用于測定空氣中二氧化碳含量的設備和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種例如在空調系統(tǒng)中予以使用的用于測定空氣中二氧化碳含量的裝置和方法。氣體傳感器具有一種被當作氣體敏感層的對二氧化碳敏感的材料。這種材料對空氣濕度具有交叉敏感性。該交叉敏感性可通過在兩個不同的溫度下的測量加以補償。在氣體傳感器對二氧化碳的敏感性，隨氣體傳感器的溫度而具有與對水的敏感性不同的變化的前提條件下，一起計算出氣體測量值。
【專利說明】用于測定空氣中二氧化碳含量的設備和方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于測定空氣中的二氧化碳含量的二氧化碳傳感器。此外，本發(fā)明還涉及一種用于產生表征空氣中二氧化碳濃度的氣體測量值的方法。
[0002]檢測二氧化碳，對于一系列的應用場合都是很關注的。對室內的空氣質量進行評判，高效節(jié)能地控制空調設備或者對潔凈的空氣進行監(jiān)控都是實例。對二氧化碳進行檢測的目的，可以是提高舒適性。但是還可以實現(xiàn)或許可觀的能源節(jié)約。
[0003]因此，例如在一個隔絕良好的建筑物中，通過合理的空氣調節(jié)，幾乎可以節(jié)約一半的需要用于空氣調節(jié)的能量。在此還要符合空氣中的二氧化碳含量的要求。在汽車領域，對乘客車艙內進行合理的通風和空氣調節(jié)也是有利的。用于空氣調節(jié)的能耗減少了近似于0.3L/100km。
[0004]在一般的環(huán)境條件下，空氣中二氧化碳的濃度約為380-400ppm。用于二氧化碳的傳感器必須以該基本濃度為出發(fā)點，能夠對升高至例如4000ppm的濃度加以檢測。此時，問題還在于，二氧化碳分子是一種線形的、對稱的分子，因而不存在在各種傳感器原理中可以產生傳感器信號的電偶極矩。此外，所述分子在化學性能上是極不易發(fā)生反應的。
[0005]目前，非常行之有效的用于確定二氧化碳濃度的方法，因而首先出現(xiàn)在光譜學領域。在此，充分利用了例如波長約在4.3μπι的具有特定波長范圍的二氧化碳來吸附光。由此可以實現(xiàn)準確而又選擇性地測定二氧化碳的濃度。此時，二氧化碳的化學反應性并不重要。光譜學的缺點，則是測量系統(tǒng)的錯綜復雜的結構和為了對測得的光譜進行分析所必需的可觀的費用。這最終導致龐大且昂貴的測量系統(tǒng)。
[0006]固體傳感器，像例如半導體氣體傳感器避免了光學測量系統(tǒng)的缺點。它很小，由于大批量生產，相對來說可以極其廉價地進行制造，而且不需要太復雜的信號分析裝置。但是固體傳感器的缺點在于，它要求待測量的分子必須具有一定的反應性，并且同時要對所有剛好具有一定的反應性的分子進行檢測。另外，固體傳感器具有較小的選擇性。這首先使得低反應類的，如二氧化碳就很難用這種傳感器進行測量，因為這種傳感器大多對碳氫化合物或者臭氧起很強的反應。
[0007]在此還廣泛存在一系列潛在的干擾氣體。它們包括二氧化氮(NO2),—氧化碳(CO)和氫氣(H2)，氨(NH3)，乙醇或者鹽酸(HCL)，一氧化氮(NO)，氧化硫(SOx)，氧硫化碳(COS )，一氧化二氮(N2O)和氫氰酸(HCN)，水(H2O)以及有機的氣體，如甲烷，乙烷，乙烯，乙酰以及其它的碳氫化合物，如甲醛(CH20)。
[0008]其它的干擾氣體是胺(NH2R1，NH1R2,NR3),酰胺(RC (O) NH2，RC (O) NHR，，丙烯醒(C3H4O)和碳酰氯(COCL2),芳香物質如苯(C6H6),乙苯，氯苯，甲苯，二甲苯，苯乙烯和苯酹(C6H6OX此外，還有臭氧(O3),揮發(fā)性有機化合物基團VOCs (volatile organiccompounds)。
[0009]這些氣體部分已經出現(xiàn)在通常的環(huán)境空氣中，例如臭氧。其它的氣體來源是燃料，香煙煙霧，人類的活動，所應用的化學制劑，如清潔劑，打開的食物或者技術設備，如打印機。道路交通以及甚至天氣狀況也會導致氣體的出現(xiàn)。【背景技術】
[0010]從H.-E.Endres 等人的專利文獻” A capacitive C02sensor system withsuppression of the humidity interference，，，Sensors and Actuators B57 (1999),83-87中公知一種基于電容測量原理的二氧化碳傳感器。在所公開的電容傳感器中，應用了另一種用于產生濕度信號的濕度傳感器。
[0011]例如從EP1176418A2中公知一種可在此使用的電位控制的濕度傳感器。所述電位控制的濕度傳感器具有一個可與濕度無關地被極化的氣體敏感區(qū)域。此外，所述氣體敏感區(qū)域還具有一個與濕度有關的相對介電常數。
[0012]公知的傳感器的缺點在于，需要一個其它的傳感器來測定和補償空氣的濕度。該傳感器必須與本來的二氧化碳傳感器一樣，要校準和分析，并且必須同時滿足作為二氧化碳傳感器的前提條件的特性，如耐用性。

【發(fā)明內容】

[0013]本發(fā)明要解決的技術問題是，提供一種能夠檢測二氧化碳的氣體傳感器。另一個要解決的技術問題是，提供一種用于產生能夠表征空氣中二氧化碳濃度的氣體測量值的方法。在此，尤其要總是能夠充分地補償環(huán)境變化對測量信號的影響。該技術問題通過具有權利要求1所述特征的設備得以解決。此外，所述技術問題還通過具有權利要求13所述特征的方法得以解決。從屬權利要求涉及本發(fā)明的有利的擴展設計方案。
[0014]按照本發(fā)明的用于測定空氣的二氧化碳含量的設備，具有至少一個對二氧化碳敏感的氣體傳感器以用于輸出氣體測量值。其次，所述設備還具有對所述氣體傳感器進行溫度控制的裝置。此外，所述設備還設有一個對用于測定空氣的二氧化碳含量的氣體測量值進行分析的裝置。
[0015]將設備設計成，使得用于溫度控制的裝置，在氣體傳感器運行時能夠調節(jié)到至少兩個不同的溫度，而且在兩個不同的溫度中的每一個溫度下，能夠記錄至少一個氣體測量值。
[0016]此外，將設備還設計成，所述分析裝置從不同溫度下的氣體測量值中在對空氣濕度的影響進行修正的情況下確定二氧化碳含量，為此所述分析裝置，在氣體傳感器對二氧化碳的敏感性隨氣體傳感器的溫度而具有與對水的敏感性不同的變化的前提條件下，一起計算出氣體測量值。
[0017]氣體傳感器在此具有一種例如氣體敏感層式的氣體敏感材料。將所述氣體敏感材料構造成，使得它能夠對二氧化碳起反應。換句話說，當周圍空氣中的二氧化碳的濃度發(fā)生變化時，氣體測量值也發(fā)生變化。在此，如果當二氧化碳的濃度變化了尤其50ppm，即變化量大于信號噪聲時，可以測出這種變化，是相宜的。在另一個實例中，如果當二氧化碳的濃度變化了 500ppm時，可以測出氣體測量值的變化，也是足夠的。
[0018]在此論述的是空氣中的二氧化碳或者水的濃度。也可以將大多數的氣體敏感材料的實際測量方式理解成，在所述方式下測量的不是氣體的相對份額，而是絕對存在的部分，即氣體的部分壓力。氣體測量值因此相宜地取決于二氧化碳和水的那部分壓力。
[0019]總之，有利地將設備構造成，對氣體測量值的計算導致，能夠減小空氣濕度的變化對測量值的影響。此時，僅僅通過對氣體傳感器的溫度的控制，就實現(xiàn)了能夠對氣體測量值進行修正。換句話說，不需要具有所有相關缺點的附加濕度傳感器。
[0020]一個特別的優(yōu)勢在于，利用對氣體測量值的修正方法的同時，還可以進行對傳感器的加熱。也就是說，在室溫下吸附停留在例如氣體敏感層上的分子，由于間歇性的運行而在升高溫度時被去除，從而使氣體傳感器信號的基線總體上保持穩(wěn)定。
[0021]按照本發(fā)明的一種有利的擴展設計，在氣體傳感器中，通過對材料的逸出功進行分析來產生氣體測量值。
[0022]按照本發(fā)明的另一種有利的擴展設計，氣體敏感材料具有伯氨基團(R-NH2, R=殘留物，例如烷基殘留物)。在室溫下當存在二氧化碳時，這種伯氨基團形成可逆向加載類的(例如碳酸氫鈉和氨基甲酸酯)，它們致使逸出功發(fā)生明顯的變化。具有伯氨基團的材料，對二氧化碳那部分壓力的變化表現(xiàn)出一種明顯的可逆反應。同時，事實表明，對某些干擾氣體，像例如二氧化氮，揮發(fā)性碳氫化合物或者溶劑的交叉敏感性不大。
[0023]但是在測量中首先驚人地發(fā)現(xiàn)，基于逸出功測量的直線式二氧化碳傳感器，在具有伯氨基團的材料上，在很大程度上對空氣濕度起反應，而且比對許多其它的干擾氣體所起的反應更強烈。因此這已經出乎預料，因為在許多通常用于逸出功測量的涂層材料中，雖然會出現(xiàn)交叉敏感性，但是恰恰對于水卻幾乎沒有。銅酞菁(CuPC)、鉛酞菁(PbPC)或者其它的酞菁、氧化鎵(Ga2O3) JS(Pt)以及氮化鈦(TiN)都是實例。
[0024]又一次為在伯氨基團上可觸發(fā)逸出功變化的的干擾氣體提供了更為貼切的候選者?？諝馔瑯雍锌膳c伯氨基(一NH2)強烈起反應的濃度易變的氣體，例如尤其二氧化氮(NO2)、乙醇(R-0H)、一氧化氮(NO)、臭氧(03)、氫氣(H2)、一氧化碳(CO)、氨(NH3)、鹽酸(HCL)、氫氰酸(HCN)、氧化硫(S0X)、氧硫化碳(C0S)，一氧化二氮(N2O)以及有機氣體。
[0025]水對測量結果的影響，在此并不表現(xiàn)得比其它來源的影響更明顯。由于溫度的變化、污染以及在信號分析時的不完美、零點漂移和滯后效應，測量結果相似地且不立即有所區(qū)別地發(fā)生變化，也就是說，預負載來源于之前進行的一系列測量。因此，驚人地發(fā)現(xiàn)的空氣濕度的效應，在進行一系列測量期間，甚至是無暇顧及的。
[0026]在按照本發(fā)明的借助于一種對二氧化碳敏感的氣體傳感器、在對空氣濕度的影響進行修正的情況下來確定空氣的二氧化碳含量的方法中，在運行時使氣體傳感器達到至少兩個不同的溫度，在兩個不同的溫度中的每一個溫度，記錄至少一個氣體測量值，并且從不同溫度下的氣體測量值中在對空氣濕度的影響進行修正的情況下確定二氧化碳含量，為此，在氣體傳感器對二氧化碳的敏感性隨氣體傳感器的溫度而具有與對水的敏感性不同的變化的前提條件下，一起計算出氣體測量值。
[0027]因此，將氣體測量值修正成，使得至少能夠減小空氣濕度對二氧化碳測量的影響。
[0028]如果氣體測量值能夠在相對空氣濕度變化了 10%，至少5%，尤其至少10%時做出反應，或者在另一個實例中，當二氧化碳的濃度變化了 IOOOppm時，具有至少20%的反應強度，是尤其有利的。
[0029]采用場效應晶體管結構作為氣體傳感器的結構是尤其有利的?；镜膱鲂w管結構可從電子部件中公知，也就是說，存在漏極和源極以及與柵極相鄰的導電通道。具有場效應晶體管結構的氣體傳感器的特點在于，將氣體敏感材料設置成與所述導電通道相鄰。如此,氣體敏感材料中的電變化將影響通道中的電導率。[0030]基于逸出功變化或者例如借助于氣體敏感的場效應晶體管進行接觸電勢測量的氣體傳感器的作用原理，以下列物理事實為依據，即，吸附在材料表面的氣體分子，要么作為永久性的偶極子存在，要么感應出偶極子。被氣體覆蓋的材料的逸出功，隨即在表面的偶極層上，發(fā)生了一個電位突變?？梢詫⑦@種電位變化輸入耦合到場效應晶體管的柵極電壓中，同時，可以將在恒定電流下的工作電壓的變化當作測量值使用。
[0031]通過將氣體敏感材料直接涂覆在柵極上的方法，可以實現(xiàn)這種場效應晶體管結構。在這種情況下，可以大批量地以微機械技術制造傳感器。如果將氣體敏感材料做得很薄或者還可以構造成透氣的，以便使盡可能多的氣體反應的電效果被施加到導電通道上，在此會比較有利。
[0032]給氣體場效應晶體管(GasFET)配備一種位于敏感層和場效應晶體管結構的導電通道之間的空氣隙，是尤其有利的。當實現(xiàn)在晶體管的柵極和通道區(qū)域之間存在較小的空氣隙(0.5-5 μ m)的氣體場效應晶體管(GasFET)時，設定，柵極的朝向空氣隙的一側，配備了例如涂覆的氣體敏感材料。在所述氣體敏感材料上，由于氣體感應的電子逸出功的變化而產生一種數量級通常為IO-1OOmV的附加電位，將所述附加電位當作附加的柵極電壓施加到晶體管上。
[0033]一種尤其有利的結構設定，氣體場效應晶體管，尤其具有氣體敏感層的混合型氣體場效應晶體管具有伯胺基團。此外，如果氣體敏感材料具有聚合物，也是有利的?；诰酆衔锏臍怏w敏感層對空氣濕度的交叉敏感性，取決于信號讀取的方式。正是在從公知的電容式傳感器過渡到借助于逸出功，尤其借助于氣體場效應晶體管讀取時，除了具有在室溫下測量的驚人且顯著的優(yōu)點外，還獲得了變化了的交叉敏感性。因此，像在氣體場效應晶體管上所實施的那樣借助于逸出功讀取時，對空氣濕度的敏感性驚人地強烈。
[0034]在本發(fā)明的一種尤其有利的設計方案和擴展設計中，將設備設計成，使得不同的溫度中的一個溫度，是氣體敏感材料不再對二氧化碳起反應的溫度。換句話說，選取一種氣體傳感器對二氧化碳的敏感性至少已基本消失的溫度，作為不同溫度中的一個溫度。有利的是，隨后對氣體測量值的修正，尤其簡便，因為在該溫度下，氣體測量值實際上只相當于濕度測量。
[0035]為了能夠補償壓力的影響，在本發(fā)明的另外一種設計方案中設置一種壓力傳感器?？諝鈮毫梢岳缤ㄟ^超出海平面的高度以及通過氣候的影響進行改變。如果將壓力傳感器和氣體傳感器以及/或者其它現(xiàn)有的傳感器實施成整體式的，也就是制作在一個共同的基片上，是尤其有利的。
[0036]可以將空氣濕度對氣體測量值的影響，分成2個功效。第一種功效相當于被當作濕度傳感器的氣體敏感材料可以具有的功能。它與是否存在二氧化碳完全無關。
[0037]第二種功效是，二氧化碳的有效測量值，大致取決于每次存在著的空氣濕度，也就是說，由例如二氧化碳的濃度變化了 IOOppm而引起的信號，取決于水的那部分壓力。因此，當空氣濕度為30%時，二氧化碳的濃度改變lOOppm，可以產生例如IOmA的電信號的變化，而當空氣濕度為70%時，同樣的濃度變化可以產生13mA的電信號的變化。本身會產生例如40mA的信號變化的40%的空氣濕度的差額，在此已經加以考慮和修正。也就是說，本來，如果在上面進一步加以說明的第一種功效，已完全被修正，為了提高二氧化碳測量的精度，剩下第二種功效，同樣可以予以修正。[0038]在本發(fā)明的一種有利的設計方案中，對第一種功效進行了修正。如果另外對第二種功效進行修正，那么對于測量精度尤其有利。因此，此時不僅可計算出由于濕度引起的測量值的擺幅，而且另外還能對隨后來源于二氧化碳的其余的氣體測量值，根據濕度進行修正。
[0039]此外，還可以從不同溫度下的氣體測量值中確定出空氣的濕度。隨后例如根據表格中現(xiàn)有的修正值，對氣體測量值再次進行修正。還可以分析存貯的系數來實施修正。
[0040]在本發(fā)明的一種有利的設計方案中，將設備設計成，使得在不同溫度中的較高溫度下的停留時間，最多相當于在不同溫度中的較低溫度下的停留時間的一半。換句話說，與在例如室溫下的運行相比，在升高的溫度下氣體傳感器只能運行更短的時間。因此有利地節(jié)省了能源。尤其可以使在不同溫度中的較高溫度下的停留時間，只等于在不同溫度中的較低溫度下的停留時間的十分之一。
[0041]在本發(fā)明的一種有利的設計方案中，將設備設計成，使得能夠尤其通過采用溫度梯度或者正弦形的溫度變化，連續(xù)地進行不同溫度的調節(jié)。例如可以因此以連續(xù)的三角形或者鋸齒形梯度來改變溫度。
[0042]如果除了對不同溫度下的氣體測量值進行上述的分析以外，還例如借助于多元化的方法，如PLS對信號的時間進程進行分析，在此也是有利的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0043]圖1表示用于被構造成SGFET的二氧化碳傳感器的結構，
[0044]圖2表示用于二氧化碳的AM0/PTMS層的測量結果，
[0045]圖3表示用于二氧化碳和水的AM0/PTMS層的測量結果。
【具體實施方式】
[0046]圖1表示根據按照本發(fā)明的結構的一個實例的一種氣體敏感的FET的基本結構。它包括具有源極8和漏極9的CMOS晶體管。在此，將CMOS晶體管I形式的FET結構以倒裝芯片技術安裝到設有印制導線4的陶瓷基片5上。這可以例如借助于一種導電性粘接劑2加以實現(xiàn)。氣體敏感層7被局部地敷設在陶瓷基片5上且與印制導線4發(fā)生相應的接觸。氣體通道是控制柵和CMOS晶體管之間的空氣隙6。陶瓷基片5被用作氣體敏感層的母體，并且同時還被用作整個傳感器結構的支架，因此在該實例中不需要安裝到傳感器基座中。可以將插頭3安裝到該陶瓷基片5上，從而使得可以把電子構件直接插入例如單列直插式插座中。作為替代方式，還可以是其它的結構形式，例如被構造成SMD組件(surface mouteddevice)的結構形式。
[0047]測量結果表示在圖2中的第一傳感器，具有被作為傳感器層的所謂的AM0/PTMS層。該材料系統(tǒng)也被稱作異性聚硅氧烷，因為此處的材料由兩個不同的原硅烷構成。為了制作該涂層，將氨丙基三甲氧基硅烷(AMO)和三甲氧基硅烷(PTMS)溶解到甲醇中。將溶液倒入玻殼中，在添加了少量水的情況下，倒流煮沸3小時。所產生的溶液在冷卻之后借助于一種旋涂工藝被敷設到基片(例如涂了金的Al2O3陶瓷)上，并且在120°C的具有氮氣氛圍的爐中，進行16小時之久的時效硬化。如此產生的涂層，在該實例中具有12.8μπι的厚度。
[0048]圖2表示在以此方式獲得的傳感器層上，借助于開爾文探針得到的兩個測量結果。在測量進行期間，將第一傳感器運行到室溫，也就是不加熱。傳感器層的人造的氣體環(huán)境，具有40%的相對濕度。在數小時的測量進行期間，二氧化碳的濃度從每個間隔約400ppm的基礎水平逐級提升且再次回復到基礎水平。最少產生升高的濃度，約為600ppm，即超出基礎水平約200ppm。最高產生的濃度,在此約為4000ppm。測量信號CPD (contact potentialdifference)在二氧化碳的濃度為4000ppm時表現(xiàn)出明顯的振蕩。當濃度升高減小時,信號相應地衰減。當濃度升高約200ppm達到最小時,可明顯地辨認信號。
[0049]圖3表示在AMO傳感器層上的兩個測量結果。傳感器的結構表示在圖1中。這樣控制傳感器層的人造的氣體環(huán)境，即，不僅改變濕度，而且改變二氧化碳濃度。第一測量結果31在此表示沒有溫度變化時的傳感器信號的變化曲線。可以辨認出，傳感器層對于濕度的變化表現(xiàn)出明顯的反應，尤其在空氣濕度發(fā)生變化時的信號漂移。
[0050]第二測量結果32表示已經過修正的傳感器信號的變化曲線，其中測量是在不同的溫度下進行的。事實表明，當濕度變化時，信號漂移明顯減少了，也就是說，濕度的影響明顯減小了。在所例舉的傳感器中，選取65°C的溫度作為較高的溫度。在實際應用的傳感器中，在該溫度下，對二氧化碳的敏感性幾乎完全消失。較低的溫度是30°C。因為對二氧化碳的敏感性在65°C時可加以忽略，所以得出二氧化碳測量值dphi的修正公式:
[0051]300C:dphi =L (H2O, CO2)
[0052]65°C:dphi =L (H2O)
[0053]dphi (30°C ) _A*dphi (65°C ) =L (CO2)
[0054]在此，L ()被稱作線性函數，而A是待確定的系數。
【權利要求】
1.一種用于測定空氣的二氧化碳含量的設備，具有: -至少一個用于輸出氣體測量值的對二氧化碳敏感的氣體傳感器， -對氣體傳感器進行溫度控制的裝置， -對用于確定空氣的二氧化碳含量的氣體測量值進行分析的分析裝置， 將所述設備構造為，使得 -用于溫度控制的裝置在氣體傳感器運行時，能夠調節(jié)至少兩個不同的溫度， -對于所述兩個不同溫度中的每一個都記錄至少一個氣體測量值， -所述分析裝置從不同溫度 下的氣體測量值中在對空氣濕度的影響進行修正的情況下確定二氧化碳含量，為此所述分析裝置，在氣體傳感器對二氧化碳的敏感性隨氣體傳感器的溫度而具有與對水的敏感性不同的變化的前提條件下，一起計算出氣體測量值。
2.按照權利要求1所述的設備，其中氣體傳感器具有氣體敏感材料(7)，所述氣體敏感材料(7)具有伯氨基團。
3.按照權利要求1或2所述的設備，其中設計氣體傳感器，通過計算材料的輸出功來產生氣體測量值。
4.按照上述權利要求中任一項所述的設備，其中氣體敏感材料(7)具有聚合物。
5.按照上述權利要求中任一項所述的設備，該設備設計成，使得所述不同的溫度中的一個溫度，是氣體敏感材料(7)不會對二氧化碳起反應的溫度。
6.按照上述權利要求中任一項所述的設備，其中氣體傳感器具有場效應晶體管結構，所述場效應晶體管結構具有位于氣體敏感材料(7)與場效應晶體管結構的導電通道之間的空氣隙(6)。
7.按照上述權利要求中任一項所述的設備，具有壓力傳感器。
8.按照上述權利要求中任一項所述的設備，其中將氣體敏感材料(7)設計成，使得氣體測量值對相對空氣濕度變化了 10%所起的反應，至少為對二氧化碳的濃度變化了1000ppm所起的反應值的5%。
9.按照上述權利要求中任一項所述的設備，具有對氣體傳感器的氣體測量值進行修正的措施，將所述措施設計成，使得能夠將氣體濕度的影響修正到二氧化碳對氣體測量值的影響。
10.按照上述權利要求中任一項所述的設備，該設備設計成，使得能夠檢查，氣體傳感器的氣體測量值以及/或者濕度測量值隨時間的變化，是否超過了規(guī)定的臨界下限值，以及在這種情況下，是否在規(guī)定的等待時間到期后才考慮氣體測量值。
11.按照上述權利要求中任一項所述的設備，該設備設計成，使得在不同的溫度中的較高溫度下的停留時間，最多相當于在不同的溫度中的較低溫度下的停留時間的一半。
12.按照上述權利要求中任一項所述的設備，該設備設計成，使得能夠尤其通過采用溫度梯度或者正弦形的溫度變化，連續(xù)地進行不同的溫度的調節(jié)。
13.—種在對空氣濕度的影響進行修正的情況下，借助于對二氧化碳敏感的氣體傳感器來測定空氣的二氧化碳含量的方法，其中， -在氣體傳感器運行時，達到至少兩個不同的溫度， -在兩個不同的溫度中的每一個溫度下，記錄至少一個氣體測量值， -從不同溫度下的氣體測量值中在對空氣濕度的影響進行修正的情況下確定二氧化碳含量，為此，在氣體傳感器對二氧化碳的敏感性隨氣體傳感器的溫度而具有與對水的敏感性不同的變化的前提條件`下，一起計算出氣體測量值。
【文檔編號】G01N33/00GK103635796SQ201280029534
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2012年5月29日 優(yōu)先權日:2011年6月15日
【發(fā)明者】M.弗萊舍, R.波利, S.斯特格邁耶, O.馮西卡德 申請人:西門子公司