本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體封裝元件上接通電源而使其工作時，用于測試半導(dǎo)體元件對熱應(yīng)力的可靠性的老化測試設(shè)備(Burn-InTester)。

背景技術(shù)：
半導(dǎo)體元件被制造后會經(jīng)過各種測試，關(guān)于本發(fā)明的老化測試是向半導(dǎo)體元件接通電信號而使其工作時，確認(rèn)半導(dǎo)體元件在何種程度上能抵抗熱應(yīng)力的測試。并且，實施這種老化測試的裝置即為老化測試設(shè)備。老化測試設(shè)備包含收容半導(dǎo)體元件的老化腔室、收容測試基板的測試腔室，其中，向收容在老化腔室的半導(dǎo)體元件接通測試信號之后，測試基板用于讀取反饋(Feedback)的結(jié)果信號。一般，為了同時對多個半導(dǎo)體元件進行測試，半導(dǎo)體元件在以矩陣形態(tài)裝載到測試板的狀態(tài)下收容到老化腔室中，而且為了進一步提高處理容量，老化腔室具有同時收容多個測試板的結(jié)構(gòu)。并且，裝載到測試板的多個半導(dǎo)體元件通過測試板所具有的板連接器與測試基板電連接，這種用于解決半導(dǎo)體元件和測試基板之間的電連接的技術(shù)已被韓國公開專利10-2008-0051762號(發(fā)明名稱：老化試驗板連接裝置、具有其的老化測試裝置及老化試驗板連接方法，下面稱“現(xiàn)有技術(shù)”)等公開。以往，為了電連接測試板和測試基板，使用氣缸作為移動測試板的驅(qū)動源，但如現(xiàn)有技術(shù)中所揭示，使用氣缸時會在局部發(fā)生過度的接觸沖擊，可能發(fā)生接觸不良和連接部分破損。因此，如現(xiàn)有技術(shù)那樣，提供了利用伺服電機移動測試板的技術(shù)。但是，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的情況下也要使用多個伺服電機來移動測試板，因此存在需要進行高精度的同步化和生產(chǎn)成本升高的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種利用一個驅(qū)動源可以將測試板移向測試基板一側(cè)的技術(shù)。如上所述的本發(fā)明的老化測試設(shè)備用接觸裝置，包含：保持板，在保持測試板之后可向測試基板側(cè)方向進退，以將測試板移動到測試基板一側(cè)或使其向反方向移動；第一驅(qū)動源，用于提供所述保持板進退所需的驅(qū)動力；動力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，將所述第一驅(qū)動源所提供的驅(qū)動力轉(zhuǎn)換為所述保持板的進退力后傳遞給保持板；第二驅(qū)動源，用于提供所述保持板的保持動作所需的驅(qū)動力。所述保持板上形成有至少一個連接槽和多個保持凸起，所述連接槽用于連接測試板的連接器和測試基板側(cè)的連接器，所述多個保持凸起根據(jù)保持板的升降狀態(tài)插入或脫離測試板的保持槽，以保持測試板或解除對測試板的保持，所述第二驅(qū)動源所提供的驅(qū)動力是使所述保持板升降的升降力。所述動力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，包含：第一旋轉(zhuǎn)部件，借由所述第一驅(qū)動源的驅(qū)動力以水平方向為旋轉(zhuǎn)軸方向進行旋轉(zhuǎn)；第二旋轉(zhuǎn)部件，伴隨所述第一旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)以豎直方向為旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)；第一轉(zhuǎn)換器，將所述第一旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述第二旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力；第二轉(zhuǎn)換器，將所述第二旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述保持板的進退力；傳遞部件，將通過所述第二轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為所述保持板的進退力的移動力傳遞到所述保持板，所述傳遞部件的一側(cè)結(jié)合于所述保持板，另一側(cè)結(jié)合于所述第二轉(zhuǎn)換器一側(cè)。所述第二轉(zhuǎn)換器和所述傳遞部件沿豎直方向相互分開而分別設(shè)置多個。所述第二旋轉(zhuǎn)部件、所述第一旋轉(zhuǎn)器、所述第二旋轉(zhuǎn)器以及所述傳遞部件在水平方向上相互分開而成對設(shè)置。并且，為了達到上述目的，本發(fā)明所提供的老化測試設(shè)備，包含：板收容腔室，用于收容至少一個測試板；至少一個測試基板，用于對裝載在所述板收容腔室所收容的測試板上的半導(dǎo)體元件進行測試；基板收容腔室，用于收容所述至少一個測試基板；如權(quán)利要求1至5中的任意一項所述的接觸裝置，通過使收容于所述板收容腔室中的至少一個測試板接觸所述至少一個測試基板，從而將裝載于至少一個測試板上的多個半導(dǎo)體元件電連接到所述至少一個測試基板。根據(jù)如上所述的本發(fā)明，由于通過一個驅(qū)動源將測試板移向測試基板一側(cè)，因此測試板的被保持的所有部分的移動可以同步進行，從而具有可以減少接觸不良或連接部分的破損，可以節(jié)省生產(chǎn)成本的效果。附圖說明圖1為概略示出本發(fā)明的一實施例的老化測試設(shè)備用接觸裝置的立體圖。圖2和圖3為說明圖1的老化測試設(shè)備用接觸裝置時提供參考的參考圖。圖4a至圖4c為對圖1的老化測試設(shè)備用接觸裝置的作用狀態(tài)圖。圖5為概略示出應(yīng)用了圖1的測試設(shè)備用接觸裝置的老化測試設(shè)備的立體圖。符號說明：100為老化測試設(shè)備，110為板收容腔室，120為測試基板，130為基板收容腔室，140為接觸裝置，141為保持板，142為第一驅(qū)動源，143為動力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，143a為第一旋轉(zhuǎn)部件，143b為第二旋轉(zhuǎn)部件，143c為第一轉(zhuǎn)換器，143d為第二轉(zhuǎn)換器，143e為傳遞部件，144為第二驅(qū)動源。具體實施方式以下，參照附圖來說明如上所述的本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但為了說明的簡潔性，盡可能省略或壓縮重復(fù)性說明。<關(guān)于接觸裝置的說明>圖1為概略示出本發(fā)明的一實施例的老化測試設(shè)備用接觸裝置140(下面簡稱為“接觸裝置”)的立體圖。本實施例的接觸裝置140包含保持板141、第一驅(qū)動源142、動力轉(zhuǎn)換傳遞裝置143和第二驅(qū)動源144等。保持板141設(shè)置為可以向測試基板側(cè)方向進退，用于將所保持的測試板移動到測試基板一側(cè)或使其向反方向移動。這種保持板141上形成有多個連接槽141a，以用于連接測試板的連接器和測試基板側(cè)的連接器，而且在兩側(cè)成對地形成有多個保持凸起141b，保持凸起141b根據(jù)保持板141的升降狀態(tài)插入或脫離測試板的保持槽，從而保持測試板或解除對測試板的保持。第一驅(qū)動源142用于向保持板141提供進退所需的驅(qū)動力，可以應(yīng)用可正反旋轉(zhuǎn)的電機等。動力轉(zhuǎn)換傳遞裝置143用于將第一驅(qū)動源142所提供的驅(qū)動力轉(zhuǎn)換為保持板141的進退力而傳遞給保持板141，包含第一旋轉(zhuǎn)部件143a、第二旋轉(zhuǎn)部件143b、第一轉(zhuǎn)換器143c、第二轉(zhuǎn)換器143d、傳遞部件143e等。第一旋轉(zhuǎn)部件143a具有沿水平方向延伸的棒形狀，借由第一驅(qū)動源142所提供的驅(qū)動力以水平方向為旋轉(zhuǎn)軸方向進行旋轉(zhuǎn)。此時，如果第一驅(qū)動源142由電機構(gòu)成，則電機的驅(qū)動力通過帶B轉(zhuǎn)換為第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)力。第二旋轉(zhuǎn)部件143b具有沿豎直方向延伸的棒形狀，伴隨第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)以豎直方向為旋轉(zhuǎn)軸方向進行旋轉(zhuǎn)。第一轉(zhuǎn)換器143c用于將第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為第二旋轉(zhuǎn)部件143b的旋轉(zhuǎn)力，如圖2所示，可以通過錐齒輪結(jié)構(gòu)等實現(xiàn)。當(dāng)然，第一轉(zhuǎn)換器143c可以構(gòu)成為一部分構(gòu)件(例如，一側(cè)齒輪)結(jié)合于第一旋轉(zhuǎn)部件143a，另一部分構(gòu)件(例如，另一側(cè)齒輪)結(jié)合于第二旋轉(zhuǎn)部件143b的形態(tài)。第二轉(zhuǎn)換器143d用于將第二旋轉(zhuǎn)部件143b的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為傳遞部件143e和保持板141的進退力，如圖3所示，可以由齒條和小齒輪結(jié)構(gòu)等實現(xiàn)。在此，同樣地，第二轉(zhuǎn)換器143d可以構(gòu)成為一部分構(gòu)件(例如，小齒輪)結(jié)合于第二旋轉(zhuǎn)部件143b，另一部分構(gòu)件(例如，齒條)結(jié)合于傳遞部件143e的形態(tài)。傳遞部件143e用于將通過第二轉(zhuǎn)換器143d轉(zhuǎn)換為進退力的移動力傳遞到保持板141，其一側(cè)結(jié)合于保持板141，另一側(cè)結(jié)合于第二轉(zhuǎn)換器143d。并且，第一轉(zhuǎn)換器143c和第二旋轉(zhuǎn)部件143b在水平方向上相互分開而成對設(shè)置，第二轉(zhuǎn)換器143d和傳遞部件143e在每一個第二旋轉(zhuǎn)部件143b上沿豎直方向相互分開而分別設(shè)有兩個。當(dāng)然，根據(jù)實施的需要，第二轉(zhuǎn)換器143d和傳遞部件143e可以在每一個第二旋轉(zhuǎn)部件143b上設(shè)置三個以上。第二驅(qū)動源144用于提供保持板141的保持動作所需的驅(qū)動力，可以由氣缸或電機等實現(xiàn)。在本實施例中，通過如下的裝卸結(jié)構(gòu)保持保持板或解除對保持板的保持，即，第二驅(qū)動源144使保持板141升降，保持板141的保持凸起141b隨著保持板141的升降動作而插入或脫離測試板的保持槽。接著，說明如上所述的接觸裝置140的動作。首先，如圖4a所示，當(dāng)裝載有半導(dǎo)體元件的測試板TB位于板收容腔室內(nèi)時，第二驅(qū)動源144工作而提升保持板141。隨之，保持板141上升，多個保持凸起141b將會插入到測試板TB的保持槽S中，如圖4b所示。然后，第一驅(qū)動源142工作，將測試板TB移向測試基板120一側(cè)，使測試板TB可以與測試基板120電連接，如圖4c所示。并且，可以按照與上述動作順序相反的順序解除測試板TB與測試基板120的電連接。<關(guān)于老化測試設(shè)備的說明>圖5為概略示出應(yīng)用了圖1的接觸裝置140的本發(fā)明的一個實施例的老化測試設(shè)備100的結(jié)構(gòu)圖。如圖5所示，本實施例所提供的老化測試設(shè)備100包含板收容腔室110(與背景技術(shù)中說明的老化腔室相同)、測試基板120、基板收容腔室130以及前述的圖1的接觸裝置140等。板收容腔室110用于收容測試板TB。測試基板120用于測試被裝載于板收容腔室110中所收容的測試板TB上的半導(dǎo)體元件。基板收容腔室130用于收容多個測試基板120。并且，接觸裝置140用于使收容于板收容腔室110中的多個測試板TB接觸收容于基板收容腔室130中的測試基板120，從而最終使多個半導(dǎo)體元件電連接于測試基板120。當(dāng)然，本實施例的老化測試設(shè)備100中最好應(yīng)用如前述的圖1的結(jié)構(gòu)的接觸裝置140。如上所述，雖然通過參照附圖的實施例進行了對本發(fā)明的具體說明，但上述的實施例僅僅是對本發(fā)明的優(yōu)選實施例的描述，因此應(yīng)該知道，本發(fā)明并不局限于上述實施例，本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)該由后述的權(quán)利要求書及其等同概念來確定。