探針固持結(jié)構(gòu)及其光學檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種探針固持結(jié)構(gòu)，其包括有一基板以及復數(shù)個固持模塊。該基板具有一通孔以及復數(shù)個設(shè)置在該通孔的周圍的槽體。該復數(shù)個固持模塊，其分別與該復數(shù)個槽體相連接，每一個固持模塊更具有一固定件以及復數(shù)個探針，其中，該固定件與對應的槽體相連接。該復數(shù)個探針連接于該固定件上，且通過對應的槽體。在另一實施例中，本發(fā)明更利用該探針固持結(jié)構(gòu)以及具有鏡頭的鏡頭調(diào)整機構(gòu)相組合以形成可以檢測芯片電性的光學檢測裝置。
【專利說明】探針固持結(jié)構(gòu)及其光學檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種探針固持以及鏡頭位置調(diào)整的技術(shù)，尤其是指一種利用組合式的探針固持結(jié)構(gòu)及具有該探針固持結(jié)構(gòu)與鏡頭位置調(diào)整機制的光學檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體芯片完成之前，必須通過多道檢測程序以確保品質(zhì)。其中的一檢測項目即是為了驗證半導體芯片內(nèi)部的各精密電子元件間的電性連接是否確實以及功能是否符合驗收規(guī)格。
[0003]—般而言,半導體芯片進行測試時,測試機必須通過一探針卡(probe card)接觸待測物(device under test，DUT)，例如:芯片，并憑借信號傳輸以及電性信號分析，以獲得待測物的測試結(jié)果。探針卡通常包含若干個尺寸精密的探針相互排列而成，每一個探針通常會對應芯片上特定的電性接點，當探針接觸待測物上的對應電性接點時，可以確實傳遞來自測試機的測試信號；同時，配合探針卡及測試機的控制與分析程序，達到測量待測物的電性特征的目的。
[0004]請參閱圖1A與圖1B所示，該圖是現(xiàn)有技術(shù)的探針卡結(jié)構(gòu)底視以及剖面示意圖。該探針卡I具有一導引板10，其上具有一通孔11，通孔周圍具有復數(shù)排探針12，13以及14。由于在導引板10上有復數(shù)排的探針12，13以及14，再加上導引板10的面積很小，因此在制作探針卡I時，在進行第一排探針12的插針動作時，第二排與第三排探針13與14的插針動作就無法同步進行，因而會降低探針卡I的制作效率。此外，由于在現(xiàn)有技術(shù)中，探針是直接插置在導引板10上，因此當制作品質(zhì)有問題時或者是在使用上探針接觸有異常時，并無法針對有問題的探針，個別進行更換，而必須將探針連同導引板一起報廢，如此必然增加探針卡的成本。
[0005]此外，如圖1C所示，該圖是現(xiàn)有的晶圓測試機構(gòu)示意圖，在現(xiàn)有技術(shù)中，該晶圓測試機構(gòu)具有一座體6，其上具有復數(shù)個通孔61。每一個通孔61分別容置有一鏡頭容置座
71。每一鏡頭容置座71內(nèi)具有凹槽，以提供一鏡頭72以螺牙721與該凹槽內(nèi)部相螺接。在現(xiàn)有技術(shù)中，存在幾個待解決的問題，首先為調(diào)整鏡頭不易，由于鏡頭具有焦距，因此在檢測過程中需要調(diào)整鏡頭的焦距才可以產(chǎn)生清晰的影像，不過現(xiàn)有技術(shù)要對鏡頭焦距進行微調(diào)時需要憑借鏡頭72表面與容置座71間的螺牙721的協(xié)助來改變鏡頭72在垂直方向的位置，這使得調(diào)整的手續(xù)變得相當不方便，進而會影響檢測的效率。其次由于鏡頭容置座71凹槽的壁面的螺牙與鏡頭72本身的螺牙間具有背隙的故，因此往往會造成鏡頭位置調(diào)整上的誤差，而影響光學成像的效果。
[0006]綜合上述，因此亟需一種利用組合式的探針固持結(jié)構(gòu)及具有該探針固持結(jié)構(gòu)與鏡頭位置調(diào)整機制的光學檢測裝置來解決現(xiàn)有技術(shù)所產(chǎn)生的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的一目的在提供一種探針固持結(jié)構(gòu)，其將探針模塊化而與導引板相接，增加探針與導引板組合的彈性以提升制作探針卡的效率，而且也可以容易對有問題的探針進行更換，使得維護更方便，進而降低探針卡的成本。
[0008]本發(fā)明的一目的在提供一種光學檢測裝置，其更具有一鏡頭調(diào)整機構(gòu)，憑借一位置調(diào)整機構(gòu)所具有的螺牙以及鏡頭容置座頂部至少一個調(diào)整槽的設(shè)置，再通過調(diào)整治具來調(diào)整鏡頭容置座的位置，以簡化調(diào)整鏡頭容置座位置的方式。
[0009]為了達到上述的目的，本發(fā)明提供一種探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括:
[0010]一基板，其具有一通孔以及復數(shù)個設(shè)置在該通孔的周圍的槽體；以及
[0011]復數(shù)個固持模塊，其分別與該復數(shù)個槽體相連接，每一個固持模塊更具有:
[0012]一固定件，其與對應的槽體相連接；以及
[0013]復數(shù)個探針，其連接于該固定件上，且通過對應的槽體。
[0014]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的槽體，且每一個固持模塊容置于每一個槽體內(nèi)。
[0015]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中每一探針具有:
[0016]一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體；
[0017]一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及
[0018]一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
[0019]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中該復數(shù)個槽體相互連通。
[0020]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的固定件結(jié)構(gòu)。
[0021]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
[0022]所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
[0023]為了達到上述的目的，本發(fā)明更提供一種光學檢測裝置，其特征在于，包括:
[0024]一鏡頭調(diào)整機構(gòu)，包括有:
[0025]一座體，其具有至少一第一通孔；
[0026]至少一鏡頭容置座，其分別容置于該至少一第一通孔內(nèi)，每一鏡頭容置座具有一容置槽，以提供容置一鏡頭；以及
[0027]至少一探針固持結(jié)構(gòu)，其設(shè)置于該座體的表面上，每一探針固持結(jié)構(gòu)其包括有:
[0028]一基板，其具有一第二通孔以及復數(shù)個設(shè)置在該第二通孔的周圍的槽體；以及
[0029]復數(shù)個固持模塊，其分別與該復數(shù)個槽體相連接，每一個固持模塊更具有:
[0030]一固定件，其與對應的槽體相連接；以及
[0031 ] 復數(shù)個探針，其連接于該固定件上，且通過對應的槽體。
[0032]所述的光學檢測裝置，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的槽體，且每一個固持模塊容置于每一個槽體內(nèi)。
[0033]所述的光學檢測裝置，其中每一探針具有:
[0034]一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體；
[0035]一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及
[0036]一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。[0037]所述的光學檢測裝置，其中該復數(shù)個槽體相互連通。
[0038]所述的光學檢測裝置，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的結(jié)構(gòu)。
[0039]所述的光學檢測裝置，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
[0040]所述的光學檢測裝置，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
[0041]所述的光學檢測裝置，其中該座體的表面更具有至少一第二容置槽，以分別提供容置該至少一探針固持結(jié)構(gòu)，該第一通孔貫通該容置槽而與對應的探針固持結(jié)構(gòu)所具有的該第二通孔相對應。
[0042]所述的光學檢測裝置，其更包括有至少一位置調(diào)整部，其分別對應每一第一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應的鏡頭容置座相耦接，每一位置調(diào)整部使對應的該鏡頭容置座于對應的第一通孔內(nèi)進行一位置調(diào)整運動，其中每一鏡頭容置座于該容置槽的槽口外圍的頂面上更具有至少一調(diào)整槽設(shè)置于該容置槽的槽口外側(cè)，該位置調(diào)整部更具有:
[0043]一第一螺牙，其形成于該每一第一通孔的內(nèi)壁；
[0044]—第二螺牙，其形成于該每一鏡頭容置座的表面以與該第一螺牙相螺接；以及
[0045]一撓性環(huán)，其套設(shè)于該每一鏡頭容置座上，而對應該每一鏡頭容置座的第一通孔形成于一凹槽內(nèi)，該撓性環(huán)外徑大于等于對應凹槽內(nèi)壁的口徑，使該座體與該每一鏡頭容置座螺接時該撓性環(huán)被該凹槽內(nèi)壁壓縮而密接。
[0046]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明具有的有益效果是:
[0047]本發(fā)明的提供一種探針固持結(jié)構(gòu)，其將探針模塊化而與導引板相接，增加探針與導引板組合的彈性以提升制作探針卡的效率，而且也可以容易對有問題的探針進行更換，使得維護更方便，進而降低探針卡的成本。
[0048]本發(fā)明提供一種光學檢測裝置，其更具有一鏡頭調(diào)整機構(gòu)，憑借一位置調(diào)整機構(gòu)所具有的螺牙以及鏡頭容置座頂部至少一個調(diào)整槽的設(shè)置，再通過調(diào)整治具來調(diào)整鏡頭容置座的位置，以簡化調(diào)整鏡頭容置座位置的方式。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0049]圖1A與圖1B是現(xiàn)有技術(shù)的探針卡結(jié)構(gòu)底視以及剖面示意圖；
[0050]圖1C是現(xiàn)有的晶圓測試機構(gòu)示意圖；
[0051]圖2是本發(fā)明探針固持結(jié)構(gòu)的實施例立體示意圖；
[0052]圖3A與圖3B是本發(fā)明的基板不同的實施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0053]圖4是本發(fā)明圖2所示的探針固持結(jié)構(gòu)剖面示意圖；
[0054]圖5A至圖5B是本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)的實施例立體與剖面以及固持模塊分解示意圖；
[0055]圖6A至圖6B是本發(fā)明的一體結(jié)構(gòu)的固定件不同實施例示意圖；
[0056]圖7是本發(fā)明的光學檢測裝置立體分解示意圖；
[0057]圖8A至圖8C是本發(fā)明的鏡頭調(diào)整機構(gòu)不同實施例立體示意圖；
[0058]圖9A與圖9B為本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)陣列示意圖；
[0059]圖10是本發(fā)明的探針擺針方式示意圖。[0060]附圖標記說明:1-探針卡；10_導引板；11-通孔；12、13、14_探針；2_探針固持結(jié)構(gòu)；20，20a-基板；200_通孔、第二通孔；201、202_槽體；203_底面；204_第一貫穿孔;205_沉孔;21、21a-固持模塊;210、210a?210c_固定件；2102_貫穿孔;211_探針；2110-延伸部；2111_懸臂部；2112_偵測部；22、22a、22b_膠材；3_光學檢測裝置；303_螺孔;304_槽口 ;305_穿孔；32_固鎖元件；4、4d、4e_鏡頭調(diào)整機構(gòu)；40、40d、40e、40g-座體；400-凹槽；401_第一通孔；402_法蘭結(jié)構(gòu)；406_第二容置槽；407_第一側(cè)面；408_第二側(cè)面；41、41d、41e-鏡頭容置座；410_容置槽；416_第一區(qū)；417_第二區(qū)；418_螺牙咬合調(diào)整部；42、42d、42e-位置調(diào)整部；420_第一螺牙；421_第二螺牙；424c、424d_調(diào)整槽；428_開槽；427_撓性環(huán)；6_座體；61_通孔；71_鏡頭容置座；72_鏡頭；721_螺牙。
【具體實施方式】
[0061]請參閱圖2所示,該圖是本發(fā)明探針固持結(jié)構(gòu)的實施例立體示意圖。在本實施例中，該探針固持結(jié)構(gòu)2包括有一基板20以及復數(shù)個固持模塊21。請參閱圖3A所示，該圖是本發(fā)明的基板第一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。在本實施例中，該基板20具有一通孔200以及復數(shù)個設(shè)置在該通孔200的周圍的槽體201。在本實施例中，該復數(shù)個槽體201是貫通該基板
20。該復數(shù)個槽體201可以呈現(xiàn)類似門字形或者是口字形的排列，本實施例為類似門字形的排列，也即在該通孔200的三側(cè)上形成有槽體201。另外，在另一實施例中，如圖3B所示，該基板20上所具有的槽體并非如圖3A為貫穿基板20的結(jié)構(gòu)，而是分別具有一底面203，然后在該底面203上形成復數(shù)個貫穿基板20的第一貫穿孔204。該基板20的材質(zhì)可以為工程塑膠、電木等或者是陶瓷材料所構(gòu)成。在本實施例中，該基板20是陶瓷板。此外，在圖3A與圖3B中，基板20上具有沉孔205。沉孔205的數(shù)量與開設(shè)位置根據(jù)基板20的尺寸與構(gòu)形而定，并不以圖中基板20的四個角落為限制。沉孔205的目的在于利用鎖固元件，例如:螺絲，將基板20固鎖在基座上時，可以讓固鎖元件沉入孔內(nèi)，而不會凸出基板20表面，進而可以避免傷到待測芯片。雖然前述的第一貫穿孔204為各自獨立的通孔，要說明的是，該復數(shù)個第一貫穿孔204的另一種變化為將其整合成相互連通的單一貫穿槽，以提供探針通過。
[0062]請同時參閱圖2與圖3B所示，本實施例的基板20是圖3B所示的基板實施例，該復數(shù)個固持模塊21分別容置于該復數(shù)個槽體202內(nèi)，且分別與該復數(shù)個槽體202相連接，每一個固持模塊21更具有一固定件210以及復數(shù)個探針211。在本實施例中，每一個固定件210是一長條柱體。該固定件210的材質(zhì)可以為工程塑膠、電木等或者是陶瓷材料所構(gòu)成。在本實施例中，該固定件210為陶瓷材料所構(gòu)成。請參閱圖4所示，該圖是本發(fā)明圖2所示的探針固持結(jié)構(gòu)剖面示意圖。首先說明本發(fā)明的固持模塊21與對應槽體202連接的方式，在本實施例中，每一個探針211憑借膠材22，例如:黑膠(epoxy)，先粘著于固定件210上，形成單一的固持模塊21。每一個探針211被彎折成具有一延伸部2110、一懸臂部2111以及一偵測部2112的N型針結(jié)構(gòu)。該延伸部2110，其抵靠于該固定件210的一側(cè)面上。本實施例中，該延伸部2110大致與基板20的表面相垂直。該懸臂部2111，其與該延伸部2110相連接，與該延伸部2110間具有一第一夾角Θ1。為了讓探針211粘固于該固定件210上，該懸臂部2111與該固定件210間通過膠材22來進行連接。該偵測部2112，其與該懸臂部2111相連接，且與該懸臂部2111間具有一第二夾角Θ2。第一夾角Θ I與第二夾角θ 2的大小并無特定的限制，可以根據(jù)需要彎折至所需的角度。以上復數(shù)個探針211的懸臂部2111的排列方式為懸臂式探針卡(cantilever probe card, CPC)的擺針方式,在擺放一排探針211到固定件210后，可以再擺放下一排探針211，形成懸臂部2111針層迭排列到固定件210的結(jié)構(gòu)。
[0063]該固定件210與該探針211接觸的表面除了為平面之外，為了讓每一探針211可以容易的放置在該固定件210上，在該固定件210上的至少一側(cè)面上也可以設(shè)置有凹槽，以有利于彎折探針211之用。再回到圖4所示，每一固持模塊21再被嵌入到該基板20上對應的槽體202上，由于本實施例的基板20為圖3B的實施例，因此每一個探針211的延伸部2110會通過對應的第一貫穿孔204而穿出該基板20。由于該第一貫穿孔204的設(shè)計，可以讓穿出基板20的延伸部2110得到更好的定位效果，以利后續(xù)電信號的導引。為了讓固持模塊21可以固定在基板20上，當該固持模塊21容置于對應的槽體202內(nèi)時，可以在利用膠材22充填于該固持模塊21與該槽體202的縫隙，以強化固持模塊21與該槽體202間的連接效果。另外，在另一實施例中，更可以在該探針211懸臂部2111與該基板20間以膠材22a來強化連接關(guān)系。此外，要說明的是，在另一實施例中，固定件210也可以不用被容置于槽體202內(nèi)，而是直接連接在對應槽體202的基板20表面上。此時，槽體202為開口寬度小于固定件210寬度的貫穿槽，僅提供對應的探針通過。至于該固定件210連接于基板20的方式可以利用黑膠來粘著固定。
[0064]請參閱圖5A至圖5B所示，該圖是本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)的實施例立體與剖面以及固持模塊分解示意圖。在本實施例中，基本上的結(jié)構(gòu)與圖2類似，差異的是本實施例的固持模塊21a中，固定件210a的結(jié)構(gòu)與圖2的固定件210不同。在本實施例中，該固定件210a上具有復數(shù)個貫穿孔2102，其分別對應有一探針211。每一個探針211的延伸部2110穿過該貫穿孔2102。如圖5B所示，探針211固定在固定件210a上之后，可以憑借膠材22與22a將探針211固著于固定件210a上。要說明的是，膠材的涂布位置可以根據(jù)需要而定，并不以圖示的位置為限制。接著再將整個固持模塊21a嵌入對應的基板20的凹槽?；?0的凹槽同樣可以選擇如圖3A或圖3B所示的槽體201或202的態(tài)樣，在本實施例中使用圖3B所示的槽體202的結(jié)構(gòu)。當整個固持模塊21a嵌入到對應槽體202之后，為了加強固持模塊21a與基板20間的連接效果，在一實施例中，更可以在固持模塊21a與基板20的交界處涂上膠材22b。要說明的是，將該固持模塊21a通過膠材連接到基板20上的膠材涂布位置，并不以本實施例所示的位置為限制，使用者可以根據(jù)需求選擇適當?shù)慕唤缑嬉阅z材來強化連接關(guān)系。當然地，前述的復數(shù)個貫穿孔2102可以為各自獨立的通孔，也或可以變化為將其整合成相互連通的單一貫穿槽，以提供探針通過，可視實際需求而定。根據(jù)前述本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)的實施例，本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)由于具有與基板分離的固持模塊，使得排設(shè)探針形成探針的固持模塊以及將固持模塊裝設(shè)在基板上的動作變成可以獨立分開進行，因此可以增加組裝的效率，而且在探針維護上也可以獨立分拆裝，避免整個探針固持結(jié)構(gòu)報廢而增加成本的問題。此外，前述的圖2與圖5A所示的實施例的固持模塊21與21a中，各個固持模塊21或21a所具有的固定件210或210a為長條柱體的獨立結(jié)構(gòu)。但在另一實施例中，如圖6A至圖6B所示，多個固定件210可以相互連接而成為環(huán)狀的一體成形結(jié)構(gòu)，例如:口字型或者是門字型的一體結(jié)構(gòu)。其中，圖6A為門字型的固定件210b，而圖6B為口字型的固定件210c，圖6A與圖6B其可以被用于圖2的固持模塊中的固定件。另外，要說明的是，在另一實施例中，更可以在在圖6A所示的門字型的固定件210b與圖6B所示的口字型的固定件210c上形成貫穿孔，其可以被用于圖5A的固持模塊中的固定件。
[0065]請參閱圖7與圖8A所示，其中圖7是本發(fā)明的光學檢測裝置立體分解示意圖；圖8A是本發(fā)明對應圖7的鏡頭調(diào)整機構(gòu)與座體間的一實施例立體示意圖。該光學檢測裝置3包括有一鏡頭調(diào)整機構(gòu)4以及一探針固持結(jié)構(gòu)2。該鏡頭調(diào)整機構(gòu)4,包括有一座體40、一鏡頭容置座41以及一位置調(diào)整部42。該座體40具有一第一通孔401,該座體40的一第一側(cè)面407上開設(shè)有一第二容置槽406以提供容置該探針固持結(jié)構(gòu)2。該第一通孔401貫通該第二容置槽406，使該第一通孔401與對應的探針固持結(jié)構(gòu)2所具有的第二通孔200相對應。該第二容置槽406的底面上開設(shè)復數(shù)個螺孔303，在本實施例中，該復數(shù)個螺孔303分別設(shè)置在該第二容置槽406的四個角落，分別與探針固持結(jié)構(gòu)2中的四個沉孔205相對應。此外，該第二容置槽406的底面上更形成有復數(shù)個槽口 304，其分別與復數(shù)個固持模塊21相對應，每一個槽口 304內(nèi)具有復數(shù)個分別與固持模塊21所具有的復數(shù)個探針211相對應的穿孔305。該穿孔305貫穿該座體40，使得每一個探針211的延伸部2110可以經(jīng)由對應的穿孔305而與探針卡的電路板表面上的焊墊電性連接。
[0066]該座體40在與該第一側(cè)面407相對應的一第二側(cè)面408上更具有一凹槽400，凹槽400內(nèi)具有該第一通孔401貫通整個座體40。要說明的是，凹槽400僅為本實施例所示的結(jié)構(gòu)，但非以一定要具有凹槽400為限制，例如，在另一實施例中，該座體40上并沒有凹槽400，僅在座體40上形成該第一通孔401貫穿該座體40。本實施例中，該第一通孔401的外圍具有法蘭(flange)結(jié)構(gòu)402。該鏡頭容置座41，其容置于該第一通孔401內(nèi)，該鏡頭容置座41是柱體結(jié)構(gòu)，具有一容置槽410，其內(nèi)部提供容置一鏡頭。本實施例中，該容置槽410內(nèi)形成有螺牙以與該鏡頭相螺接。
[0067]該位置調(diào)整部42，其分別與該鏡頭容置座41以及該第一通孔401相耦接，使該鏡頭容置座41于與該第一通孔401內(nèi)進行一位置調(diào)整運動，在本實施例中，該位置調(diào)整運動為Z軸向位移運動。該位置調(diào)整部42在本實施例中，包括有一第一螺牙420、一第二螺牙421以及兩對調(diào)整槽424c與424d。該兩對調(diào)整槽424c與424d，其形成于該鏡頭容置座41的上表面，且分別對稱設(shè)置于該容置槽410的槽口外側(cè)。該第一螺牙420，其形成于該第一通孔401的內(nèi)壁表面。該第二螺牙421，其形成于該鏡頭容置座41的表面以與該第一螺牙420相螺接。本實施例中，是通過增加第一螺牙420與第二螺牙421之間的咬合率或者是在第一螺牙420與第二螺牙421之間涂布膠材，例如:耐落螺絲膠，以降低螺牙之間的背隙，進而提升位置調(diào)整移動的精確度。在另一實施例中，也可以通過鏡頭容置座41以及座體40以不同材質(zhì)制作，例如工程塑膠或其他金屬，來達到提升螺牙咬合率的效果。在本實施例中，可以使鏡頭容置座41與座體40兩個材質(zhì)的硬度不同,例如:該座體的硬度大于該鏡頭容置座的硬度或者是該座體的硬度小于該鏡頭容置座的硬度，以增加螺牙的咬合率，其中以該座體的硬度大于該鏡頭容置座的硬度為較佳。每一容置槽所具有的內(nèi)壁面與其所在的鏡頭容置座的外壁間的厚度范圍為0.5mm = D = 1.5mm。
[0068]接下來說明圖7與圖8A實施例的運作方式，由于在本實施例中具有兩對調(diào)整槽424c與424d，因此可以通過十字型調(diào)整治具與該兩對調(diào)整槽424c與424d相耦接，施以順時針或逆時針方向的轉(zhuǎn)動，使用者可以容易地控制該鏡頭容置座41在Z軸向上或向下移動。要說明的是在本實施例中，雖然有兩對調(diào)整槽424c與424d，但不以該兩對為限制，例如本領(lǐng)域的人可以根據(jù)本實施例的精神以一個或一對調(diào)整槽來實施。如果在一個或一對調(diào)整槽的情況下，使用者可以用一字型調(diào)整治具來與該一個或該一對調(diào)整槽耦接，進而轉(zhuǎn)動該鏡頭容置座41。此外，在另一實施例中也可以去除法蘭結(jié)構(gòu)402的設(shè)計。
[0069]請參閱圖8B所示，該圖是本發(fā)明的鏡頭調(diào)整機構(gòu)另一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調(diào)整機構(gòu)4d具有座體40d、一鏡頭容置座41d以及一位置調(diào)整部42d。在本實施例中，該座體40d、鏡頭容置座41d以及位置調(diào)整部42d的結(jié)構(gòu)基本上與圖8A的實施例類似，差異在于本實施例的鏡頭容置座41d的表面更分為第一區(qū)416以及一第二區(qū)417，其中該位置調(diào)整部42d具有復數(shù)個開槽428，其分別形成于鏡頭容置座41d在該第一區(qū)416的本體上，使該第一區(qū)416的鏡頭容置座41d形成復數(shù)個向外側(cè)撐開的螺牙咬合調(diào)整部418。因此，第一區(qū)416的第二螺牙421的外徑是由上方向下方逐漸縮小，而第二區(qū)417的第二螺牙421的外徑則是維持不變。
[0070]接下來說明圖8B實施例的運作方式，在本實施例中具有兩對調(diào)整槽424c與424d，其運作原理如前述圖8A的實施例所述，在此不作贅述。由于本實施例的鏡頭容置座41d上的第二螺牙421分成第一區(qū)416以及第二區(qū)417，以及第一區(qū)416的第二螺牙421外徑大于第二區(qū)417的第二螺牙421，因此當鏡頭容置座41d在一開始通過第二區(qū)417的第二螺牙421與第一螺牙420螺接鎖固時，隨著鏡頭容置座41d的下向移動，使得螺牙咬合調(diào)整部418 (第一區(qū)416)的第二螺牙421與該第一螺牙420螺接時，由于螺牙咬合調(diào)整部418原先是向外側(cè)撐開，因此隨著鏡頭容置座41d的向下移動，螺牙咬合調(diào)整部418會被第一通孔401所拘束而向鏡頭容置座41d的容置410的槽口內(nèi)被推擠，此時開槽428提供被推擠所需的緩沖空間，憑借推擠的作用使得每一個螺牙咬合調(diào)整部418也產(chǎn)生向外的推力作用于第一通孔401上，進而使得第二螺牙421可以與第一螺牙420緊密咬合，使得鏡頭容置座41d在上下移動時，可以避免螺牙之間的背隙誤差的影響，進而提升位置調(diào)整移動的精確度。
[0071]請參閱圖8C所示，該圖是本發(fā)明的鏡頭調(diào)整機構(gòu)另一實施例立體示意圖。在本實施例中，該鏡頭調(diào)整機構(gòu)4e具有座體40e、一鏡頭容置座41e以及一位置調(diào)整部42e。在本實施例中，該座體40e、鏡頭容置座41e以及位置調(diào)整部42e的結(jié)構(gòu)基本上與圖8A的實施例類似，差異在于本實施例的該位置調(diào)整部42e更具有一撓性環(huán)427，例如:0形環(huán)，但不以此為限，其套設(shè)于該鏡頭容置座41e上，位于該第二螺牙421的最上方。該撓性環(huán)427的外徑Dl可以大于或等于對應凹槽400的內(nèi)壁口徑D2，因此當該鏡頭容置座41e螺接于座體40e上時，該撓性環(huán)可以427可以卡在凹槽400內(nèi)壁而使該鏡頭容置座41e與該凹槽400相密接，而提升鏡頭容置座41e固定于該座體40e的效果。此外，要說明的是雖然圖SC顯示凹槽400的內(nèi)壁的口徑D2大于第一通孔401的口徑，但在另一實施例中，凹槽400的內(nèi)壁的口徑D2也可等于第一通孔401的口徑，本發(fā)明不以此為限，可視實際需求而定。
[0072]接下來說明圖8C實施例的運作方式，在本實施例中具有兩對調(diào)整槽424c與424d，其運作原理如前述圖8A的實施例所述，在此不作贅述。當?shù)诙菅?21與第一通孔401的第一螺牙420螺接，而將該鏡頭容置座41e憑借順時針轉(zhuǎn)動，使得鏡頭容置座41e在Z軸方向向下移動時，該撓性環(huán)427隨著鏡頭容置座41e向下移動而與該凹槽400的壁面相接觸。隨著鏡頭容置座41e繼續(xù)向下移動，撓性環(huán)427被該凹槽400壓縮變形而與凹槽400密接，被壓縮的撓性環(huán)427產(chǎn)生反向的彈力推擠凹槽400，使得鏡頭容置座41e與座體40e比未加裝撓性環(huán)427之前更為緊密接合。因此當在撓性環(huán)427與該凹槽400密接的狀態(tài)下，鏡頭容置座41e在上下移動時，通過撓性環(huán)427的作用，可以降低第一螺牙420與第二螺牙421背隙，減少鏡頭容置座41e的滑動，進而使得該鏡頭容置座41e在上下移動時的位置可以得到準確的控制。
[0073]另外要說明的是，雖然圖8A至圖8C所示的實施例中，該座體上僅具有單一個鏡頭調(diào)整機構(gòu)，但是實際上并不以圖示的態(tài)樣為限制，在其他的實施例中，可以根據(jù)需要以及本發(fā)明的精神在同一座體上設(shè)置復數(shù)個鏡頭調(diào)整機構(gòu)，(例如:圖9A、圖9B)。
[0074]再回到圖7所示，該探針固持結(jié)構(gòu)2可以選擇為圖2或者是圖5A的實施態(tài)樣。該探針固持結(jié)構(gòu)2憑借復數(shù)個固鎖元件32，例如螺絲，通過對應沉孔205而與對應的螺孔303相螺接，進而將該探針固持結(jié)構(gòu)2鎖固在座體40的第二容置槽406內(nèi)。在進行芯片測試時，可以憑借外部光源將光投射到待測芯片上，使得待測芯片產(chǎn)生電信號。與該待測芯片電性連接的復數(shù)個探針211接收電信號后，經(jīng)由延伸部2110將信號傳遞至電路板上的焊墊。電路板接收該電信號，并將該電信號傳遞至測試機進行電信號檢測。又鏡頭容置座41螺接在該第一通孔401內(nèi)，而第一通孔401又與探針固持結(jié)構(gòu)2的第二通孔200相對應，因此該鏡頭容置座41內(nèi)的鏡頭可以憑借該第二通孔200接收到光進而可以對待側(cè)物進行光學檢測。
[0075]前述圖7所示的座體40雖然為提供容置單一個探針固持結(jié)構(gòu)2，在另一實施例中，如圖9A與圖9B所示，該圖為本發(fā)明的探針固持結(jié)構(gòu)陣列示意圖。在圖9A與第9B的實施例中，探針固持結(jié)構(gòu)2以二維陣列的排列方式容置于座體40g內(nèi)。每一個探針固持結(jié)構(gòu)2可對應耦接有一鏡頭容置座。其中，在圖9A的實施例中，每一基板20上具有復數(shù)個排列成單一個門字形的固持模塊21 ;但是在圖9B中，單一基板20a上具有復數(shù)個排列成復數(shù)個門字形的固持模塊21，都是根據(jù)本發(fā)明的精神可以予以變化的實施態(tài)樣。
[0076]請參閱圖10所示,該圖是本發(fā)明的探針擺針方式示意圖。在圖9A與圖9B的固持模塊21與其所具有的復數(shù)個探針211的結(jié)構(gòu)下，探針的擺針方式屬于N型針的排列方式，每一探針211具有一延伸部2110與基板20垂直的方式來擺針。
[0077]以上說明對本發(fā)明而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但都將落入本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 一基板，其具有一通孔以及復數(shù)個設(shè)置在該通孔的周圍的槽體；以及 復數(shù)個固持模塊，其分別與該復數(shù)個槽體相連接，每一個固持模塊更具有: 一固定件，其與對應的槽體相連接；以及 復數(shù)個探針，其連接于該固定件上，且通過對應的槽體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的槽體，且每一個固持模塊容置于每一個槽體內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一探針具有: 一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體； 一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及 一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一探針具有: 一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體； 一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及 一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體相互連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的固定件結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的固定件結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針固持結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
12.一種光學檢測裝置，其特征在于，包括: 一鏡頭調(diào)整機構(gòu)，包括有: 一座體，其具有至少一第一通孔； 至少一鏡頭容置座，其分別容置于該至少一第一通孔內(nèi)，每一鏡頭容置座具有一容置槽，以提供容置一鏡頭；以及 至少一探針固持結(jié)構(gòu)，其設(shè)置于該座體的表面上，每一探針固持結(jié)構(gòu)其包括有: 一基板，其具有一第二通孔以及復數(shù)個設(shè)置在該第二通孔的周圍的槽體；以及復數(shù)個固持模塊，其分別與該復數(shù)個槽體相連接，每一個固持模塊更具有: 一固定件，其與對應的槽體相連接；以及 復數(shù)個探針，其連接于該固定件上，且通過對應的槽體。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的槽體，且每一個固持模塊容置于每一個槽體內(nèi)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中每一探針具有: 一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體； 一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及 一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中每一探針具有: 一延伸部，其抵靠于該固定件的一側(cè)面上，且通過對應的槽體； 一懸臂部，其與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及 一偵測部，其與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體相互連通。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的結(jié)構(gòu)。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個固定件相互連接形成一體的結(jié)構(gòu)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該復數(shù)個槽體是貫通該基板的貫穿槽，且該一體的固定件結(jié)構(gòu)連接在對應于相互連通的復數(shù)個槽體的基板表面上，每一探針通過該貫穿槽。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該一體的結(jié)構(gòu)是口字型或“門”字型結(jié)構(gòu)。
23.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其中該座體的表面更具有至少一第二容置槽，以分別提供容置該至少一探針固持結(jié)構(gòu)，該第一通孔貫通該容置槽而與對應的探針固持結(jié)構(gòu)所具有的該第二通孔相對應。
24.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學檢測裝置，其特征在于，其更包括有至少一位置調(diào)整部，其分別對應每一第一通孔以及每一鏡頭容置座且與該座體以及對應的鏡頭容置座相耦接，每一位置調(diào)整部使對應的該鏡頭容置座于對應的第一通孔內(nèi)進行一位置調(diào)整運動，其中每一鏡頭容置座于該容置槽的槽口外圍的頂面上更具有至少一調(diào)整槽設(shè)置于該容置槽的槽口外側(cè)，該位置調(diào)整部更具有: 一第一螺牙，其形成于該每一第一通孔的內(nèi)壁；一第二螺牙，其形成于該每一鏡頭容置座的表面以與該第一螺牙相螺接；以及一撓性環(huán)，其套設(shè)于該每一鏡頭容置座上，而對應該每一鏡頭容置座的第一通孔形成于一凹槽內(nèi)，該撓性環(huán)外徑大于等于對應凹槽內(nèi)壁的口徑，使該座體與該每一鏡頭容置座螺接時該撓性環(huán)被該凹 槽內(nèi)壁壓縮而密接。
【文檔編號】G01R1/04GK103543298SQ201310253458
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月13日
【發(fā)明者】張嘉泰, 蔡錦溢, 陳秋桂, 余陳志, 賴建彰, 楊金田, 楊惠彬, 張庚生, 黃韻如 申請人:旺矽科技股份有限公司