Ate測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法，該方法在ATE測(cè)試頭內(nèi)，在常規(guī)測(cè)試通道基礎(chǔ)上，對(duì)應(yīng)于每條測(cè)試通道分別增加一個(gè)獨(dú)立開關(guān)；在ATE負(fù)載板上，增加一個(gè)以上能與測(cè)量?jī)x器探頭掛接的采樣端子；所述獨(dú)立開關(guān)的一端通過信號(hào)線與對(duì)應(yīng)的測(cè)試通道連接，另一端通過信號(hào)線與采樣端子連接。本發(fā)明設(shè)計(jì)的ATE測(cè)試通道，利用開關(guān)的開/閉實(shí)現(xiàn)待測(cè)通道的選擇，使測(cè)量?jī)x器探頭能與負(fù)載板固定物理連接，從而大大提高了外接測(cè)量?jī)x器與測(cè)試通道建立連接、進(jìn)行測(cè)量的效率，降低了工程調(diào)試難度，并確保了負(fù)載板上通道信號(hào)的完整性和物理完整性。
【專利說明】ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路測(cè)試領(lǐng)域，特別是涉及一種ATE測(cè)試通道的設(shè)計(jì)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在使用ATE (自動(dòng)測(cè)試設(shè)備)進(jìn)行IC產(chǎn)品測(cè)試程序開發(fā)階段，經(jīng)常需要使用外接儀器，如示波器等，觀測(cè)特定測(cè)試通道的實(shí)際信號(hào)波形?，F(xiàn)有的方案是在ATE的load board(負(fù)載板)上為每一個(gè)測(cè)試通道預(yù)留一個(gè)監(jiān)測(cè)端點(diǎn)，當(dāng)需要觀測(cè)某特定測(cè)試通道波形時(shí)，再手動(dòng)將示波器探頭與特定通道對(duì)應(yīng)的測(cè)試端點(diǎn)連接后進(jìn)行測(cè)量。
[0003]如圖1所示，該圖顯示了 ATE測(cè)試通道的常見結(jié)構(gòu)，圖中的CHx (x為正整數(shù)，代表測(cè)試通道序號(hào)，下同)代指任意一個(gè)測(cè)試通道(channeI)，在ATE設(shè)備外，測(cè)試通道通過LoadBoard (負(fù)載板)與DUT (待測(cè)器件)相連。在ATE內(nèi)部，通過開關(guān)Klx，測(cè)試通道與測(cè)試比較電路及驅(qū)動(dòng)電路相連，實(shí)現(xiàn)測(cè)試信號(hào)的比較和驅(qū)動(dòng)。測(cè)試通道的另一個(gè)通路，是通過開關(guān)K2x,選擇使用ATE的PMU (Parameter Measurement Unit,參數(shù)測(cè)量單兀)對(duì)DUT進(jìn)行電參數(shù)的精確測(cè)量。上述的Klx、K2x開關(guān)與測(cè)試通道CHx具有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)聯(lián)性，開關(guān)的斷開/閉合可通過測(cè)試程序根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目的需要進(jìn)行控制，以達(dá)到特定測(cè)試目的。
[0004]上述設(shè)計(jì)為各通道的可外測(cè)性提供了可能，但是，在實(shí)際應(yīng)用中，示波器探頭與測(cè)試端點(diǎn)的連接存在困難，往往需要通過在測(cè)試端點(diǎn)上焊接一根導(dǎo)線進(jìn)行外引后，再與探頭連接才能實(shí)現(xiàn)，這樣就給實(shí)際應(yīng)用帶來極大不便，甚至?xí)绊慙oad board的功能和特性。在另一些ATE機(jī)臺(tái)，由于Load Board處于一個(gè)相對(duì)封閉機(jī)體環(huán)境中，還會(huì)導(dǎo)致通道引出連線無法實(shí)現(xiàn)，外部監(jiān)測(cè)通道的需求無法滿足。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法，它可以便捷地實(shí)現(xiàn)外接測(cè)量?jī)x器對(duì)ATE任意測(cè)試通道信號(hào)的有效監(jiān)測(cè)。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法，在ATE測(cè)試頭內(nèi)，在常規(guī)測(cè)試通道基礎(chǔ)上，對(duì)應(yīng)于每條測(cè)試通道分別增加一個(gè)獨(dú)立開關(guān)；在ATE負(fù)載板上，增加一個(gè)以上能與測(cè)量?jī)x器探頭掛接的采樣端子；所述獨(dú)立開關(guān)的一端通過信號(hào)線與對(duì)應(yīng)的測(cè)試通道連接，另一端通過信號(hào)線與采樣端子連接。
[0007]與ATE測(cè)試通道的現(xiàn)有設(shè)計(jì)方法相比，本發(fā)明的ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法具有以下優(yōu)點(diǎn)和有益效果:
[0008]1.測(cè)量?jī)x器探頭與Load Board的物理連接是固定的，即探頭只需要與Load Board上固定位置的外接采樣端子連接，待測(cè)測(cè)試通道的選擇完全通過ATE測(cè)試程序控制開關(guān)來實(shí)現(xiàn)，因此，不需要像傳統(tǒng)方法那樣隨待測(cè)通道的不同而頻繁變換物理連接，這樣就大大提高了外接測(cè)量?jī)x器與任意測(cè)試通道建立連接、進(jìn)行測(cè)量的效率，降低了工程調(diào)試難度，從而也提聞了相關(guān)的項(xiàng)目開發(fā)效率。
[0009]2.由于不需要像傳統(tǒng)方法那樣通過對(duì)Load Board上的測(cè)試通道進(jìn)行焊接連線來實(shí)現(xiàn)與外接探頭的連接，因此能夠避免由于外接測(cè)量而帶來的對(duì)Load Board上的通道信號(hào)完整性及物理完整性的破壞。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是ATE測(cè)試儀的測(cè)試通道的常見結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本發(fā)明實(shí)施例的ATE測(cè)試通道的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖3是圖2中的采樣端子的一種可行的形狀結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4是圖2中的采樣端子的另一可行的形狀結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖5是圖2中的采樣端子的安裝位置示意圖。
[0015]圖6是圖2結(jié)構(gòu)的ATE測(cè)試通道的測(cè)試方法示意圖。
[0016]圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例的ATE測(cè)試通道的結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]為對(duì)本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效有更具體的了解，現(xiàn)結(jié)合圖示的實(shí)施方式，詳述如下:
[0018]如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例設(shè)計(jì)的ATE測(cè)試通道，在ATE測(cè)試頭(Test Head)內(nèi)的常規(guī)測(cè)試通道CHx (X為正整數(shù)，代表測(cè)試通道序號(hào)，下同)的基礎(chǔ)上，對(duì)應(yīng)于每條測(cè)試通道分別增加了一個(gè)獨(dú)立于測(cè)試通道CHx的、可編程控制的開關(guān)K3x ;此外，在與測(cè)試頭連接的Load Board (負(fù)載板)上，設(shè)置了一個(gè)能夠與外接測(cè)量?jī)x器探頭掛接的外接采樣端子StrobeCH0
[0019]所述開關(guān)K3x—端與測(cè)試通道CHx通過信號(hào)線相連,另一端與Load Board上的外接采樣端子Strobe CH通過信號(hào)線相連，從而在測(cè)試通道與外接采樣端子間建立電信號(hào)連接。
[0020]所述外接采樣端子具有公用性，即多個(gè)測(cè)試通道可以通過開關(guān)的控制，分時(shí)與外接采樣端子建立電信號(hào)連接。采樣端子的外形可以設(shè)計(jì)為掛鉤或柱體狀等結(jié)構(gòu)，以方便與常規(guī)外接測(cè)量?jī)x器的探頭實(shí)現(xiàn)可靠的掛接。圖3和圖4列舉了采樣端子的兩種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。采樣端子的安裝位置，可以根據(jù)Load Board在測(cè)試頭上的實(shí)際空間布局，將采樣端子安裝在最便于操作人員從測(cè)試儀外部手動(dòng)接觸并將探頭與其掛接的位置。通常情況下，該位置位于Load Board的邊緣,如圖5所示。
[0021]在應(yīng)用時(shí)，當(dāng)需要觀測(cè)任一測(cè)試通道的信號(hào)時(shí)，只需要將外接測(cè)量?jī)x器掛接在公用的外接采樣端子Strobe CH上，然后通過測(cè)試程序，將欲觀測(cè)的對(duì)象測(cè)試通道關(guān)聯(lián)的K3閉合，將非對(duì)象測(cè)試通道關(guān)聯(lián)的K3斷開，便可建立外接測(cè)量?jī)x器與對(duì)象測(cè)試通道的唯一連接，實(shí)現(xiàn)外接測(cè)量?jī)x器對(duì)對(duì)象測(cè)試通道的測(cè)量訪問。例如，如圖6所示，要觀CH2測(cè)試通道的信號(hào)時(shí)，將CH2測(cè)試通道對(duì)應(yīng)的開關(guān)K32閉合，其他通道對(duì)應(yīng)的開關(guān)斷開，就可以建立外接測(cè)量?jī)x器與CH2測(cè)試通道的唯一連接。
[0022]上述ATE測(cè)試通道結(jié)構(gòu)僅是本發(fā)明的一種基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例，在此基礎(chǔ)上，可以適當(dāng)增加外接采樣端子的數(shù)量，以同時(shí)觀測(cè)多個(gè)測(cè)試通道。部分或全部測(cè)試通道可以共用一個(gè)或多個(gè)外接采樣端子。
[0023]在本發(fā)明的另一擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的實(shí)施例中，如圖7所示，ATE系統(tǒng)在Load Board上設(shè)置了兩個(gè)公用外接采樣端子，分別為Strobe CHl和Strobe CH2。外接測(cè)量?jī)x器分別通過Strobe CHl和Strobe CH2實(shí)現(xiàn)對(duì)兩個(gè)不同測(cè)試通道的同時(shí)測(cè)量訪問。例如，圖7中顯示了外接測(cè)量?jī)x器對(duì)測(cè)試通道CH3和CH6訪問的情形，通過ATE測(cè)試程序?qū)H3對(duì)應(yīng)的開關(guān)K33及CH6對(duì)應(yīng)的開關(guān)K36閉合，其他通道對(duì)應(yīng)的開關(guān)斷開，就可以實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量?jī)x器對(duì)CH3和CH6通道信號(hào)的同時(shí)訪問。
【權(quán)利要求】
1.ATE測(cè)試通道設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在ATE測(cè)試頭內(nèi)，在常規(guī)測(cè)試通道基礎(chǔ)上，對(duì)應(yīng)于每條測(cè)試通道分別增加一個(gè)獨(dú)立開關(guān)；在ATE負(fù)載板上，增加一個(gè)以上能與測(cè)量?jī)x器探頭掛接的采樣端子；所述獨(dú)立開關(guān)的一端通過信號(hào)線與對(duì)應(yīng)的測(cè)試通道連接，另一端通過信號(hào)線與采樣端子連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獨(dú)立開關(guān)的斷開和閉合通過ATE測(cè)試程序獨(dú)立控制。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述采樣端子的數(shù)量為2個(gè)以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，多條測(cè)試通道共用1個(gè)采樣端子，由獨(dú)立開關(guān)控制，分時(shí)與采樣端子建立電信號(hào)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述采樣端子的結(jié)構(gòu)包括掛鉤或柱體狀結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述采樣端子安裝在負(fù)載板的邊緣。
【文檔編號(hào)】G01R1/02GK104280572SQ201310292364
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2013年7月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月12日
【發(fā)明者】曾志敏 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司