移動(dòng)機(jī)構(gòu)、電子部件輸送裝置、以及電子部件檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種移動(dòng)機(jī)構(gòu)、電子部件輸送裝置、以及電子部件檢查裝置。移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有：第一移動(dòng)體，其以相對支承體沿第一方向能夠移動(dòng)的方式配置；第二移動(dòng)體，其經(jīng)由第一移動(dòng)體設(shè)置于與支承體相反的一側(cè)，相對第一移動(dòng)體能夠沿與第一方向交叉的第二方向移動(dòng)；以及第一振動(dòng)體，其配置于支承體并能夠按壓移動(dòng)體地被推壓、或者配置于第一移動(dòng)體并能夠按壓支承體地被推壓，第一槽和上述第二槽對置的方向與支承體和移動(dòng)體對置的方向交叉，第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向與第一槽和上述第二槽對置的方向以及支承體和移動(dòng)體對置的方向交叉。
【專利說明】移動(dòng)機(jī)構(gòu)、電子部件輸送裝置、以及電子部件檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及移動(dòng)機(jī)構(gòu)、電子部件輸送裝置、以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]公知有多種搭載了使移動(dòng)體相對于支承體沿規(guī)定方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的機(jī)器。例如，在專利文獻(xiàn)I的機(jī)器人中，在與移動(dòng)方向平行地設(shè)置的軌道和從兩側(cè)夾著軌道供軌道嵌合的軌道座之間插入有多個(gè)滾動(dòng)體(滾珠)，從而形成兩列與移動(dòng)方向平行的滾珠引導(dǎo)件(移動(dòng)軸)。在這樣的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，若將由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)等產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)傳遞至移動(dòng)體，則滾珠在軌道與軌道座之間滾動(dòng)，從而能夠使移動(dòng)體順利地移動(dòng)。
[0003]另外，公知有使多個(gè)移動(dòng)方向不同的移動(dòng)體組合的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如，如專利文獻(xiàn)2所公開的那樣，使相對支承體能夠沿X軸方向移動(dòng)的第一移動(dòng)體與相對第一移動(dòng)體能夠沿Y軸方向移動(dòng)的第二移動(dòng)體重疊，從而第二移動(dòng)體能夠在X-Y平面上移動(dòng)。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本實(shí)開平5-16172號公報(bào)
[0005]專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-271480號公報(bào)
[0006]但是，如專利文獻(xiàn)I那樣，在利用兩列移動(dòng)軸支承移動(dòng)體的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，存在因?qū)σ苿?dòng)體施加負(fù)載等從而在移動(dòng)體產(chǎn)生晃動(dòng)的問題。特別是，在具備了多個(gè)移動(dòng)體的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，在一個(gè)移動(dòng)體產(chǎn)生的晃動(dòng)傳遞至其他的移動(dòng)體，從而導(dǎo)致移動(dòng)機(jī)構(gòu)整體產(chǎn)生較大的晃動(dòng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的技術(shù)中存在的上述課題的至少一部分而完成的，其目的在于提供能夠抑制在移動(dòng)體所廣生的晃動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0008]為了解決上述課題的至少一部分，本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)采用如下結(jié)構(gòu)，S卩，本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的特征在于，具備:
[0009]支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0010]第一移動(dòng)體，其相對上述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)；
[0011]第一振動(dòng)體,其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第一方向的振動(dòng),在被向上述支承體或者上述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0012]第二移動(dòng)體，其隔著上述第一移動(dòng)體設(shè)置于與上述支承體相反的一側(cè)，隨同上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，相對上述第一移動(dòng)體能夠沿與上述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)；
[0013]第二振動(dòng)體,其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第二方向的振動(dòng),在被向上述第一移動(dòng)體或者上述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0014]第一槽，其在上述支承體設(shè)置一對，并形成為與上述第一方向平行；
[0015]第二槽，其在上述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與上述第一槽相對；
[0016]多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及[0017]移動(dòng)軸，其包含上述滾動(dòng)體，并與上述第一方向平行，
[0018]上述移動(dòng)軸以在與上述支承體和上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置兩列，
[0019]上述第一槽和上述第二槽相對的方向與上述支承體和上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置關(guān)系在上述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的，
[0020]上述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含上述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
[0021]此處，所謂“相對于移動(dòng)面傾斜的方向”不包含與移動(dòng)面平行的方向、與移動(dòng)面垂直的方向。
[0022]在上述的本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，若將第一振動(dòng)體支承于支承體側(cè)，則第一移動(dòng)體承受第一振動(dòng)體的作用力，若將第一振動(dòng)體支承于第一移動(dòng)體側(cè)，則第一移動(dòng)體承受與第一振動(dòng)體的推壓方向相反方向的反作用力。另外，由于第一振動(dòng)體的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜，所以在第一移動(dòng)體所承受的作用力或者反作用力中包含有與移動(dòng)面平行的成分和與移動(dòng)面垂直的成分。第一移動(dòng)體承受與移動(dòng)面平行的力，從而在兩列移動(dòng)軸中的一列移動(dòng)軸中，第一槽與第二槽之間的間隔在與移動(dòng)面平行的方向上堵塞，且滾動(dòng)體被第一槽與第二槽夾持。另外，在另一列移動(dòng)軸中，雖然第一槽與第二槽之間的間隔較寬廣，但是第一移動(dòng)體承受與移動(dòng)面垂直的力，從而產(chǎn)生以一列移動(dòng)軸為旋轉(zhuǎn)軸使第一移動(dòng)體旋轉(zhuǎn)的力矩，因此滾動(dòng)體在與移動(dòng)面垂直的方向上被第一槽與第二槽夾持。其結(jié)果，能夠抑制第一移動(dòng)體的晃動(dòng)。并且，如上，通過配置于靠近支承體的一側(cè)來抑制施加第二移動(dòng)體的重量而導(dǎo)致的第一移動(dòng)體的晃動(dòng)，能夠提高移動(dòng)機(jī)構(gòu)整體的剛性。
[0023]在上述的本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，在將支承體設(shè)置于能夠沿規(guī)定方向移送移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移送體的情況下，也可以使第一方向與移送體的移送方向不同。
[0024]移送體移送移動(dòng)機(jī)構(gòu)，與此相伴，對移動(dòng)機(jī)構(gòu)作用沿移送體的移送方向的慣性力。若預(yù)先使第一方向與移送體的移送方向不同，則很難對第一移動(dòng)體施加沿移動(dòng)方向的慣性力，因此即使第二移動(dòng)體的重量作用于配置于靠近支承體的一側(cè)的第一移動(dòng)體，也能夠抑制由慣性力導(dǎo)致的第一移動(dòng)體的位置偏移(朝移動(dòng)方向的滑動(dòng))。此外，若預(yù)先減少第二移動(dòng)體的重量，則即使假設(shè)第二方向與移送體的移送方向重疊，也能夠不對第二移動(dòng)體作用較大的慣性力，而抑制第二移動(dòng)體的位置偏移(朝移動(dòng)方向的滑動(dòng))。結(jié)果，不需要為了防止由慣性力導(dǎo)致的位置偏移而追加制動(dòng)器機(jī)構(gòu)等，就能夠?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的小型化。
[0025]另外，在上述的本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，也可以設(shè)置以與第一方向以及第二方向正交的第三方向?yàn)檩S進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)體，和產(chǎn)生振動(dòng)來驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)體的第三振動(dòng)體，使第三振動(dòng)體產(chǎn)生的振動(dòng)的方向與移送體的移送方向不同。此外，此處的“正交”不局限于完全的正交，也包含大體正交的含義。
[0026]如上，若預(yù)先使第三振動(dòng)體的振動(dòng)方向與移送體的移送方向不同，則即使伴隨著移送體的移送而對移動(dòng)機(jī)構(gòu)作用慣性力，由于第三振動(dòng)體通過振動(dòng)來驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)體的方向(振動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)力傳遞至轉(zhuǎn)動(dòng)體的方向)與慣性方向不重疊，所以也能夠抑制由慣性力導(dǎo)致的轉(zhuǎn)動(dòng)體的位置偏移(朝轉(zhuǎn)動(dòng)方向的滑動(dòng))。
[0027]另外，在這樣的本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，也可以將形成為大致長方體形狀的受壓體以第一振動(dòng)體所抵接的面與推壓方向成為垂直的姿態(tài)埋入支承體或者第一移動(dòng)體中的任意一方的第一振動(dòng)體所推壓的部分。
[0028]這樣一來，即使第一振動(dòng)體被支承體或者第一移動(dòng)體傾斜地推壓，也不會(huì)因作用力而使受壓體偏離(受壓體的位置朝與移動(dòng)面平行的方向移動(dòng))，從而能夠?qū)⒄駝?dòng)體的驅(qū)動(dòng)力適當(dāng)?shù)貍鬟f至受壓體而使第一移動(dòng)體相對于支承體高精度地移動(dòng)。
[0029]另外，在上述的本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)中，也可以利用硬度高于支承體或者第一移動(dòng)體中的埋入有受壓體的一側(cè)的材料形成受壓體。
[0030]這樣一來，能夠利用在第一振動(dòng)體與受壓體之間作用的摩擦力來抑制受壓體磨損。其結(jié)果，即使長期使用也能夠抑制移動(dòng)體的移動(dòng)精度降低。
[0031]另外，本發(fā)明也能夠通過以下的方式充分理解。即，也能夠作為電子部件輸送裝置充分理解，其特征在于，具備:
[0032]把持部，其對電子部件進(jìn)行把持；以及
[0033]移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動(dòng)，
[0034]上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備:
[0035]支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0036]第一移動(dòng)體，其相對上述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)；
[0037]第一振動(dòng)體,其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第一方向的振動(dòng),在被向上述支承體或者上述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0038]第二移動(dòng)體，其隔著上述第一移動(dòng)體設(shè)置于與上述支承體相反的一側(cè)，并隨同上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，相對上述第一移動(dòng)體能夠沿與上述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)；
[0039]第二振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第二方向的振動(dòng)，在被向上述第一移動(dòng)體或者上述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0040]第一槽，其在上述支承體設(shè)置一對，并形成為與上述第一方向平行；
[0041]第二槽，其在上述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與上述第一槽相對；
[0042]多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及
[0043]移動(dòng)軸，其包含上述滾動(dòng)體，并與上述第一方向平行，
[0044]上述移動(dòng)軸以在與上述支承體和上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置有兩列，
[0045]上述第一槽和上述第二槽相對的方向與上述支承體和上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置關(guān)系在上述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的，
[0046]上述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含上述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
[0047]在上述的本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，能夠抑制移動(dòng)機(jī)構(gòu)的晃動(dòng)，因此能夠提高輸送電子部件的精度。
[0048]另外，本發(fā)明也能夠通過以下的方式充分理解，S卩，也能夠作為電子部件檢查裝置充分理解，其特征在于，具備:
[0049]把持部，其對電子部件進(jìn)行把持；
[0050]移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動(dòng)；以及
[0051]檢查部，其對上述電子部件進(jìn)行檢查，[0052]上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備:
[0053]支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0054]第一移動(dòng)體,其相對上述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)；
[0055]第一振動(dòng)體,其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第一方向的振動(dòng),在被向上述支承體或者上述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0056]第二移動(dòng)體，其隔著上述第一移動(dòng)體設(shè)置于與上述支承體相反的一側(cè)，隨同上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，并能夠相對于上述第一移動(dòng)體沿與上述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)；
[0057]第二振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生上述第二方向的振動(dòng)，在被向上述第一移動(dòng)體或者上述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承；
[0058]第一槽，其在上述支承體設(shè)置一對，并形成為與上述第一方向平行；
[0059]第二槽，其在上述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與上述第一槽相對；
[0060]多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及
[0061]移動(dòng)軸，其包含上述滾動(dòng)體，并與上述第一方向平行，
[0062]上述移動(dòng)軸以在與上述支承體與上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置有兩列，
[0063]上述第一槽和上述第二槽相對的方向與上述支承體和上述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置關(guān)系在上述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的，
[0064]上述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含上述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
[0065]在上述的本發(fā)明的電子部件檢查裝置中，能夠抑制移動(dòng)機(jī)構(gòu)的晃動(dòng)，因此能夠提高檢查電子部件的精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0066]圖1是對搭載了本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的電子部件檢查裝置進(jìn)行例示的立體圖。
[0067]圖2是表示了內(nèi)置于把持裝置的本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0068]圖3是表示了將移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行分解后的狀態(tài)的立體圖。
[0069]圖4是表示了壓電馬達(dá)的內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖。
[0070]圖5是表示壓電馬達(dá)的動(dòng)作原理的說明圖。
[0071]圖6是以與X方向垂直的平面進(jìn)行剖切的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0072]圖1是對搭載了本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的電子部件檢查裝置100進(jìn)行例示的立體圖。圖示的電子部件檢查裝置100大致具備基臺(tái)110和立設(shè)于基臺(tái)110的側(cè)面的支承臺(tái)130。在基臺(tái)110的上面設(shè)置有:載置并輸送作為檢查對象的電子部件I的上游側(cè)工作臺(tái)112u;和載置并輸送檢查完畢的電子部件I的下游側(cè)工作臺(tái)112d。另外，在上游側(cè)工作臺(tái)112u與下游側(cè)工作臺(tái)112d之間設(shè)置有:用于確認(rèn)電子部件I的姿態(tài)的攝像裝置114 ;和為了檢查電氣特性而安裝電子部件I的檢查臺(tái)116 (檢查部)。此外，作為電子部件I的代表例能夠列舉有:“半導(dǎo)體”、“半導(dǎo)體晶片”、“CLD、OLED (Organic Light-EmittingDiode有機(jī)發(fā)光二極管)等顯示元件”、“水晶元件”、“各種傳感器”、“噴墨頭”、“各種MEMS(Micro-Electro-Mechanical System 微機(jī)電系統(tǒng))兀件”等。
[0073]在支承臺(tái)130以能夠沿與基臺(tái)110的上游側(cè)工作臺(tái)112u以及下游側(cè)工作臺(tái)112d平行的方向(Y方向)移動(dòng)的方式設(shè)置有Y工作臺(tái)132，對于Y工作臺(tái)132而言，在與Y方向正交并朝向基臺(tái)110的方向(X方向)延伸配置有臂部134。另外，在臂部134的側(cè)面以能夠沿X方向移動(dòng)的方式設(shè)置有X工作臺(tái)136。而且，在X工作臺(tái)136設(shè)置有攝像照相機(jī)138與把持裝置140。如后所述，在把持裝置140內(nèi)置有用于對X方向以及Y方向的坐標(biāo)進(jìn)行微調(diào)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150、能夠沿與X方向以及Y方向正交的上下方向(Z方向)移動(dòng)的Z工作臺(tái)等。另外，在把持裝置140的前端設(shè)置有把持電子部件I的把持部142。并且，在基臺(tái)110的前面?zhèn)冗€設(shè)置有對電子部件檢查裝置100的整體的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制裝置118。此外，在本實(shí)施例中，設(shè)置于支承臺(tái)130的Y工作臺(tái)132、臂部134、X工作臺(tái)136、以及把持裝置140與本發(fā)明的“電子部件輸送裝置”對應(yīng)。
[0074]具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置100以如下方式對電子部件I進(jìn)行檢查。首先，將作為檢查對象的電子部件I載置于上游側(cè)工作臺(tái)112u，并移動(dòng)至檢查臺(tái)116的附近。接下來，使Y工作臺(tái)132以及X工作臺(tái)136移動(dòng)，使把持裝置140移動(dòng)至在上游側(cè)工作臺(tái)112u載置的電子部件I的正上方的位置。此時(shí)，能夠使用攝像照相機(jī)138確認(rèn)電子部件I的位置。而且，若使用內(nèi)置于把持裝置140內(nèi)的Z工作臺(tái)使把持部142下降，并利用把持部142把持電子部件I，則使把持裝置140朝攝像裝置114的上方移動(dòng)，使用攝像裝置114確認(rèn)電子部件I的姿態(tài)(坐標(biāo))。接著，使用內(nèi)置于把持裝置140的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150來調(diào)整電子部件I的姿態(tài)。而且，在使把持裝置140移動(dòng)至檢查臺(tái)116的上方后，使內(nèi)置于把持裝置140的Z工作臺(tái)移動(dòng)從而將電子部件I安裝在檢查臺(tái)116的上方。由于使用把持裝置140內(nèi)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150來調(diào)整電子部件I的姿態(tài)，因此能夠?qū)㈦娮硬考蘒安裝在檢查臺(tái)116的正確的位置。而且，若使用檢查臺(tái)116對電子部件I的電氣特性的檢查結(jié)束，則這次在從檢查臺(tái)116拿起電子部件I后，使Y工作臺(tái)132以及X工作臺(tái)136移動(dòng)，并使把持裝置140移動(dòng)至下游側(cè)工作臺(tái)112d的上方，從而將電子部件I載置在下游側(cè)工作臺(tái)112d。然后，使下游側(cè)工作臺(tái)112d移動(dòng)，將檢查結(jié)束了的電子部件I輸送至規(guī)定位置。
[0075]圖2是表示了內(nèi)置于把持裝置140的本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的結(jié)構(gòu)的立體圖。如圖所示，本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150在最上層配置有支承整體的單元基座200，該單元基座200安裝于X工作臺(tái)136。在單元基座200的下方以相對單元基座200能夠沿X方向移動(dòng)的方式設(shè)置有X組塊220。另外，在X組塊220的下方以能夠隨著X組塊220的移動(dòng)一同朝以Z方向?yàn)檩S的旋轉(zhuǎn)方向(0方向)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式設(shè)置有0組塊240。并且，在0組塊240的下方以隨同9組塊240的移動(dòng)并相對0組塊240能夠沿Y方向移動(dòng)的方式設(shè)置有Y組塊260。此外，圖中的虛線箭頭表示各組塊(220、240、260)的移動(dòng)方向。另外，本實(shí)施例的單元基座200相當(dāng)于本發(fā)明的“支承體”，本實(shí)施例的X組塊220相當(dāng)于本發(fā)明的“第一移動(dòng)體”，本實(shí)施例的Y組塊260相當(dāng)于本發(fā)明的“第二移動(dòng)體”，本實(shí)施例的0組塊240相當(dāng)于本發(fā)明的“轉(zhuǎn)動(dòng)體”。
[0076]另外，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)150設(shè)置有三個(gè)壓電馬達(dá):驅(qū)動(dòng)X組塊220的X方向用的壓電馬達(dá)300x、驅(qū)動(dòng)0組塊240的0方向用的壓電馬達(dá)300 0、驅(qū)動(dòng)Y組塊260的Y方向用的壓電馬達(dá)300y。此外，在不需要特別地區(qū)別三個(gè)壓電馬達(dá)(300x、300 0、300y)的情況下，往往僅將上述三個(gè)壓電馬達(dá)(300x、300 0、300y)稱為壓電馬達(dá)300。另外，對于壓電馬達(dá)300的
動(dòng)作原理將在后面說明。
[0077]并且，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)150設(shè)置有在上下方向(Z方向)貫通單元基座200、X組塊220、0組塊240、以及Y組塊260的軸280。軸280以能夠沿Z方向移動(dòng)的方式安裝于Y組塊260，隨同Y組塊260的移動(dòng)并通過未圖示的Z工作臺(tái)的動(dòng)作而朝Z方向移動(dòng)。另外，在軸280的下端安裝有把持部142。
[0078]圖3是表示了將移動(dòng)機(jī)構(gòu)150進(jìn)行分解后的狀態(tài)的立體圖。如圖所示，單元基座200是大致矩形的平板形狀，并設(shè)置有使軸280在Z方向穿過的圓形剖面的貫通孔208。貫通孔208的大小形成為即使軸280隨同Y組塊260的移動(dòng)而朝X方向以及Y方向移動(dòng)也不會(huì)與內(nèi)周面接觸的大小。另外，在單元基座200的下表面(與X組塊220相對的面)與X方向平行地延伸配置有形成為向下的凹形剖面的兩個(gè)X軌道座202，上述兩個(gè)X軌道座202以在Y方向分離的方式配置。在X軌道座202的內(nèi)壁側(cè)面形成有剖面形狀為半圓形的外槽204，并沿著外槽204配置有多個(gè)滾珠206。此外，本實(shí)施例的外槽204相當(dāng)于本發(fā)明的“第一槽”，本實(shí)施例的滾珠206相當(dāng)于本發(fā)明的“滾動(dòng)體”。
[0079]在X組塊220的上表面(與單元基座200相對的面)與X方向平行地延伸配置有兩個(gè)X軌道222，該兩個(gè)X軌道222與單元基座200側(cè)的兩個(gè)X軌道座202對應(yīng)。在X軌道222的兩側(cè)面形成有與X軌道座202的外槽204相對的半圓形剖面的內(nèi)槽224。在使X軌道222與對應(yīng)的X軌道座202嵌合的狀態(tài)下，在內(nèi)槽224與外槽204之間插入有多個(gè)滾珠206，從而在各X軌道222的兩側(cè)形成滾珠引導(dǎo)。而且，滾珠206沿著內(nèi)槽224以及外槽204滾動(dòng)，從而X組塊220相對于單元基座200順利地移動(dòng)。此外，本實(shí)施例的內(nèi)槽224相當(dāng)于本發(fā)明的“第二槽”。
[0080]另外，在X組塊220的朝向Y方向的側(cè)面的一側(cè)(附圖近前側(cè))安裝有壓電馬達(dá)300x，在另一側(cè)(圖中進(jìn)深側(cè))安裝有壓電馬達(dá)300 0。在壓電馬達(dá)300中內(nèi)置有包含壓電材料而形成的長方體形狀的振動(dòng)體310，在振動(dòng)體310的長邊方向的端面設(shè)置有形成為圓柱形狀的陶瓷制造的凸部312。另外，如后所述，本實(shí)施例的壓電馬達(dá)300形成將振動(dòng)體310朝設(shè)置有凸部312的一側(cè)推壓的構(gòu)造。驅(qū)動(dòng)X組塊220的壓電馬達(dá)300x在使振動(dòng)體310的短邊方向與X方向一致，并將振動(dòng)體310的凸部312朝單元基座200推壓的狀態(tài)下進(jìn)行安裝。在單元基座200側(cè)的凸部312所推壓的部分埋入有形成為大致長方體形狀的陶瓷制造的受壓體210。另外，驅(qū)動(dòng)0組塊240的壓電馬達(dá)300 0安裝為使振動(dòng)體310的短邊方向與X方向一致，并使振動(dòng)體310的凸部312朝向0組塊240。此外，本實(shí)施例的內(nèi)置于壓電馬達(dá)300x的振動(dòng)體310相當(dāng)于本發(fā)明的“第一振動(dòng)體”，本實(shí)施例的內(nèi)置于壓電馬達(dá)300 9的振動(dòng)體310相當(dāng)于本發(fā)明的“第三振動(dòng)體”。
[0081]并且，在X組塊220以在Z方向貫通的方式設(shè)置有使軸280穿過的圓形剖面的貫通孔226。X組塊220的貫通孔226形成為內(nèi)徑大于單元基座200的貫通孔208。
[0082]從0組塊240的上表面(與X組塊220相對的面)立設(shè)有設(shè)置有使軸280穿過的貫通孔244的圓筒形狀的導(dǎo)向軸242。在導(dǎo)向軸242的外周面以在上下方向(Z方向)分離的方式設(shè)置有兩個(gè)剖面形狀形成為半圓形的內(nèi)槽246，并沿著內(nèi)槽246配置有多個(gè)滾珠248。導(dǎo)向軸242的外徑形成為小于X組塊220的貫通孔226的內(nèi)徑，在貫通孔226的內(nèi)周面設(shè)置有兩個(gè)與導(dǎo)向軸242的內(nèi)槽246相對的外槽(未圖示)。在將導(dǎo)向軸242插入X組塊220的貫通孔226的狀態(tài)下，在導(dǎo)向軸242的內(nèi)槽246與對應(yīng)的貫通孔226的外槽之間插入有多個(gè)滾珠248，從而形成環(huán)狀的滾珠引導(dǎo)。而且，滾珠248沿著內(nèi)槽246以及外槽滾動(dòng)，從而0組塊240相對于X組塊220順利地轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0083]另外，在0組塊240的上表面，在與壓電馬達(dá)300 0相對的位置立設(shè)有受壓臺(tái)250。在該受壓臺(tái)250的上表面安裝有陶瓷制造的受壓體252，并被內(nèi)置于壓電馬達(dá)300 0的振動(dòng)體310的凸部312推壓。
[0084]另外，在0組塊240以使振動(dòng)體310的短邊方向與Y方向一致并且使振動(dòng)體310的凸部312朝向Y組塊260的方式安裝有驅(qū)動(dòng)Y組塊260的壓電馬達(dá)300y。此外，本實(shí)施例的內(nèi)置于壓電馬達(dá)300y的振動(dòng)體310相當(dāng)于本發(fā)明的“第二振動(dòng)體”。
[0085]并且，在0組塊240的下表面(與Y組塊260相對的面)與Y方向平行地延伸配置有兩個(gè)Y軌道254，兩個(gè)Y軌道254以在X方向以及Y方向上分離的方式進(jìn)行配置。在Y軌道254的兩側(cè)面形成有剖面形狀為半圓形的內(nèi)槽256。
[0086]在Y組塊260的上表面(與9組塊240相對的面)與Y方向平行地延伸配置有兩個(gè)Y軌道座262，該兩個(gè)Y軌道座262與0組塊240側(cè)的兩個(gè)Y軌道254對應(yīng)。Y軌道座262的剖面形狀形成為朝上的凹形，在內(nèi)壁側(cè)面形成有與Y軌道254的內(nèi)槽256相對的半圓形剖面的外槽264，并沿著外槽264配置有多個(gè)滾珠266。在使Y軌道座262與對應(yīng)的Y軌道254嵌合的狀態(tài)下,在內(nèi)槽256與外槽264之間插入有多個(gè)滾珠266,從而在各Y軌道254的兩側(cè)形成滾珠引導(dǎo)。而且，滾珠266沿著內(nèi)槽256以及外槽264滾動(dòng)，從而Y組塊260相對于e組塊240順利地移動(dòng)。
[0087]另外，在Y組塊260的上表面，在與壓電馬達(dá)300y相對的位置安裝有陶瓷制造的受壓體268，并被內(nèi)置于壓電馬達(dá)300y的振動(dòng)體310的凸部312推壓。并且，在Y組塊260設(shè)置有以能夠在Z方向上移動(dòng)的方式支承軸280的圓筒形狀的軸支承部270。
[0088]在具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，通過對三個(gè)壓電馬達(dá)300中的、壓電馬達(dá)300x的振動(dòng)體310外加電壓，能夠使X組塊220相對單元基座200沿X方向移動(dòng)。另外，通過對壓電馬達(dá)300 0的振動(dòng)體310外加電壓，能夠使0組塊240沿0方向轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，通過對壓電馬達(dá)300y的振動(dòng)體310外加電壓，能夠使Y組塊260相對0組塊240沿Y方向移動(dòng)。
[0089]圖4是表示了壓電馬達(dá)300的內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖。此外，如圖3所示的那樣，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150設(shè)置有三個(gè)壓電馬達(dá)(300x、300 0、300y)，但任意的壓電馬達(dá)300其基本構(gòu)造、動(dòng)作原理均相同。于是，以下，以壓電馬達(dá)300x為例進(jìn)行說明。如圖所示，振動(dòng)體310以使凸部312突出的狀態(tài)保持于振動(dòng)體殼體302內(nèi)，該振動(dòng)體殼體302以能夠朝向凸部312突出的方向(Z方向)移動(dòng)的方式收容于收容殼體304。在振動(dòng)體殼體302的側(cè)面(朝向與Z方向正交的Y方向的面)的一側(cè)與收容殼體304之間設(shè)置有朝Y方向推壓振動(dòng)體殼體302的側(cè)壓彈簧306。另外，在振動(dòng)體殼體302的側(cè)面的另一側(cè)(與設(shè)置有側(cè)壓彈簧306的一側(cè)相反的一側(cè))與收容殼體304之間設(shè)置有沿Z方向滾動(dòng)的滾軸308。因此，振動(dòng)體殼體302能夠一邊被限制朝Y方向的移動(dòng)，一邊沿Z方向順利地移動(dòng)。并且，在與設(shè)置有滾軸308的一側(cè)相同的一側(cè)設(shè)置有推壓彈簧320，該推壓彈簧320將振動(dòng)體殼體302朝Z方向(設(shè)置有凸部312的一側(cè))推壓。而且，如圖2所示的那樣，在組裝好移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的狀態(tài)下，將振動(dòng)體310的凸部312朝單元基座200的受壓體210推壓，通過對振動(dòng)體310外加電壓，能夠驅(qū)動(dòng)X組塊220。
[0090]圖5是表示壓電馬達(dá)300的動(dòng)作原理的說明圖。如圖5(a)所示的那樣，在內(nèi)置于壓電馬達(dá)300x的振動(dòng)體310的表面?zhèn)鹊膫?cè)面，以使其側(cè)面縱橫兩分割(合計(jì)四分割)的方式形成有四個(gè)矩形形狀的表面電極314a?314d。此外，在不需要區(qū)別四個(gè)表面電極314a?314d的情況下，往往僅將上述表面電極稱為表面電極314。另外，雖省略圖示，但在振動(dòng)體310的背面?zhèn)鹊膫?cè)面，以遍布該側(cè)面的幾乎整個(gè)面的方式形成有背面電極。在以恒定周期對振動(dòng)體310的表面電極314外加電壓時(shí)，振動(dòng)體310的凸部312做橢圓運(yùn)動(dòng)，從而壓電馬達(dá)300進(jìn)行動(dòng)作。振動(dòng)體310的凸部312做橢圓運(yùn)動(dòng)依據(jù)以下的理由。
[0091]首先，如公知的那樣，包含壓電材料的振動(dòng)體310具有若外加正電壓則伸長的性質(zhì)。因此，如圖5 (a)所示，若反復(fù)進(jìn)行在對四個(gè)表面電極314全部外加正電壓后解除外加電壓的操作，則振動(dòng)體310反復(fù)進(jìn)行沿長邊方向伸縮的動(dòng)作。將這樣振動(dòng)體310反復(fù)沿長邊方向伸縮的動(dòng)作稱為“伸縮振動(dòng)”。以下，將振動(dòng)體310伸縮的方向(圖中的土Z方向)稱為“伸縮方向”。另外，若使外加正電壓的頻率變化，則在成為某一特定的頻率時(shí)伸縮量急劇增大，從而產(chǎn)生一種共振現(xiàn)象。由伸縮振動(dòng)產(chǎn)生共振的頻率(共振頻率)由振動(dòng)體310的物理特性、振動(dòng)體310的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)來決定。
[0092]另外,如圖5(b)或者圖5(C)所不,將相互位于對角線位置的兩個(gè)表面電極314設(shè)為一組(表面電極314a以及表面電極314d為一組,或者表面電極314b以及表面電極314c為一組)，并以恒定周期對其外加正電壓。于是，振動(dòng)體310的長邊方向的前端部(設(shè)置有凸部312的部分)反復(fù)進(jìn)行朝短邊方向(在附圖上為左右方向)搖頭的動(dòng)作。例如，如圖5 (b)所示，若對表面電極314a以及表面電極314d這一組以恒定周期外加正電壓，則振動(dòng)體310的長邊方向的前端部反復(fù)進(jìn)行朝右方向移動(dòng)的動(dòng)作。另外，如圖5 (c)所示，若對表面電極314b以及表面電極314c這一組以恒定周期外加正電壓，則振動(dòng)體310的長邊方向的前端部反復(fù)進(jìn)行朝左方向移動(dòng)的動(dòng)作。將這樣的振動(dòng)體310的動(dòng)作稱為“彎曲振動(dòng)”。以下，將振動(dòng)體310彎曲振動(dòng)的方向(圖中的±X方向)稱為“彎曲方向”。對于這樣的彎曲振動(dòng)而言，也存在由振動(dòng)體310的物理特性與振動(dòng)體310的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定的共振頻率。因此，若對位于相互對角線的位置的兩個(gè)表面電極314以其共振頻率外加正電壓，則振動(dòng)體310朝彎曲方向大幅度地?fù)u頭進(jìn)行振動(dòng)。
[0093]此處，圖5 (a)所示的伸縮振動(dòng)的共振頻率、圖5 (b)或者圖5 (C)所示的彎曲振動(dòng)的共振頻率均由振動(dòng)體310的物理特性、振動(dòng)體310的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定。因此，若適當(dāng)?shù)剡x擇振動(dòng)體310的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)，則能夠使兩個(gè)共振頻率一致。而且,若對上述的振動(dòng)體310以共振頻率外加圖5 (b)或者圖5 (c)所示的彎曲振動(dòng)的形態(tài)的電壓，則產(chǎn)生圖5 (b)或者圖5 (c)所示的彎曲振動(dòng)的同時(shí)，也由共振引起圖5 (a)的伸縮振動(dòng)。其結(jié)果，在以圖5 (b)所不的方式對表面電極314a以及表面電極314d的一組外加了電壓的情況下，振動(dòng)體310的前端部(設(shè)置有凸部312的部分)進(jìn)行如在附圖上繞順時(shí)針方向描繪橢圓的動(dòng)作(橢圓運(yùn)動(dòng))。另外，在以圖5 (c)所不的方式對表面電極314b以及表面電極314c這一組外加了電壓的情況下，振動(dòng)體310的前端部進(jìn)行如在附圖上繞逆時(shí)針方向的橢圓運(yùn)動(dòng)。此外，在以上的說明中，說明了對振動(dòng)體310外加正電壓的情況。但是，如公知的那樣，壓電材料也因外加負(fù)電壓而變形。因此，可以通過對振動(dòng)體310外加負(fù)電壓來產(chǎn)生彎曲振動(dòng)(以及伸縮振動(dòng))，也可以通過外加使正電壓與負(fù)電壓反復(fù)的交變電壓來產(chǎn)生彎曲振動(dòng)(以及伸縮振動(dòng))。另外，在上述的說明中，對外加共振頻率的電壓的情況進(jìn)行了說明。但是，只要外加包含了共振頻率的波形的電壓就足夠，例如也可以是脈沖狀的電壓。
[0094]壓電馬達(dá)300x利用上述的橢圓運(yùn)動(dòng)來驅(qū)動(dòng)X組塊220。即，如圖3所示，壓電馬達(dá)300x以使振動(dòng)體310的短邊方向(彎曲方向)與X方向一致的方式固定于X組塊220側(cè)，并在將振動(dòng)體310的凸部312朝單元基座200的受壓體210推壓的狀態(tài)下產(chǎn)生橢圓運(yùn)動(dòng)。于是，凸部312反復(fù)進(jìn)行在振動(dòng)體310伸長時(shí)以朝受壓體210推壓的狀態(tài)朝向彎曲方向的任意一方移動(dòng)，并在振動(dòng)體310收縮時(shí)以與受壓體210遠(yuǎn)離的狀態(tài)返回至以前的位置的動(dòng)作。其結(jié)果，X組塊220通過在受壓體210與凸部312之間作用的摩擦力而相對于單元基座200朝向彎曲方向(X方向)的任意另一方移動(dòng)。
[0095]另外，壓電馬達(dá)300 0固定于X組塊22(H則，成為將振動(dòng)體310的凸部312朝設(shè)置于0組塊240側(cè)的受壓臺(tái)250的受壓體252推壓的狀態(tài)。因此，若使壓電馬達(dá)300 0動(dòng)作，則0組塊240通過在凸部312與受壓體252之間作用的摩擦力而朝0方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0096]另外，壓電馬達(dá)300y以使振動(dòng)體310的短邊方向(彎曲方向)與Y方向一致的方式固定于0組塊240側(cè)，成為將振動(dòng)體310的凸部312朝設(shè)置于Y組塊260側(cè)的受壓體268推壓的狀態(tài)。因此，若使壓電馬達(dá)300y動(dòng)作，則Y組塊260通過在凸部312與受壓體268之間作用的摩擦力而相對于9組塊240朝Y方向移動(dòng)。因此，電子部件檢查裝置100通過使移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的壓電馬達(dá)300x、壓電馬達(dá)300 0、壓電馬達(dá)300y動(dòng)作，而能夠?qū)τ砂殉植?42把持的電子部件I的姿態(tài)進(jìn)行微調(diào)。此外，這樣的壓電馬達(dá)300與利用電磁力使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的電磁馬達(dá)相比容易小型化，并且能夠不經(jīng)由齒輪等直接地傳遞驅(qū)動(dòng)力，因此通過使用壓電馬達(dá)300作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的促動(dòng)器，能夠?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的小型化。
[0097]此處，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，X組塊220、0組塊240、以及Y組塊260分別設(shè)置為能夠沿不同的方向(X方向、0方向、以及Y方向)移動(dòng)，在各組塊(220、240、260)中往往因施加負(fù)載等而產(chǎn)生晃動(dòng)。特別是，對靠近支承移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的整體的單元基座200一側(cè)的X組塊220施加0組塊240、Y組塊260的重量，因此容易產(chǎn)生晃動(dòng)，在隨著X組塊220的移動(dòng)的0組塊240、Y組塊260中傳遞X組塊220的晃動(dòng)，從而作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)150整體會(huì)產(chǎn)生較大的晃動(dòng)。于是，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中通過以下的方式抑制晃動(dòng)。
[0098]圖6是以與X方向垂直的平面進(jìn)行剖切的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的剖視圖。在圖6中放大表示了在X組塊220安裝了壓電馬達(dá)300x的部分的附近。如前所述，在形成于單元基座200側(cè)的X軌道座202的外槽204與形成于X組塊220側(cè)的X軌道222的內(nèi)槽224之間插入有多個(gè)滾珠206，通過上述多個(gè)滾珠206而在X軌道222的兩側(cè)形成有與X方向平行的滾珠引導(dǎo)。多個(gè)滾珠206沿著上述兩列滾珠引導(dǎo)滾動(dòng)，從而X組塊220相對于單元基座200順利地移動(dòng)。以下，將包含兩列滾珠引導(dǎo)的平面稱為“移動(dòng)面”。此外，為了使?jié)L珠206圓滑的滾動(dòng)，而在滾珠206與內(nèi)槽224、外槽204之間設(shè)置有若干縫隙(間隙)。
[0099]另外，安裝于X組塊220的側(cè)面的壓電馬達(dá)300x以使內(nèi)置的振動(dòng)體310的短邊方向(彎曲方向)與X方向一致，并且使上端側(cè)(設(shè)置有凸部312的一側(cè))朝與X組塊220相反的一側(cè)傾斜的方式進(jìn)行固定。而且，振動(dòng)體310被推壓彈簧320朝長邊方向(伸縮方向)推壓，并成為將凸部312朝單元基座200的受壓體210推壓的狀態(tài)。因此，將振動(dòng)體310的凸部312朝受壓體210推壓的方向(推壓方向)相對于移動(dòng)面以規(guī)定的角度(在圖示的例中為75度)傾斜。
[0100]此外，本實(shí)施例的受壓體210形成為大致長方體形狀,并以下表面(供振動(dòng)體310的凸部312抵接的面)與振動(dòng)體310的推壓方向正交的狀態(tài)埋入單元基座200。由此，即使振動(dòng)體310的凸部312相對于單元基座200的下表面傾斜地對其進(jìn)行推壓，通過作用力受壓體210的位置也不會(huì)朝橫向(Y方向)偏移，而能夠通過在凸部312與受壓體210之間作用的摩擦力使X組塊220相對于單元基座200高精度地移動(dòng)。另外，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，單元基座200由塑料材料形成，與此相對，受壓體210由陶瓷材料、金屬材料等硬度高于塑料材料的材料形成。因此，能夠通過在凸部312與受壓體210之間作用的摩擦力來抑制受壓體210磨損。
[0101]此處，X組塊220通過將內(nèi)置于壓電馬達(dá)300x的振動(dòng)體310的凸部312朝單元基座200的受壓體210推壓，而承受與推壓方向相反方向的反作用力。在該反作用力中包含有與移動(dòng)面平行的圖中右方向的成分和與移動(dòng)面垂直的圖中下方向的成分。而且，X組塊220承受與移動(dòng)面平行的反作用力，從而在X軌道222的兩側(cè)的滾珠引導(dǎo)中的、距壓電馬達(dá)300x較遠(yuǎn)的一側(cè)(圖中右側(cè))的滾珠引導(dǎo)中，滾珠206與內(nèi)槽224以及外槽204之間的縫隙堵塞，成為由內(nèi)槽224以及外槽204夾持滾珠206的狀態(tài)。
[0102]另外，在靠近壓電馬達(dá)300x —側(cè)(圖中左側(cè))的滾珠引導(dǎo)中，雖然內(nèi)槽224與外槽204之間的間隔寬廣，但是X組塊220承受與移動(dòng)面垂直的反作用力，從而產(chǎn)生以圖中右側(cè)的縫隙堵塞的滾珠引導(dǎo)為軸使X組塊220朝向下方旋轉(zhuǎn)的力矩，成為由內(nèi)槽224的上端側(cè)與外槽204的下端側(cè)夾持滾珠206的狀態(tài)。
[0103]如以上所述，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，通過使振動(dòng)體310的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜，不論在X軌道222的兩側(cè)的滾珠引導(dǎo)的哪一方都能夠預(yù)先通過內(nèi)槽224與外槽204夾持滾珠206。并且在一個(gè)滾珠引導(dǎo)中，在與移動(dòng)面平行的方向夾持滾珠206，在另一個(gè)滾珠引導(dǎo)中，在與移動(dòng)面垂直的方向夾持滾珠206，且夾持方向相互不同，因此即使對X組塊220從任意的方向施加負(fù)載，也能夠抑制X組塊220的晃動(dòng)。而且，如上，通過配置于靠近單元基座200 —側(cè)，來抑制施加0組塊240以及Y組塊260的重量而導(dǎo)致的X組塊220的晃動(dòng)，能夠提高作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)150整體的剛性。
[0104]另外，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，將沿X方向移動(dòng)的X組塊220配置在靠近單元基座200的上層的位置，并將沿Y方向移動(dòng)的Y組塊260配置在距單元基座200較遠(yuǎn)的下層的位置。這依據(jù)如下的理由。首先，如前所述，在電子部件檢查裝置100中，將內(nèi)置了移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的把持裝置140安裝于X工作臺(tái)136，并使Y工作臺(tái)132以及X工作臺(tái)136移動(dòng)，從而能夠使把持裝置140在X-Y平面上移動(dòng)。而且，在使電子部件I移動(dòng)至檢查臺(tái)116時(shí)，主要使Y工作臺(tái)132移動(dòng)，因此在移動(dòng)機(jī)構(gòu)150作用有Y方向的慣性力。對能夠沿與Y方向正交的X方向移動(dòng)的X組塊220未在移動(dòng)方向上施加慣性力，因此配置在靠近單元基座200的上層的位置，從而即使對X組塊220施加0組塊240以及Y組塊260的重量，也能夠防止由慣性力導(dǎo)致的X組塊220的位置偏移(朝移動(dòng)方向的滑動(dòng))。此外，本實(shí)施例的Y工作臺(tái)132相當(dāng)于本發(fā)明的“移送體”。
[0105]另一方面，雖然對能夠沿Y方向移動(dòng)的Y組塊260在移動(dòng)方向上施加慣性力，但是只要預(yù)先配置在未施加其他組塊(220、240)的重量的下層的位置，就能夠不對Y組塊260作用較大的慣性力，而抑制Y組塊260的位置偏移(朝移動(dòng)方向的滑動(dòng))。結(jié)果，不需要追加用于防止由慣性力導(dǎo)致的Y組塊260的位置偏移的制動(dòng)器機(jī)構(gòu)等，就能夠?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的小型化。
[0106]并且，在本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)150中，在X組塊220與Y組塊260之間設(shè)置有0組塊240，驅(qū)動(dòng)0組塊240的壓電馬達(dá)300 0以使內(nèi)置的振動(dòng)體310的短邊方向(彎曲方向)與X方向一致的方式配置。如上，若預(yù)先配置壓電馬達(dá)300 0，則伴隨著Y工作臺(tái)132的移動(dòng)而對移動(dòng)機(jī)構(gòu)150施加Y方向的慣性力，即便如此，由于在振動(dòng)體310的凸部312與受壓體252之間摩擦力作用的方向(振動(dòng)體310的彎曲方向)與慣性方向不重疊，所以能夠抑制由慣性力導(dǎo)致的0組塊240的位置偏移(朝0方向的滑動(dòng))。
[0107]以上，雖對本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、搭載了移動(dòng)機(jī)構(gòu)的各種裝置進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施例，能夠在未脫離其主旨的范圍內(nèi)通過各種方式來實(shí)施。
[0108]例如，在前述的實(shí)施例中，雖按從單元基座200朝下依次配置有X組塊220、0組塊240、Y組塊260，但各組塊的配置不限定于此，例如，也可以按0組塊240、X組塊220、Y組塊260的順序配置。在該情況下，只要將驅(qū)動(dòng)0組塊240的壓電馬達(dá)300 0以使振動(dòng)體310的推壓方向相對于包含由多個(gè)滾珠248形成的環(huán)狀的滾珠引導(dǎo)的移動(dòng)面傾斜的方式配置即可。由此，對0組塊240作用有與移動(dòng)面平行的力和與移動(dòng)面垂直的力，在相對于環(huán)狀的滾珠引導(dǎo)的中心對稱的兩位置中的一個(gè)位置，通過與移動(dòng)面平行的力使內(nèi)槽246與外槽之間的間隔堵塞，并通過內(nèi)槽246以及外槽夾持滾珠248。另外，在另一個(gè)位置，雖然內(nèi)槽246與外槽之間的間隔寬廣，但是通過與移動(dòng)面垂直的力產(chǎn)生使0組塊240以一個(gè)位置為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的力矩，從而利用內(nèi)槽246以及外槽在上下方向(與移動(dòng)面垂直的方向)夾持滾珠248。其結(jié)果，抑制配置于靠近單元基座200—側(cè)的0組塊240的晃動(dòng)，因此能夠提高作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)150整體的剛性。此外，伴隨著Y工作臺(tái)132的移動(dòng)而在移動(dòng)方向上作用慣性力的Y組塊260預(yù)先配置于未施加其他組塊(220、240)的重量的下層的位置，從而期望減少對Y組塊260作用的慣性力。
[0109]另外，在前述的實(shí)施例中，雖僅對于驅(qū)動(dòng)靠近單元基座200 —側(cè)的X組塊220的壓電馬達(dá)300x而言，使振動(dòng)體310的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜地配置，但對于壓電馬達(dá)300 0、壓電馬達(dá)300y而言也相同，也可以使振動(dòng)體310的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜地配置。這樣一來，抑制0組塊240、Y組塊260的晃動(dòng)，因此能夠進(jìn)一步提高移動(dòng)機(jī)構(gòu)150整體的剛性。
[0110]另外，在前述的實(shí)施例中，雖構(gòu)成為將壓電馬達(dá)300x固定于X組塊220側(cè)，將振動(dòng)體310的凸部312朝單元基座200側(cè)(受壓體210)推壓，但也可以與此相反，構(gòu)成為將壓電馬達(dá)300x固定于單元基座200側(cè)，將振動(dòng)體310的凸部312朝X組塊220側(cè)推壓。在該情況下，X組塊220直接承受振動(dòng)體310的作用力。而且，通過預(yù)先使振動(dòng)體310的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜，在X組塊220承受的作用力中包含有與移動(dòng)面平行的成分和與移動(dòng)面垂直的成分，因此與前述的實(shí)施例相同，不論在X軌道222的兩側(cè)的滾珠引導(dǎo)的哪一方都通過內(nèi)槽224與外槽204夾持滾珠206，能夠抑制X組塊220的晃動(dòng)。
[0111]另外，在前述的實(shí)施例中，雖構(gòu)成為將X組塊220、0組塊240、Y組塊260相對于單元基座200朝下方懸吊，但不限定于此，也可以構(gòu)成為將X組塊220、0組塊240、Y組塊260相對于單元基座200載置于上方。在這種情況下，若將驅(qū)動(dòng)配置于靠近單元基座200 —側(cè)的X組塊220的壓電馬達(dá)300X以使振動(dòng)體310的推壓方向相對于移動(dòng)面傾斜的狀態(tài)進(jìn)行配置，則能夠抑制施加其他組塊(240、260)的重量的基端側(cè)的X組塊220的晃動(dòng)，因此能夠提高移動(dòng)機(jī)構(gòu)150整體的剛性。
[0112]另外，在前述的實(shí)施例中，外槽204以及內(nèi)槽224的剖面形狀形成為半圓形。但是，外槽204以及內(nèi)槽224的剖面形狀不限定于此，只要是對滾珠206等滾動(dòng)體以能夠滾動(dòng)的方式進(jìn)行夾持的形狀即可。例如，可以形成V字形狀。
[0113]另外，在前述的實(shí)施例中，在外槽204與內(nèi)槽224之間插入有多個(gè)滾珠206作為滾動(dòng)體。但是，只要是能夠在外槽204與內(nèi)槽224之間滾動(dòng)并使X組塊220順利地移動(dòng)的滾動(dòng)體即可，不限定于滾珠206。例如，也可以設(shè)為使多個(gè)圓筒形的滾軸沿著外槽204以及內(nèi)槽224交替地正交而排列的交叉輥。交叉輥的滾軸與V槽線接觸，從而能夠耐高負(fù)載，因此若使用交叉輥，則能夠提高移動(dòng)機(jī)構(gòu)150的剛性。
[0114]附圖標(biāo)記說明:
[0115]I…電子部件;100...電子部件檢查裝置;110…基臺(tái);112d…下游側(cè)工作臺(tái)；112u…上游側(cè)工作臺(tái)；114…攝像裝置；116…檢查臺(tái)；118…控制裝置；130…支承臺(tái)；132…Y工作臺(tái)；134…臂部；136…X工作臺(tái)；138…攝像照相機(jī);140…把持裝置;142…把持部；150…移動(dòng)機(jī)構(gòu);200…單元基座;202…X軌道座;204…外槽;206…滾珠;208…貫通孔；210…受壓體;220…X組塊;222…X軌道；224…內(nèi)槽；226…貫通孔；240…0組塊；242…導(dǎo)向軸；244…貫通孔；246…內(nèi)槽；248…滾珠；250…受壓臺(tái)；252…受壓體；254…Y軌道；256…內(nèi)槽;260…Y組塊;262…Y軌道座；264…外槽；266…滾珠；268…受壓體;270…軸支承部;280…軸;300x、300y、 300 0…壓電馬達(dá)；310…振動(dòng)體；312…凸部；314…表面電極；320…推壓彈簧。
【權(quán)利要求】
1.一種移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備: 支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)； 第一移動(dòng)體，其相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)； 第一振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第一方向的振動(dòng)，在被向所述支承體或者所述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第二移動(dòng)體，其隔著所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，隨同所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第二方向的振動(dòng)，在被向所述第一移動(dòng)體或者所述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第一槽，其在所述支承體設(shè)置一對，并形成為與所述第一方向平行； 第二槽，其在所述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與所述第一槽相對； 多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及 移動(dòng)軸，其包含所述滾動(dòng)體，并與所述第一方向平行， 所述移動(dòng)軸以在與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相對的方向與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置關(guān)系在所述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的， 所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含所述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述支承體設(shè)置于能夠沿規(guī)定方向移送所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移送體， 所述第一方向是與所述移送體的移送方向不同的方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備: 轉(zhuǎn)動(dòng)體，其以與所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向?yàn)檩S進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；和 第三振動(dòng)體,其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生振動(dòng),并通過該振動(dòng)來驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)體， 所述第三振動(dòng)體產(chǎn)生的振動(dòng)的方向是與所述移送體的移送方向不同的方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 在所述支承體或者所述第一移動(dòng)體中的任意一方的所述第一振動(dòng)體所推壓的部分，以供所述振動(dòng)體抵接的面與所述推壓方向成為垂直的姿態(tài)埋入有形成為大致長方體形狀的受壓體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述受壓體由硬度高于所述支承體或者所述移動(dòng)體中的埋入有所述受壓體的一側(cè)的材料形成。
6.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，具備: 把持部，其對電子部件進(jìn)行把持；以及 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動(dòng)， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備: 支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承移動(dòng)機(jī)構(gòu)；第一移動(dòng)體，其相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)； 第一振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第一方向的振動(dòng)，在被向所述支承體或者所述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第二移動(dòng)體，其隔著所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，隨同所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第二方向的振動(dòng)，在被向所述第一移動(dòng)體或者所述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第一槽，其在所述支承體設(shè)置一對，并形成為與所述第一方向平行； 第二槽，其在所述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與所述第一槽相對； 多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及 移動(dòng)軸，其包含所述滾動(dòng)體，并與所述第一方向平行， 所述移動(dòng)軸以在與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相對的方向與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置關(guān)系在所述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的， 所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含所述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
7.一種電子部件 檢查裝置，其特征在于，具備: 把持部，其對電子部件進(jìn)行把持； 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動(dòng)；以及 檢查部，其對所述電子部件進(jìn)行檢查， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備: 支承體，其設(shè)置于規(guī)定的位置，并支承移動(dòng)機(jī)構(gòu)； 第一移動(dòng)體，其相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)； 第一振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第一方向的振動(dòng)，在被向所述支承體或者所述第一移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第二移動(dòng)體，其隔著所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，隨同所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二振動(dòng)體，其包含壓電材料并能夠產(chǎn)生所述第二方向的振動(dòng)，在被向所述第一移動(dòng)體或者所述第二移動(dòng)體中的任意一方推壓的狀態(tài)下被任意另一方支承； 第一槽，其在所述支承體設(shè)置一對，并形成為與所述第一方向平行； 第二槽，其在所述第一移動(dòng)體設(shè)置一對，并形成為與所述第一槽相對； 多個(gè)滾動(dòng)體，它們設(shè)置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述第一移動(dòng)體的移動(dòng)而滾動(dòng)；以及 移動(dòng)軸，其包含所述滾動(dòng)體，并與所述第一方向平行， 所述移動(dòng)軸以在與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉的方向上分離的方式設(shè)置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相對的方向與所述支承體和所述第一移動(dòng)體相對的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置關(guān)系在所述兩列移動(dòng)軸的一方和在另一方是相反的， 所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向相對于包含所述兩列移動(dòng)軸的移動(dòng)面傾斜。
8.一種移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備: 支承體，其對能夠移動(dòng)的機(jī)構(gòu)進(jìn)行支承； 第一移動(dòng)體，其以相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)的方式配置； 第一槽，其設(shè)置于所述支承體，并形成為與所述第一方向平行； 第一振動(dòng)體，其配置于所述支承體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述支承體地被推壓； 第二移動(dòng)體，其經(jīng)由所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二槽，其設(shè)置于所述第一移動(dòng)體，形成為與所述移動(dòng)方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置； 第二振動(dòng)體，其配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述第二移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第二移動(dòng)體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓； 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉，所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述支承體設(shè)置于能夠沿規(guī)定方向移送所述移動(dòng)體的移送體， 所述第一方向是與所述移送體的移送方向不同的方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備: 轉(zhuǎn)動(dòng)體，其以與所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向?yàn)檩S進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；以及 第三振動(dòng)體,其驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)體。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述轉(zhuǎn)動(dòng)體配置于所述第一移動(dòng)體與所述第二移動(dòng)體之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求8~11中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 在所述支承體或者所述第一移動(dòng)體中的任意一方的所述第一振動(dòng)體所推壓的部分配置有受壓體， 所述受壓體的供所述振動(dòng)體抵接的面與所述推壓方向垂直。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述受壓體由硬度高于配置有所述受壓體的、所述支承體或者所述移動(dòng)體的硬度的材料形成。
14.根據(jù)權(quán)利要求8~13中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述第一振動(dòng)體、所述第二振動(dòng)體以及所述第三振動(dòng)體包含壓電材料，并產(chǎn)生沿所述推壓方向伸縮的振動(dòng)和朝與所述推壓方向正交的方向彎曲的振動(dòng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述第一振動(dòng)體、所述第二振動(dòng)體以及所述第三振動(dòng)體被彈性部件朝與所述推壓方向正交的方向按壓。
16.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，具備: 把持部，其對電子部件進(jìn)行把持； 支承體，其對能夠移動(dòng)的機(jī)構(gòu)進(jìn)行支承； 第一移動(dòng)體，其以相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)的方式配置； 第一槽，其設(shè)置于所述支承體，并形成為與所述第一方向平行； 第一振動(dòng)體，其配置于所述支承體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述支承體地被推壓； 第二移動(dòng)體，其具備所述把持部，并經(jīng)由所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二槽，其設(shè)置于所述第一移動(dòng)體，形成為與所述移動(dòng)方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置； 第二振動(dòng)體，其配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述第二移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第二移動(dòng)體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓； 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉，所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉。
17.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 把持部，其對電子部件進(jìn)行把持； 檢查部，其對所述電子部件進(jìn)行檢查； 支承體，其對能夠移動(dòng)的機(jī)構(gòu)進(jìn)行支承； 第一移動(dòng)體，其以相對所述支承體能夠沿第一方向移動(dòng)的方式配置； 第一槽，其設(shè)置于所述支承體，并形成為與所述第一方向平行； 第一振動(dòng)體，其配置于所述支承體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述支承體地被推壓； 第二移動(dòng)體，其具備所述把持部，并經(jīng)由所述第一移動(dòng)體設(shè)置于與所述支承體相反的一側(cè)，相對所述第一移動(dòng)體能夠沿與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)； 第二槽，其設(shè)置于所述第一移動(dòng)體，形成為與所述移動(dòng)方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置； 第二振動(dòng)體，其配置于所述第一移動(dòng)體并能夠按壓所述第二移動(dòng)體地被推壓，或者配置于所述第二移動(dòng)體并能夠按壓所述第一移動(dòng)體地被推壓； 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉，所述第一振動(dòng)體被推壓的推壓方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動(dòng)體對置的方向交叉。
【文檔編號】G01R1/02GK103487604SQ201310231262
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月12日
【發(fā)明者】西村義輝, 宮澤修 申請人:精工愛普生株式會(huì)社