射器向所述信號接收器發(fā)射掃描信號，當所述信號接收器沒有接收到掃描信號時，所述控制裝置發(fā)出基板上異物高度異常的警報信息。優(yōu)選地，上述基板異物檢測裝置，還包括:滑動裝配在所述第一導軌上的第一滑座，滑動裝配在所述第二導軌上的第二滑座；其中，所述信號發(fā)射器固定安裝在所述第一滑座上，所述第一馬達與所述第一滑座傳動連接；所述信號接收器固定安裝在所述第二滑座上，所述第二馬達與所述第二滑座傳動連接。較佳地，所述第一滑座具有延伸方向與所述第一導軌垂直的第三導軌，所述第二滑座具有延伸方向與所述第二導軌垂直的第四導軌。優(yōu)選地，所述信號發(fā)射器固定安裝在所述第三導軌上，且所述信號發(fā)射器相對于所述第一導軌的高度可調；所述信號接收器固定安裝在所述第四導軌上，且所述信號接收器相對于所述第二導軌的高度可調。優(yōu)選地，所述信號發(fā)射器滑動裝配在所述第三導軌上，所述信號接收器滑動裝配在所述第四導軌上，還包括:與所述信號發(fā)射器傳動連接用于驅動所述信號發(fā)射器沿所述第三導軌移動的第
ニ馬達;與所述信號接收器傳動連接用于驅動所述信號接收器沿所述第四導軌移動的第四馬達。優(yōu)選地，所述控制裝置信號連接所述第三馬達和第四馬達，用于控制所述第三馬達和第四馬達驅動所述信號發(fā)射器和信號接收器同步移動。優(yōu)選地，所述第三導軌具有刻度標尺，所述第四導軌具有刻度標尺。優(yōu)選地，所述信號發(fā)射器為激光發(fā)射器，所述信號接收器為激光接收器。進ー步地，上述基板異物檢測裝置還包括:與所述控制裝置信號連接用于拍攝基板上異物的拍照系統(tǒng)，所述拍照系統(tǒng)包括:至少ー個鏡頭和至少ー個光照燈。本實用新型還提供了一種曝光機，包括以上任一所述的基板異物檢測裝置。在本實用新型中，基板異物檢測裝置利用能夠同步移動的信號發(fā)射器和信號接收器，掃描基板上異物的高度，具體地，信號發(fā)射器發(fā)射掃描信號，信號接收器接收掃描信息，當信號接收器接收到掃描信號時，控制裝置根據(jù)信號接收器接收到的掃描信息判斷基板上的異物高度小于設定高度，此時基板上異物不會劃傷掩模板；當信號接收器沒有接收到掃描信號時，即掃描信號被基板上的異物阻擋，信號接收器接收不到掃描信號，控制裝置根據(jù)信號接收器接收到的掃描信息判斷基板上的異物高度大于設定高度，發(fā)出警報信息，等待操作人員確認異常情況。可見，與現(xiàn)有技術相比，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠快速地、準確地檢測出基板上的異物高度是否異常，從而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。

圖1為本實用新型實施例提供的ー種基板異物檢測裝置的結構示意圖；圖2為圖1中基板異物檢測裝置的連接關系圖；圖3為當基板上異物高度小于設定高度時的結構示意圖；圖4為當基板上異物高度大于設定高度時的結構示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的基板異物檢測裝置的工作原理圖；圖6為本實用新型實施例提供的另ー種基板異物檢測裝置的結構示意圖。
具體實施方式
現(xiàn)有基板異物檢測裝置，是通過拍照系統(tǒng)獲得基板上異物的平面圖，把異物的平面直徑近似為異物的高度，控制裝置將異物的平面圖模擬成近似球形，從而得到異物的近似高度；但這種檢測方式并不能準確反映出實際存在的異物高度，特別是對針形異物或不均勻異物不能準確計算異物高度，會導致異物劃傷掩模板的情況發(fā)生，而且，控制裝置處理的數(shù)據(jù)量大，在異物多時，可能在設定的時間內不能計算出所有異物的高度，影響生產運行速度。有鑒于此，本實用新型提供了ー種基板異物檢測裝置和曝光機，利用能夠同步移動的信號發(fā)射器和信號接收器，掃描基板上異物的高度，當信號接收器接收不到掃描信號時，控制裝置發(fā)出警報信息并使基板異物檢測裝置停止，等待人為確認異常。因此，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠快速地、準確地檢測基板上異物的高度是否異常，從而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。為了使本領域技術人員更好的理解本實用新型的技術方案，下面結合說明書附圖對本實用新型實施例進行詳細的描述。如圖1、圖2所示，本實用新型實施例提供的異物檢測裝置包括:平行設置的第一導軌10和第二導軌20 ；滑動裝配在第一導軌10上的信號發(fā)射器12 ；滑動裝配在第二導軌20上且與信號發(fā)射器12位置相対的信號接收器22 ；傳動連接信號發(fā)射器12，用于驅動信號發(fā)射器12沿第一導軌10移動的第一馬達
41；傳動連接信號接收器22，用于驅動信號接收器22沿第二導軌20移動的第二馬達
42；信號連接信號發(fā)射器12、信號接收器22、第一馬達和第二馬達的控制裝置30，用于控制第一馬達41和第二馬達42驅動信號發(fā)射器12和信號接收器22同步移動，并控制信號發(fā)射器12向信號接收器22發(fā)射掃描信號，當信號接收器22沒有接收到掃描信號吋，控制裝置30發(fā)出基板I上異物2高度異常的警報信息。具體地，在本實施例中，基板異物檢測裝置包括:兩條平行相對設置的第一導軌10和第二導軌20，滑動裝配在第一導軌10上的信號發(fā)射器12，滑動裝配在第二導軌20上的信號接收器22，用于驅動信號發(fā)射器12沿第一導軌10移動的第一馬達41，用于驅動信號接收器22沿第二導軌20移動的第二馬達42，以及分別與信號發(fā)射器12、信號接收器22、第一馬達41和第二馬達42信號連接的控制裝置30，控制裝置30用于控制第一馬達41和第二馬達42驅動信號發(fā)射器12和信號接收器22同步移動，并控制信號發(fā)射器12發(fā)射掃描信號，根據(jù)信號接收器22接收的掃描信號，判斷基板I上異物2的高度是否大于設定高度。如圖3所示，當信號接收器22可以接收到信號發(fā)射器12發(fā)射的掃描信號時，控制裝置30判斷出基板I上異物2高度小于設定高度H ;如圖4所示，當信號接收器22接受不到對應的信號發(fā)射器12發(fā)射的掃描信號時，信號發(fā)射器12發(fā)射的掃描信號被異物2阻擋，信號接收器22不能接收到掃描信號，控制裝置30判斷出基板I上異物2高度大于設定高度H，并發(fā)出警報信息，等待操作人員確認異常情況。更加詳細地說，參見圖5，為上述基板異物檢測裝置的工作原理圖，具體如下:步驟301，在控制裝置中輸入需要監(jiān)控的異物高度；步驟302，通過信號發(fā)射器和信號接收器掃描基板，判斷基板上的異物高度是否大于設定高度；步驟303，基板上異物高度大于設定高度，控制裝置發(fā)出警報信息，等待認為確認；步驟304，基板上異物高度小于設定高度，基板流入下ーエ序。從上述技術方案可知，與現(xiàn)有技術相比，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠準確地檢測出基板上的異物高度是否異常，此外，掃描基板的時間由控制裝置控制，通過調整第一馬達和第二馬達的轉速可以調整掃描速度，不存在處理數(shù)據(jù)延遲的風險，因此，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠快速地準確地檢測出基板上的異物高度是否異常，進而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。繼續(xù)參見圖1，優(yōu)選地，上述基板異物檢測裝置，還包括:滑動裝配在第一導軌10上的第一滑座11，滑動裝配在第二導軌20上的第二滑座21 ;其中，信號發(fā)射器12固定安裝在第一滑座11上，第一馬達41與第一滑座11傳動連接；信號接收器22固定安裝在第二滑座21上，第二馬達42與第二滑座21傳動連接。第一馬達41和第二馬達42還與控制裝置30信號連接，根據(jù)控制裝置30發(fā)出的控制指令驅動第一滑座11沿第一導軌10移動，驅動第二滑座21沿第二導軌20移動，且第一滑座11和第二滑座21同步移動。進ー步地，第一滑座11具有延伸方向與第一導軌10垂直的第三導軌110，第二滑座21具有延伸方向與第二導軌20垂直的第四導軌210。為了能夠調整信號發(fā)射器12和信號接收器22相對于第一導軌的高度，較佳地，信號發(fā)射器12固定安裝在第三導軌110上，且信號發(fā)射器12相對于第一導軌10的高度可調；信號接收器22固定安裝在第四導軌210上，且信號接收器22相對于第二導軌20的高度可調。具體地，例如可通過螺釘將信號發(fā)射器12固定安裝在第三導軌110上，通過螺釘將信號接收器22固定安裝在第四導軌210上。信號發(fā)射器12和信號接收器22分別固定安裝在第三導軌110和第四導軌210上，固定方式除了以上舉例，還可以通過其他常用的固定安裝方式，在此不作限定。上述信號發(fā)射器12和信號接收器22也可以滑動裝配在相應的第三導軌110和第四導軌210上，具體地，信號發(fā)射器12滑動裝配在第三導軌110上，信號接收器22滑動裝配在第四導軌210上，此時為了使信號發(fā)射器12能夠在第三導軌110上移動和停止，信號接收器22能夠在第四導軌210上移動和停止，上述基板異物檢測裝置還包括:與信號發(fā)射器12傳動連接，用于驅動該信號發(fā)射器12沿第三導軌110移動的第三馬達；與信號接收器22傳動連接，用于驅動該信號接收器22沿第四導軌210移動的第四馬達，且信號發(fā)射器12和信號接收器22同步移動。其中，第三馬達和第四馬達分別與控制裝置30信號連接，在控制裝置30的控制下，分別驅動信號發(fā)射器12和信號接收器22同步移動，或停止在某一高度。采用這種安裝方式便于調整信號發(fā)射器12和信號接收器22的高度。為了便于確認信號發(fā)射器12和信號接收器22的實際高度，優(yōu)選地，第三導軌110具有刻度標尺，第四導軌210具有刻度標尺。因此，在第一馬達41和第二馬達42的驅動下，可以實現(xiàn)信號發(fā)射器12跟隨第一滑座11沿第一導軌10移動，并且移動速度可以根據(jù)需要調節(jié)，信號接收器22跟隨第二滑座21沿第二導軌20移動，且與信號發(fā)射器12同步移動。在第三馬達和第四馬達的驅動下，可以調整信號發(fā)射器12和信號接收器22相對于第一導軌10和第二導軌20的高度，使基板異物檢測裝置可以檢測多種異物高度。值得ー提的是，上述信號發(fā)射器為激光發(fā)射器，上述信號接收器為激光接收器，具體為本領域技術人員所熟知，這里不再贅述。在上述實施例中，基板異物檢測裝置包括的ー對信號發(fā)射器和信號接收器，但不限于此，也可以采用兩對或兩對以上的信號發(fā)射器和信號接收器，相應的具有對應數(shù)量的第一馬達、第二馬達、第一滑座、第二滑座、第三馬達和第四馬達，具體工作原理與上述實施例提供的基板異物檢測裝置相同，這里不再贅述。為了確認基板上異物的位置，進ー步地，如圖5和圖6所示，上述基板異物檢測裝置，還包括:與控制裝置30信號連接用于獲取基板上異物平面圖的拍照系統(tǒng)，拍照系統(tǒng)包括:鏡頭51和光照燈52 ;其中，鏡頭51用于對基板進行拍照，獲得基板上異物的平面圖；光照燈52為鏡頭51提供足夠的亮度，便于拍照。在本實施例中，鏡頭51數(shù)量為六個，光照燈52數(shù)量為兩個，但不限于此，可以根據(jù)待測基板的大小選擇鏡頭51和光照燈52的數(shù)量，通過上述拍照系統(tǒng)可以獲得基板上異物的平面圖，從而獲得異物在基板上的位置坐標。本實用新型實施例還提供了一種曝光機，其包括如上所述的任意ー種基板異物檢測裝置。綜上所述，與現(xiàn)有技術相比，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠準確地檢測出基板上的異物高度是否異常，此外，掃描基板的時間由控制裝置控制，通過調整第一馬達和第二馬達的轉速可以調整掃描速度，不存在處理數(shù)據(jù)延遲的風險，因此，采用本實用新型提供的基板異物檢測裝置，能夠快速地準確地檢測出基板上的異物高度是否異常，進而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.ー種基板異物檢測裝置，其特征在于，包括: 平行設置的第一導軌和第二導軌； 滑動裝配在所述第一導軌上的信號發(fā)射器； 滑動裝配在所述第二導軌上且與所述信號發(fā)射器位置相対的信號接收器； 傳動連接所述信號發(fā)射器，用于驅動所述信號發(fā)射器沿所述第一導軌移動的第一馬達； 傳動連接所述信號接收器，用于驅動所述信號接收器沿所述第二導軌移動的第二馬達； 信號連接所述信號發(fā)射器、信號接收器、第一馬達和第二馬達的控制裝置，用于控制所述第一馬達和第二馬達驅動所述信號發(fā)射器和信號接收器同步移動，并控制所述信號發(fā)射器向所述信號接收器發(fā)射掃描信號，當所述信號接收器沒有接收到掃描信號時，所述控制裝置發(fā)出基板上異物高度異常的警報信息。
2.如權利要求1所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，還包括:滑動裝配在所述第一導軌上的第一滑座，滑動裝配在所述第二導軌上的第二滑座；其中， 所述信號發(fā)射器固定安裝在所述第一滑座上，所述第一馬達與所述第一滑座傳動連接； 所述信號接收器固定安裝在所述第二滑座上，所述第二馬達與所述第二滑座傳動連 接。
3.如權利要求2所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，所述第一滑座具有延伸方向與所述第一導軌垂直的第三導軌，所述第二滑座具有延伸方向與所述第二導軌垂直的第四導軌。
4.如權利要求3所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，所述信號發(fā)射器固定安裝在所述第三導軌上，且所述信號發(fā)射器相對于所述第一導軌的高度可調； 所述信號接收器固定安裝在所述第四導軌上，且所述信號接收器相對于所述第二導軌的聞度可調。
5.如權利要求3所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，所述信號發(fā)射器滑動裝配在所述第三導軌上，所述信號接收器滑動裝配在所述第四導軌上，還包括: 與所述信號發(fā)射器傳動連接用于驅動所述信號發(fā)射器沿所述第三導軌移動的第三馬達； 與所述信號接收器傳動連接用于驅動所述信號接收器沿所述第四導軌移動的第四馬達。
6.如權利要求5所述的基板異物檢測裝置，其特征在干，所述控制裝置信號連接所述第三馬達和第四馬達，用于控制所述第三馬達和第四馬達驅動所述信號發(fā)射器和信號接收器同步移動。
7.如權利要求3所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，所述第三導軌具有刻度標尺，所述第四導軌具有刻度標尺。
8.如權利要求1-7任一所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，所述信號發(fā)射器為激光發(fā)射器，所述信號接收器為激光接收器。
9.如權利要求7所述的基板異物檢測裝置，其特征在于，還包括:與所述控制裝置信號連接用于拍攝基板上異物的拍照系統(tǒng)，所述拍照系統(tǒng)包括:至少ー個鏡頭和至少ー個光照燈。
10.一種曝光 機，其特征在于，包括權利要求1-9任一所述的基板異物檢測裝置。
專利摘要本實用新型涉及基板檢測領域，特別涉及一種基板異物檢測裝置及曝光機，用于快速地、準確地檢測基板上異物高度是否異常，進而減少基板上異物劃傷掩模板的風險。本實用新型公開了一種基板異物檢測裝置，包括平行設置的第一導軌和第二導軌；滑動裝配在第一導軌上的信號發(fā)射器；滑動裝配在第二導軌上且與信號發(fā)射器位置相對的信號接收器；傳動連接所述信號發(fā)射器的第一馬達；傳動連接信號接收器的第二馬達；信號連接信號發(fā)射器、信號接收器、第一馬達和第二馬達的控制裝置，當信號接收器沒有接收到掃描信號時，控制裝置發(fā)出基板上異物高度異常的警報信息。
文檔編號G01B21/02GK202947713SQ20122066939
公開日2013年5月22日 申請日期2012年12月6日 優(yōu)先權日2012年12月6日
發(fā)明者吳琪, 張力舟, 尹鎮(zhèn)鎬, 孟祥明, 張磊 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司