用于移除已檢驗的半導(dǎo)體元件的設(shè)備和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于從夾支承件移除已檢驗的半導(dǎo)體部件的設(shè)備，該夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件。根據(jù)本發(fā)明，該設(shè)備具有如下特征：布置在夾支承件上的操作裝置，所述操作裝置將夾元件運動到實現(xiàn)清空夾支承件的打開位置且在清空之后運動到靜止位置，在清空期間定位在夾支承件下方的、在其上清空夾支承件的中間支承件，其中存儲涉及每個半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲器，和將半導(dǎo)體元件從中間支承件移除且相應(yīng)地將存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)分類為至少兩個不同的類型的移除裝置。
【專利說明】用于移除已檢驗的半導(dǎo)體元件的設(shè)備和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分和權(quán)利要求9的前序部分的用于移除已檢驗的半導(dǎo)體元件的設(shè)備和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]例如集成電路、處理器、傳感器元件等的電子半導(dǎo)體元件在其制造后通常接受一定的測試，以檢驗其功能。所述功能不僅包括電子功能也例如包括傳感器功能。不久前已知所謂的夾支承件，在所述夾支承件上可固定多個電子部件。此支承件然后轉(zhuǎn)交給所謂的處理器，且在處理器處為進(jìn)行檢驗而精確地定位。
[0003]處理器具有固定的測試頭，固定的檢驗座也可與所述測試頭連接。對于電子測試，將此檢驗座構(gòu)造為使得通?？赏瑫r接觸且檢驗夾支承件上的所有半導(dǎo)體部件。
[0004]在檢驗時為每個夾支承件設(shè)定文件，所述文件中記錄對于夾支承件的每個半導(dǎo)體元件的檢測結(jié)果，或所述文件中對于每個半導(dǎo)體部件僅包含其所屬的類別的信息。此文件存儲在中央計算機上、夾支承件自身上或接收多個此夾支承件的盒內(nèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的任務(wù)在于完成用以將半導(dǎo)體部件從夾支承件移除且為被分類為結(jié)果良好的半導(dǎo)體部件提供包裝的設(shè)備和方法。已包裝的半導(dǎo)體部件應(yīng)可在通常的裝備自動化設(shè)備中被處理。
[0006]此任務(wù)根據(jù)本發(fā)明通過帶有權(quán)利要求1的特征的設(shè)備且通過帶有權(quán)利要求9的特征的方法解決。
[0007]根據(jù)本發(fā)明，第一實施例具有如下特征:布置在夾支承件上的操作裝置，所述操作裝置將夾元件運動到實現(xiàn)清空夾支承件的打開位置且在清空之后運動到靜止位置，在清空期間定位在夾支承件下方的、在其上清空夾支承件的中間支承件，其中存儲涉及每個半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲器，和將半導(dǎo)體元件從中間支承件移除且相應(yīng)地將存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)分類為至少兩個不同的類型的移除裝置。
[0008]在此實施例中，可已提供夾支承件使得半導(dǎo)體元件處在夾支承件的下側(cè)上?；蛉绻麏A支承件提供為處于通常的定向上使得半導(dǎo)體元件處在其上側(cè)上，則必須提供附加的裝置，所述附加的裝置將夾支承件在其清空前在水平軸線上旋轉(zhuǎn)。
[0009]在兩個情況中，半導(dǎo)體部件在夾元件打開后僅通過重力從夾支承件松開且落入到中間支承件內(nèi)?，F(xiàn)在，半導(dǎo)體部件所處的定向與其在夾支承件上的定向相反。在此定向中，可為半導(dǎo)體部件提供包裝。
[0010]涉及每個半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)可存儲在夾支承件上。數(shù)據(jù)可在檢測半導(dǎo)體部件時產(chǎn)生且在其處直接寫入到夾支承件上的存儲器內(nèi)。但通常檢測數(shù)據(jù)存儲在中央計算機上且通過識別代碼與夾支承件相關(guān)。只要夾支承件通過此代碼在移除設(shè)備內(nèi)被識別，則涉及半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)由此夾支承件從中央計算機調(diào)取。[0011]所存儲的涉及每個半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)可包含不同的信息。因此，數(shù)據(jù)可以僅是測試結(jié)果，所述測試結(jié)果在移除設(shè)備中首先被評估，以做出是否進(jìn)一步處理半導(dǎo)體部件的決定。但此決定也可在中央計算機中或在測試設(shè)備中已進(jìn)行，使得由移除設(shè)備讀取的數(shù)據(jù)又僅涉及各半導(dǎo)體部件所關(guān)聯(lián)的類別。
[0012]在移除設(shè)備中將半導(dǎo)體部件分入期內(nèi)的類別至少是陳述了半導(dǎo)體部件的所有功能被滿足的至少一個類別以及所述半導(dǎo)體部件必須作為廢品丟棄的另一個類別。
[0013]本發(fā)明的第二實施例具有如下特征:將夾元件運動到實現(xiàn)清空夾支承件的打開位置且在清空之后運動到靜止位置的操作裝置，其中存儲涉及每個半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲器，將半導(dǎo)體元件從夾支承件移除的移除裝置，和用于將從夾支承件移除的半導(dǎo)體部件在垂直于移除方向的軸線上旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。
[0014]在此，旋轉(zhuǎn)裝置理解為接收半導(dǎo)體部件而可使其在已旋轉(zhuǎn)的定向上即使其原來的下側(cè)向上被存儲的裝置。
[0015]在此實施例中，移除裝置的夾支承件提供為使得半導(dǎo)體部件處在夾支承件的上側(cè)上。因為因此使半導(dǎo)體部件在此在其中所述半導(dǎo)體部件也在測試設(shè)備中被壓在檢驗座上的定向上從夾支承件被移除，所以在為半導(dǎo)體部件提供包裝前必須將半導(dǎo)體部件旋轉(zhuǎn)，使得朝向夾支承件的側(cè)向上放置。旋轉(zhuǎn)裝置可布置在移除裝置旁邊、下方或上方。
[0016]移除裝置以及旋轉(zhuǎn)裝置具有至少一個抽吸針，使用所述抽吸針通過產(chǎn)生真空來保持半導(dǎo)體部件。半導(dǎo)體部件因此從移除裝置的抽吸針被傳遞到旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針，使得兩個抽吸針對置地且在半導(dǎo)體部件的相對的側(cè)上安放。
[0017]在旋轉(zhuǎn)設(shè)備布置在抽吸裝置下方的情況中，為傳遞半導(dǎo)體部件或多個半導(dǎo)體部件，移除裝置圍繞垂直于移除裝置定向的水平軸線旋轉(zhuǎn)180°，使得抽吸針或多個抽吸針處于向上。旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針或多個抽吸針現(xiàn)在從上方直接在半導(dǎo)體部件或多個半導(dǎo)體部件上與移除裝置的抽吸針對置。
[0018]在通過旋轉(zhuǎn)裝置傳遞之后，所述旋轉(zhuǎn)裝置可在X-Y方向上形式，以將半導(dǎo)體部件轉(zhuǎn)移到包裝上。如果旋轉(zhuǎn)裝置布置在移除裝置旁邊，則移除裝置僅圍繞半導(dǎo)體部件樞轉(zhuǎn)90°以進(jìn)行傳遞。在傳遞之后，旋轉(zhuǎn)裝置也樞轉(zhuǎn)90°，使得旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針又向下指向。在此，也可使半導(dǎo)體部件現(xiàn)在通過在X-Y方向上的行駛而傳遞到包裝。但如果旋轉(zhuǎn)裝置布置在移除裝置下方，則移除裝置必須首先行駛，以可定位在旋轉(zhuǎn)方向上。旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針為傳遞半導(dǎo)體部件而垂直向上。在傳遞之后，旋轉(zhuǎn)裝置樞轉(zhuǎn)180°，且可將半導(dǎo)體部件直接向下傳遞到包裝上。
[0019]半導(dǎo)體部件的負(fù)面的檢測結(jié)果可由于半導(dǎo)體部件不滿足所有功能導(dǎo)致，但也可由于在測試期間檢測座和半導(dǎo)體部件之間的接觸不正常而出現(xiàn)。此干擾可例如由于灰塵顆粒而導(dǎo)致。此時，此半導(dǎo)體部件被作為廢品丟棄。但在半導(dǎo)體部件昂貴時，很有意義的是將此半導(dǎo)體部件進(jìn)行第二側(cè)檢驗。因此，優(yōu)選的是在夾支承件上提供用于定向再次待檢驗的半導(dǎo)體部件的裝置，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，帶有操作裝置以用于將夾元件運動到打開位置，所述打開位置實現(xiàn)了半導(dǎo)體部件通過定向裝置的安放，且用于在安放半導(dǎo)體部件之后將夾元件運動到夾緊位置。
[0020]因此已保持了空的夾支承件，在此夾支承件中可分類再次待檢測的半導(dǎo)體部件。再次分類的半導(dǎo)體部件必須具有與其原來在夾支承件內(nèi)被保持的定向相同的定向。在根據(jù)第一實施例的設(shè)備中，將旋轉(zhuǎn)裝置作為定向設(shè)備提供，已借助于中間支承件旋轉(zhuǎn)的部件直接被移除裝置接收且轉(zhuǎn)回。旋轉(zhuǎn)裝置可例如側(cè)向錯開地布置在移除裝置下方，移除裝置必須在平面內(nèi)行駛，使得再次待檢驗的半導(dǎo)體部件被傳遞到旋轉(zhuǎn)裝置。在傳遞之后，旋轉(zhuǎn)裝置樞轉(zhuǎn)180°，且在夾支承件上的半導(dǎo)體部件在正確的定向上落到位于夾支承件下方的平面上而從夾支承件被移除。
[0021]在根據(jù)第二實施例的設(shè)備的情況中，定向裝置通過移除裝置體現(xiàn)。因為半導(dǎo)體部件在此由移除裝置直接從夾支承件移除，所以所述半導(dǎo)體部件可在相同的定向上再次安裝在另外的夾支承件上。半導(dǎo)體部件的旋轉(zhuǎn)在此因此僅對于保證是需要的，而對于再次檢測是不需要的。
[0022]有利地提供了用于盒的接收器，從所述接收器中可移除空的夾支承件且向所述接收器內(nèi)可插入裝配有再次待檢測的半導(dǎo)體部件的夾支承件。在此，實現(xiàn)了此再次待檢測的半導(dǎo)體部件的自動化收集。盒可再次承受完全正常的檢測過程，而不采取特殊的措施。
[0023]在其中檢測半導(dǎo)體部件的處理器和移除設(shè)備之間的傳遞可直接進(jìn)行，這通過在檢驗之后將各夾支承件從處理器直接轉(zhuǎn)移到移除設(shè)備來實現(xiàn)。但已表明，在此直接轉(zhuǎn)移時，當(dāng)兩個設(shè)備之一中出現(xiàn)故障時可能出現(xiàn)長時間的停止。因為移除設(shè)備基本上總以相同的速度工作，但檢驗速度明顯取決于所執(zhí)行的測試，所以在直接傳遞時也可能出現(xiàn)不相符的匹配。因此，根據(jù)本發(fā)明提供了用于盒的接收器，從所述接收器中可移除裝配有已檢測的半導(dǎo)體部件的夾支承件。因為處理器也使夾支承件上的已檢測的半導(dǎo)體部件落入到盒內(nèi)，所以以此方式實現(xiàn)了任意大小的緩沖存儲器，通過所述緩沖存儲器可平衡不同的設(shè)備速度。
[0024]為能夠可控地去除不滿足所要求的功能的不良的半導(dǎo)體部件提供了容器，在所述容器內(nèi)放入已檢驗的、根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)不可使用的半導(dǎo)體部件。
[0025]必須去除“不良”的半導(dǎo)體部件，而必須包裝“良好的”半導(dǎo)體部件。為此，將所述半導(dǎo)體部件例如插入到帶內(nèi)，所述與通常的裝備自動化設(shè)備是相容的。因此，有利地提供了包裝裝置，所述包裝裝置接收已檢驗的、根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)為正常的半導(dǎo)體部件且將其傳送到包裝內(nèi)。
[0026]如果夾支承件自身不提供有數(shù)據(jù)存儲器，或在盒上未固定有數(shù)據(jù)存儲器，則涉及固定在夾支承件上的半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)必須從中央計算機讀取。為可將所讀取的數(shù)據(jù)與各夾支承件相關(guān)聯(lián)，提供了用于讀取施加在夾支承件上的代碼的讀取器。代碼可例如構(gòu)造為用于透射光掃描器的打孔代碼或構(gòu)造為用于反射光掃描器的條形碼。
[0027]根據(jù)本發(fā)明，從盒取出帶有已檢驗的半導(dǎo)體部件的夾支承件，將其精確定位，通過條形碼識別，且讀取涉及各已檢驗的半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)。將夾支承件的夾元件運動到實現(xiàn)了移除半導(dǎo)體部件的打開位置中，將半導(dǎo)體部件從夾支承件清空到中間支承件上，且將夾元件運動到靜止位置?？盏膴A支承件插入到盒內(nèi)且將半導(dǎo)體部件從中間支承件移除且根據(jù)所讀取的數(shù)據(jù)分類到至少兩個不同的類別中。此第一方法可例如在根據(jù)第一實施例的設(shè)備上執(zhí)行。
[0028]在例如可在根據(jù)第二實施例的設(shè)備上執(zhí)行的第二方法中，從盒內(nèi)移除帶有已檢驗的半導(dǎo)體部件的夾支承件，將其精確定位且通過代碼識別。讀取涉及每個已檢驗的半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)，將夾元件運動到實現(xiàn)了移除半導(dǎo)體部件的打開位置中，將半導(dǎo)體部件從夾支承件移除，且將夾元件運動到靜止位置，且將空的夾支承件再次插入到盒內(nèi)。將至少分類為良好的半導(dǎo)體部件圍繞垂直于移除裝置的軸線旋轉(zhuǎn)。
[0029]對于分類為良好的半導(dǎo)體部件，旋轉(zhuǎn)是必須的，以可將其在正確的方向上包裝。對于分類為不良的半導(dǎo)體部件，是否將其旋轉(zhuǎn)不關(guān)鍵。它們可從移除裝置以及從旋轉(zhuǎn)裝置被清除。如果被移除的半導(dǎo)體部件是再次待檢驗的半導(dǎo)體部件，則這些半導(dǎo)體部件不應(yīng)被旋轉(zhuǎn)或必須被轉(zhuǎn)回，因為它們必須在不旋轉(zhuǎn)的定向上再次插入到另外的夾支承件內(nèi)。
[0030]通過在檢驗之后對半導(dǎo)體部件的處理，可能還可出現(xiàn)也影響半導(dǎo)體部件的功能的損壞。通過外部影響導(dǎo)致的此損壞可主要也從外部確定，因為可確定在半導(dǎo)體部件上的劃痕、壓痕或剝離。為也排除此類損壞，對于已檢驗的且被認(rèn)為正常的半導(dǎo)體部件，在其從夾支承件移除之后，以照相機在其所有側(cè)上進(jìn)行視覺記錄。
[0031]如果也將半導(dǎo)體部件分類為再次待檢驗，則必須尋求有利的方法以用于其再加工。這明顯取決于頻度。在頻度較高時，有意義的是將此半導(dǎo)體部件再次插入到夾支承件內(nèi)且將此夾支承件再次交付正常的檢驗過程。在頻度較低時，可使用管或另外的筒。在此筒內(nèi)的半導(dǎo)體部件必須在裝配夾支承件前再次投入到過程中或接受單獨檢驗。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]本發(fā)明的另外的細(xì)節(jié)和優(yōu)點從從屬權(quán)利要求中結(jié)合根據(jù)下圖詳細(xì)解釋的實施例的描述得到。
[0033]各圖為:
[0034]圖1示出了裝配有半導(dǎo)體部件的夾支承件的俯視圖，
[0035]圖2示出了圖1中的夾支承件的放大的部分，
[0036]圖3示出了圖2的部分而無蓋板，
[0037]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備的第一實施例的示意性圖示，
[0038]圖5示出了帶有用于半導(dǎo)體部件的旋轉(zhuǎn)裝置的第二實施例，和
[0039]圖6示出了圖5中的箭頭A方向上的第二實施例的側(cè)視圖。
[0040]附圖標(biāo)號列表
[0041]I夾支承件 2半導(dǎo)體部件3定位開口 4操作銷
[0042]5通過開口6橫夾元件 7橫夾彈簧 8橫夾桿
[0043]9縱夾元件 10縱夾彈簧11縱夾桿
[0044]12用于夾支承件的盒13中間支承件
[0045]14操作裝置15用于中間支承件的移動臺
[0046]16移除裝置17抽吸針 18包裝裝置
[0047]19旋轉(zhuǎn)裝置20旋轉(zhuǎn)軸線
【具體實施方式】
[0048]在圖1中可見夾支承件1，所述夾支承件I在此包含80個單獨的半導(dǎo)體部件2。定位開口 3可用于將夾支承件精確地定位。由于半導(dǎo)體部件2的尺寸很小，所以在裝配夾支承件I以及將半導(dǎo)體部件2從夾支承件I移除時都要求很精確地定位半導(dǎo)體部件2，但特別地也在檢驗半導(dǎo)體部件2是要求很精確地定位半導(dǎo)體部件2。半導(dǎo)體部件2的極小的觸點必須精確地對準(zhǔn)檢驗座的檢驗針。[0049]在圖2中圖示的夾支承件I的部分示出，半導(dǎo)體部件2被橫夾元件6和縱夾元件9相對于兩個固定的止動邊緣壓緊，所述止動邊緣通過在此未精確地繪出的在圖1和圖2中可見的夾支承件I的蓋板I形成。
[0050]精確的功能從圖3中更好地可見，在圖3中將此蓋板移除且展示了對于夾元件的機械結(jié)構(gòu)的觀察。橫夾元件6與橫夾彈簧7和橫夾桿8連接。而縱夾元件9與縱夾彈簧10和縱夾桿11連接。通過接合夾桿8和11的操作銷4操作夾元件6和9。夾緊力由各夾彈簧7和10產(chǎn)生。
[0051]在為夾支承件I裝配以半導(dǎo)體部件2時，在插入半導(dǎo)體部件2之后縱夾元件9首先被關(guān)閉，因為所述縱夾元件9的夾緊力低。在此，縱夾元件9將半導(dǎo)體部件2靠著與之對置的止動邊緣推動，而不使得由橫夾元件6已產(chǎn)生夾緊力。僅當(dāng)縱夾元件9已關(guān)閉時,橫夾元件6也關(guān)閉，這通過橫夾彈簧7產(chǎn)生力，所述力將半導(dǎo)體部件2也抵抗來自縱夾元件9的夾緊力而壓靠對置的止動邊緣。
[0052]操作銷4突出通過夾支承件I內(nèi)的通過開口 5，且被在此未圖示的操作裝置控制。為將半導(dǎo)體部件2從夾支承件I移除，操作銷4移入到通過開口 5內(nèi)而使其壓在夾桿8和11上，且在此將夾元件6和9從半導(dǎo)體部件2拉開?，F(xiàn)在半導(dǎo)體部件2被釋放且可被移除。
[0053]在圖4和圖5中，在第一位置中的部件以實線繪出且在第二位置中的部件以虛線繪出。相同的部件也提供以相同的附圖標(biāo)號。雙箭頭總是指示其中相應(yīng)的部件可運動的方向。
[0054]根據(jù)圖4的實施例具有盒12，所述盒12可向上且向下行駛。所有所包含的夾支承件I可因此移除到平面上。在盒12的最下方的位置中，因此可移除最上方的夾支承件1，且在最上方的位置中可移除最下方的夾支承件I。盒12因此定向為使得半導(dǎo)體部件處在所包含的夾支承件的下側(cè)上。
[0055]操作裝置14在已移除的夾支承件I上方,所述操作裝置14以其操作銷4接合在夾支承件I內(nèi)且操作夾桿8和11。操作裝置14具有在此未圖示的引導(dǎo)件，所述引導(dǎo)件接收夾支承件1，將其精確定位且固定在此位置中。
[0056]中間支承件13處在夾支承件I下方，在所述中間支承件13中安放了已移除的半導(dǎo)體部件2。中間支承件13安裝在移動臺15上，借助于所述移動臺15可將中間支承件13行駛到移除裝置16下方的虛線圖示的位置中。移除裝置16根據(jù)雙箭頭可向上且向下以及向左且向右行駛。移除裝置16裝配有抽吸針17，所述抽吸針17降低到中間支承件13內(nèi)的半導(dǎo)體部件2上，且在抽吸半導(dǎo)體部件2之后再次升起。
[0057]在移動臺15旁邊布置了包裝裝置18，移除裝置16在所述包裝裝置18上可行駛。通過降低移除裝置16，可將半導(dǎo)體部件2放在包裝裝置18上。
[0058]移除裝置16可裝配有抽吸針17的陣列，使得可從中間支承件13同時移除半導(dǎo)體部件2。以此類移除裝置16可在包裝裝置18內(nèi)平行地裝配以多個帶有半導(dǎo)體部件2的帶。也可實現(xiàn)將移除裝置6裝配以僅一行抽吸針17，使得在包裝裝置18內(nèi)僅裝配一個帶。但也可使用帶有僅一個抽吸針17的小的移除裝置16從中間支承件13的單獨的移除。
[0059]如果必須被分類排除的半導(dǎo)體部件處在夾支承件I上，則帶有已從中間支承件13移除的半導(dǎo)體部件2的移除裝置16通過在此未圖示的廢品保持器移動到確定的位置，且將此故障的部件放置在此處。理想地，這在將良好的部件安放在包裝裝置18上之后進(jìn)行，使得良好的半導(dǎo)體部件盡可能快速且不受損壞地到達(dá)安全的包裝處。
[0060]如果半導(dǎo)體部件2不僅被分類到兩個類別即“正常”的類別和“故障”的類別，而是還分類到附加的“再次待檢驗”的類別，則理想地在觀察方向上在包裝裝置18前方或后方提供帶有僅一個抽吸針的小的旋轉(zhuǎn)裝置。在附圖中未圖示的此旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針指向上。以此方式，移除裝置16例如可首先行駛為使得被檢驗為良好的半導(dǎo)體部件2可安放在包裝裝置18上，然后移除裝置16行駛而使得再次待檢驗的半導(dǎo)體部件直接定位在旋轉(zhuǎn)裝置的抽吸針上，且可被所述抽吸針接收且僅在此時將故障的半導(dǎo)體部件丟棄到廢品容器內(nèi)。在接收了再次待檢驗的半導(dǎo)體部件之后，旋轉(zhuǎn)裝置向下樞轉(zhuǎn)180°，且將半導(dǎo)體部件放在布置在第一夾支承件I下方的平面上的另外的夾支承件上。通過此傳遞，半導(dǎo)體部件2又可在其中所述半導(dǎo)體部件2可被檢驗設(shè)備的檢驗座接觸的定向上安放在另外的夾支承件上。
[0061]當(dāng)然，旋轉(zhuǎn)裝置也可布置在移除裝置16上或其側(cè)面。但在這兩個情況中，必須使得移除裝置16也可旋轉(zhuǎn)地懸掛。
[0062]在下文中將根據(jù)圖4進(jìn)一步描述實施例1的功能方式。盒12行駛到其中可移除第一夾支承件I的位置中。所述盒12在操作裝置14的引導(dǎo)件中被推動且在此處被精確地定位。通過施加在夾支承件I上的編碼識別此夾支承件1，且從中央計算機讀取所屬的數(shù)據(jù)。由此數(shù)據(jù)可知半導(dǎo)體部件2中的哪些是正常的，哪些是故障的，且哪些必須再次檢驗。
[0063]操作銷4從操作裝置14移入通過開口 5內(nèi)且因此操作了夾桿8和11。以此將夾元件6和9打開，使得在半導(dǎo)體部件2上不再施加保持力。與夾支承件的裝配相反，在清空時夾桿的操作可同時進(jìn)行。
[0064]半導(dǎo)體部件2由于其自重而落入到具有相應(yīng)的劃分的中間支承件13內(nèi)，使得半導(dǎo)體部件2也在此被精確地定位。半導(dǎo)體部件2的原來靠放在夾支承件I上的側(cè)現(xiàn)在指向上。只要半導(dǎo)體部件2處在中間支承件13內(nèi)，則空的夾支承件I可返回到盒12內(nèi)，且從盒12內(nèi)裝載下一個充滿的夾支承件，將所述夾支承件定位且讀取其所屬的數(shù)據(jù)。但也可使用空的夾支承件駛?cè)氲狡鋬?nèi)的第二盒。
[0065]中間支承件13現(xiàn)在在移除裝置16下方行駛且又在此處被精確地定位。移除裝置16向下運動，直至抽吸針17安放在中間支承件13內(nèi)的半導(dǎo)體部件2上?，F(xiàn)在所產(chǎn)生的真空保持了半導(dǎo)體部件2，使得所述半導(dǎo)體部件2在拉高移除裝置16時從中間支承件13移除，且與抽吸針17 —起向上行駛。
[0066]只要半導(dǎo)體部件2從中間支承件13釋放，則中間支承件13可向回行駛且又以下一個夾支承件的半導(dǎo)體部件充滿。在此期間，移除裝置16側(cè)向行駛且定位在保證裝置18上。在此，根據(jù)所讀取的數(shù)據(jù)首先安放被認(rèn)為良好的半導(dǎo)體部件，這通過在斷開相應(yīng)的抽吸針17上的真空實現(xiàn)。如果被移除的半導(dǎo)體部件2是再次待檢驗的部件，則移除裝置16在觀察方向上向前行駛，行駛到保證裝置18前且將此半導(dǎo)體部件傳遞到在此未圖示的旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置然后將部件安放在另一個也未圖示的夾支承件上。
[0067]如果在此也是故障的半導(dǎo)體部件2，則移除裝置16然后在觀察方向上行駛到包裝裝置18后方，且將此部件投入到廢品容器內(nèi)。
[0068]在圖5中示出了替代的構(gòu)造變體。在此實施例中將盒12放置為使得半導(dǎo)體部件2處在包含所述半導(dǎo)體部件2的夾支承件I的上側(cè)上。在此，不提供中間支承件13，使得半導(dǎo)體部件2可直接通過移除裝置16從夾支承件I移除。夾元件的打開過程與在實施例1中所描述的情況是相同的。操作裝置14在此當(dāng)然處在夾支承件I下方，因為夾支承件I也恰好相反地定向。保持裝置18在此在觀察方向上處在操作裝置14后方。這從側(cè)視圖中在圖6中在箭頭A的方向上可見。
[0069]在夾元件打開且通過移除裝置16的抽吸針17接收半導(dǎo)體部件2之后，移除裝置16向上行駛直至半導(dǎo)體部件2自由。然后，移除裝置16圍繞垂直于于其定向的水平的旋轉(zhuǎn)軸線20樞轉(zhuǎn)90° (見圖6)，且固定在此位置。在鏡像對稱的位置中等待的旋轉(zhuǎn)裝置19現(xiàn)在向著移除裝置16行駛，直至旋轉(zhuǎn)裝置19的抽吸針接觸半導(dǎo)體部件2。然后，激活旋轉(zhuǎn)裝置19的抽吸針內(nèi)的真空且關(guān)閉移除裝置16的抽吸針內(nèi)的真空。半導(dǎo)體部件2現(xiàn)在被旋轉(zhuǎn)裝置19的抽吸針接收，使其可一體地被從移除裝置16移開。
[0070]旋轉(zhuǎn)裝置19現(xiàn)在圍繞其旋轉(zhuǎn)軸線20向下樞轉(zhuǎn)90°，且可因此通過附加的降低而將半導(dǎo)體部件2安放在包裝裝置18上。在實施例1中已經(jīng)描述了在三個不同的類別內(nèi)的安放，且因此在此不再重新解釋。當(dāng)然，在此實施例中也可將空的夾支承件I再次移回到盒12內(nèi)，或運輸?shù)搅硗獾目盏暮袃?nèi)。移除裝置16和旋轉(zhuǎn)裝置19也可如也在實施例1中的情況裝配有單獨的抽吸針17，一行抽吸針17或抽吸針陣列。
【權(quán)利要求】
1.一種用于從夾支承件移除已檢驗的半導(dǎo)體部件的設(shè)備，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，其特征在于如下特點: ?布置在夾支承件上的操作裝置，所述操作裝置將夾元件運動到實現(xiàn)清空夾支承件的打開位置且在清空之后運動到靜止位置， ?在清空期間定位在夾支承件下方的、在其上清空夾支承件的中間支承件， 籲其中存儲涉及每個半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲器，和 籲將半導(dǎo)體元件從中間支承件移除且相應(yīng)地將存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)分類為至少兩個不同的類型的移除裝置。
2.一種用于從夾支承件移除已檢驗的半導(dǎo)體部件的設(shè)備，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，其特征在于如下特點: ?將夾元件運動到實現(xiàn)清空夾支承件的打開位置且在清空之后運動到靜止位置的操作裝置， 籲其中存儲涉及每個半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲器， 籲將半導(dǎo)體元件從夾支承件移除的移除裝置，和 ?用于將從夾支承件移除的半導(dǎo)體部件在垂直于移除方向的軸線上旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1至2中一項所述的設(shè)備，其特征在于，在夾支承件上提供用于定向再次待檢驗的半導(dǎo)體部件的裝置，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，帶有操作裝置以用于將夾元件運動到打開位置，所述打開位置實現(xiàn)了半導(dǎo)體部件通過定向裝 置的安放，且用于在安放半導(dǎo)體部件之后將夾元件運動到夾緊位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，提供了用于盒的接收器，從所述接收器中可移除空的夾支承件且向所述接收器內(nèi)可插入裝配有再次待檢測的半導(dǎo)體部件的夾支承件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中一項所述的設(shè)備，其特征在于，提供了用于盒的接收器，從所述接收器可移除裝配有已檢驗的半導(dǎo)體部件的夾支承件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中一項所述的設(shè)備，其特征在于，提供了容器，在所述容器內(nèi)放入已檢驗的、根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)不可使用的半導(dǎo)體部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中一項所述的設(shè)備，其特征在于，提供了包裝裝置，所述包裝裝置接收已檢驗的、根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)為正常的半導(dǎo)體部件且將其傳送到包裝內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中一項所述的設(shè)備，其特征在于，提供了用于讀取施加在夾支承件上的代碼的讀取器。
9.一種用于從夾支承件移除已檢驗的半導(dǎo)體部件的方法，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，其特征在于，從盒內(nèi)移除帶有已檢驗的半導(dǎo)體部件的夾支承件，將其精確定位且通過代碼識別，讀取涉及每個已檢驗的半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)，將夾元件運動到實現(xiàn)了移除半導(dǎo)體部件的打開位置中，將半導(dǎo)體部件從夾支承件清空到中間支承件上且將夾元件運動到靜止位置，將空的夾支承件再次插入到盒內(nèi)且將半導(dǎo)體部件從中間支承件移除，且根據(jù)所讀取的數(shù)據(jù)分類為至少兩個不同的類別。
10.一種用于從夾支承件移除已檢驗的半導(dǎo)體部件的方法，所述夾支承件帶有固定的止動元件和可運動的通過彈簧元件預(yù)張緊的夾元件，其特征在于，從盒內(nèi)移除帶有已檢驗的半導(dǎo)體部件的夾支承件，將其精確定位且通過代碼識別，讀取涉及每個已檢驗的半導(dǎo)體部件的數(shù)據(jù)，將夾元件運動到實現(xiàn)了移除半導(dǎo)體部件的打開位置中，將半導(dǎo)體部件從夾支承件移除且將夾元件運動到靜止位置，將空的夾支承件再次插入到盒內(nèi)且將至少分類為良好的半導(dǎo)體部件圍繞垂直于移除裝置的軸線旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9至10中一項所述的方法，其特征在于，對于已檢驗的且被認(rèn)為正常的半導(dǎo)體部件，在其從夾支承件移除之后，以照相機在其所有側(cè)上進(jìn)行視覺記錄。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中一項所述的方法，其特征在于，將再次待檢驗的半導(dǎo)體部件在從夾支承件移除之后插入到另外 的夾支承件內(nèi)、管內(nèi)或另外的筒內(nèi)。
【文檔編號】G01R1/02GK103604954SQ201310197163
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年5月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月13日
【發(fā)明者】T·霍夫曼, K·阿卡曼, S·庫爾茨, A·納吉, J·波特齊格, B·洛佩茲 申請人:馬提特斯電子系統(tǒng)有限公司