超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置。該超聲波探測(cè)器包括：基板，設(shè)置有多個(gè)腔體；隔膜，設(shè)置于上述腔體上；薄膜壓電元件，設(shè)置于上述隔膜上；連通路徑，使上述多個(gè)腔體連通；以及空氣孔，使上述連通路徑與外部空氣連通。
【專利說(shuō)明】超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用薄膜壓電元件的超聲波探測(cè)器中，現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)例如專利文獻(xiàn)I的圖3所示，腔體空間(圖中的17)是被密封的封閉空間。如果是這樣的結(jié)構(gòu)，如果腔體空間狹窄，隔膜則很難自由移動(dòng)，出現(xiàn)工作特性降低的情況。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-75425號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置，可以防止隔膜的工作特性降低、具有良好的接收和發(fā)送特性。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的超聲波探測(cè)器，包括:基板，設(shè)置有多個(gè)腔體；隔膜，設(shè)置于上述腔體上；薄膜壓電元件，設(shè)置于上述隔膜上；連通路徑，使上述多個(gè)腔體連通；以及空氣孔，使上述連通路徑與外部空氣連通。
[0006]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)與空氣孔連通的腔體，至少可以抑制設(shè)置在該腔體上的隔膜的動(dòng)作降低。因此，該隔膜的接收和發(fā)送特性良好。
[0007]而且，根據(jù)本發(fā)明的超聲波探測(cè)器，在上述超聲波探測(cè)器的殼體的外壁面配置上述空氣孔，在上述空氣孔中設(shè)置使空氣通過(guò)而不使液體和固體通過(guò)的半透膜。
[0008]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，液體和固體不會(huì)通過(guò)空氣孔進(jìn)入，不會(huì)妨礙連通路徑與外部空氣的連通。
[0009]而且，本發(fā)明的超聲波探測(cè)器，上述連通路徑使上述多個(gè)腔體全部連通。
[0010]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，所有的隔膜將容易動(dòng)作。因此，接收和發(fā)送特性將更可靠。
[0011]而且，根據(jù)本發(fā)明的超聲波探測(cè)器，上述隔膜的上述腔體側(cè)的面具有彎曲的凹面。
[0012]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，隔膜的外邊緣部的強(qiáng)度提高，即具有良好的接收和發(fā)送特性，又可以防止隔膜的開裂或破碎等破損。
[0013]而且，根據(jù)本發(fā)明的超聲波檢查裝置，其包括上述的超聲波探測(cè)器以及裝置本體，上述裝置本體具有基于由上述超聲波探測(cè)器發(fā)送的信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的信號(hào)處理部。
[0014]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可進(jìn)行利用超聲波的各種檢查。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是示出本發(fā)明的超聲波探測(cè)儀的實(shí)施方式的立體圖。
[0016]圖2是示出圖1所示的超聲波探測(cè)器的超聲波換能器的俯視圖。
[0017]圖3是放大示出圖2所示的超聲波換能器的局部的俯視圖。
[0018]圖4是示出沿圖3中的A-A線的截面圖。
[0019]圖5是放大示出圖4所示的超聲波換能器的局部的截面圖。[0020]圖6是示出本發(fā)明的超聲波檢查裝置的實(shí)施方式的框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下基于附圖所示的適當(dāng)?shù)膶?shí)施方式，就本發(fā)明的超聲波換能器、超聲波探測(cè)器以及超聲波檢查裝置進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0022]<超聲波換能器、超聲波探測(cè)儀的實(shí)施方式>
[0023]圖1是示出本發(fā)明的超聲波探測(cè)器的實(shí)施方式的立體圖，圖2是示出圖1所示的超聲波探測(cè)器的超聲波換能器的俯視圖，圖3是放大示出圖2所示的超聲波換能器的局部的俯視圖，圖4是沿圖3中的A-A線的截面圖，圖5是示出圖4所示的超聲波換能器的局部的截面圖。
[0024]另外，以下將圖3至圖5中的上側(cè)作為“上”、將下側(cè)作為“下”、將右側(cè)作為“右”、
將左側(cè)作為“左”進(jìn)行說(shuō)明。
[0025]而且，在圖2中，省略聲頻整合部、上部電極、下部電極、上部電極用導(dǎo)線、下部電極用導(dǎo)線的一部分等的圖示地示出超聲波換能器的示意圖。并且，在圖3中，省略了音頻整合部的圖示。
[0026]而且，如各圖所不，假定互相垂直的X軸、Y軸。X軸方向?qū)?yīng)于方位方向，Y軸方向?qū)?yīng)于切片方向(slice direction)。
[0027]如圖1所示，超聲波探測(cè)器10包括殼體200、收納在殼體200中的超聲波換能器
I。超聲波換能器I設(shè)置在殼體200的前端部。該超聲波探測(cè)器10例如可用作后述的超聲波檢查裝置100等各種超聲波檢查裝置的超聲波探測(cè)器。
[0028]而且，在本實(shí)施方式中，超聲波換能器I的表面即、后述的音頻整合部6的表面是露出于外部。該音頻整合部6作為超聲波探測(cè)器10及超聲波換能器I的保護(hù)層而起作用。作為音頻整合部6的構(gòu)成材料，并沒(méi)有特別限制，例如，可使用硅橡膠等聲阻抗與有機(jī)體大致相等的材料。而且，也可以為音頻整合部6的表面不露出于外部的結(jié)構(gòu)。
[0029]檢查的時(shí)候，超聲波探測(cè)器10用于使作為檢查對(duì)象的有機(jī)體接觸該音頻整合部6的表面。這時(shí)，如果從超聲波換能器I朝向音頻整合部6發(fā)送超聲波，則超聲波通過(guò)音頻整合部6傳送到有機(jī)體內(nèi)部，在有機(jī)體內(nèi)的規(guī)定部位反射的超聲波通過(guò)音頻整合部6被輸入到超聲波換能器I。
[0030]而且，超聲波探測(cè)器10通過(guò)電纜210與后述的超聲波檢查裝置100的裝置本體300 (參照?qǐng)D6)電氣連接。
[0031]而且，在超聲波探測(cè)器10的殼體200的局部設(shè)置空氣孔220。超聲波探測(cè)器10包括與被檢測(cè)對(duì)象接觸的傳感部200a和操作人員握住的手把部200c，傳感部200a和手把部200c由中間部200b連接?？諝饪?20配置在中間部200b，形成操作人員不會(huì)堵住空氣孔200的外觀設(shè)計(jì)。
[0032]如圖2至圖5所示，本發(fā)明的超聲波探測(cè)器使用的超聲波換能器I包括:基板2 ；多個(gè)(在附圖的構(gòu)成中為12個(gè))的超聲波元件(超聲波振子)8，設(shè)置在基板2上，進(jìn)行超聲波的接收和發(fā)送；以及音頻整合部6，設(shè)置在基板2的超聲波元件8側(cè)，覆蓋各超聲波元件8。
[0033]基板2的形狀不受特別限制，在圖示的構(gòu)成中，在俯視圖上為四角形。而且，作為基板2的俯視圖上的其它形狀，例如分別有五角形、六角形等其它多角形、圓形、橢圓形等。
[0034]而且，作為基板2的構(gòu)成材料，均不受特別限制，例如，可使用硅(Si)等半導(dǎo)體形成材料。因此，通過(guò)蝕刻等可容易地進(jìn)行加工。
[0035]超聲波元件8由隔膜51和薄膜壓電元件7構(gòu)成，各超聲波元件8在基板2上配置成矩陣狀。即，多個(gè)(在圖示的構(gòu)成中為4個(gè))超聲波元件8沿著X軸方向并列設(shè)置，而且，多個(gè)(在圖示的構(gòu)成中為3個(gè))超聲波元件8沿著Y軸方向并列設(shè)置。
[0036]薄膜壓電元件7的形狀并不受特別限制，在圖示的構(gòu)成中，在俯視圖中形成圓形。而且，作為薄膜壓電元件7的在俯視圖上的其它形狀，例如分別舉出四角形(正方形、長(zhǎng)方形)、五角形、六角形等多角形、橢圓形等。而且，關(guān)于薄膜壓電元件7及其配線，如后所述。
[0037]而且，在基板2的與各超聲波元件8對(duì)應(yīng)的部位上，分別形成有用于形成該超聲波元件8的隔膜51的開口部處的腔體21。
[0038]腔體21的形狀不受特別限制，但在圖示的構(gòu)成中，以俯視觀察形成圓形。而且，作為腔體21的俯視圖上的其它形狀，例如分別列舉有四角形(正方形、長(zhǎng)方形)、五角形、六角形等多角形、橢圓形等。
[0039]在腔體21上，在支撐膜5的相反側(cè)設(shè)置連通路徑22，形成所有的腔體21的空氣連通的結(jié)構(gòu)。連通路徑22與設(shè)置在超聲波探測(cè)器10的外殼部分的空氣孔220連接。在空氣孔220中設(shè)置使空氣通過(guò)、但不使液體和固體通過(guò)的半透膜23。作為半透膜的材料，例如使用超高分子量聚乙烯多孔膜，該超高分子量聚乙烯多孔膜通過(guò)制備超高分子量聚乙烯粉末的燒結(jié)多孔成形體，并通過(guò)切削該成形體而形成。
[0040]一般來(lái)說(shuō)，如果增加隔膜的數(shù)量并進(jìn)行高密度處理，各隔膜51的尺寸則縮小，各腔體21的容積也縮小。如果各腔體21在封閉空間進(jìn)行了高密度處理，隔膜51則難以動(dòng)作。但是，在上述的結(jié)構(gòu)中，腔體21不是封閉空間，而是與外部空氣連通，因此，即使腔體21的各容積縮小，隔膜51也不難動(dòng)作，不會(huì)使工作特性降低。即，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，可以得到由隔膜51形成的良好接收和發(fā)送特性。
[0041]另外，在本實(shí)施例中，以連通路徑22使全部腔體21連通為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是，也可以不必使全部腔體連通。例如，在能夠?qū)讉€(gè)腔體的容積設(shè)定成足夠大的容積的情況下，被設(shè)置在該腔體上的隔膜就不難動(dòng)作，因此，有時(shí)也可以不連通。在本發(fā)明中，只使隔膜的工作特性降低的小容積的腔體連通，形成與超聲波探測(cè)器10的外界環(huán)境與空氣相通的結(jié)構(gòu)、即與大氣連通的結(jié)構(gòu)即可。
[0042]并且，在基板2上形成有支撐膜5，由支撐膜5封閉各腔體21。隔膜51由開口對(duì)應(yīng)部位構(gòu)成，開口對(duì)應(yīng)部位是支撐膜5中的用于封閉腔體21的部位(區(qū)域)即、俯視觀察時(shí)支撐膜5的與腔體21 —致的部位(重疊部位)。而且，在隔膜51上設(shè)置薄膜壓電元件7。
[0043]作為支撐膜5的構(gòu)成材料，并不受特別限制，支撐膜5例如可由SiO2膜和ZrO2層的層壓體(雙層結(jié)構(gòu))、SiO2層等構(gòu)成。其中，如果基板2為Si基板，則SiO2層可通過(guò)對(duì)基板2的表面進(jìn)行熱氧化處理而形成。并且，ZrO2層可通過(guò)例如在SiO2層上采用濺射等方法形成。其中，在例如使用PZT作為后述的薄膜壓電元件7的壓電膜72的情況下，ZrO2層是用于防止構(gòu)成PZT的Pb擴(kuò)散到SiO2層的層。并且，ZrO2層也具有提高相對(duì)于壓電膜72的形變的撓曲效率等效果。
[0044]薄膜壓電元件7具有在隔膜51 (支撐膜5)上形成的下部電極71、在下部電極71上形成的壓電膜72、在壓電膜72上形成的上部電極73。
[0045]而且，如圖3所示，在支撐膜5上沿著Y軸方向延伸的下部電極用導(dǎo)線71a與下部電極71連接。該下部電極用導(dǎo)線71a為沿Y軸方向排列的各超聲波元件8的共用的導(dǎo)線。即，如圖3、圖4所示，下部電極用導(dǎo)線71a與Y軸方向上相鄰的超聲波元件8的下部電極71連接。由此，能夠獨(dú)立驅(qū)動(dòng)沿Y軸方向排列的各超聲波元件8的集合體。
[0046]而且，如圖3所示，在支撐膜5上沿著X軸方向延伸的上部電極用導(dǎo)線73a與上部電極73連接。該上部電極用導(dǎo)線73a為沿X軸方向排列的各超聲波元件8的共用的導(dǎo)線。SP，如圖3所示，上部電極用導(dǎo)線73a與在X軸方向上相鄰的超聲波元件8的上部電極73連接，在其端部例如與GND連接。由此，各超聲波元件8的上部電極73被接地。
[0047]而且，與上述相反，也可以將下部電極用導(dǎo)線71a連接GND。
[0048]作為上述下部電極71、上部電極73、下部電極用導(dǎo)線71a、上部電極用導(dǎo)線73a的構(gòu)成材料，只要均為具有導(dǎo)電性的材料即可，并不受特別限制，例如，可使用各種金屬材料等。而且，下部電極71、上部電極73、下部電極用導(dǎo)線71a、上部電極用導(dǎo)線73a可以分別為單層，也可以為由多個(gè)層層疊而成的層疊體。舉一個(gè)具體例子，例如，作為下部電極71和下部電極用導(dǎo)線71a，可分別使用Ti/Ir/Pt/Ti層疊膜，作為上部電極73和上部電極用導(dǎo)線73a，可分別使用Ir膜。
[0049]壓電膜72例如是通過(guò)將PZT (錯(cuò)鈦酸鉛:lead zirconate titanate)制成膜狀而形成。而且，在本實(shí)施方式中，使用PZT制成壓電膜72，但只要是通過(guò)施加電壓可向面內(nèi)方向收縮(伸縮)的材料，則可使用任何材料，除PZT外，例如還可使用鈦酸鉛(PbTi03)、鋯酸鉛(PbZrO3)、鈦酸鉛鑭((Pb、La) TiO3)等。
[0050]在該超聲波元件8中，例如，通過(guò)裝置本體300 (參照?qǐng)D6)，經(jīng)由電纜210，在下部電極71與上部電極73之間施加電壓，由此，壓電膜72可向面內(nèi)方向伸縮。這時(shí)，壓電膜72的一個(gè)面通過(guò)下部電極71與支持膜5接合，而在另一個(gè)面上形成了上部電極73。其中，由于在上部電極73上沒(méi)有形成其它的層，因此，壓電膜72的支撐膜5側(cè)難以伸縮，而上部電極73側(cè)容易伸縮。因此，如果對(duì)壓電膜72施加電壓，則會(huì)發(fā)生向腔體21側(cè)凸起的撓曲，使隔膜51撓曲。因此，通過(guò)對(duì)壓電膜72施加交流電壓，隔膜51相對(duì)于膜厚方向振動(dòng)，超聲波由于該隔膜51的振動(dòng)而被發(fā)送(發(fā)送)。
[0051 ] 在發(fā)送超聲波時(shí)，對(duì)壓電膜72施加與超聲波元件8的諧振頻率相等或與該諧振頻率接近的頻率的交流電壓，諧振驅(qū)動(dòng)超聲波元件8。由此，隔膜51發(fā)生大的撓曲，從而可發(fā)送高輸出的超聲波。
[0052]而且，通過(guò)超聲波元件8接收超聲波時(shí)，如果超聲波被輸入至隔膜51，則隔膜51在膜厚方向振動(dòng)。在超聲波元件8中，由于該隔膜51的振動(dòng)，在壓電膜72的下部電極71側(cè)的面和上部電極73側(cè)的面上將產(chǎn)生電位差，從上部電極73及下部電極71輸出對(duì)應(yīng)于壓電膜72的位移量的接收信號(hào)(檢測(cè)信號(hào))(電流)。該信號(hào)通過(guò)電纜210被發(fā)送到裝置本體300 (參照?qǐng)D6)，在裝置本體300中進(jìn)行基于該信號(hào)的規(guī)定的信號(hào)處理等。由此，在裝置本體300中形成并顯示超聲波圖像(電子圖像)。
[0053]而且，在該超聲波探測(cè)器10中，延遲并錯(cuò)開從沿X軸方向并列設(shè)置的各超聲波元件8發(fā)出超聲波的定時(shí)，可向所希望的方向發(fā)送超聲波的平面波。
[0054]如圖5所示，在該超聲波換能器I中，俯視觀察時(shí)支撐膜5的與腔體21 —致的開口對(duì)應(yīng)部位即、隔膜51的中心部的厚度被設(shè)定為比隔膜51的外緣部的厚度薄。這種情況下，將俯視觀察時(shí)從支撐膜5的開口對(duì)應(yīng)部位的外周端朝向開口對(duì)應(yīng)部位的內(nèi)側(cè)即朝向重心的具有規(guī)定寬度的環(huán)狀區(qū)域X作為開口對(duì)應(yīng)部位的外緣部，將除該區(qū)域X (外緣部)以外的、且包括開口對(duì)應(yīng)部位的重心位置的規(guī)定面積的區(qū)域Y作為開口對(duì)應(yīng)部位的中心部。
[0055]在該實(shí)施方式中，隔膜51在其外緣部具有厚度恒定的厚度恒定部511。環(huán)繞隔膜51 —周設(shè)定該厚度恒定部511。S卩，厚度恒定部511俯視觀察時(shí)形成環(huán)狀。而且,隔膜51具有厚度漸增部512，厚度漸增部512與厚度恒定部511相連，厚度從隔膜51的重心(中心部)向外緣部逐漸增大。即，在隔膜51的下面?zhèn)刃纬删哂袕澢赏霠畹膹澢?彎曲的凹面)的凹部52。
[0056]由此，隔膜51的外緣部即、厚度恒定部511的強(qiáng)度提高，而且，隔膜51的厚度漸增部512尤其是厚度漸增部512的中心部側(cè)容易撓曲，因而，可具有良好的接收和發(fā)送特性，同時(shí)，可防止隔膜51的破裂或裂紋等破損。
[0057]S卩，接收和發(fā)送超聲波時(shí)，尤其是發(fā)送時(shí)，通過(guò)超聲波元件8的諧振驅(qū)動(dòng)，即使隔膜51撓曲較大，也可防止該隔膜51的外緣部附近的破裂或裂紋等破損。而且，由于隔膜51的中心部易局部地?fù)锨?，因此，在接收或發(fā)送超聲波時(shí)，尤其是在隔膜51的撓曲量小的接收時(shí)，可使薄膜壓電元件7的撓曲量增大，由此，在薄膜壓電元件7上產(chǎn)生大的應(yīng)力，能夠提高由該薄膜壓電元件7輸出的接收信號(hào)的電平。即，可提高超聲波的接收時(shí)的靈敏度。
[0058]而且，薄膜壓電元件7配置于隔膜51上的厚度恒定部511的中心部側(cè)的位置。由此，能夠更可靠地提高超聲波的接收時(shí)的靈敏度。
[0059]其中，隔膜51 (支撐膜5)的大小不受特別限定，可根據(jù)各種條件適當(dāng)?shù)卮_定，但是，如果將隔膜51的厚度恒定部511 (外緣)的厚度設(shè)定為D1，將隔膜51的俯視觀察時(shí)的重心位置(中心)的厚度設(shè)定為D2，則優(yōu)選D2/D1為0.1以上0.9以下。由此，能夠更可靠地防止隔膜51的外緣部附近的開裂或缺損等破損，并且，能夠更可靠地提高超聲波的接收時(shí)的靈敏度。
[0060]而且，隔膜51的厚度恒定部511 (外緣)的厚度Dl優(yōu)選為0.4μπι以上1.5μπι以下。由此，能夠更可靠地防止隔膜51的外緣部附近的開裂或缺損等破損。
[0061]而且，隔膜51的重心位置的厚度D2優(yōu)選為0.15 μ m以上1.35 μ m以下。由此，能夠更可靠地提高超聲波的接收時(shí)的靈敏度。
[0062]而且，俯視觀察時(shí)，將隔膜51的厚度恒定部511的面積設(shè)為S1、厚度漸增部512的面積設(shè)為S2時(shí)，優(yōu)選S1/S2為0.02以上0.25以下。由此，能夠更可靠地防止隔膜51的外緣部附近的開裂或缺損等破損，且能夠更可靠地提高超聲波的接收時(shí)的靈敏度。
[0063]而且，在本實(shí)施方式中，隔膜51具有厚度恒定部511，但是，也可以省略該厚度恒定部511。
[0064]<超聲波檢查裝置的實(shí)施方式>
[0065]圖6是示出本發(fā)明的超聲波檢查裝置的實(shí)施方式的框圖。
[0066]如圖6所示，超聲波檢查裝置100包括上述超聲波探測(cè)器10以及通過(guò)電纜210與超聲波探測(cè)器10電連接的裝置本體300。
[0067]裝置本體300包括控制部(控制裝置)310、驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部320、檢測(cè)信號(hào)處理部330、圖像信號(hào)處理部340、圖像顯示部(顯示裝置)350。而且，信號(hào)處理部由檢測(cè)信號(hào)處理部330及圖像信號(hào)處理部340構(gòu)成。
[0068]控制部310例如由微型計(jì)算機(jī)等構(gòu)成，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部320、圖像信號(hào)處理部340等整個(gè)裝置本體300的控制。而且，圖像顯示部350例如由CRT、IXD等顯示裝置構(gòu)成。
[0069]下面，對(duì)超聲波檢查裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0070]檢查時(shí)，將超聲波探測(cè)器10的音頻整合部6的表面與作為檢查對(duì)象的有機(jī)體接觸，使超聲波檢查裝置100動(dòng)作。
[0071]首先，控制部310如果向驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部320輸出發(fā)送命令，驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部320則分別在規(guī)定的定時(shí)對(duì)各超聲波元件8發(fā)送驅(qū)動(dòng)該超聲波元件8的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。由此，各超聲波元件8分別以規(guī)定的定時(shí)驅(qū)動(dòng)。由此，從超聲波探測(cè)器10的超聲波換能器I發(fā)送超聲波。
[0072]發(fā)送的超聲波向有機(jī)體內(nèi)部傳輸，在有機(jī)體內(nèi)規(guī)定的部位反射的超聲波被輸入到超聲波探測(cè)器10的超聲波換能器I。
[0073]然后，從超聲波換能器I輸出與輸入的超聲波對(duì)應(yīng)的檢測(cè)信號(hào)。該檢測(cè)信號(hào)通過(guò)電纜210被發(fā)送到裝置本體300的檢測(cè)信號(hào)處理部330，在檢測(cè)信號(hào)處理部330實(shí)施規(guī)定的信號(hào)處理，并通過(guò)檢測(cè)信號(hào)處理部330中包括的未圖示的A/D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。
[0074]從檢測(cè)信號(hào)處理部330輸出的數(shù)字信號(hào)被輸入到圖像信號(hào)處理部340，與幀定時(shí)信號(hào)同步，作為面數(shù)據(jù)被依次存儲(chǔ)到圖像信號(hào)處理部340中包括的未圖示的一次存儲(chǔ)部中。圖像信號(hào)處理部340在根據(jù)各面數(shù)據(jù)重新構(gòu)成二維或三維圖像數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行例如插補(bǔ)、響應(yīng)增強(qiáng)處理、灰度處理等圖像處理。進(jìn)行了圖像處理的圖像數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)到圖像信號(hào)處理部340中包括的未圖示的二次存儲(chǔ)部中。
[0075]然后，從圖像信號(hào)處理部340的二次存儲(chǔ)部讀取進(jìn)行了圖像處理的圖像數(shù)據(jù)并被輸入到圖像顯示部350。圖像顯示部350根據(jù)圖像數(shù)據(jù)顯示圖像。醫(yī)生等醫(yī)務(wù)人員看上述圖像顯示部350上顯示的圖像進(jìn)行診斷。
[0076]以上是根據(jù)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的超聲波探測(cè)器及超聲波檢查裝置進(jìn)行的說(shuō)明，但本發(fā)明并不僅限于此，各部分的結(jié)構(gòu)也可被具有同樣功能的任一結(jié)構(gòu)取代。而且，還可以對(duì)本發(fā)明添加其它任一結(jié)構(gòu)物。
[0077]而且，在上述實(shí)施方式中，超聲波元件的數(shù)目即、壓電元件及支撐膜的開口對(duì)應(yīng)部位的數(shù)量均為多個(gè)，但本發(fā)明不限于此，也可以為單數(shù)。
[0078]符號(hào)說(shuō)明
[0079]1超聲波換能器2基板
[0080]5支撐膜6音頻整合部[0081 ] 7薄膜壓電元件 8超聲波元件
[0082]10超聲波探測(cè)器21腔體
[0083]22連通路徑23半透膜
[0084]51隔膜52凹部
[0085]71下部電極71a下部電極用導(dǎo)線
[0086]72壓電膜73上部電極
[0087]73a上部電極用導(dǎo)線 91抗蝕膜
[0088]92保護(hù)膜100超聲波檢查裝置[0089]200殼體210電纜
[0090]220空氣孔300裝置本體
[0091]310控制部320驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部
[0092]330檢測(cè)信號(hào)處理部340圖像信號(hào)處理部
[0093]350圖像顯示部511厚度恒定部
[0094]512厚度漸增部X、`Y區(qū)域
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波探測(cè)器，其特征在于，包括: 基板，設(shè)置有多個(gè)腔體； 隔膜，設(shè)置于所述腔體上； 薄膜壓電元件，設(shè)置于所述隔膜上； 連通路徑，使所述多個(gè)腔體連通；以及 空氣孔，使所述連通路徑與外部空氣連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于， 在所述超聲波探測(cè)器的殼體的外壁面配置所述空氣孔， 在所述空氣孔中設(shè)置使空氣通過(guò)而不使液體和固體通過(guò)的半透膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述連通路徑使所述多個(gè)腔體全部連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述連通路徑使所述多個(gè)腔體全部連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述隔膜的所述腔體側(cè)的面具有彎曲的凹面。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述隔膜的所述腔體側(cè)的面具有彎曲的凹面。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述隔膜的所述腔體側(cè)的面具有彎曲的凹面。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超聲波探測(cè)器，其特征在于，所述隔膜的所述腔體側(cè)的面具有彎曲的凹面。
9.一種超聲波檢查裝置，其特征在于，包括根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)記載的超聲波探測(cè)器以及裝置本體，所述裝置本體具有基于由所述超聲波探測(cè)器發(fā)送的信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的信號(hào)處理部。
10.一種超聲波探測(cè)器，其特征在于，具有: 超聲波設(shè)備以及支撐所述超聲波設(shè)備的殼體，其中， 所述超聲波設(shè)備具有:基板，具有多個(gè)腔體；隔膜，設(shè)置于所述腔體上；薄膜壓電元件，設(shè)置于所述隔膜上；以及連通路徑，使所述多個(gè)腔體連通， 所述殼體具有空氣孔，所述空氣孔使所述殼體的內(nèi)部與外部連通。
【文檔編號(hào)】G01H11/08GK103512649SQ201310234153
【公開日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年6月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月15日
【發(fā)明者】中村友亮, 細(xì)見(jiàn)浩昭 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社