本發(fā)明涉及元件檢測裝置，更詳細地說是涉及檢測對元件的電氣特性的元件檢測裝置。

背景技術(shù)：
半導體元件(以下，稱之為“元件”)在完成封裝工序后，會通過半導體元件檢測裝置來進行電氣特性、對于熱或壓力的可靠性檢測等多種檢測。對于元件的檢測，會根據(jù)記憶元件；以及如CPU(CentralProcessingUnit)、GPU(GraphicProcessingUnit)等的非記憶元件；LED元件；光電元件等元件的種類來進行在室溫環(huán)境下執(zhí)行的室溫檢測、在高溫環(huán)境下執(zhí)行的加熱檢測等多種檢測。另一方面，隨著智能手機、智能平板電腦、智能TV等IT元件的種類變得多種多樣且大眾化，如CPU等的非記憶元件，即，LSI(LargeScaleIntegration，大規(guī)模集成電路)的需求正在劇增。但是，LSI因為其小量多品種的特性，相比于標準化的記憶元件的檢測裝置，因為檢測數(shù)量小而存在著很難使用昂貴的檢測裝置的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
(要解決的技術(shù)問題)本發(fā)明是為了解決如上所述的以往技術(shù)問題而提出的，其目的在于提供元件檢測裝置，可以快速地對小量多品種的LSI元件執(zhí)行檢測，并且可以檢測多種種類的LSI元件。此外，本發(fā)明的另一目的在于提供元件檢測裝置，可以準確地執(zhí)行用于選取元件來向測試插口加壓的元件加壓工具的水平方向的移動及垂直方向的移動。此外，本發(fā)明的又另一目的在于提供元件檢測裝置，其構(gòu)成容易進行部件的維護，從而縮減維護費用來顯著地縮減元件的生產(chǎn)成本。此外，本發(fā)明的又另一目的在于提供元件檢測裝置，可以準確地設(shè)定及確認用于選取元件來向測試插口加壓的元件加壓工具的加壓位置。(解決問題的手段)為了達成如上所述目的，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載裝載多個元件的一個以上的托盤；加載緩沖部，通過加載移送工具接收從所述加載部的托盤傳達的元件并進行臨時裝載；測試部，接收從所述加載緩沖部傳達的元件來執(zhí)行測試；卸載緩沖部，以所述測試部為中心，設(shè)置于與所述加載緩沖部對向的位置，來接收通過所述測試部完成測試的元件；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，通過卸載移送工具對裝載于所述卸載緩沖部的元件進行分類裝載；一個以上的元件加壓工具，在所述加載部、所述測試部及所述卸載部之間來用于移送元件。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載裝載多個元件的一個以上的托盤；測試部，包括多個測試插口，用于接收從所述加載部傳達的元件來對各個元件進行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；一個以上的移送工具，在所述加載部、所述測試部及所述卸載部之間移送元件，所述移送工具包括多個選取器，分別在末端結(jié)合有吸附板，所述移送工具中至少有一個的移送工具包括吸附板替換部，自動替換分別結(jié)合在所述選取器上的所述吸附板。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載裝載多個元件的一個以上的托盤；測試部，包括多個測試插口，用于接收從所述加載部傳達的元件來對各個元件進行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；一個以上的移送工具，在所述加載部、所述測試部及所述卸載部之間移送元件，還可以包括清潔部，設(shè)置于所述測試部的一側(cè)，用于通過移動來在覆蓋所述測試插口的狀態(tài)下噴射空氣來去除所述測試插口中的異物。此外，根據(jù)本發(fā)明的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載多個元件；測試部，具備用于對從所述加載部移送過來的元件執(zhí)行測試的多個測試插口；卸載部，根據(jù)測試結(jié)果來對在所述測試部完成測試的元件進行分類；一個以上的接送部，將從所述加載部傳達的元件移送向所述測試部側(cè)，并將從所述測試部傳達的元件移送向所述卸載部側(cè)，所述接送部，可以包括：接送板，用于搭載所述元件；板固定部，所述接送板可拆裝卸地結(jié)合于此；板裝卸部，設(shè)置于所述板固定部，來將所述接送板固定于所述板固定部。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載裝載多個元件的一個以上的托盤；測試部，包括多個測試插口，用于接收從所述加載部傳達的元件來對各個元件進行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；一個以上的移送工具，在所述加載部、所述測試部及所述卸載部之間移送元件，所述移送工具包括一對元件加壓工具，將元件從所述加載部傳達到所述測試部或?qū)⒃乃鰷y試部傳達到所述卸載部，所述元件加壓工具可以包括：支持部，可移動地進行設(shè)置；一個以上的選取模塊，可裝卸地結(jié)合于所述支持部，并結(jié)合有一個以上的選取器。根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載多個元件；測試部，具備多個測試插口，用于對從所述加載部移送過來的元件執(zhí)行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；元件加壓部，選取所述元件來向所述測試插口加壓，所述元件加壓部可以包括：一個以上的元件加壓工具，選取所述元件并通過線性移動來講所述元件移動到加壓位置來向所述測試插口加壓；水平移動裝置，與所述元件加壓工具連接來將所述元件加壓工具移動向所述測試插口；第一垂直移動裝置，根據(jù)所述凸輪部件，將所述元件加壓工具垂直移動向加壓位置。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載多個元件；測試部，具備多個測試插口，用于對從所述加載部移送過來的元件執(zhí)行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；一個以上的接送部，將從所述加載部傳達的元件移送向所述測試部側(cè)，并將從所述測試部傳達的元件移送向所述卸載部側(cè)；一個以上的加載移送工具，在所述加載部中選取元件來傳達向所述接送部；一個以上的卸載移送工具，在所述接送部中選取元件來傳達向所述卸載部；一個以上的元件加壓工具，在所述接送部中選取元件來向所述測試插口加壓，并將通過想所述測試插口加壓來完成測試的元件傳達向所述接送部，所述元件加壓工具包括：支持部，可移動地進行設(shè)置；一個以上的選取模塊，可裝卸地結(jié)合于所述支持部，并結(jié)合有一個以上的選取器，所述支持部及所述選取模塊的一側(cè)可以具備有緊固所述支持部及所述選取模塊的緊固單元，所述支持部及所述選取模塊的另一側(cè)，在所述支持部上可以具備有支持所述選取模塊的支持單元。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載多個元件；測試部，具備多個測試插口，用于對從所述加載部移送過來的元件執(zhí)行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；一個以上的元件加壓工具，具備選取所述元件的選取器，選取所述元件來向所述測試插口加壓，所述元件加壓工具可以具備加熱部，根據(jù)所述選取器來對選取的所述元件進行加熱。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部，加載多個元件；測試部，具備多個測試插口，用于對從所述加載部移送過來的元件執(zhí)行測試；卸載部，根據(jù)所述測試部的測試結(jié)果，對完成測試的元件進行分類裝載；元件加壓部，包括一個以上的元件加壓工具及第一垂直移動裝置，所述元件加壓工具選取所述元件并通過線性移動來講所述元件移動到加壓位置來向所述測試插口加壓，所述第一垂直移動裝置通過凸輪部件將所述元件加壓工具線性移動到加壓位置；第二垂直移動裝置，使所述元件加壓部對于所述測試部進行線性移動；控制部，通過所述第二垂直移動裝置來使所述元件加壓工具與所述測試部接觸時，檢測通過所述第二垂直移動裝置向所述測試部施加的負載，并將檢測到的負載達到已設(shè)定的基準負載時的所述元件加壓工具的位置決定為加壓位置。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，具有可以快速對少量多品種的LSI元件執(zhí)行檢測并可以對多種種類的LSI元件進行檢測的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，用于沿垂直方向移動，選取元件來向測試插口加壓的元件加壓工具的第一垂直移動裝置包括了凸輪部件，通過凸輪部件的旋轉(zhuǎn)來使元件加壓工具沿垂直方向移動，從而具有可以準確地設(shè)定元件加壓工具的垂直方向上的移動位置的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，構(gòu)成為容易進行裝置的維護，從而具有通過縮減裝置的維護費用來顯著地縮減元件的生產(chǎn)成本的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，選取元件來向測試插口加壓的元件加壓工具通過具備，可移動地進行設(shè)置的支持部與可裝卸地結(jié)合于所述支持部并結(jié)合有一個以上的選取器的一個以上的選取模塊，從而具有元件加壓工具容易維護的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，通過設(shè)置加熱器及用于對所述溫度傳感器進行電源供給及信號傳達的一個以上的第一連接器，從而在構(gòu)成元件加壓工具的支持部及選取模塊結(jié)合時，自動與設(shè)置于支持部的第二連接器連接，由此具有無需用于電源供給及信號傳達的另外的連接工序來使裝置的制造機維護變得容易的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，用于測試部與加載緩沖部之間的元件替換或用于測試部與卸載部之間的元件替換的接送板構(gòu)成為，可以通過板裝卸部的簡單的動作來在板固定部進行裝卸，從而具有在作為檢測對象的元件的種類，特別是元件的大小變化時，可以容易替換安置元件的接送板的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，通過在選取元件來向測試插口加壓的元件加壓工具的選取器上具備加熱部來對選取的元件進行加熱，從而不僅可以對元件進行迅速地加熱而且可以使得元件的溫度下降最小化，從而具有可以準確地執(zhí)行元件檢測的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，相比于為了替換吸附板而停止裝置的運行來進行手工作業(yè)的替換后再重新啟動裝置的以往技術(shù)，因為附加具備了可以從選取器自動替換吸附板的吸附板替換部，從而具有可以大大提升裝備生產(chǎn)性的優(yōu)點。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，通過追加包括清潔部，設(shè)置于測試部的一側(cè)，用于通過移動來在覆蓋所述測試插口的狀態(tài)下噴射空氣來在所述測試插口中去除異物，從而防止測試插口中存在異物導致發(fā)生測試錯誤或無法進行測試工作，從而具有大大提升裝置性能的優(yōu)點。附圖說明圖1是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明的元件檢測裝置的平面圖。圖2是示意性地圖示圖1的元件檢查裝置中的加載緩沖部及卸載緩沖部的板部件的一例的平面圖。圖3是示意性地圖示圖1的元件檢查裝置中的第一接送部及第二接送部的剖視圖。圖4是示意性地圖示圖3的第一接送部及第二接送部中，將接送板固定于板固定部的盤裝卸部的立體圖。圖5及圖6是為了說明板裝卸部的動作的概略圖。圖7是示意性地圖示圖1的元件檢測裝置的清潔部的剖視圖。圖8是示意性地圖示圖1的元件檢測裝置的清潔部的平面圖。圖9是示意性地圖示具備于圖1的元件檢測裝置的元件加壓工具的剖視圖。圖10是表示具備于圖9的元件加壓工具的選取器的分解立體圖。圖11是圖示圖9的元件加壓工具的支持部的立體圖。圖12是圖示圖9的元件加壓工具的選取模塊的立體圖。圖13是為了說明圖1的元件加壓工具中，在支持部上結(jié)合選取模塊的動作的剖視圖。圖14是圖示具備于圖1的元件檢測裝置的元件加壓工具的另一例的剖視圖。圖15是表示擴大圖14的元件加壓工具的局部剖視圖。圖16及圖17是圖示用于沿水平方向及垂直方向移動具備于圖1的元件檢測裝置的元件加壓工具的水平移動裝置及第一垂直移動裝置的概略圖。圖18是示意性地圖示用于沿水平方向移動具備于圖1的元件檢測裝置的元件加壓工具的水平移動裝置的橫截面圖。圖19是示意性地圖示用于沿垂直方向移動具備于圖1的元件檢測裝置的元件加壓工具的第一垂直移動裝置的縱截面圖。圖20是圖示圖1的元件檢測裝置中，用于設(shè)定元件加壓工具的加壓位置的結(jié)構(gòu)的概略圖。圖21是表示擴大圖20的結(jié)構(gòu)中的局部剖視圖。圖22是圖示用于自動替換選取器的吸附板的吸附板替換部的立體圖，所述選取器的吸附板設(shè)置于圖1的元件檢測裝置具備的加載移送工具、卸載移送工具或元件加壓工具上。圖23至圖25是圖示自動替換選取器的吸附板的過程的吸附板替換部的局部剖視圖，所述選取器的吸附板設(shè)置于圖1的元件檢測裝置具備的加載移送工具、卸載移送工具或元件加壓工具上。圖26至圖27是圖示自動替換選取器的吸附板的過程的吸附板替換部的局部平面圖，所述選取器的吸附板設(shè)置于圖1的元件檢測裝置具備的加載移送工具、卸載移送工具或元件加壓工具上。(附圖標記說明)1：元件310：測試插口610：第一接送部620：第二接送部611、621：導軌612、622：接送板613、623板固定部614、624：板裝卸部801：水平移動裝置802：第一垂直移動裝置805：第二垂直移動裝置807：控制部830、840：元件加壓工具830b、840b：連接部件830g、840g：凸輪部件833、843：支持部834、844：選取模塊850：緊固單元860：第一支持單元870：第二支持單元880：位置決定單元889：感應(yīng)傳感器891：結(jié)合部件892：吸附板893：導向部件894：噴射口895：加熱氣體流路896：加熱氣體供給器具體實施方式下面參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的一實施例的元件檢測裝置進行說明。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：加載部100，加載多個元件1；測試部300，對從加載部100傳達的元件1進行測試；卸載部500，根據(jù)測試部300的測試結(jié)果，對元件1進行分類裝載。測試的對象元件1可以為，記憶半導體或如CPU(CentralProcessingUnit)、GPU(GraphicProcessingUnit)、系統(tǒng)LIS(LargeScaleIntegration)等的非記憶元件。元件1可以為非記憶元件，特別是，底面形成有球形狀的接觸端子的元件。在加載部100、測試部300及卸載部500之間移送元件1的方法，可以通過多種方法來執(zhí)行。加載部100及卸載部500，作為加載裝載多個元件1的一個以上的托盤2的結(jié)構(gòu)，根據(jù)設(shè)計可以為多種結(jié)構(gòu)。加載部100及卸載部500上可以設(shè)置托盤裝載部(未圖示)，來裝載多個托盤2。例如，加載部100上會適當?shù)匕仓枚鄠€托盤2，來將元件1連續(xù)性地選取來進行移送。此外，未裝載元件1的托盤2可與裝載元件1的托盤2進行交替。例如，可以將一定批量的托盤2自動或手動加載到托盤裝載部。加載部100內(nèi)，引出元件1后的空托盤2，可以通過托盤傳達部(未圖示)移送到卸載部500。此外，空托盤2在移送到卸載部500之前，托盤2可以在托盤反轉(zhuǎn)部(未圖示)進行旋轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))，來去除尚未從托盤2引出的元件1。另一方面，卸載部500，結(jié)構(gòu)可以與加載部100類似。例如，卸載部500中，可以將多個空托盤2根據(jù)分類等級來進行適當?shù)匕仓?，從而使元?根據(jù)測試結(jié)果來進行連續(xù)性地分類裝載。卸載部500中，裝載測試完畢的元件1的托盤2可以與空托盤2交替。此外，加載部100與卸載部500之間，可以追加設(shè)置臨時裝載空托盤2的托盤緩沖部(未圖示)，來臨時裝載空托盤2。托盤2上形成有多個收容槽2a，來裝載多個元件1。例如，多個收容槽2a可以在托盤2中形成為8×16的行列。如圖1及圖2所示，加載部100與測試部300之間可以設(shè)置用于臨時裝載從加載部100的托盤2傳達的元件1的加載緩沖部200，來增加元件1的移送速度或?qū)Χ鄠€元件1進行充分地加熱。此外，測試部300與卸載部500之間可以具備用于臨時裝載通過測試部300測試完成的元件1的卸載緩沖部400，來增加元件1的移送速度。由此，作為測試對象的元件1，可以從加載部100移送到加載緩沖部200進行臨時裝載后移送到測試部300，測試完畢的元件1，可以從測試部300移送到卸載緩沖部400進行臨時裝載后移送到卸載部500。特別是，加載緩沖部200及卸載緩沖部400相比于裝載相對較小數(shù)量的元件1的托盤2，可以裝載相對較多數(shù)量的元件1。如圖2所示，加載部100及卸載部500，可以包括：板形狀的板部件210、410，上面形成有多個裝載槽211、411，來裝載多個元件1。加載緩沖部200及卸載緩沖部400的板部件210、410，具有相互幾乎相同的結(jié)構(gòu)。只是，測試元件1而需要進行加熱(預熱)時，加載緩沖部200的板部件210上會附加有如加熱器的加熱裝置。加載緩沖部200及卸載緩沖部400的板部件210、410的裝載槽211、411，可以對應(yīng)測試部300的測試插口310的間隔來進行排列，或?qū)?yīng)托盤2的收容槽2a的間隔來進行排列。例如，托盤2的收容槽2a的間隔與加載緩沖部200及卸載緩沖部400的板部件210、410的裝載槽211、411的間隔相同，且測試部300的測試插口310的檢測會以托盤2收容槽2a的間隔的n倍，例如，2倍來形成。板部件210、410，作為用于臨時裝載元件1來與測試部300進行元件交替的結(jié)構(gòu)，可以在元件檢測裝置的內(nèi)部以固定的狀態(tài)進行設(shè)置或可移動地進行設(shè)置等多種結(jié)構(gòu)。如圖1所示，測試部300，用于對從加載緩沖部200傳達的元件1進行測試，根據(jù)測試的種類可以為多種結(jié)構(gòu)。測試部300上設(shè)置有被元件1加壓的多個測試插口310。例如，多個測試插口310具備有與電源連接的端子，通過元件1加壓到端子的過程，執(zhí)行對元件1的通電測試。測試插口310可以以8×2、8×4等多種行列來進行安置。測試插口310，作為連接元件1與端子之間來進行元件1的測試結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)。這種測試插口310，可以根據(jù)元件的種類、測試種類等來進行替換。另一方面，測試部300，可以為測試插口310與剩下的結(jié)構(gòu)模塊化的獨立結(jié)構(gòu)，作為簡單的結(jié)構(gòu)可以由設(shè)置測試插口310的PCB板實現(xiàn)。特別是，測試部300，由設(shè)置測試插口310的PCB板實現(xiàn)時，可以將測試插口310按照各個測試來進行特性化從而可以顯著地縮減相對昂貴的測試部300的結(jié)構(gòu)費用。另一方面，在測試部300可以執(zhí)行多種測試。更優(yōu)選為，測試部300構(gòu)成為可以在室溫以上的溫度下對元件1進行測試的結(jié)構(gòu)。測試部300，在進行高溫測試等與溫度相關(guān)的測試時，可以在其周邊設(shè)置室部件，來包裹包括測試插口310的一部分區(qū)域，來最小化溫度變化。另一方面，測試部300與加載緩沖部200之間或測試部300與卸載緩沖部400之間的元件交換，相比于直接進行，而是通過接送部610、620，將從加載緩沖部200傳達的元件1移送到測試部300側(cè)，將從測試部300傳達的元件1移動到卸載緩沖部400側(cè)。接送部610、620是用于進行測試部300與加載緩沖部200之間的元件交換或測試部300與卸載緩沖部400之間的元件交換的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)。例如，如圖1及圖3所示，接送部610、620，可以包括：第一接送部610，在用于接收加載部100傳達的元件1的第一元件傳達位置、用于與測試部300進行元件1交換的元件交換位置及用于向卸載部500傳達元件1的第二元件傳達位置之間進行移動；第二接送部620，在用于接收加載部100傳達的元件1的第一元件傳達位置、用于與測試部300進行元件1交換的元件交換位置及用于向卸載部500傳達元件1的第二元件傳達位置之間進行移動。此處，第一元件傳達位置、元件交換位置及第二元件傳達位置，根據(jù)裝置的結(jié)構(gòu)可以進行多種多樣的安置，并且可以沿直線依次安置。第一接送部610及第二接送部620，在測試部300的測試插口310之間，安置于測試插口310的兩側(cè)。第一接送部610及第二接送部620，可以包括：導軌611、621，以測試部300為中心對向地進行設(shè)置；裝載元件1的一個以上的接送板612、622，沿導軌611、621進行水平移動，從而交替地移動于用于接收加載緩沖部200傳達的元件1的第一元件傳達位置、與測試部300的元件交換位置及用于向卸載緩沖部400傳達元件1的第二元件傳達位置之間；板固定部613、623，可裝卸地結(jié)合有接送板612、622，并設(shè)置為可沿導軌611、621進行移動。導軌611、621，作為用于引導接送板612、622移動的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)。接送板612、622，形成有一個以上的安置元件1的元件安置槽，來用于進行測試部300與加載緩沖部200之間的元件交換或測試部300與卸載緩沖部400之間的元件交換。板固定部613、623，為了接送板612、622的交替便利而設(shè)置的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)，且可以具備用于加熱元件1的加熱器等。接送板612、622，可裝卸地設(shè)置于板固定部613、623，因此在作為檢測對象的元件1的種類，特別是，元件1的大小不同時，可以交替安置元件1的接送板612、622。板固定部613、623，具備有板裝卸部614、624，將接送板612、622可裝卸地固定于板固定部613、623。板裝卸部614、624，作為用于在板固定部613、623裝卸接送板612、622的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)，可以構(gòu)成為通過簡單的手工作業(yè)來進行接送板612、622的裝卸。例如，如圖4至6所示，板裝卸部614、624，可以包括：支持體614a、624a，固定于板固定部613、623；固定體614b、624b，通過具備于支持體614a、624a的第一鉸鏈軸614c、624c可旋轉(zhuǎn)地進行連接，并根據(jù)旋轉(zhuǎn)選擇地固定接送板612,622；彈性體614d、624d，將所述固定體614b、624b彈性支持于第一鉸鏈軸614c、624c；加壓體614i、624i，與固定體614b、624b接觸，并且與固定體614b、624b的加壓面形成為曲面來對固定體614b、624b加壓；移動體614e、624e，與加壓體614i、624i連接，在支持體614a、624a的內(nèi)部設(shè)置為可沿上下方向(Z軸方向)進行移動；手柄614g、624g，可旋轉(zhuǎn)地連接于具備在移動體614e、624e的第二鉸鏈軸614f、624f；固定掛鉤614h、624h，設(shè)置于支持體614a、624a，掛于手柄614g、624g的端部并固定。固定體614b、624b形成為，大概以字母“L”字型彎曲的形狀，通過彎曲的部分接觸于接送板612、622的拐角來使接送板612、622固定于板固定部613、623。彈性體614d、624d，可以例舉使用扭簧。掛鉤614h、624h，優(yōu)選形成為，為根據(jù)作業(yè)者轉(zhuǎn)動的手柄614g、624g，來掛于手柄614g、624g的端部并固定或解除掛于手柄614g、624g的端部的狀態(tài)的程度。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，根據(jù)手柄614g、624g的變位而沿上下方向移動的移動體614e、624e，加壓體614i、624i會沿上下方向移動，由此，固定體614b、624b的姿勢會沿與固定體614b、624b接觸的加壓體614i、624i的加壓面的曲面形狀變更。固定體614b、624b的姿勢變更時，由于彈性體614d、624d的彈性力，固定體614b、624b的姿勢可以保持一定。此外，移動體614e、624e的沿上下方向的移動，可以根據(jù)以第二鉸鏈軸614f、624f為中心轉(zhuǎn)動的手柄614g、624g來執(zhí)行。另一方面，手柄614g、624g掛于固定掛鉤614h、624h時，手柄614g、624g的轉(zhuǎn)動會受限，由此，移動體614e、624e及加壓體614i、624i的沿上下方向的移動會受限，由此可以防止固定體614b、624b的姿勢的任意變更。如圖5所示，在接送板612、622根據(jù)固定體614b、624b固定的狀態(tài)下，將手柄614g、624g以第二鉸鏈軸614f、624f為中心向脫離固定掛鉤614h、624h的方向(圖5中的順時針方向)轉(zhuǎn)動時，彈性體614d、624d的彈性力會作用于加壓體614i、624i及移動體614e、624e，從而使加壓體614i、624i及移動體614e、624e向下側(cè)方向移動，并使接觸于固定體614b、624b的加壓體614i、624i的加壓面的位置變更，由此，固定體614b、624b會根據(jù)彈性體614d、624d的彈性力，以第一鉸鏈軸614c、624c為中心向從接送板612、622脫離的方向(圖5中的順時針方向)旋轉(zhuǎn)，從而如圖6所示，來解除接送板612、622的固定。另一發(fā)明面，如圖6所示，在接送板612、622的固定解除的狀態(tài)下，手柄614g、624g以第二鉸鏈軸614f、624f為中心向掛于固定掛鉤614h、624h的方向(圖6中的逆時針方向)轉(zhuǎn)動來固定于固定掛鉤614h、624h的過程中，加壓體614i、624i及移動體614e、624e會向上側(cè)方向移動，接觸于固定體614b、624b的加壓體614i、624i的加壓面的位置會變更，從而使固定體614b、624b會以第一鉸鏈軸614c、624c為中心向接觸接送板612、622的方向(圖6中的逆時針方向)轉(zhuǎn)動，由此，如圖5所示，接送板612、622可以根據(jù)固定體614b、624b進行固定。此外，接送板612、622根據(jù)固定體614b、624b固定的狀態(tài)下，彈性體614d、624d的彈性力會作用于固定體614b、624b，由此可以防止固定體614b、624b的任意轉(zhuǎn)動。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實施例，將接送板612、622可裝卸地固定于板固定部613、623的板裝卸部614、624構(gòu)成為，通過轉(zhuǎn)動手柄614g、624g的簡單的動作來執(zhí)行接送板612、622的固定及解除固定的結(jié)構(gòu)，由此可以具有可以非常簡單且容易地執(zhí)行612、622的固定及解除固定的動作的效果。另一方面，測試部300，有可能會因為測試插口310中流入異物等導致發(fā)生無法進行測試的狀況，這種情況下，以往存在著需要停止元件檢測裝置，并通過手工作業(yè)來去除異物后再啟動元件檢測裝置的繁雜的工序。因此，優(yōu)選為具備清潔部700，設(shè)置于測試部300的一側(cè)，用于通過移動來在覆蓋測試插口310的狀態(tài)下噴射空氣來去除測試插口310中的異物等。清潔部700可以具有多種結(jié)構(gòu)。例如，如圖7及圖8所示，清潔部700，可以包括：本體710，覆蓋測試插口310并在測試插口310的上部形成清潔空間；驅(qū)動部720，用于使本體710在測試部300的一側(cè)及測試插口310的上部之間進行移動。本體710作為，覆蓋測試插口310并在測試插口310的上部形成清潔空間的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)，可以具有碗形狀等多種形狀來形成密閉的清潔空間，并且可以設(shè)置有，空氣流路711，與空氣供給裝置(未圖示)連接來向各個測試插口310噴射空氣；及一個以上的噴嘴712，從空氣流路711接收傳達的空氣來向測試插口310噴射空氣。與此同時，本體710可以與排出管713連接，來使通過噴嘴712噴射的空氣與異物一同從清潔空間向外部排出。驅(qū)動部720作為，用于在測試部300的一側(cè)及測試插口310之間移動本體710的結(jié)構(gòu)，可以為液壓缸、氣壓缸等多種結(jié)構(gòu)。此處，第一接送部610及第二接送部620上具備導軌611、621時，清潔部700可以設(shè)置于第一接送部610及第二接送部620，驅(qū)動部720構(gòu)成為使本體710沿與導軌611、621平行的方向進行線性移動的結(jié)構(gòu)。另一方面，可以設(shè)置有一個以上的加載移送工具810、814，在加載部100與接送部610、620的之間進行移動并從加載部100選取元件1來傳達到接送部610、620。如上所述的情況下，可以構(gòu)成為，一個以上的加載移送工具810、814在加載部100與接送部610、620的之間進行移動來從加載部100選取元件1來傳達到接送部610、620的結(jié)構(gòu)。此外，如上所述，設(shè)置有加載緩沖部200的情況下，載移送工具810、814可以包括：第一加載移送工具810，從加載部100選取元件1來傳達到加載緩沖部200；第二加載移送工具814，從加載緩沖部200選取元件1來傳達到接送部610、620。此外，可以設(shè)置有一個以上的卸載移送工具820、824，在接送部610、620與卸載部500之間進行移動并從接送部610、620選取元件1來傳達到卸載部500。如上所述的情況下，可以構(gòu)成為，一個以上的卸載移送工具820、824在接送部610、620與卸載部500之間進行移動來從接送部610、620選取元件1來傳達到卸載部500的結(jié)構(gòu)。此外，如上所述，設(shè)置有卸載緩沖部400的情況下，卸載移送工具820、824可以包括：第一卸載移送工具820，從卸載緩沖部400選取元件1來傳到到卸載部500；第二卸載移送工具824，從接送部610、620選取元件1來傳達到卸載緩沖部400。加載移送工具810、814及卸載移送工具820、824可以構(gòu)成為相互相同或類似的結(jié)構(gòu)。加載移送工具810、814及卸載移送工具820、824分別作為移送元件1的結(jié)構(gòu)，可以包括：多個選取器，選取元件1；及驅(qū)動裝置，用于沿上下方向(Z方向)及水平方向(X-Y方向)等方向移動多個選取器。選取器，作為用于選取元件1來移送到指定位置的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)，可以由在元件1的上面形成真空壓的吸附板及向吸附板傳達氣壓的氣缸構(gòu)成。選取器，考慮到加載部100及卸載部500的托盤2的收容槽2a的間隔及加載緩沖部200與卸載緩沖部400的板部件210、410的裝載槽211、411的間隔相互不同的情況，可以構(gòu)成為可調(diào)節(jié)橫豎間隔的結(jié)構(gòu)，也可以固定橫豎間隔來可以使更多數(shù)量的半導體元件1進行移送。移動多個選取器的驅(qū)動裝置，根據(jù)選取器的驅(qū)動方案可以為多種結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)可以包括：上下移動裝置，用于上下移動選取器；及左右移動裝置，用于左右移動選取器。上下移動裝置可以為使所有選取器共同地進行上下移動的結(jié)構(gòu)，或與各個選取器個別性地進行連接來使各個選取器獨立地進行上下移動。左右移動裝置，根據(jù)選取器的移動方案，可以為多種結(jié)構(gòu)，可以為沿X方向或Y方向的單一方向移動的結(jié)構(gòu)或可沿X-Y方向移動的結(jié)構(gòu)。另一方面，可以設(shè)置有元件加壓工具830、840，在測試部300與接送部610、620之間進行移動，并從接送部610、620選取元件1來加壓向測試插口310，并將在測試插口310進行加壓來完成測試的元件傳達向接送部610、620。元件加壓工具830、840作為，用于在測試部300與第一接送部610之間及測試部300與第二接送部620之間移送元件的結(jié)構(gòu)，根據(jù)元件1的移送方案，可以為多種結(jié)構(gòu)。元件加壓工具830、840，可以包括：第一元件加壓工具830，在第一接送部610與測試部300之間進行移動來從第一接送部610選取元件并加壓向測試插口310，并將在測試插口310進行加壓來完成測試的元件傳達向第一接送部；第二元件加壓工具840，在第二接送部620與測試部300之間進行移動來從第二接送部620選取元件1并加壓向測試插口310，并將在測試插口310進行加壓來完成測試的元件傳達向第二接送部620。如上所述，在元件加壓工具830、840構(gòu)成為一對時，為了元件交換的便利，一對元件加壓工具830、840可以相互聯(lián)動地進行移動。例如，如圖9至圖15所示，元件加壓工具830、840，可以具有與加載移送工具810、814及卸載移送工具820、824相互相同或類似的結(jié)構(gòu)。元件加壓工具830、840，可以包括選取元件1的多個選取器831、841。另一方面，為了容易執(zhí)行板部件210、410與測試部300之間的元件交換，板部件210、410的裝載槽211、411之間的間隔可以形成為元件加壓工具830、840的選取器831、841的間隔的1/n，例如形成為1/2。此處，n為2以上的自然數(shù)。特別是，卸載緩沖部400的板部件210、410的裝載槽211、411安置為16×8，測試部300的測試插口310安置為8×4時，元件加壓工具830、840，會包括以對應(yīng)于測試部300的測試插口310的間隔安置為8×4的選取器831、841，從而可以一次性移送8×4的元件1。特別是，為了可以移送更多數(shù)量的半導體元件1，第一加載移送工具810的選取器安置為8×4(8×2)時，元件加壓工具830、840的選取器831、841可以安置為8×4(8×2)。此外，元件加壓工具830、840，通過在卸載緩沖部400的板部件210、410的裝載槽211、411中，使元件1間隔一格地進行導出或裝載，從而無需進行選取器831、841間的間隔調(diào)節(jié)，從而可以使元件移送更加快捷。另一方面，元件加壓工具830、840有必要根據(jù)元件1的種類、大小等來進行選取器831、841的替換。因此，如圖9至圖15所示，元件加壓工具830、840，可以包括：支持部833、843，可移動地設(shè)置在元件檢測裝置的內(nèi)部；一個以上的選取模塊834、844，可裝卸地結(jié)合于支持部833、843，并結(jié)合有一個以上的選取器831、841。支持部833、843，只要是可以支持選取模塊834、844的結(jié)構(gòu)，可以為任何結(jié)構(gòu)。支持部833、843上可以具備有下側(cè)面為平面的第一支持板833a、843b，來使選取模塊834、844可裝卸地進行固定。選取模塊834、844，可以包括：第二支持板835、845，具有上側(cè)面，密著于第一支持板833a、843b的下側(cè)面；阻尼器839、849，結(jié)合于第二支持板835、845；加熱模塊838、848，結(jié)合于阻尼器839、849；選取器支持模塊836、846，結(jié)合于加熱模塊838、848；選取器831、841，固定于選取器支持模塊836、846。如圖10所示，選取器831、841可以由，固定于選取器支持模塊836、846的中空的結(jié)合部件891與可裝卸地結(jié)合于結(jié)合部件891的端部的中空的吸附板892構(gòu)成。吸附板892可以形成比結(jié)合部件891的外周面更凸出的凸出部892a。結(jié)合部件891，可以通過引導部件893可裝卸地固定于選取器支持模塊836、846。這種選取器831、841，在結(jié)合部件891與吸附板892結(jié)合的狀態(tài)下具備于選取模塊834、844。吸附板892，通過結(jié)合部件891來與吸入流路899連接。吸附板892，可以由橡膠、合成樹脂等的柔韌性材質(zhì)構(gòu)成。阻尼器839、849，在元件1加壓向測試插口310的過程中，起到調(diào)節(jié)元件1對測試插口310的接觸力的作用的同時，起到緩沖向選取模塊834、844施加的力的作用。例如，阻尼器839、849，可以包括：室839d、849d，內(nèi)部形成一定的空間，并形成有與空間聯(lián)通的氣壓通路839c、849c；彈性膜839a、849a，安置于室839d、849d的內(nèi)部；加壓部件839b、849b，通過加熱模塊838、848與選取器831、841連接，來對彈性膜839a、849a加壓。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，通過氣壓通路839c、849c向室839d、849d的內(nèi)部空間作用氣壓時，彈性膜839a、849a會彈性變形來對加壓部件839b、849b作用規(guī)定的壓力。由此，根據(jù)作用于室839d、849d的內(nèi)部的氣壓與彈性膜839a、849a的彈性而使元件1加壓向測試插口310時，決定元件1對于測試插口310的接觸力。此外，根據(jù)作用于室839d、849d的內(nèi)部的氣壓與彈性膜839a、849a的彈性，在通過作用于加壓部件839b、849b的壓力而使元件1加壓向測試插口310過程中，對施加到選取模塊834、844力進行緩沖。另一方面，元件加壓工具830、840上具備多個選取模塊834、844時，作用于室839d、849d的內(nèi)部空間的氣壓，可以根據(jù)多個選取模塊834、844來調(diào)節(jié)為相互不同。即，利用多個選取模塊834、844來將多個元件1加壓向多個測試插口310的過程中，多數(shù)個元件1需要以均勻的接觸力加壓到多個測試插口310，才能同時對多個元件1執(zhí)行均勻的測試。但是，多個選取模塊834、844的規(guī)格，即，例如，選取器831、841的位置、彈性膜839a、849a的彈性力、組裝公差、部件的老化程度等無法肯定一致，因此多個元件1有可能會不均勻地加壓向測試插口310。因此，根據(jù)多個選取模塊834、844來對作用于室839d、849d的內(nèi)部空間的氣壓進行個別性地調(diào)節(jié)，根據(jù)多個選取模塊834、844的規(guī)格來對氣壓進行個別性地調(diào)節(jié)，由此可以使多個元件1以均勻的接觸力加壓到多個測試插口310。另一方面，考慮到選取模塊834、844上設(shè)置通過氣壓而運行的阻尼器839、849，支持部833、843及選取模塊834、844上可以形成有氣壓連接通路833b、843b、835b、845b，與阻尼器839、849的氣壓通路839c、849c連接。這種氣壓連接通路833b、843b、835b、845b，可以包括：第一氣壓連接通路833b、843b，形成于支持部833、843的第一板833a、843a，與外部的氣壓發(fā)生源(未圖示)連接；第二氣壓連接通路835b、845b，形成于選取模塊834、844的第二板835、845，來使第一氣壓連接通路833b、843b與阻尼器839、849的氣壓通路839c、849c聯(lián)通。由此，無需使氣壓發(fā)生源與阻尼器839、849的氣壓通路839c、849c連接的額外作業(yè)即可通過選取模塊834、844結(jié)合于支持部833、843，使阻尼器839、849的氣壓通路839c、849c自動連接。選取器支持模塊836、846作為支持選取器831、841的部分，可以形成有吸入流路899，來與選取器831、841的吸附板892聯(lián)通。吸入流路899，與真空壓發(fā)生源(未圖示)連接來起到吸入空氣的通路的功能，根據(jù)通過吸入流路899吸入空氣，吸附板892上可以形成有負壓，通過這種負壓元件1會吸附于吸附板892。這種吸入流路899可以形成于選取模塊834、844的內(nèi)部，但是本發(fā)明并不限定于此，吸入流路899可以由與吸附板892連接的獨立的管來構(gòu)成。另一方面，考慮到選取模塊834、844上設(shè)置有選取器支持模塊836、846，具有與吸附板892聯(lián)通的吸入流路899，支持部833、843及選取模塊834、844上可以形成有真空壓連接通路833c、843c、835c、845c，通過吸入流路899與管等來進行連接。這種真空壓連接通路833c、843c、835c、845c，可以包括：第一真空壓連接通路833c、843c，形成于支持部833、843的第一板833a、843a，與外部的真空壓發(fā)生源(未圖示)連接；第二真空壓連接通路835c、845c，形成于選取模塊834、844的第二板835、845，來與第一真空壓連接通路833c、843c聯(lián)通。由此，無需使真空壓發(fā)生源與吸入流路899連接的額外作業(yè)即可通過選取模塊834、844結(jié)合于支持部833、843，使真空壓發(fā)生源與吸入流路899自動連接。阻尼器839、849與選取器支持模塊836、846之間可以設(shè)置有，作為用于加熱元件1的加熱部的加熱模塊838、848，從而使測試部300在一定溫度下對元件1執(zhí)行測試。加熱模塊838、848上可以設(shè)置有加熱器838a、848a。元件加壓工具830、840上具備多個選取模塊834、844時，多個加熱器838a、848a可以分別具備于多個選取模塊834、844。如上所述的情況下，多個加熱器838a、848a可以根據(jù)多個選取模塊834、844進行獨立的控制。如上所述，選取模塊834、844上還可以具備溫度傳感器838b、848b，與加熱器838a、848a連接來直接感應(yīng)加熱器838a、848a的溫度或與連接在加熱器838a、848a連接的其他物體連接來間接感應(yīng)加熱器838a、848a的溫度。多個加熱器838a、848a分別具備于多個選取模塊834、844時，多個溫度傳感器838b、848b可以分別具備于多個選取模塊834、844。多個溫度傳感器838b、848b，感應(yīng)多個加熱器838a、848a的溫度，根據(jù)通過多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)的結(jié)果，來控制多個加熱器838a、848a的溫度。如上所述，各個選取模塊834、844都具備加熱器838a、848a及溫度傳感器838b、848b，根據(jù)通過多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)的結(jié)果，可以獨立地控制加熱器838a、848a的溫度，由此可以根據(jù)由元件加壓工具830、840選取的多個元件1的特性，獨立調(diào)節(jié)溫度來更加準確地執(zhí)行對于元件1的測試。此時，考慮到選取模塊834、844上會設(shè)置有加熱器838a、848a或溫度傳感器838b、848b，支持部833、843的第一板833a、843a及選取模塊834、844的第二板835、845可以由隔熱材質(zhì)構(gòu)成。此外，加熱模塊838、848與阻尼器839、849之間及阻尼器839、849與第二板835、845之間可以設(shè)置有隔熱部件(未圖示)。此外，選取模塊834、844上可以設(shè)置有一個以上的第一連接器91，用于對加熱器838a、848a或溫度傳感器838b、848b供給電源或傳達信號。此外，所述支持部833、843上可以設(shè)置有第二連接器92，在與選取模塊834、844結(jié)合時，通過與第一連接器91結(jié)合來對加熱器838a、848a或溫度傳感器838b、848b供給電源及傳達信號。第一連接器91的端子與第二連接器92的端子，可以通過相互插入的方式等來進行相互電氣連接等，可以為多種結(jié)構(gòu)。根據(jù)如上所述的第一連接器91及第二連接器92的結(jié)構(gòu)，可以無需額外的連接作業(yè)，即可通過選取模塊834、844及支持部833、843的結(jié)合來對加熱器838a、848a或溫度傳感器838b、848b供給電源及傳達信號。即，第一連接器91及第二連接器92，在選取模塊834、844及支持部833、843的結(jié)合時，設(shè)置于相互接觸的部分，從而在選取模塊834、844及支持部833、843相互結(jié)合時自動連接。另一方面，用于加熱元件1的加熱部的其他例子，如圖14及圖15所示，元件加壓工具830、840上，可以具備有加熱氣體噴射單元，向選取到選取器831、841上的元件1噴射加熱氣體。通過加熱氣體噴射單元，元件1可以由向元件1噴射的加熱氣體來進行加熱，由此，可以對元件1執(zhí)行高溫測試。元件加壓工具830、840上具備多個選取模塊834、844時，多個加熱氣體噴射單元可以分別具備于多個選取模塊834、844。如上所述的情況下，通過多個加熱氣體噴射單元噴射的加熱氣體的溫度，可以根據(jù)多個選取模塊834、844來進行獨立的控制。加熱氣體噴射單元，可以包括：導軌部件893，安置于吸附板892的外周，與吸附板892一同形成有噴射加熱氣體的噴射口894；加熱氣體流路895，與加熱氣體供給器896連接，所述加熱氣體供給器與噴射口894聯(lián)通來供給加熱氣體。加熱氣體流路895可以形成于加熱模塊838、848的內(nèi)部。加熱噴射口894的形狀可以形成為，將通過噴射口894噴射的加熱氣體向吸附于吸附板892的元件1噴射的多種形狀。吸附板892的外周為了形成噴射口894，導軌部件893，在沿吸附板892的外周面相隔一定間隔的狀態(tài)下，結(jié)合于選取器支持模塊836、846來包裹吸附板892的外周。噴射口894，通過加熱氣體流路895來與加熱氣體供給器896連接。加熱氣體流路895可以形成于選取模塊834、844的內(nèi)部，但是本發(fā)明并不限定于此，加熱氣體流路895可以由與吸附板892連接的獨立的管構(gòu)成。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，元件加壓工具830、840的選取器831、841的吸附板892在吸附于元件1的狀態(tài)下，根據(jù)加熱氣體供給器896的運行，從形成于吸附板892的外周的噴射口894噴射加熱氣體，噴射的加熱氣體沖撞向吸附于吸附板892的元件1上來使元件1加熱。如上所述，元件1的加熱是通過加熱氣體來直接執(zhí)行，因此與在選取模塊834、844上利用加熱器838a、848a來對元件1加熱的情況相比，用于加熱元件1的熱傳達效率增加，從而不僅可以迅速地加熱元件1，而且可以最小化元件1的溫度下降，由此可以使元件1在已設(shè)定的溫度下執(zhí)行準確的檢測。形成有從吸附板892的外周噴射加熱氣體的噴射口894時，選取模塊834、844可以不設(shè)置有加熱器838a、848a，由此，可以解除用于在選取模塊834、844設(shè)置加熱器838a、848a而導致的設(shè)計的復雜性及組裝的困難性。當然，選取模塊834、844上可以同時具備有加熱器838a、848a及加熱氣體噴射單元。此外，元件加壓工具830、840，在將元件1加壓向測試插口310的過程中，可以從噴射口894噴射加熱氣體，噴射的加熱氣體沖撞向測試插口310來使測試插口310加熱。如上所述，測試插口310的加熱是直接通過加熱氣體來執(zhí)行，因此與測試插口310上設(shè)置加熱器并利用其來對測試插口310加熱的情況相比，可以解除用于在測試插口310上設(shè)置加熱器而導致的設(shè)計的復雜性及組裝的困難性。另一方面，選取模塊834、844上可以具備有用于感應(yīng)加熱氣體溫度的溫度傳感器838b、848b。由此，可以根據(jù)通過多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)的結(jié)果，來控制向元件1噴射的加熱氣體的溫度。在多個加熱氣體噴射單元分別具備于多個選取模塊834、844的情況下，多個溫度傳感器838b、848b可以分別具備于多個選取模塊834、844。多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)向各個選取模塊834、844選取的元件1噴射的加熱氣體的溫度，根據(jù)通過多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)的結(jié)果，可以控制加熱氣體的溫度。如上所述，因為各個選取模塊834、844都分別具備有加熱氣體噴射單元及溫度傳感器838b、848b，并且根據(jù)通過多個溫度傳感器838b、848b感應(yīng)的結(jié)果，來獨立控制向元件1噴射的加熱氣體的溫度，由此可以根據(jù)由元件加壓工具830、840選取的多個元件1的特性，獨立調(diào)節(jié)溫度來更加準確地執(zhí)行對于元件1的測試。支持部833、843及選取模塊834、844的一側(cè)可以具備有緊固支持部833、843及選取模塊834、844的緊固單元850，來使選取模塊834、844可裝卸地結(jié)合于支持部833、843，支持部833、843及選取模塊834、844的另一側(cè)可以具備有使選取模塊834、844支持于支持部833、843的第一支持單元860。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，支持部833、843及選取模塊834、844可以在通過第一支持單元860相互支持的狀態(tài)下，通過緊固單元850來進行相互緊固。緊固單元850，可以包括：環(huán)851，設(shè)置于選取模塊834、844的一側(cè)；環(huán)移動部件852，使掛鉤851沿上下方向進行移動；環(huán)掛鉤部件853，設(shè)置于支持部833、843的一側(cè)來使環(huán)851掛于環(huán)掛鉤部件853。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，將環(huán)851掛于環(huán)掛鉤部件853，并通過利用環(huán)移動部件852來向下拉動環(huán)851，來使支持部833、843及選取模塊834、844相互緊固。第一支持單元860，可以包括：凸出片861，在選取模塊834、844的另一側(cè)以一定長度凸出；凸出片固定部862，設(shè)置于選取模塊834、844的另一側(cè)來使凸出片861插入并固定。凸出片固定部862可以由，第一支持部件863，在支持部833、843的下側(cè)面，即，在第一板833a、843a的下側(cè)面以一定長度凸出，從而提供插入凸出片861的空間；第二支持部件864，被第一支持部件863支持，并從支持部833、843的下側(cè)面相隔一定間隔地進行安置。第二支持部件864優(yōu)選為，與凸出片861接觸的面形成為曲面，來使凸出片861容易插入到支持部833、843的下側(cè)面與第二支持部件864之間的空間。此外，凸出片固定部862，可以包括：彈性部件865，彈性支持第二支持部件864；固定部件866，將彈性部件865固定于支持部833、843。因為第二支持部件864通過彈性部件865來彈性支持，因此凸出片861容易插入到支持部833、843的下側(cè)面與第二支持部件864之間的空間。此外，在凸出片861插入到支持部833、843的下側(cè)面與第二支持部件864之間的空間后，彈性部件865會對第二支持部件864加壓，來使凸出片861堅固地固定，從而不從支持部833、843的下側(cè)面與第二支持部件864之間的空間脫離。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，在凸出片861插入到支持部833、843的下側(cè)面與第二支持部件864之間的空間并進行固定的狀態(tài)下，環(huán)851掛于環(huán)掛鉤部件853，并通過利用環(huán)移動部件852來向下拉動環(huán)851的簡單的動作，可以使支持部833、843及選取模塊834、844相互結(jié)合。另一方面，支持部833、843及選取模塊834、844上優(yōu)選為具備有第二支持單元870，引導支持部833、843的下側(cè)面與選取模塊834、844的上側(cè)面，即，第二板835、845的上側(cè)面相互密著，由此來使支持部833、843及選取模塊834、844的相互結(jié)合動作更加容易執(zhí)行。第二支持單元870，可以包括：凸出條871，從選取模塊834、844的上側(cè)面凸出，在上部形成具有端坎部的頭部875；頭部收容部872，在支持部833、843的下側(cè)面內(nèi)陷，來收容凸出條871的頭部875；及掛板873，形成有插入頭部875的頭部插入孔874。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，在支持部833、843及選取模塊834、844相互結(jié)合的過程中，頭部875通過頭部插入孔874收容于頭部收容部872的內(nèi)部，通過對于支持部833、843的選取模塊834、844的相對水平移動，頭部875的端坎部掛于掛板873，由此使選取模塊834、844支持于支持部833、843。如上所述的第二支持單元870一同執(zhí)行使支持部833、843及選取模塊834、844相互固定的作用，因此，可以在第一支持單元860與第二支持單元870中只具備任意一個結(jié)構(gòu)即可。另一方面，支持部833、843及選取模塊834、844之間，優(yōu)選為具備位置決定單元880，決定支持部833、843及選取模塊834、844之間的結(jié)合位置。例如，位置決定單元880，可以包括：凸出棒881，從選取模塊834、844的上側(cè)面凸出；凸出棒插入槽882，從支持部833、843的下側(cè)面內(nèi)陷。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，在支持部833、843及選取模塊834、844相互結(jié)合的過程中，凸出棒881插入到凸出棒插入槽882，來決定支持部833、843及選取模塊834、844的結(jié)合位置。另一方面，在支持部833、843及選取模塊834、844相互結(jié)合的狀態(tài)下，支持部833、843的下側(cè)面及選取模塊834、844的上側(cè)面相互密著。因此支持部833、843及選取模塊834、844上優(yōu)選為具備感應(yīng)傳感器889，來感應(yīng)支持部833、843的下側(cè)面及選取模塊834、844的上側(cè)面的相互密著。圖中，雖然公開了感應(yīng)傳感器889安置于支持部833、843的下側(cè)面的結(jié)構(gòu)，但是本發(fā)明并不限定于此，感應(yīng)傳感器889可以具備于選取模塊834、844的上側(cè)面。感應(yīng)傳感器889可以由感應(yīng)面接觸的壓力傳感器構(gòu)成。利用這種感應(yīng)傳感器889可以感應(yīng)支持部833、843的下側(cè)面及選取模塊834、844的上側(cè)面的相互密著與否，根據(jù)其感應(yīng)結(jié)果可以判斷支持部833、843及選取模塊834、844是否相互結(jié)合。元件加壓工具830、840，沿水平方向(Y軸方向)及垂直方向(X軸方向)進行移動，來將裝載于第一接送部610及第二接送部620的元件1移動向測試部的測試插口310，并將完成測試的元件1從測試插口310移動向第一接送部610及第二接送部620。例如，如圖16至19所示，具備水平移動裝置801，分別與元件加壓工具830、840連接，來使元件加壓工具830、840分別沿水平方向(Y軸方向)移動；具備第一垂直移動裝置802，分別與元件加壓工具830、840連接，來使元件加壓工具830、840分別沿垂直方向(Z軸方向)移動。水平移動裝置801，可以包括：連接部件830b、840b，連接為約束從元件加壓工具830、840沿垂直方向延長的支持軸830a、840a水平方向上的移動且使其可在垂直方向進行移動。水平驅(qū)動部803，沿水平方向移動連接部件830b、840b。連接部件830b、840b上可以形成有貫通孔830c、840c，沿垂直方向貫通來使支持軸830a、840a插入，從而使支持軸具830、840垂直方向上的移動被約束且可沿水平方向移動地連接于連接部件830b、840b。隨著支持軸830a、840a插入到連接部件830b、840b的貫通孔830c、840c，支持軸830a、840a的水平方向上的移動會通過連接部件830b、840b來被約束，但是支持軸830a、840a的垂直方向的移動不會被約束。貫通孔830c、840c，同時起到引導支持軸830a、840a的垂直方向上的移動的作用。水平驅(qū)動部803，可以包括：例如，帶803a，與連接部件830b、840b連接；皮帶輪803b，卷取有帶803a；旋轉(zhuǎn)電機(未圖示)，與皮帶輪803b連接。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，皮帶輪803b根據(jù)旋轉(zhuǎn)電機(未圖示)的旋轉(zhuǎn)力進行旋轉(zhuǎn)，根據(jù)皮帶輪803b的旋轉(zhuǎn)，帶803a及與帶803a連接的連接部件830b、840b會沿水平方向移動，由此連接于連接部件830b、840b的支持軸830a、840a及元件加壓工具830、840可以沿水平方向移動。另一方面，根據(jù)本發(fā)明的實施例公開了具備帶803a與皮帶輪803b作為水平驅(qū)動部803的結(jié)構(gòu)，但是本發(fā)明并不限定于此，作為水平驅(qū)動部803，可以使用通過液壓或氣壓運轉(zhuǎn)的執(zhí)行器、直線電機或滾珠螺桿裝置等多種水平移送器具。第一垂直移動裝置802，可以包括：移動塊830d、840d，分別連接為約束從元件加壓工具830、840沿垂直方向延長的支持軸830a、840a水平方向上的移動且使其可在垂直方向進行移動；凸輪從動節(jié)830e、840e，連接于移動塊830d、840d；凸輪部件830g、840g，形成有插入凸輪從動節(jié)830e、840e的凸輪槽830f、840f；升降導軌830h、840h，與移動塊830d、840d連接，來引導移動塊830d、840d的垂直方向上的移動。移動塊830d、840d上可以設(shè)置有引導導軌830i、840i，與支持軸830a、840a的端部連接并沿水平方向延長來引導支持軸830a、840a的水平方向上的移動。由此，支持軸830a、840a可沿引導導軌830i、840i進行水平方向的移動。凸輪部件830g、840g上，分別連接有驅(qū)動電機830j、840j，由此，通過驅(qū)動電機830j、840j的驅(qū)動使凸輪部件830g、840g進行旋轉(zhuǎn)。這種凸輪部件830g、840g可以分別與一對元件加壓工具830、840連接來具備為一對。凸輪槽830f、840f，可以形成為包括：具有一定半徑的第一半徑區(qū)間及第二半徑區(qū)間；連接第一半徑區(qū)間及第二半徑區(qū)間的可變區(qū)間。凸輪槽830f、840f具有如上所述結(jié)構(gòu)時，凸輪從動節(jié)830e、840e位于小半徑的第一半徑區(qū)間時，元件加壓工具830、840會處于位于上側(cè)的狀態(tài)；凸輪從動節(jié)830e、840e位于可變區(qū)間時，元件加壓工具830、840會向上側(cè)移動或向下側(cè)移動；凸輪從動節(jié)830e、840e位于半徑大于第一半徑區(qū)間的第二半徑區(qū)間時，元件加壓工具830、840會維持位于下側(cè)的狀態(tài)。移動塊830d、840d，通過凸輪從動節(jié)830e、840e插入凸輪槽830f、840f來與槽部件830g、840g連接。此外，移動塊830d、840d可以連接于升降導軌830h、840h來沿上下方向進行升降。由此，在槽部件830g、840g旋轉(zhuǎn)時，凸輪從動節(jié)830e、840e會沿凸輪槽830f、840f的形狀來沿垂直方向移動，由此，與凸輪從動節(jié)830e、840e連接的移動塊830d、840d可以沿垂直方向移動，通過支持軸830a、840a與移動塊830d、840d連接的元件加壓工具830、840可以沿垂直方向移動。升降導軌830h、840h可以固定于移動塊830d、840d的上部具備的固定物804上。但是，本發(fā)明并不限定于此，只要是可以引導移動塊830d、840d的升降，升降導軌830h、840h可以使用多種結(jié)構(gòu)。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，元件加壓工具830、840，通過水平移動裝置801來沿水平方向進行移動，由此，元件加壓工具830、840可以在第一接送部610與測試插口310之間及第二接送部620與測試插口310之間沿水平方向進行移動。此外，元件加壓工具830、840，可以通過第一垂直移動裝置802，來在第一接送部610的上部、第二接送部620的上部及測試插口310的上部沿垂直方向進行移動，并選取元件1或裝載元件1。這種元件加壓工具830、840，在測試插口310的上部沿垂直方向進行移動且為了使元件1堅固地結(jié)合于測試插口310，同時可以執(zhí)行通過一定的力來將元件1加壓向測試插口310的作用。如上所述，元件加壓工具830、840，根據(jù)凸輪部件830g、840g的旋轉(zhuǎn)來沿垂直方向進行移動，由此可以準確地設(shè)定元件加壓工具830、840的垂直方向上的移動位置。此外，在元件1加壓向測試插口310來進行測試的過程中，維持一定時間的對測試插口310的元件1的加壓狀態(tài)。為此，不利用凸輪部件830g、840g，而僅僅是利用滾珠螺桿裝置的旋轉(zhuǎn)電機或如直線電機的直線移動用電機時，需要持續(xù)向直線移動用電機施加用于元件1加壓的較大電壓，來一直向元件1施加恒定的力，但是利用凸輪部件830g、840g時，測試插口310對元件1的加壓狀態(tài)與驅(qū)動電機830j、840j上施加的電壓的變化無關(guān)，是根據(jù)凸輪部件830g、840g的第二半徑區(qū)間的形狀來維持。因此，在用于使元件加壓工具830、840沿垂直方向移動的第一垂直移動裝置802，其結(jié)構(gòu)包括凸輪部件830g、840g時，與不利用凸輪部件830g、840g而僅僅利用直線移動用電機的情況相比，具有縮減能量的效果。另一方面，根據(jù)需要測試的元件1的種類或測試插口310的種類，可以變更元件加壓工具830、840的選取器831、841需要位于的加壓位置，從而使元件1準確地加壓到測試插口310來準確地執(zhí)行對元件1的測試。此外，有必要對元件加壓工具830、840，是否準確地下降來使元件1加壓到測試插口310進行確認及檢驗。因此，為了變更或確認元件加壓工具830、840的加壓位置，首先對于元件加壓工具830、840連接的水平移動裝置801及第一垂直移動裝置802沿上下方向升降后，旋轉(zhuǎn)凸輪部件830g、840g并判斷元件加壓工具830、840的加壓位置是否與需要設(shè)定的加壓位置一致，即，基準位置一致。為此，如圖20及圖21所示，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，可以包括：第二垂直移動裝置805，與由元件加壓工具830、840、水平移動裝置801及第一垂直移動裝置802構(gòu)成的元件加壓部連接，來使元件加壓部沿垂直方向線性移動；控制部807，通過第二垂直移動裝置805來使元件加壓工具830、840與測試部300接觸時，檢測通過第二垂直移動裝置805施加到測試部300的負載，并將檢測到的負載達到已設(shè)定的基準負載時的所述元件加壓工具830、840的位置決定為加壓位置。第二垂直移動裝置805，可與第一垂直移動裝置802及水平移動裝置801連接，如上所述的情況下，第一垂直移動裝置802及水平移動裝置801可以一同通過第二垂直移動裝置805來進行升降，從而使元件加壓工具830、840進行升降。元件加壓工具830、840中接觸于測試部300的部分，可以為位于選取器831、841的周圍的選取模塊834、844的下側(cè)面，即，可以為選取器支持模塊836、846的下側(cè)面。為此，選取器支持模塊836、846的下側(cè)面中，與測試部300接觸的部分，可以由如鋁的金屬構(gòu)成。以及，測試部300中與元件加壓工具830、840接觸的部分，可以為支持測試插口310的支持框架312的上側(cè)面。為此，支持框架312的上側(cè)面中與元件加壓工具830、840接觸的部分如鋁的金屬構(gòu)成。在將元件1加壓到測試插口310來執(zhí)行測試的過程中，選取模塊834、844的下側(cè)面接觸于支持框架312的上側(cè)面，來限制元件加壓工具830、840的下降來決定對于測試插口310的元件1的加壓位置。因此，隨著元件1的種類、測試插口310的種類或測試插口310的內(nèi)部具備的端子311的種類等的變更，而使支持框架312的高度改變時，通過判斷元件加壓工具830、840的下側(cè)面是否接觸于支持框架312的上側(cè)面，來判斷元件1是否位于加壓位置。為此，可以考慮具備傳感器的方案，來感應(yīng)元件加壓工具830的下側(cè)面是否接觸于支持框架312的上側(cè)面，如上所述的情況下，隨著傳感器的具備會存在費用增加的缺點，考慮傳感器的設(shè)置位置等時，會存在元件加壓工具830、840及測試插口310的結(jié)構(gòu)變得復雜的問題。因此，具備有控制部807，在元件加壓工具830、840與測試部300接觸時，感應(yīng)第二垂直移動裝置805的負載變化量，并利用負載的變化量來檢測測試部300上施加的負載，將檢測到的負載到達已設(shè)定的基準負載時的所述元件加壓工具830、840的位置決定為加壓位置。如圖20所示，控制部807，在第二垂直移動裝置805為包括電機806的滾珠螺桿裝置或通過電機806與皮帶輪連接的帶移送器具時，可以與電機806連接來感應(yīng)如電機806扭矩的負載。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，元件加壓工具830、840在不接觸于測試部300的狀態(tài)下，通過第二垂直移動裝置805來使元件加壓工具830、840下降時，在控制部807感應(yīng)的電機806的負載的變化量不大，或元件加壓工具830、840接觸于測試部300時，控制部807中感應(yīng)的負載會增加。由此，控制部807，會感應(yīng)電機806的負載，并利用感應(yīng)的負載，在元件加壓工具830、840與測試部300接觸時，檢測通過第二垂直移動裝置805施加到測試部300的負載，并將檢測到的負載到達已設(shè)定的基準負載時的所述元件加壓工具830、840的位置決定為加壓位置。作為另一例，第二垂直移動裝置805為利用永久磁鐵與電磁鐵間的電磁相互作用來運轉(zhuǎn)的直線電機時，控制部807構(gòu)成為感應(yīng)直線電機的負載。下面，對利用如上所述的結(jié)構(gòu)，設(shè)定元件加壓工具830、840的加壓位置的方法進行說明。首先，元件加壓工具830、840中，使第一元件加壓工具830位于具有已設(shè)定的高度的測試部300的上部，即，位于支持框架312的上部后，旋轉(zhuǎn)與第一元件加壓工具830連接的凸輪部件830g，使第一元件加壓工具830位于通過凸輪部件830a的旋轉(zhuǎn)第一元件加壓工具830可下降的最低位置。之后，運轉(zhuǎn)第二垂直移動裝置805，徐徐地下降元件加壓部，來執(zhí)行使第一元件加壓工具830徐徐下降的過程。與此同時，控制部807，通過感應(yīng)第二移動裝置805的負載來執(zhí)行感應(yīng)第一元件加壓工具830對測試部300施加的負載的過程。如圖20及圖21所示，隨著通過第二垂直移動裝置805而使第一元件加壓工具830下降，第一元件加壓工具830會接觸于測試部300，由此，第一元件加壓工具830施加到測試部300的負載會變化。此時，控制部807，在第一元件加壓工具830對測試部300施加的負載達到基準負載時，判斷第一元件加壓工具830的位置與已設(shè)定的加壓位置一致，從而終止第二垂直移動裝置805的運轉(zhuǎn)。如上所述，完成設(shè)定第一元件加壓工具830的加壓位置的過程后，通過與設(shè)定第一元件加壓工具830的加壓位置的過程相同的過程來執(zhí)行設(shè)定第二元件加壓工具840的加壓位置的過程。通過如上所述的過程，設(shè)定元件加壓工具830、840的加壓位置時，通過元件加壓工具830、840選取元件1，執(zhí)行對加壓向測試插口310的元件1的測試過程。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實施例的元件檢測裝置，有必要根據(jù)元件1的種類或測試插口310的種類調(diào)節(jié)元件加壓工具830、840的加壓位置時，或者，有必要確認及檢驗元件加壓工具830、840是否準確地下降到該加壓位置來使元件1加壓到測試插口310時，感應(yīng)運轉(zhuǎn)第二垂直移動裝置805而使元件加壓工具830、840下降來接觸于測試部300的同時感應(yīng)第二垂直移動裝置805的負載，利用感應(yīng)的負載來檢測施加到測試部300的負載，在檢測到的負載到達已設(shè)定的基準負載時，通過將元件加壓工具830、840的位置決定為加壓位置，從而可以容易且準確地決定元件加壓工具830、840的加壓位置。另一方面，如圖10所示，用于移送元件1的加載移送工具810、814、卸載移送工具820、824或元件加壓工具830、840的選取器891，在其末端結(jié)合有具有橡膠等材質(zhì)的吸附板892，來使元件1的吸附容易，在元件1變更時、由于磨損在吸附上存在不良時、經(jīng)過維護保養(yǎng)等時，需要交替吸附板892。但是，在以往，吸附板892的替換是由手工作業(yè)來構(gòu)成，需要分離選取器891來進行一一地替換等，存在非常不便利的問題。為此，本發(fā)明，還可以包括：吸附板替換部900，自動替換分別結(jié)合于加載移送工具810、814、卸載移送工具820、824或元件加壓工具830、840中至少一個選取器891上的吸附板892。此處，選取器891，可以為具備在加載移送工具810、814及卸載移送工具820、824上的選取器及具備在元件加壓工具830、840上的選取器831、841。如圖22至圖27所示，吸附板替換部900，通過考慮加載移送工具810、814、卸載移送工具820、824或元件加壓工具830、840的移動路徑來安置于適當?shù)奈恢?，可以包括：吸附板收容?10，形成有使選取器891的吸附板892插入的多個吸附板收容空間911；吸附板選取部920，設(shè)置于吸附板收容部910中的至少一部分上，來選取收容于吸附板收容空間911中的吸附板。此處，設(shè)置有吸附板選取部920的吸附板收容部910中至少有一部分，空閑了吸附板收容空間911，從而通過吸附板選取部920來從選取器891中分離吸附板892來進行收容，吸附板選取部920中至少有一部分的吸附板收容部892，向去除了吸附板892的選取器891上插入新的吸附板892。吸附板收容部910形成有多個吸附板892，構(gòu)成為，通過吸附板選取部920從選取器891分離吸附板892來收容或向去除了吸附板892的選取器891上插入新的吸附板892結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)。作為一例，吸附板收容部910可以包括形成有多個吸附板收容空間911的收容部本體912。收容部本體912，作為形成吸附板收容空間911的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)。吸附板收容空間911，作為收納從選取器891分離的吸附板892或收納要結(jié)合于去除了吸附板892的選取器891上的新的吸附板892的結(jié)構(gòu)，只要是收容吸附板892，可以為槽等多種結(jié)構(gòu)。吸附板選取部920，作為通過吸附板選取部920從選取器891分離吸附板892的結(jié)構(gòu)，可以為設(shè)置于收容部本體912上，并在吸附板892結(jié)合與選取器891的狀態(tài)來插入吸附板收容空間911后，選取吸附板的結(jié)構(gòu)等多種結(jié)構(gòu)。例如，所述吸附板選取部920可以根據(jù)通過掛鉤及解除掛鉤的選取/解除選取、利用環(huán)形態(tài)的夾持器等的夾持器及通過接觸夾持的選取/解除選取等選取方式，可以為多種結(jié)構(gòu)。作為又另一例，吸附板選取部920，可以包括：移動部件921，覆蓋收容部本體912的上面的同時，可沿與上面平行的方向，即，水平方向移動地進行設(shè)置。此時，移動部件921，作為通過水平移動來用于掛鉤及解除掛鉤的選取/解除選取的結(jié)構(gòu)，可以為多種結(jié)構(gòu)，例如，如圖22至圖27所示，包括：多個貫通部分922，在吸附板892結(jié)合于選取器891的狀態(tài)來貫通，從而形成為可沿吸附板收容空間911進行移動；多個掛鉤部分923，分別連接于貫通部分922，在吸附板892結(jié)合于選取器891的狀態(tài)下從吸附板收容空間911移動時，鉤住吸附板892，僅使選取器891可以移動。特別是，為了提高根據(jù)移動部件921的掛鉤效果，吸附板892可以形成有凸出部892a，比所述選取器891的外周面更加凸出，此時，掛鉤部分923，形成為大于選取器891的外周面且小于凸出部892a的外周面，從而在選取器891的上側(cè)方向移動時，鉤住吸附板892。吸附板選取部920的移動部件921考慮到吸附板892及結(jié)合有吸附板892的選取器891中半徑的大小不同，通過具備大于吸附板892的最大半徑的貫通部分922與吸附板892的至少一部分中半徑小的掛鉤部923，由此構(gòu)成為在吸附板892插入吸附板收容空間911時，使貫通部分922位于吸附板收容空間911上；在從選取器891分離吸附板892時，位于掛鉤部分923。另一方面，吸附板選取部920的移動部件921，其特征在于，移動到吸附板892的掛鉤及解除掛鉤的位置，雖未圖示，但是可以通過線性移動裝置進行線性移動等，通過多種驅(qū)動源來驅(qū)動其移動。另一方面，在從加載移送工具810、814、卸載移送工具820、824或元件加壓工具830、840的選取器891中替換吸附板892時，吸附板替換部900的位置，首先移動到結(jié)合有吸附板選取部920的吸附板收容部910來分離吸附板892之后(圖23至圖25)，移動到收容新的吸附板892的吸附板收容部910來結(jié)合新的吸附板892(圖24及圖25)，結(jié)束吸附板892替換后執(zhí)行元件1移送作業(yè)。另一方面，用于移送如上所述的元件1的加載移送工具810、814、卸載移送工具820、824或元件加壓工具830、840的結(jié)構(gòu)，作為元件檢測裝置以外，根據(jù)已執(zhí)行的檢測結(jié)果執(zhí)行元件的分類的分類工序或，執(zhí)行檢測元件及根據(jù)其檢測來分類元件的檢測及分類工序的元件處理程序，當然也可以適用于將元件裝載于托盤來進行加載，并通過一個以上的移送工具來移送元件的元件處理程中。以上，對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行了例示性地說明，但是本發(fā)明的范圍并不限定于如上所述的特定實施例，可以在技術(shù)范圍內(nèi)進行適當?shù)淖兏?