壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法。在對外部引線施加了力的情況下，外部引線被固定，不會在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等影響，能夠進行準確的壓力檢測。壓力傳感器具備：形成有流路（12）的接頭部件（14）；以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件（16）；填充在罩部件（66）的內(nèi)部形成的間隙中并構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部（68）；以及固定與壓力檢測元件連接的外部引線（62）的引線卡定部（60），封入樹脂部的上端（68a）構(gòu)成為在與引線卡定部的上表面（60d）相同的平面以下。
【專利說明】壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及液封式的壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為流體壓力檢測用的壓力傳感器，在專利文獻I (日本特開2012 -68105號公報)中公開了為了不讓水分從外部進入而做成沒有間隙的結(jié)構(gòu)的液封式的壓力傳感器100。
[0003]如圖7所示，該壓力傳感器100由壓力檢測元件102、接頭部件104以及罩部件106的結(jié)合體構(gòu)成。
[0004]并且，金屬制的膜片108的外周緣部利用焊接等氣密性地緊固在壓力檢測元件102的一方端面(下底面)。引線腳114通過引線接合112而與設置在壓力檢測元件102的下表面的傳感器片110連接。
[0005]再有，如圖7所示，該引線腳114與基板116連接，且與外部引線118連接。并且，罩部件106內(nèi)的空間封入有由粘接劑構(gòu)成的封入樹脂122，并且，在罩部件106與接頭部件104之間的空間也封入有由粘接劑構(gòu)成的封入樹脂124。由此，消除間隙，阻止水分等的液體進入內(nèi)部。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開2012 - 68105號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]然而，這種在現(xiàn)有的專利文獻I所記載的液封式的壓力傳感器100中，在對外部引線118施加了力的情況下，如圖7所示，由于外部引線118未被固定，因此在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂122中產(chǎn)生裂紋等，水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件102帶來腐蝕等的影響，無法進行準確的壓力檢測。
[0010]再有，在使由粘接劑構(gòu)成的封入樹脂122固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂122因表面張力而沿引線腳114向上方蔓延上升，并從封入樹脂122的上端122a突出而導致外觀等品質(zhì)下降。
[0011]本發(fā)明是鑒于這種現(xiàn)狀而提出的方案，目的在于提供一種壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法，在對外部引線施加了力的情況下，外部引線被固定，不會在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測，而且，在使構(gòu)成粘接劑的封入樹脂固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂不會因表面張力而沿外部引線向上方蔓延上升，并從封入樹脂上端突出而導致外觀等的品質(zhì)下降。
[0012]用于解決課題的方法
[0013]本發(fā)明是為了實現(xiàn)上述的現(xiàn)有技術(shù)的課題及目的而提出的發(fā)明，本發(fā)明的壓力傳感器的特征在于，具備:形成有流路的接頭部件；為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件；填充在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部；以及固定與上述壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部，上述封入樹脂部的上端構(gòu)成為在與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下。
[0014]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法的特征在于，具備:形成有流路的接頭部件；為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件；填充在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部；以及固定與上述壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部，
[0015]在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中填充封入樹脂，使得上述封入樹脂部的上端在與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下。
[0016]通過這樣構(gòu)成，具備固定與壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部，在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中填充封入樹脂，使得封入樹脂部的上端在與引線卡定部的上表面相同的平面以下。
[0017]因此，在對外部引線施加了力的情況下，外部引線由引線卡定部固定，因此不會在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0018]而且，由于在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中填充封入樹脂，使得封入樹脂部的上端在與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下，因此在使構(gòu)成粘接劑的封入樹脂固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂不會因表面張力而沿外部引線向上方蔓延上升，并從封入樹脂的上端突出而導致外表等的品質(zhì)下降。
[0019]另外，本發(fā)明的特征在于，上述引線卡定部具有固定外部引線的卡定切槽孔。
[0020]通過這樣構(gòu)成，即使在對外部引線施加了力的情況下，也由于外部引線由引線卡定部的卡定切槽孔牢固地固定，因此不會在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行更加準確的壓力檢測。
[0021]另外，本發(fā)明的特征在于，構(gòu)成為通過上述卡定切槽孔的切槽而將外部引線以插入方式卡定在卡定切槽孔中。
[0022]通過這樣構(gòu)成，由于通過卡定切槽孔的切槽將外部引線以插入方式卡定在卡定切槽孔中，因此利用引線卡定部的卡定切槽孔固定外部引線的作業(yè)變得容易，能夠降低成本和時間及勞力。
[0023]本發(fā)明的效果如下。
[0024]根據(jù)本發(fā)明，具備固定與壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部，將封入樹脂填充在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中，使得封入樹脂部的上端在與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下。
[0025]因此，即使在對外部引線是加了力的情況下，也由于外部引線由引線卡定部固定，因此不會在柔軟的構(gòu)成粘接劑的封入樹脂上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0026]而且，由于在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中填充封入樹脂，使得封入樹脂部的上端在與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下，因此在使構(gòu)成粘接劑的封入樹脂固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂不會因表面張力而沿外部引線向上方蔓延上升，并封入樹脂的上端突出而導致外表等的品質(zhì)下降。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明的壓力傳感器的縱剖視圖。
[0028]圖2是本發(fā)明的壓力傳感器的俯視圖。
[0029]圖3是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0030]圖4是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0031]圖5是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0032]圖6是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0033]圖7是表示現(xiàn)有的液封式的壓力傳感器100的縱剖視圖。
[0034]圖中:
[0035]10—壓力傳感器，12—流路，14一接頭部件，14a一凸緣部，16—壓力檢測兀件，18—元件主體，20—中央開口，22—密封玻璃，24 —膜片，26—連通孔，28—膜片保護罩，30一液封室，32一傳感器片，34一引線腳，34a一如端，36一金屬線，38一端子臺，38a一表面，40一壓力室,42—端子固定用壁，42a—插通孔,44一下方側(cè)壁,46—上方側(cè)壁，48—端子，48a—外端部，50—嵌合用臺階部，52—連接部，54—蓋部件，56—上板部，58—側(cè)壁，60—引線卡定部，60a?60c—卡定切槽孔，60d—上表面，60e—下表面,62—外部引線,62a?62c—外部引線，64—連接部，66—罩部件，66a—基端部，66b—開口部，68—封入樹脂部，68a—上端，100—壓力傳感器，102—壓力檢測元件，104—接頭部件，106—罩部件，108—膜片，110—傳感器片，112 —引線接合，114 一引線腳，116—基板，118—外部引線，122—封入樹月旨，124一封入樹脂，SI一第一空間，S2一第二空間，S3—間隙，T一間隙。
【具體實施方式】
[0036]以下，基于附圖對本發(fā)明的實施方式(實施例)進行詳細說明。
[0037]實施例1
[0038]圖1是本發(fā)明的壓力傳感器的縱剖視圖，圖2是本發(fā)明的壓力傳感器的俯視圖，圖3?圖6是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0039]在圖1?圖2中，符號10整體地表示本發(fā)明的壓力傳感器。
[0040]如圖1所示，本發(fā)明的壓力傳感器10是液封式的壓力傳感器，具備:形成有流路12的接頭部件14 ;以及檢測流路12內(nèi)的流體壓力的壓力檢測元件16。
[0041]并且，以與該接頭部件14的流路12對置的方式配置壓力檢測元件16，并在其周緣部與接頭部件14焊接緊固。
[0042]壓力檢測元件16具備例如不銹鋼、鋁等金屬制的元件主體18，在形成于該元件主體18的中央開口 20內(nèi)嵌入并緊固有密封玻璃22。
[0043]另外，如圖1所示，壓力檢測元件16的元件主體18、金屬制的膜片24、以及形成有連通孔26的膜片保護罩28在它們的外周緣部通過焊接而緊固為一體。
[0044]并且，通過該結(jié)構(gòu)，在元件主體18的中央開口 20的部分，在密封玻璃22與膜片24之間形成有封入油的液封室30。
[0045]另一方面，如圖1所示，在密封玻璃22的液封室30側(cè)的面部，利用粘接劑固定有單片結(jié)構(gòu)的傳感器片32。
[0046]該傳感器片32配設在液封室30內(nèi)，作為檢測壓力的壓力元件、和對該壓力檢測元件的輸出信號進行處理的集成電路一體形成的壓力傳感器片而構(gòu)成。
[0047]另外，在密封玻璃22上分別以貫通狀態(tài)利用密封處理固定有多個引線腳34，該多個引線腳34用于進行向傳感器片32的信號的輸入輸出。
[0048]在該實施例中，雖然未圖示，但引線腳34共設有八根。即、設有作為輸入輸出用端子的后述的外部引線62a (Vout),62b (Vcc)、62c (GND)用的三根引線腳34、和作為傳感器片32的調(diào)整用的端子的五根引線腳34。
[0049]引線腳34由例如金制或鋁制的金屬線36與傳感器片32導通連接(引線接合)，構(gòu)成傳感器片32的外部輸出端子及外部輸入端子。
[0050]并且，從接頭部件14的流路12傳遞到壓力室40內(nèi)的流體壓力通過膜片保護罩28的連通孔26而按壓膜片24的表面，并利用液封室30內(nèi)的傳感器片32來探測該押壓力。
[0051]另外，如圖1所示，在壓力檢測元件16的上部，構(gòu)成空間形成部件的第一空間形成部件的端子臺38與壓力檢測元件16的元件主體18的上方相鄰地配置，并利用例如粘接劑固定在壓力檢測元件16的元件主體18上。
[0052]如圖1所示，該端子臺38為大致圓筒形狀，在其大致中央部形成有端子固定用壁42，該端子固定用壁42上形成有用于供引線腳34插通的插通孔42a。并且，該端子臺38形成有從該端子固定用壁42向下方延伸設置的下方側(cè)壁44、和從端子固定用壁42向上方延伸設置的上方側(cè)壁46。
[0053]由此，如圖1所示，在壓力檢測元件16與端子臺38之間形成被端子固定用壁42和下方側(cè)壁44包圍的第一空間SI。
[0054]并且，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a插通在插通孔42a中，與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設置的端子48在連接部52利用例如焊接而電連接。
[0055]此外，在該實施例中，雖然未圖示，但如后述的圖2所示那樣，設有外部引線62a(Vout),62b (Vcc)、62c (GND)用的三個端子 48。
[0056]并且，如圖1、圖2所示，在端子臺38的上方側(cè)壁46形成有嵌合用臺階部50，構(gòu)成空間形成部件的第二空間形成部件的蓋部件54以與該嵌合用臺階部50嵌合的方式，與端子臺38相鄰地配置。
[0057]S卩、蓋部件54為具備上板部56和側(cè)壁58的大致杯形狀，構(gòu)成為側(cè)壁58與形成于端子臺38的上方側(cè)壁46的嵌合用臺階部50嵌合。
[0058]由此，如圖1所示，在蓋部件54與端子臺38之間形成被端子臺38的端子固定用壁42及上方側(cè)壁46、蓋部件54的上板部56及側(cè)壁58包圍的第二空間S2。
[0059]S卩、通過這樣構(gòu)成，如圖1所示，利用端子臺38和與端子臺38相鄰配置的蓋部件54，與端子臺38 —起形成覆蓋壓力檢測元件16的、由上述的空間SI和空間S2構(gòu)成的較大的空間。
[0060]S卩、在端子臺38的端子固定用壁42，上述的空間S1、S2之間成為連通狀態(tài)，由此，利用端子臺38和蓋部件54形成覆蓋壓力檢測元件16的較大的空間。[0061]并且，如圖1、圖2所示，在蓋部件54的側(cè)壁58形成有向外側(cè)突出設置的引線卡定部60。如圖2所示，該引線卡定部60為大致矩形形狀，與三根外部引線62、S卩、外部引線62a (Vout),62b (Vcc)、62c (GND)對應地分別形成有引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60c。
[0062]S卩、外部引線62a (Vout),62b (Vcc)、62c (GND)如圖1、圖2的箭頭A所示，嵌入卡定切槽孔60a、60b、60c而固定。
[0063]另一方面，如圖1所示，外部引線62在連接部64通過例如軟釬焊、焊接等與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設置的端子48的外端部48a電連接。
[0064]另外，如圖1的箭頭B所示，罩部件66的開口部66b側(cè)從接頭部件14 一側(cè)插入，在罩部件66的內(nèi)側(cè)突出設置的凸緣形狀的基端部66a成為與接頭部件14的凸緣部14a抵接的狀態(tài)。
[0065]由此，如圖1所示，在罩部件66的內(nèi)部形成間隙S3，在該間隙S3中，從罩部件66的開口部66b側(cè)填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0066]此外，在該情況下，如圖1所示，封入樹脂部68的上端68a希望為與蓋部件54的引線卡定部60的上表面60d的高度相同的平面以下的高度，優(yōu)選位于引線卡定部60的上表面60d與下表面60e之間。
[0067]這樣構(gòu)成的本發(fā)明的壓力傳感器10由圖3?圖6所示的工序來制造。
[0068]S卩、如圖3所示，準備預先一體地組裝的壓力檢測元件16，在該壓力檢測元件16上焊接接頭部件14。
[0069]接著，如圖4所示，在壓力檢測元件16的元件主體18的上部配置端子臺38的下方側(cè)壁44，利用例如粘接劑進行固定。在該狀態(tài)下，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a成為插通端子臺38的端子固定用壁42的插通孔42a的狀態(tài)。
[0070]在該狀態(tài)下，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a插通插通孔42a，在連接部52，利用例如焊接將引線腳34的前端34a與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設置的端子48電連接。
[0071]此外，在該狀態(tài)下，如圖4所示，在壓力檢測元件16與端子臺38之間形成被端子固定用壁42與下方側(cè)壁44包圍的第一空間SI。
[0072]并且，如圖5所示，在連接部64利用例如焊接、軟釬焊等將外部引線62與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設置的端子48的外端部48a電連接。
[0073]另外，以與形成于端子臺38的上方側(cè)壁46的嵌合用臺階部50嵌合的方式，與端子臺38相鄰地配置蓋部件54。
[0074]由此，如圖5所示，成為在蓋部件54與端子臺38之間形成被端子臺38的端子固定用壁42和上方側(cè)壁46、蓋部件54的上板部56和側(cè)壁58包圍的第二空間S2的狀態(tài)。
[0075]另外，如圖2、圖5的箭頭A所示，將外部引線62a (Vout),62b (Vcc)、62c (GND)分別嵌入并固定在引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60c。
[0076]在該狀態(tài)下，如圖6所示，成為將罩部件66的開口部66b側(cè)從接頭部件14 一側(cè)插入，在罩部件66的內(nèi)側(cè)突出設置的凸緣形狀的基端部66a與接頭部件14的凸緣部14a抵接的狀態(tài)。另外，根據(jù)需要，利用例如焊接等對接頭部件14的凸緣部14a與罩部件66的基端部66a進行固定。[0077]最后，如圖1所示，在形成于罩部件66的內(nèi)部的間隙S3，從罩部件66的開口部66b側(cè)填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0078]并且，在該狀態(tài)下，如圖1所示，壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的連接部52成為以位于如下空間方式配置的狀態(tài)，該空間由構(gòu)成空間形成部件的第一空間形成部件的端子臺38和構(gòu)成空間形成部件的第二空間形成部件的蓋部件54形成，且由未填充封入樹脂的空間S1、S2構(gòu)成。
[0079]該狀態(tài)為壓力檢測元件16的引線腳34與連接外部引線62的端子48的連接部52位于空間的狀態(tài)，而不是如以往那樣由封入樹脂覆蓋的狀態(tài)。因此，即使在壓力傳感器反復受熱或被冷卻的情況下，也不會產(chǎn)生熱應力，變得耐受熱沖擊實驗，不會產(chǎn)生絕緣不良或短路，不會給壓力檢測元件帶來影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0080]根據(jù)這樣構(gòu)成的本發(fā)明的壓力傳感器10，僅在以與接頭部件14的流路12對置的方式配置的壓力檢測元件16上，與壓力檢測元件16相鄰地配置端子臺38，并與端子臺38相鄰地配置蓋部件54，便能通過蓋部件54和端子臺38形成覆蓋壓力檢測元件16的空間S1、S2。
[0081]并且，從接頭部件14 一側(cè)裝配一方開口且另一方側(cè)的基端部66a與接頭部件14抵接的罩部件66。接著，在形成于罩部件66的內(nèi)部的間隙S3填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0082]由此，如圖1所示，接頭部件14、壓力檢測元件16、支撐壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的端子臺38、以及蓋部件54成為一體且被密封。
[0083]因此，不需要如現(xiàn)有的壓力傳感器那樣復雜的結(jié)構(gòu)，部品件數(shù)也減少，在組裝上不需要時間和勞力，還能夠降低成本。
[0084]另外，由于接頭部件14、壓力檢測元件16、支撐壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的端子臺38、以及蓋部件54利用構(gòu)成粘接劑的封入樹脂而成為一體且被密封，因此不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0085]而且，如圖1所示，由于利用蓋部件54和端子臺38形成覆蓋壓力檢測元件16的空間S1、S2，因此封入樹脂不會進入內(nèi)部而與壓力檢測元件16接觸，壓力檢測元件16不會因封入樹脂的熱應力而破損損傷，進行準確的壓力檢測。
[0086]再有，由于從接頭部件14 一側(cè)裝配一方開口且另一方側(cè)的基端部66a與接頭部件14抵接的罩部件66，因此即使在對外部引線62施加了張緊力的情況下，罩部件66的基端部66a也會與接頭部件14抵接而被勾掛住。
[0087]由此，即使對封入樹脂施加力，封入樹脂上也不會產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0088]再有，如圖1、圖2的箭頭A所示，外部引線62a (Vout),62b (Vcc)、62c (GND)分別嵌入向外側(cè)突出設置在蓋部件54的側(cè)壁58上的引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60c而被固定。
[0089]因此，S卩使對外部引線62施加力，也由于外部引線62被固定而不會在柔軟的由構(gòu)成粘接劑的封入樹脂構(gòu)成的封入樹脂部68上產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或?qū)毫z測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0090]再有，外部引線62在引線卡定部60成為其上下分離的狀態(tài)。由此，能夠防止在使構(gòu)成粘接劑的封入樹脂固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂因表面張力而沿外部引線62向上方攀援上升，并從封入樹脂部68的上端68a突出而導致外觀等的品質(zhì)下降。
[0091]另外，該情況下，如圖1所示，希望封入樹脂部68的上端68a為與蓋部件54的引線卡定部60的上表面60d的高度相同的平面以下的高度，優(yōu)選位于引線卡定部60的上表面60d與下表面60e之間。
[0092]以上對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，例如在上述實施例中，端子臺38和蓋部件54為分開的部件，但端子臺38和蓋部件54也可以由一體的構(gòu)件構(gòu)成等，在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。
[0093]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0094]本發(fā)明能夠應用于液封式的壓力傳感器及壓力傳感器的制造方法。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力傳感器，其特征在于， 具備:形成有流路的接頭部件； 為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件； 填充在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部；以及 固定與上述壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部， 上述封入樹脂部的上端構(gòu)成為位于與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于， 上述引線卡定部具有固定外部引線的卡定切槽孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于， 構(gòu)成為通過上述卡定切槽孔的切槽而將外部引線插入卡定在卡定切槽孔中。
4.一種壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 具備:形成有流路的接頭部件； 為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件； 填充在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部；以及 固定與上述壓力檢測元件連接的外部引線的引線卡定部， 在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中填充封入樹脂，使得上述封入樹脂部的上端位于與上述引線卡定部的上表面相同的平面以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 上述引線卡定部具有固定外部引線的卡定切槽孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 通過上述卡定切槽孔的切槽將外部引線插入卡定在卡定切槽孔中。
【文檔編號】G01L9/00GK103487198SQ201310231557
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月11日
【發(fā)明者】石川琢郎, 瀧本和哉, 石橋和德 申請人:株式會社鷺宮制作所