外觀檢查裝置及外觀檢查方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及外觀檢查裝置及外觀檢查方法。通過準(zhǔn)確地拍攝工件來高精度地進(jìn)行對(duì)工件的外觀檢查。工件的外觀檢查裝置（20）對(duì)由多面體構(gòu)成、且具有引線（Wa、Wb、Wc、Wd）的工件（W）進(jìn)行外觀檢查。外觀檢查裝置（20）包括：吸附工件（W）并進(jìn)行輸送的輸送嘴（3）；對(duì)工件（W）照射照明光的照明機(jī)構(gòu)（L1、L2、L3、L4、L5、L5x、L5y、L6）；和工件（W）的拍攝機(jī)構(gòu)（N1、N2、N3、N4、N5、N6）。照明機(jī)構(gòu)（L5x）從工件（W）的與基準(zhǔn)面（Ws0）相反的一側(cè)對(duì)面（Ws4）從斜向照射光，照明機(jī)構(gòu)（L5y）從工件（W）的與基準(zhǔn)面（Ws0）相反的一側(cè)對(duì)面（Ws6）從斜向照射光。
【專利說明】外觀檢查裝置及外觀檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)具有引線的部件一邊輸送一邊對(duì)其拍攝來進(jìn)行外觀檢查的外觀檢查裝置及外觀檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]公知有如下的進(jìn)行外觀檢查的外觀檢查裝置:對(duì)由多個(gè)面形成的片形電子部件(以下記作工件)一邊輸送，一邊利用LED照明器等對(duì)工件的各面照射照明光，并利用照相機(jī)等進(jìn)行拍攝，通過圖像處理程序來判定所拍攝的圖像是否合格。在這樣的外觀檢查裝置中，在輸送工件時(shí)，希望盡量使作為拍攝對(duì)象的工件的各面露出。
[0003]作為實(shí)現(xiàn)這種外觀檢查裝置的機(jī)構(gòu)，公知有如下機(jī)構(gòu):例如通過輸送嘴對(duì)載置于臺(tái)上的工件的上面抽真空來吸附該面，使輸送嘴上升后再使其沿水平方向移動(dòng)。由此，如后所述，能夠?qū)Τ擞奢斔妥煳降拿嬉酝獾乃忻嬲丈湔彰鞴鈦磉M(jìn)行拍攝。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]但是，根據(jù)以往的外觀檢查裝置，雖然能對(duì)工件的各面進(jìn)行外觀檢查，但對(duì)設(shè)于工件的特定面的引線進(jìn)行可靠地檢查的技術(shù)尚未研發(fā)出來。
[0005]本發(fā)明是考慮到這些問題而做出的，其目的在于提供一種能夠?qū)τ谠O(shè)于工件的特定面的引線高精度地可靠地進(jìn)行外觀檢查的外觀檢查裝置及外觀檢查方法。
[0006]本發(fā)明提供一種外觀檢查裝置，對(duì)工件進(jìn)行外觀檢查，所述工件由具有基準(zhǔn)面的多面體構(gòu)成，所述基準(zhǔn)面包括第I邊和與第I邊相對(duì)的第2邊，在基準(zhǔn)面的第I邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第I邊平行的多個(gè)突起物，在基準(zhǔn)面的第2邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第2邊平行的多個(gè)突起物，所述外觀檢查裝置的特征在于，包括:輸送工件的輸送機(jī)構(gòu)；對(duì)工件照射照明光的照明機(jī)構(gòu)；和拍攝工件的突起物的拍攝機(jī)構(gòu)，照明機(jī)構(gòu)包括第I照明機(jī)構(gòu)和第2照明機(jī)構(gòu)，所述第I照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，所述第2照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，拍攝機(jī)構(gòu)包括第I拍攝機(jī)構(gòu)和第2拍攝機(jī)構(gòu)，所述第I拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第I邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝，所述第2拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第2邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝。
[0007]本發(fā)明的外觀檢查裝置中，突起物具有直線狀的引線。
[0008]本發(fā)明的外觀檢查裝置中，照明機(jī)構(gòu)還具有第3照明機(jī)構(gòu)和第4照明機(jī)構(gòu)，所述第3照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光，所述第4照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光。
[0009]本發(fā)明的外觀檢查裝置中，第I拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第3照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝，第2拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第4照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝。
[0010]本發(fā)明提供一種外觀檢查方法，對(duì)工件進(jìn)行外觀檢查，所述工件由具有基準(zhǔn)面的多面體構(gòu)成，所述基準(zhǔn)面包括第I邊和與第I邊相對(duì)的第2邊，在基準(zhǔn)面的第I邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第I邊平行的多個(gè)突起物，在基準(zhǔn)面的第2邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第2邊平行的多個(gè)突起物，所述外觀檢查方法的特征在于，包括:由輸送機(jī)構(gòu)輸送工件的輸送工序；由照明機(jī)構(gòu)對(duì)工件照射照明光的照明工序；和由拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)工件的突起物進(jìn)行拍攝的拍攝工序，照明機(jī)構(gòu)包括第I照明機(jī)構(gòu)和第2照明機(jī)構(gòu)，所述第I照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，所述第2照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，拍攝機(jī)構(gòu)包括第I拍攝機(jī)構(gòu)和第2拍攝機(jī)構(gòu)，所述第I拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第I邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝，所述第2拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第2邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝。
[0011 ] 本發(fā)明的外觀檢查方法中，突起物具有直線狀的引線。
[0012]本發(fā)明的外觀檢查方法中，照明機(jī)構(gòu)還具有第3照明機(jī)構(gòu)和第4照明機(jī)構(gòu)，所述第3照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光，所述第4照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光。
[0013]本發(fā)明的外觀檢查方法中，第I拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第3照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝，第2拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第4照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝。
[0014]如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過簡(jiǎn)單的照明方法，能夠?qū)ψ鳛榕臄z對(duì)象的突起物可靠地照射照明光，因此對(duì)工件的拍攝結(jié)果準(zhǔn)確，能夠提高對(duì)工件的外觀檢查的精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的外觀檢查裝置的俯視圖。
[0016]圖2是從圖1的箭頭J方向觀察應(yīng)用了本發(fā)明的第2外觀檢查部的示意圖。
[0017]圖3是圖2的工件的箭頭Jb方向的向視放大圖。
[0018]圖4 (a) (b)是表示應(yīng)用了本發(fā)明的對(duì)引線照射照明光的照射方法及引線的拍攝方法的圖。
[0019]圖5 (a) (b)是應(yīng)用了本發(fā)明的引線的外觀檢查的說明圖。
[0020]圖6是表示工件的立體圖。
[0021]圖7 (a) (b) (c)是圖6的工件的P1、P2、P3方向的向視圖。
[0022]圖8是表示工件的內(nèi)部電路的圖。
[0023]圖9是作為比較例的外觀檢查裝置的俯視圖。
[0024]圖10是圖9的旋轉(zhuǎn)圓板的箭頭B方向的向視圖。
[0025]圖11 (a) (b) (c) (d) (e) (f)是表示由線性送料器輸送工件、直到接著由輸送嘴吸附的說明圖。
[0026]圖12是圖11 Cd)的工件和輸送嘴的放大圖。
[0027]圖13 (a) (b) (c) (d)是表示LED照明器的例子的說明圖。
[0028]圖14是使用LED照明器的工件的拍攝方法的示意圖。
[0029]圖15是從箭頭H方向觀察圖1及圖9的第I外觀檢查部的示意圖。
[0030]圖16 (a) (b) (c)是工件方向變換部的動(dòng)作說明圖。[0031]圖17是從圖9的箭頭J方向觀察比較例的第2外觀檢查部的示意圖。
[0032]圖18 (a) (b)是表示工件的引線彎折的說明圖。
[0033]圖19 (a) (b) (c) (d)是表示工件的引線彎曲檢查的原理的說明圖。
[0034]圖20是比較例的引線彎曲了的工件的拍攝的說明圖。
[0035]圖2I (a) (b)是圖2O的拍攝圖像的說明圖。
[0036]圖22是比較例的姿勢(shì)發(fā)生了變化的工件的拍攝的說明圖。
[0037]圖23 (a) (b)是圖22的拍攝圖像的說明圖。
[0038]附圖標(biāo)記的說明
[0039]I 基臺(tái)，
[0040]2旋轉(zhuǎn)圓板，
[0041]3輸送嘴，
[0042]4線性送料器，
[0043]5分離載置臺(tái)，
[0044]6電特性測(cè)定部，
[0045]7第I外觀檢查部，
[0046]8工件方向變換部，
[0047]9第2外觀檢查部，
[0048]10不良工件排出部，
[0049]11合格品工件排出部，
[0050]20外觀檢查裝置，
[0051]90比較例的第2外觀檢查部，
[0052]100比較例的外觀檢查裝置，
[0053]LI, L2, L3, L4, L5, L5x, L5y, L6LED 照明器，
[0054]M 1，M 2，M 5，M 6 棱鏡，
[0055]NI，N2，N3，N4，N5，N6 照相機(jī)，
[0056]W 工件，
[0057]Wa、Wb、Wc、Wd 引線。
【具體實(shí)施方式】
[0058]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0059]首先，如圖1所示，外觀檢查裝置20包括:水平設(shè)置的基臺(tái)I ;沿水平方向配置在基臺(tái)I的垂直方向上方的旋轉(zhuǎn)圓板2 ;和以等間隔設(shè)置在旋轉(zhuǎn)圓板2的外周部的多個(gè)輸送嘴3。其中，由旋轉(zhuǎn)圓板2和輸送嘴3構(gòu)成輸送機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)圓板2與基臺(tái)I之間由中心軸2a連接，利用未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，使旋轉(zhuǎn)圓板2沿箭頭A (順時(shí)針)的方向繞中心軸2a間歇旋轉(zhuǎn)。
[0060]圖10表示旋轉(zhuǎn)圓板2的箭頭B方向的向視圖。如圖10所示，配置在旋轉(zhuǎn)圓板2的外周部的輸送嘴3，利用未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，在箭頭C及箭頭D的方向(垂直方向)自由升降。
[0061]此外，如后所述，輸送嘴3利用未圖示的抽真空機(jī)構(gòu)的作用，在其下端吸附工件W。在該狀態(tài)下，在圖1中旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，吸附于輸送嘴3下端的工件W被向箭頭A方向輸送。
[0062]在圖1中，在基臺(tái)I之上設(shè)置有通過振動(dòng)將工件W呈一列地向箭頭G方向輸送的線性送料器4。線性送料器4的終端點(diǎn)達(dá)到旋轉(zhuǎn)圓板2的外緣部，從該終端點(diǎn)觀察在旋轉(zhuǎn)圓板2的中心軸2a方向的位置設(shè)有逐個(gè)載置工件W的分離載置臺(tái)5。
[0063]從分離載置臺(tái)5沿旋轉(zhuǎn)圓板2的旋轉(zhuǎn)方向(箭頭A方向)、即工件W的輸送路徑，依次設(shè)有:測(cè)定工件W的電特性的電特性測(cè)定部6 ;進(jìn)行工件W的外觀檢查的第I外觀檢查部7 ;改變吸附于輸送嘴3下端的工件W的面的方向的工件方向變換部8 ;進(jìn)行工件W的外觀檢查的第2外觀檢查部9 ;將基于電特性的測(cè)定及外觀檢查的結(jié)果而判定為不良的工件排出的不良工件排出部10 ;和將基于電特性的測(cè)定及外觀檢查的結(jié)果而判定為合格品的工件排出的合格品工件排出部11。
[0064]在圖1中，用黑圓點(diǎn)表示在下端吸附有工件W的輸送嘴3，此外，用白圓點(diǎn)表示在下端未吸附工件W的輸送嘴3。在從分離載置臺(tái)5沿旋轉(zhuǎn)圓板2的旋轉(zhuǎn)方向(箭頭A方向)到合格品工件排出部11的范圍，輸送嘴3在下端吸附有工件W。此外，外觀檢查裝置20具有對(duì)構(gòu)成裝置的各部進(jìn)行控制的控制部12。
[0065]圖6示出工件W的立體圖。工件W具有:由多面體構(gòu)成的主體，該多面體由被非導(dǎo)電性的介電體覆蓋的多個(gè)面構(gòu)成；和作為從主體的一面即第I基準(zhǔn)面(也簡(jiǎn)單記作基準(zhǔn)面)WsO突出的突起物的直線狀的引線Wa、Wb、Wc、Wd。各引線Wa、Wb、Wc、Wd都是由導(dǎo)電性材料(例如銅等金屬)構(gòu)成。
[0066]構(gòu)成工件W的主體的各面中的、相鄰的面所成的角為大致直角。與第I基準(zhǔn)面WsO相鄰的4個(gè)面包括位于引線Wc、Wd側(cè)的第I面Wsl、位于引線Wa、Wb側(cè)的第3面Ws3、位于引線Wb、Wd側(cè)的第4面Ws4、位于引線Wa、Wc側(cè)的第6面Ws6。第I面Wsl與第3面Ws3相對(duì)，同樣，第4面Ws4與第6面Ws6相對(duì)。
[0067]此外，從與第I基準(zhǔn)面WsO相對(duì)的第5面Ws5朝向第I基準(zhǔn)面WsO地形成有凹部Wgo該凹部Wg貫穿第4面Ws4與第6面Ws6之間，由此，第5面Ws5被分割為面齊平的2個(gè)部分，即第5x面Ws5x和第5y面Ws5y。此外，將工件W以第I基準(zhǔn)面WsO朝上的方式從第6面Ws6側(cè)(圖6中的箭頭P2方向)觀察時(shí)的形狀為，凹部Wg朝向下方。形成凹部Wg的內(nèi)側(cè)的面Wgx、Wgy及第2面Ws2也均是與其相鄰的所有面呈大致直角。將從圖6中的箭頭P1、P2、P3的各方向觀察以上的各面所得的圖分別示于圖7 (a)、(b)、(c)。
[0068]如圖6及圖7所示，在作為第4面Ws4與第5x面Ws5x的邊界的邊及作為第4面Ws4與第5y面Ws5y的邊界的邊，沿傾斜方向?qū)嵤┪⑿〉那邢骷庸?，即?shí)施倒角做成Wsx、Wsy。由于工件W的形狀是對(duì)稱形狀，因此為了區(qū)別引線Wa、Wc與引線Wb、Wd而實(shí)施該倒角。
[0069]由于倒角Wsx、Wsy的面積與構(gòu)成工件W的各面的面積相比極小，因此第4面Ws4與第5x面Ws5x所成的角及第4面Ws4與第5y面Ws5y所成的角也可以說是大致直角。
[0070]圖8示出工件W的內(nèi)部電路。在圖6及圖7中，通過形成凹部Wg，從而在工件W形成2處突出部Wx、Wy。工件W的內(nèi)部電路被收納于這些突出部Wx、Wy內(nèi)。在圖8中，突出部Wx內(nèi)的電路包括發(fā)光二極管Dw，其陽極與引線Wa連接，陰極與引線Wb連接。此外，突出部Wy內(nèi)的電路包括光敏晶體管Qw，其集電極與引線Wc連接，發(fā)射極與引線Wd連接。而且，在圖6中在凹部Wg內(nèi)的相對(duì)的面Wgx與Wgy，設(shè)有未圖示的孔，突出部Wx內(nèi)的發(fā)光二極管Dw與突出部Wy內(nèi)的光敏晶體管Qw的基極隔著這些孔而相對(duì)。
[0071]由此，在圖8中，若在引線Wa與引線Wb之間施加電壓以使引線Wa的電位高于引線Wb的電位，則發(fā)光二極管Dw發(fā)光，該光WL經(jīng)由上述孔而傳遞到光敏晶體管Qw的基極，光敏晶體管Qw的集電極與發(fā)射極之間導(dǎo)通。即，若預(yù)先在引線Wc與引線Wd之間施加電壓以使引線Wc的電位高于引線Wd的電位，則電流從引線Wc流向引線Wd。此外，若有不透光的物體進(jìn)入凹部Wg內(nèi)，則即使發(fā)光二極管Dw發(fā)光，該光被物體遮擋而無法傳遞到光敏晶體管Qw的基極，光敏晶體管Qw的集電極與發(fā)射極之間不導(dǎo)通。即，該工件W可以作為檢測(cè)是否有物體進(jìn)入工件W的凹部Wg內(nèi)的傳感器來使用。關(guān)于具有這種功能的工件W，在市場(chǎng)上以光斷續(xù)器等名稱銷售。
[0072]接著，說明由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的外觀檢查裝置20的作用。在圖1中，工件W由線性送料器4輸送，并被輸送嘴3吸附。將從箭頭F方向觀察此時(shí)狀態(tài)而得的立體圖示于圖
11。在圖11 (a)中，工件W被供給到未圖示的零件送料器，借助由控制部12的控制的未圖示的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的作用，被轉(zhuǎn)移到線性送料器4，然后借助未圖示的排列機(jī)構(gòu)的作用而規(guī)整成面的方向都相同，在線性送料器4上成W0、W1、……的一列狀態(tài)，通過振動(dòng)沿箭頭G的方向輸送。
[0073]在該情況下，從圖1的箭頭F觀察到的工件W的面為第6面Ws6，且第I基準(zhǔn)面WsO朝上。此外，在分離載置臺(tái)5之上未載置工件W，輸送嘴3在分離載置臺(tái)5的上方離開、停止于初始位置。接著，在成一列狀態(tài)輸送的工件W0、W1、……的開頭的工件WO到達(dá)線性送料器4的終端點(diǎn)、即分離載置臺(tái)5的緊跟前位置時(shí)，如圖11 (b)所示，借助基于控制部12的控制的未圖示的分離載置機(jī)構(gòu)的作用，WO被從線性送料器4載置到分離載置臺(tái)5。此時(shí)，線性送料器4的振動(dòng)停止，線性送料器4上的后續(xù)工件Wl、W2、……不被輸送而保持停止?fàn)顟B(tài)。
[0074]接著，如圖11 (C)所示，借助基于控制部12的控制的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，輸送嘴3從初始位置向箭頭C的方向下降，在輸送嘴3的下端與載置于正下方的分離載置臺(tái)5上的工件WO的第I基準(zhǔn)面WsO抵接的位置停止。
[0075]然后，如圖11 (d)所示，沿箭頭E的方向進(jìn)行抽真空，工件WO的第I基準(zhǔn)面WsO被輸送嘴3的下端吸附。圖12示出此時(shí)的工件WO與輸送嘴3的放大圖。在圖12中，在輸送嘴3內(nèi)，形成有一端通過未圖示的開關(guān)與真空源連通的吸引通路3a，吸引通路3a的另一端在輸送嘴3的下端作為吸引孔3b而開口。
[0076]在圖11 (d)中，借助基于控制部12的控制的未圖示的開關(guān)的作用，吸引通路3a與真空源連通，向圖12的箭頭E方向進(jìn)行抽真空。由此，吸引孔3b吸附工件WO的第I基準(zhǔn)面WsO。
[0077]接著，如圖11 (e)所示，借助基于控制部12的控制的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，輸送嘴3向箭頭D方向上升，返回到初始位置并停止。此時(shí)，由于正在向箭頭E方向進(jìn)行抽真空，因此工件WO保持著被輸送嘴3吸附的狀態(tài)上升。然后，借助基于控制部12的控制的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，圖1所示的旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)。由此，如圖11(f)所示，吸附著工件WO的輸送嘴3向箭頭Al的方向旋轉(zhuǎn)，工件WO被輸送到圖9的電特性測(cè)定部6而停止。[0078]同時(shí)，未吸附工件W的輸送嘴3向箭頭A2的方向旋轉(zhuǎn)，到達(dá)分離載置臺(tái)5的正上方，如圖11 (a)所示那樣停止在初始位置。其后，重復(fù)圖11 (a)?(f)的動(dòng)作。
[0079]如此被輸送嘴3吸附的、圖1中的工件W (在圖11中為工件W0)被輸送到電特性測(cè)定部6而停止。接著，借助基于控制部12的控制的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，未圖示的電壓源及測(cè)定器與引線Wa、Wb、Wc、Wd連接，進(jìn)行圖8的突出部Wx內(nèi)的電路(發(fā)光二極管Dw)及突出部Wy內(nèi)的電路(光敏晶體管Qw)的電特性的測(cè)定。當(dāng)測(cè)定結(jié)束時(shí)，在圖1中，借助基于控制部12的控制的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)，工件W被輸送嘴3吸附并輸送到第I外觀檢查部7而停止。
[0080]接著，在第I外觀檢查部7進(jìn)行工件W的外觀檢查。關(guān)于外觀檢查的方法，以下詳細(xì)說明。工件W的外觀檢查是對(duì)主體的各面中的作為檢查對(duì)象的被檢查面的檢查及4根引線Wa、Wb、Wc、Wd的檢查。圖6及圖7中列舉了被檢查面，為第I面Wsl、第2面Ws2、第3面Ws3、第4面Ws4、第5面Ws5 (第5x面Ws5x和第5y面Ws5y)、第6面Ws6。這些被檢查面及4根引線的外觀檢查是通過如下這樣而進(jìn)行:對(duì)作為檢查對(duì)象的部位照射照明光，并利用照相機(jī)進(jìn)行拍攝而取得拍攝圖像，通過圖像處理程序判斷該拍攝圖像是否合格。
[0081]作為照明器慣常使用的有使用發(fā)光二極管的LED照明器。圖13示出其例子。圖13 (a)、(b)是以環(huán)狀照明器的名稱在市場(chǎng)上銷售的LED照明器的主視圖和側(cè)視圖。如圖13 (a)所示，LED照明器L是在中央部設(shè)置環(huán)狀空間LH而形成的框Lf內(nèi)，將許多發(fā)光二極管Le配置成多個(gè)(在此為2個(gè))的同心圓狀而形成。
[0082]此外，如圖13 (b)所示，各個(gè)發(fā)光二極管Le照射光的方向即光路Ra、Rb，相對(duì)于與空間LH的中心垂直的基準(zhǔn)線Lo，以很小的角α向基準(zhǔn)線Lo側(cè)傾斜。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)在基準(zhǔn)線Lo附近聚光的明亮的照明，因此被廣泛使用。
[0083]對(duì)于以同樣的結(jié)構(gòu)，以方型照明器的名稱在市場(chǎng)上銷售的LED照明器的例子，圖13 (c)、(d)分別示出其主視圖和側(cè)視圖。如圖13 (c)所示，LED照明器Lv是在中央部設(shè)有正方形空間LHv而形成的框Lfv內(nèi)，將許多發(fā)光二極管Le配置成多列(在此為2列)的正方形狀而形成。此外，如圖13 (d)所示，各個(gè)發(fā)光二極管Le照射光的方向即光路Rav、Rbv與上述的LED照明器L同樣，相對(duì)于與空間LH的中心垂直的基準(zhǔn)線Lo，以很小的角α向基準(zhǔn)線Lo側(cè)傾斜。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)在基準(zhǔn)線Lo附近聚光的明亮的照明，因此被廣泛使用。
[0084]作為示意圖，圖14示出使用LED照明器L的工件W的拍攝方法。在圖14中，工件W如圖11 (f)所示，被輸送嘴3吸附。此外，拍攝對(duì)象為工件W的第I面Wsl。
[0085]將LED照明器L配置在與作為拍攝對(duì)象面的第I面Wsl相對(duì)的成為工件主體外側(cè)的位置，將照明光如光路Ra、Rb那樣向第I面Wsl照射。并且，將作為拍攝機(jī)構(gòu)的照相機(jī)N配置在從工件W觀察比LED照明器L更遠(yuǎn)的位置，從照相機(jī)N穿過LED照明器L的中央部的空間LH，從與第I面Wsl相對(duì)的成為工件主體外側(cè)的方向，由拍攝路徑Np拍攝第I面Wsl。
[0086]由實(shí)現(xiàn)這樣的拍攝方法的多個(gè)LED照明器及照相機(jī)構(gòu)成圖1的第I外觀檢查部7。
[0087]如上所述，在圖1中載置于分離載置臺(tái)5上的工件W如圖11所示被輸送嘴3吸附后，通過圖1所示的旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A方向的間歇旋轉(zhuǎn)而被輸送，經(jīng)過電特性測(cè)定部6到達(dá)第I外觀檢查部7。
[0088]對(duì)于第I外觀檢查部7的結(jié)構(gòu)和拍攝工件W進(jìn)行外觀檢查的方法，在圖15示出從箭頭H方向觀察圖1的第I外觀檢查部7而得的示意圖來進(jìn)行說明。在圖15中，單點(diǎn)劃線所包圍的部分是第I外觀檢查部7。在此，如上所述，工件W的面的方向被規(guī)整為:從圖1的箭頭F觀察到的面為第6面Ws6、且第I基準(zhǔn)面WsO朝上。因此，對(duì)于如圖11 (e)那樣被輸送嘴3吸附的工件W，在圖1中旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向間歇旋轉(zhuǎn)而到達(dá)第I外觀檢查部7的時(shí)刻，圖1的箭頭Ha方向成為第I面Wsl (參照?qǐng)D15)。
[0089]在第I外觀檢查部7，被檢查面即作為拍攝對(duì)象的工件W的面是第I面Wsl、第2面Ws2、第3面Ws3o
[0090]在圖15中，在與第I面Wsl相對(duì)的成為工件W的主體外側(cè)的位置，與圖14同樣地配置有作為照明機(jī)構(gòu)的LED照明器LI和作為拍攝機(jī)構(gòu)的照相機(jī)NI，該LED照明器LI對(duì)第I面Wsl照射照明光Ral、Rbl，該照相機(jī)NI由拍攝路徑Nlp拍攝第I面WsI。
[0091]此外，在工件W的下側(cè)配置有作為照明機(jī)構(gòu)的LED照明器L2和作為拍攝機(jī)構(gòu)的照相機(jī)N2，所述LED照明器L2對(duì)第2面Ws2照射照明光Ra2、Rb2，所述照相機(jī)N2從與第2面Ws2相對(duì)的成為工件主體外側(cè)的方向，由拍攝路徑N2p拍攝第2面Ws2。
[0092]在此，與工件W的正下方的空間的大小、即圖1中的基臺(tái)I的上面與輸送嘴3的下端之間的空間的大小相比，照相機(jī)N2的體積非常大，因此，無法在工件W的正下方的空間配置照相機(jī)N2。
[0093]為此，在工件W的正下方位置、即與第2面Ws2相對(duì)的成為工件W的主體外側(cè)的位置僅配置LED照明器L2，照相機(jī)N2以與照相機(jī)NI沿同一方向并列的方式配置在照相機(jī)NI的大致正下方位置。與此對(duì)應(yīng)地，在第2面Ws2的正下方位置，用于將第2面Ws2和照相機(jī)N2的拍攝路徑N2p變換大致90°方向的直角棱鏡M 2配置在LED照明器L2的下側(cè)。
[0094]此外，在與第3面Ws3相對(duì)的成為工件W的主體外側(cè)的位置，配置有對(duì)第3面Ws3照射照明光Ra3、Rb3的作為照明機(jī)構(gòu)的LED照明器L3。并且，出于與照相機(jī)N2同樣的理由，由拍攝路徑N3p拍攝弟3面Ws3的作為拍攝機(jī)構(gòu)的照相機(jī)N3,在圖9中基臺(tái)I的內(nèi)部配置成朝向可拍攝上方的方向。與此對(duì)應(yīng)地，在與第3面Ws3相對(duì)的成為工件W的主體外側(cè)的位置，用于將第3面Ws3和照相機(jī)N3的拍攝路徑N3p變換大致90°方向的直角棱鏡M 3配置在LED照明器L3的右側(cè)。
[0095]以下記載通過具有以上結(jié)構(gòu)的第I外觀檢查部7來拍攝工件W的各面、進(jìn)行外觀檢查的順序。
[0096]在圖1中，當(dāng)被輸送嘴3吸附的工件W隨著旋轉(zhuǎn)圓板2的間歇旋轉(zhuǎn)而到達(dá)第I外觀檢查部7并停止時(shí)，利用控制部12的控制，在圖15中，LED照明器LI點(diǎn)亮，對(duì)第I面Wsl照射照明光Ral、Rbl。然后，照相機(jī)NI由拍攝路徑Nlp拍攝第I面Wsl。在這期間，LED照明器L2及L3滅燈，照相機(jī)N2及N3不動(dòng)作。
[0097]接著，利用圖1中的控制部12的控制，在圖15中，LED照明器LI滅燈，接著LED照明器L2點(diǎn)亮，對(duì)第2面Ws2照射照明光Ra2、Rb2。接著，照相機(jī)N2由拍攝路徑N2p拍攝第2面Ws2。在這期間，LED照明器LI及L3滅燈，照相機(jī)NI及N3不動(dòng)作。
[0098]接著，利用圖1中的控制部12的控制，在圖15中，LED照明器L2滅燈，接著LED照明器L3點(diǎn)亮，對(duì)第3面Ws3照射照明光Ra3、Rb3。接著，照相機(jī)N3由拍攝路徑N3p拍攝第3面Ws3。在這期間，LED照明器LI及L2滅燈，照相機(jī)NI及N2不動(dòng)作。
[0099]通過以上的順序，工件W的第I面Wsl、第2面Ws2、第3面Ws3被拍攝。
[0100]拍攝到的各面的圖像在圖1中的控制部12的控制下被傳送到未圖示的圖像處理機(jī)構(gòu)，由圖像處理程序判定是否合格，由此進(jìn)行外觀檢查。
[0101]如此，在第I外觀檢查部7中工件W的第I面Wsl、第2面Ws2、第3面Ws3的外觀檢查結(jié)束時(shí)，利用圖1的控制部12的控制，在圖15中，第I外觀檢查部7的LED照明器L1、L2、L3全部滅燈，照相機(jī)N1、N2、N3全部停止動(dòng)作。并且，在圖1中，旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A方向旋轉(zhuǎn)，被輸送嘴3吸附的工件W被朝向工件方向變換部8輸送。工件W到達(dá)工件方向變換部8時(shí)，利用控制部12的控制，進(jìn)行工件W的方向變換。
[0102]圖16 (a)示出在圖1中工件W到達(dá)工件方向變換部8而旋轉(zhuǎn)圓板2停止的狀態(tài)下的區(qū)域I的放大透視圖。對(duì)于被輸送嘴3吸附的工件W以下述朝向停止:從箭頭Ia的方向觀察旋轉(zhuǎn)圓板2的外方、即圖1的工件方向變換部8時(shí)，可看到第I面Wsl。在此，利用未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用，工件W經(jīng)過圖16 (b)如圖16 (c)所示，被方向變換為:從箭頭Ia的方向觀察旋轉(zhuǎn)圓板2的外方、S卩圖1中的工件方向變換部8時(shí)，可看到第4面Ws4的朝向。
[0103]這樣完成工件W的方向變換時(shí)，在圖1中利用控制部12的控制，旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)，被輸送嘴3吸附的工件W到達(dá)第2外觀檢查部9而停止。接著，利用控制部12的控制，對(duì)工件W的各面中的、除了在第I外觀檢查部7進(jìn)行過外觀檢查的面以外的面進(jìn)行外觀檢查。圖2示出從箭頭J的方向觀察第2外觀檢查部9而得的示意圖。如上所述，利用在圖1中工件方向變換部8的作用而變換了方向的工件W，在到達(dá)第2外觀檢查部9的時(shí)刻，從箭頭Ja的方向觀察時(shí)可看到第4面Ws4。在圖2中單點(diǎn)劃線所包圍的部分是第2外觀檢查部9。
[0104]由第2外觀檢查部9進(jìn)行外觀檢查的工件W的面即成為拍攝對(duì)象的被檢查面是第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6。在圖2中，關(guān)于作為對(duì)這些各面照射照明光的照明機(jī)構(gòu)的LED照明器L4、L5、L6及作為拍攝各面的拍攝機(jī)構(gòu)的照相機(jī)N4、N5、N6的配置，與圖15所示的第I外觀檢查部7的LED照明器L1、L2、L3及照相機(jī)N1、N2、N3同樣。此外，在圖2中，棱鏡M 5、M 6的配置也與圖15所示的第I外觀檢查部7的棱鏡M 2、M 3同樣。并且，在圖2中，拍攝第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6的順序也與圖15所示的第I外觀檢查部7的拍攝第I面Wsl、第2面Ws2、第3面Ws3的順序同樣。
[0105]在具有以上結(jié)構(gòu)的第2外觀檢查部9中，進(jìn)行對(duì)作為拍攝對(duì)象的所有面的拍攝及從第I基準(zhǔn)面WsO突出的4根引線Wa、Wb、Wc、Wd的拍攝，進(jìn)行這些各面及各引線的外觀檢查。在此，對(duì)引線Wa、Wb、Wc、Wd的外觀檢查的必要性理由進(jìn)行說明。
[0106]圖18 (a)是工件W的立體圖，跟前是第6面Ws6，上面是第I基準(zhǔn)面WsO。該工件W在圖1所示的外觀檢查裝置20中結(jié)束外觀檢查時(shí)，如后所述從外觀檢查裝置20排出。然后，安裝于未圖示的其他加工裝置，通過該裝置的作用，如圖18 (a)所示，引線Wa、Wb被朝向箭頭SI的朝向彎折，引線Wc、Wd被朝向箭頭S2的朝向彎折，如圖18 (b)所示，4根引線全部被加工成與第I基準(zhǔn)面WsO上接觸的狀態(tài)。為了容易進(jìn)行該加工，引線Wa、Wb、Wc、Wd形成為容易向圖18 (a)的箭頭S1、S2的方向彎折的薄板狀。但是，由于這樣形成為容易彎折的形狀，因此有時(shí)在工件W的輸送中，引線Wa、Wb、Wc、Wd在箭頭Rl、R2的方向受到某些力會(huì)稍微彎曲。若該彎曲的量超過預(yù)先設(shè)定的范圍，則無法安裝于加工裝置，因此在圖1的外觀檢查裝置20中，進(jìn)行拍攝引線Wa、Wb、Wc、Wd來檢查彎曲量的外觀檢查，將彎曲量為上述預(yù)先設(shè)定的范圍以下的工件W作為合格品而轉(zhuǎn)移到加工裝置。[0107]以下說明關(guān)于拍攝引線Wa、Wb、Wc、Wd來檢查彎曲量的外觀檢查的原理及順序。圖19 (a)示出如下時(shí)的圖像:在圖2所示的第2外觀檢查部9中，使LED照明器L4 (第3照明機(jī)構(gòu))點(diǎn)亮來對(duì)在第4面Ws4側(cè)并列的引線Wb、Wd (圖7 (a))這組照射照明光Ra4、Rb4，利用照相機(jī)N4 (弟I拍攝機(jī)構(gòu))由拍攝路徑N4p拍攝引線Wb、Wd這組。
[0108]在圖19 (a)的圖像中，為了檢查引線Wb的彎曲量，利用圖像處理程序的作用，在引線Wb周圍的一定范圍設(shè)定區(qū)域Tl。在圖19 (b)示出區(qū)域Tl的放大圖。區(qū)域Tl內(nèi)的圖像中，僅是被圖17的LED照明器L4的照明光照射的引線Wb為白色，背景為暗色。為了便于說明，在圖19 (a)、(b)的區(qū)域Tl畫網(wǎng)格線，用白色表示引線Wb。 [0109]接著，在圖19 (b)中，利用圖像處理程序的作用，定義與被該照明光照射而成為白色圖像的范圍(以后記作白色區(qū)域)外切的矩形(以后記作外切矩形)Wbx。在圖19 (b)中，用虛線表示外切矩形Wbx。然后，利用圖像處理程序的作用，測(cè)定外切矩形Wbx的橫寬Tbxl。在引線Wb沒有彎曲的情況下，外切矩形Wbx與引線Wb的外形大致一致，Tbxl的測(cè)定值與引線Wb的寬度大致一致。接著，說明引線Wb彎曲的情況。
[0110]圖19 (C)是在工件W的輸送中引線Wb受到箭頭Q3方向的力而彎曲了時(shí)的拍攝圖像。在圖19 (c)中，利用圖像處理程序的作用，設(shè)定與圖19 (a)相同的區(qū)域Tl。圖19(d)示出其放大圖。
[0111]在圖19 Cd)中，利用圖像處理程序的作用，對(duì)白色區(qū)域定義以虛線所示的外切矩形Wbxe。在此，比較圖19 (b)的外切矩形Wbx與圖19 (d)的外切矩形Wbxe可知，在圖19(d)中，由于引線Wb彎曲，因此白色區(qū)域傾斜，隨之外切矩形Wbxe的橫寬Tbx2變得比圖19(b)的外切矩形Wbx的橫寬Tbxl大。即，預(yù)先設(shè)定正實(shí)數(shù)ε作為區(qū)域Tl內(nèi)的白色區(qū)域的外切矩形的橫寬Tbx的標(biāo)準(zhǔn)值，在Tbx < ε時(shí)可以判定工件W為合格品。在此，ε是引線的彎曲量變大而變得無法將工件W安裝于加工裝置的臨界值。
[0112]這樣對(duì)引線Wb、Wd這組進(jìn)行外觀檢查，與此同樣地，在圖2所示的第2外觀檢查部9，使LED照明器L6 (第4照明機(jī)構(gòu))點(diǎn)亮而對(duì)在第6面Ws6側(cè)并列的引線Wa、Wc (圖7Ca?這組照射照明光Ra6、Rb6，利用照相機(jī)N6 (第2拍攝機(jī)構(gòu))由拍攝路徑N6p拍攝引線Wa, Wc這組，從而對(duì)引線Wa、Wc這組進(jìn)行外觀檢查。
[0113]另外，如圖2所示，第2外觀檢查部9還包括LED照明器L5x、L5y，該LED照明器L5x、L5y對(duì)稱地配置在設(shè)于工件W正下方的LED照明器L5的附近且從工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的側(cè)方移動(dòng)的位置。LED照明器L5x (第I照明機(jī)構(gòu))朝向工件W的第5面Ws5和第4面Ws4及引線Wa、Wb、Wc、Wd (圖7 (a))照射照明光R5x，LED照明器L5y (第2照明機(jī)構(gòu))朝向工件W的第5面Ws5和第6面Ws6及引線Wa、Wb、Wc、Wd (圖7 (a))照射照明光R5y。該照明光R5x照射圖7 Ca)的工件W的引線Wb、Wd，照明光R5y照射圖7 (a)的工件W的引線Wa、Wc。
[0114]以下詳細(xì)說明該照射方法。首先，使用圖3說明在工件W的第I基準(zhǔn)面WsO上的作為突起物的4根直線狀的引線Wa、Wb、Wc、Wd的配置。圖3表示在圖2的第2外觀檢查部9停止的工件W的箭頭Jb方向的向視放大圖。其中，未記載輸送嘴3。在圖3中，第I基準(zhǔn)面WsO為長(zhǎng)方形，具有2根對(duì)角線Dil、Di2。設(shè)該對(duì)角線Dil、Di2的交點(diǎn)為X0，由第I基準(zhǔn)面WsO和第4面Ws4形成的第I邊為邊Ed04，由第I基準(zhǔn)面WsO和第6面Ws6形成的第2邊為邊Ed06。邊Ed04與邊Ed06相對(duì)。此時(shí)，在對(duì)角線的交點(diǎn)XO與邊Ed04之間、即箭頭Xl所示的區(qū)域，呈與邊Ed04平行的列的方式配置2根引線Wb、W。
[0115]同樣，在對(duì)角線的交點(diǎn)XO與邊Ed06之間、即箭頭X2所示的區(qū)域，呈與邊Ed06平行的列的方式配置2根引線Wa、Wc。如此，與相對(duì)2個(gè)邊的各邊分別平行地各配置2根引線而構(gòu)成多個(gè)列，對(duì)于這樣的多列的引線Wa、Wb、Wc、Wd，使用圖2的LED照明器L5x、L5y照射照明光R5x、R5y進(jìn)行拍攝(參照?qǐng)D4 (a) (b))。
[0116]在此，圖4 Ca)示出從圖2的LED照明器L5x對(duì)引線Wb、Wd照射照明光R5x的狀況。標(biāo)記陰影的部分是照明光R5x。在圖2中配置LED照明器L5x的位置，是在圖4 (a)(b)中作為與第I基準(zhǔn)面WsO相對(duì)的第2基準(zhǔn)面的第5面Ws5側(cè)且從工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的側(cè)方移動(dòng)后的位置。
[0117]并且，朝向位于第I基準(zhǔn)面WsO的邊Ed04 (圖3)與第5面Ws5之間的作為第3基準(zhǔn)面的第4面Ws4及引線Wa、Wb、Wc、Wd (圖3)傾斜地照射照明光R5x。這樣照射照明光R5x，則如圖4 (a)所示，照明光R5x的一部分、具體而言為照明光R5x中的向第5面Ws5及第4面Ws4照射的范圍的照明光R5x0被工件W的主體遮擋。于是，僅是未被工件W的主體遮擋的范圍的照明光R5xl照射到作為拍攝對(duì)象的引線Wb、Wd。
[0118]在此，照明光R5xl從上述的方向照射，且如圖3所示，引線Wb、Wd配置成接近第4面Ws4的I列，引線Wa、Wc配置成同與第4面Ws4相對(duì)的第6面Ws6側(cè)接近的I列。因此，在圖4 (a)中，照明光R5xl照射了引線Wb、Wd后，僅是朝向第I基準(zhǔn)面WsO的上方照射，而不照射引線Wa、Wc。
[0119]S卩，照明光R5xl，僅對(duì)在圖3中由引線Wa、Wc及引線Wb、Wd分別構(gòu)成的2列中的、由引線Wb、Wd構(gòu)成的I列照射，未照射到由引線Wa、Wc構(gòu)成的I列。
[0120]在該狀態(tài)下，使用照相機(jī)N4，從與第4面Ws4相對(duì)的工件主體外側(cè)的方向由拍攝路徑N4p對(duì)構(gòu)成被照明光照射到的I列的引線Wb、Wd進(jìn)行拍攝。由此，僅是作為拍攝對(duì)象的引線Wb、Wd被拍攝，因此不會(huì)出現(xiàn)如后述的示出比較例的圖21或圖23那樣，不是拍攝對(duì)象的弓I線被拍攝而使外觀檢查的精度變差。
[0121]同樣，圖4 (b)示出從圖2的LED照明器L5y向引線Wa、Wc照射照明光R5y的狀況。標(biāo)記陰影的部分是照明光R5y。在圖2中配置LED照明器L5y的位置，是在圖4中與第I基準(zhǔn)面WsO相對(duì)的作為第2基準(zhǔn)面的第5面Ws5側(cè)且從工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的側(cè)方移動(dòng)后的位置。
[0122]并且，朝向位于第I基準(zhǔn)面WsO的邊Ed06 (圖3)與第5面Ws5之間的作為第3基準(zhǔn)面的第6面Ws6及引線Wa、Wb、Wc、Wd (圖3)傾斜地照射照明光R5y。這樣照射照明光R5y，則如圖4 (b)所示，照明光R5y的一部分、具體而言為照明光R5y中的向第5面Ws5及第6面Ws6照射的范圍的照明光R5y0被工件W的主體遮擋。于是，僅是未被工件W的主體遮擋的范圍的照明光R5yl照射到作為拍攝對(duì)象的引線Wa、Wc。
[0123]在此，照明光R5yl從上述的方向照射，且如圖3所示，引線Wa、Wc配置成接近第6面Ws6的I列，引線Wb、Wd配置成同與第6面Ws6相對(duì)的第4面Ws4側(cè)接近的I列。因此，在圖4 (b)中，照明光R5yl照射了引線Wa、Wc后，僅是朝向第I基準(zhǔn)面WsO的上方照射，而不照射引線Wb、W。
[0124]S卩，照明光R5yl僅對(duì)在圖3中由引線Wa、Wc及引線Wb、Wd分別構(gòu)成的2列中的、由引線Wa、Wc構(gòu)成的I列照射，未照射到由引線Wb、Wd構(gòu)成的I列。[0125]在該狀態(tài)下，使用照相機(jī)N6，從與第6面Ws6相對(duì)的工件主體外側(cè)的方向由拍攝路徑N6p對(duì)構(gòu)成被照明光照射到的I列的引線Wa、Wc進(jìn)行拍攝。由此，僅是作為拍攝對(duì)象的引線Wa、Wc被拍攝，因此不會(huì)出現(xiàn)不是拍攝對(duì)象的引線被拍攝而在外觀檢查中品質(zhì)管理數(shù)據(jù)錯(cuò)誤或引起誤判定的情況。即，能夠根據(jù)拍攝圖像，使用圖像處理程序正確地測(cè)定所拍攝的引線Wa、Wc有無彎曲。
[0126]例如，在對(duì)圖20所示的引線Wa彎曲了的工件W照射圖4 Ca)的照明光R5x并使用照相機(jī)N4由拍攝路徑N4p拍攝時(shí)的拍攝圖像如圖5 (a)所不。在圖5 (a)的拍攝圖像中，在由圖像處理程序設(shè)定的區(qū)域T1、T2，分別僅是拍攝到在圖4 Ca)被照明光R5x照射的引線Wb、Wd。因此，圖像處理程序能夠正確定義區(qū)域T1、T2中的白色區(qū)域的外切矩形，其結(jié)果，能夠正確測(cè)定外切矩形的橫寬，判定為引線Wb、Wd均未彎曲。
[0127]此外，同樣地使用圖4(a)的照明光R5x及照相機(jī)N4由拍攝路徑Mp對(duì)圖22所示那樣的存在后述的微小角度β的工件W進(jìn)行拍攝時(shí)的拍攝圖像如圖5 (b)所示。在該情況下，在區(qū)域Tl、T2內(nèi)，也是分別僅是拍攝到在圖4 (a)被照明光R5x照射的引線Wb、Wd。在該情況下，由于存在圖22的微小角度β，因此引線Wb、Wd被從斜向拍攝。
[0128]因此，引線Wb、Wd的寬度被拍攝得比圖5 (a)稍大，隨之白色區(qū)域的寬度也稍微變大，由圖像處理程序定義的外切矩形的橫寬比圖5 (a)稍大。但是，由于角度β微小，因此圖5 (b)的外切矩形的橫寬是與標(biāo)準(zhǔn)值ε相比足夠小的值，根據(jù)由圖像處理程序得出的外切矩形的橫寬的測(cè)定結(jié)果，可以正確地判定出引線Wb、Wd均不彎曲。
[0129]接著，詳細(xì)說明圖2所示的第2外觀檢查部9進(jìn)行工件W的各面及引線的外觀檢查的順序。
[0130]在圖1中，當(dāng)被輸送嘴3吸附的工件W隨著旋轉(zhuǎn)圓板2的間歇旋轉(zhuǎn)而到達(dá)第2外觀檢查部9并停止時(shí)，利用控制部12的控制，在圖2中LED照明器L4點(diǎn)亮，向第4面Ws4照射照明光Ra4、Rb4。并且，照相機(jī)N4從與第4面Ws4相對(duì)的成為工件外側(cè)的方向，由拍攝路徑Mp拍攝第4面Ws4。在這期間，LED照明器L5、L5x、L5y、L6滅燈，照相機(jī)N5及N6不動(dòng)作。接著，利用圖1的控制部12的控制，在圖2中LED照明器L4滅燈，接著，LED照明器L5點(diǎn)亮，向第5面Ws5照射照明光Ra5、Rb5。
[0131]然后，照相機(jī)N5從與第5面Ws5相對(duì)的成為工件外側(cè)的方向，由拍攝路徑N5p拍攝第5面Ws5。在這期間，LED照明器L4、L5x、L5y、L6滅燈，照相機(jī)N4及N6不動(dòng)作。
[0132]接著，利用圖1的控制部12的控制，在圖2中LED照明器L5滅燈，接著LED照明器L6點(diǎn)亮，向第6面Ws6照射照明光Ra6、Rb6。然后，照相機(jī)N6從與第6面Ws6相對(duì)的成為工件外側(cè)的方向，由拍攝路徑N6p拍攝第6面Ws6。在這期間，LED照明器L4、L5、L5x、L5y滅燈，照相機(jī)N4及N5不動(dòng)作。通過以上的順序，工件W的第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6被拍攝。
[0133]利用圖1的控制部12的控制，被拍攝到的各面的圖像被傳送到未圖示的圖像處理機(jī)構(gòu)，通過圖像處理程序判斷是否合格，由此進(jìn)行外觀檢查。
[0134]接著，利用圖1的控制部12的控制，在圖2中LED照明器L6滅燈，接著LED照明器L5x點(diǎn)亮，向在第4面Ws4側(cè)并列的引線Wb、Wd (圖7 (a))這組照射照明光R5x，拍攝了第4面Ws4的照相機(jī)N4由與第4面Ws4相同的拍攝路徑Mp拍攝引線Wb、Wd這組。在這期間，LED照明器L4、L5、L5y、L6滅燈，照相機(jī)N5及N6不動(dòng)作。[0135]接著，利用圖1的控制部12的控制，在圖2中LED照明器L5x滅燈，接著LED照明器L5y點(diǎn)亮，對(duì)在第6面Ws6側(cè)并列的引線Wa、Wc (圖7 (a))這組照射照明光R5y，拍攝了第6面Ws6的照相機(jī)N6由與第6面Ws6相同的拍攝路徑N6p拍攝引線Wa、Wc這組。在這期間，LED照明器L4、L5、L5x、L6滅燈，照相機(jī)N4及N5不動(dòng)作。通過以上的順序，工件W的引線Wb、Wd這組及引線Wa、Wc這組被拍攝。
[0136]利用圖1的控制部12的控制，被拍攝到的各引線這組的圖像被傳送到未圖示的圖像處理機(jī)構(gòu)，對(duì)引線Wb、Wd這組及引線Wa、Wc這組，通過上述的圖像處理程序的作用進(jìn)行外觀檢查。結(jié)果，對(duì)各引線的組進(jìn)行是否合格的判定。
[0137]如上所述，在本發(fā)明中照射到引線的照明，可以通過用簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)將2個(gè)市場(chǎng)上銷售的LED照明器固定而實(shí)現(xiàn)。此外，拍攝引線的照相機(jī)可以直接使用拍攝工件的面的照相機(jī)。此外，LED照明器的點(diǎn)亮/滅燈的控制也很簡(jiǎn)單。而且，利用工件的主體遮擋一部分照明光以避免照明光照射到不是拍攝對(duì)象的引線，不需另外設(shè)置遮擋用部件。因此，不會(huì)導(dǎo)致裝置的部件數(shù)量或尺寸的大幅度增加、價(jià)格的大幅度上升，就能夠提高外觀檢查的精度。
[0138]如上所述，工件W在圖1中被輸送嘴3吸附的狀態(tài)下，通過旋轉(zhuǎn)圓板2的間歇旋轉(zhuǎn)而被依次輸送到電特性測(cè)定部6、第I外觀檢查部7、工件方向變換部8、第2外觀檢查部9，在電特性測(cè)定部6進(jìn)行電特性的測(cè)定，在第I外觀檢查部7及第2外觀檢查部9對(duì)作為外觀檢查對(duì)象的被檢查面和4根引線進(jìn)行外觀檢查。另外，在上述說明中，在電特性測(cè)定部6、第I外觀檢查部7、第2外觀檢查部9，對(duì)所有工件W進(jìn)行電特性的測(cè)定及外觀檢查，但也可以基于電特性測(cè)定部6、第I外觀檢查部7、第2外觀檢查部9的測(cè)定結(jié)果或檢查結(jié)果，在各測(cè)定部或檢查部判定工件W是合格品還是不合格品，利用控制部12的控制，對(duì)判定為不合格品的工件W，不實(shí)施由配置在輸送路徑下游的檢查部進(jìn)行的檢查。在第2外觀檢查部9中工件W的外觀檢查結(jié)束時(shí)，在圖1中，利用控制部12的控制，旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)，工件W被排出到不良工件排出部10。工件W在不良工件排出部10停止時(shí)，利用控制部12的控制，在該工件W為合格品的情況下，工件W保持該狀態(tài)而旋轉(zhuǎn)圓板2向箭頭A的方向旋轉(zhuǎn)，工件W被輸送到合格品工件排出部11。此外，在該工件為不合格品的情況下，利用基于控制部12的控制的未圖示的開關(guān)的作用，圖12所示的輸送嘴3內(nèi)的吸引通路3a與真空源的連通被截?cái)?，箭頭E所示的抽真空被解除。
[0139]由此，由吸引孔3b對(duì)工件W (在圖12中為W0)的第I基準(zhǔn)面WsO的吸附被解除，工件W在重力作用下自然落下。在不良工件排出部10，在輸送嘴3的正下方位置開設(shè)有未圖示的排出孔，落下的工件W經(jīng)由該排出孔，向未圖示的不良工件排出箱導(dǎo)出。另一方面，關(guān)于在圖1中保持原樣通過了不良工件排出部10而輸送到合格品工件排出部11的合格品的工件W，若旋轉(zhuǎn)圓板2停止，則利用控制部12的控制，通過與在不良工件排出部10同樣的方法，向未圖示的合格品工件排出箱導(dǎo)出。在合格品工件排出部11，從所有輸送嘴3排出工件W，成為空閑狀態(tài)的輸送嘴3隨著旋轉(zhuǎn)圓板2的間歇旋轉(zhuǎn)而再次移動(dòng)到分離載置臺(tái)5的正上方位置，將載置于分離載置臺(tái)5上的下一工件W吸附。然后，重復(fù)上述的工件W的輸送、各種測(cè)定及檢查以及排出等。
[0140]接著圖9示出作為比較例的外觀檢查裝置100，外觀檢查裝置100包括圖17所示的第2外觀檢查部90。圖20示出在第2外觀檢查部90，從工件W的第I基準(zhǔn)面WsO (圖7
(a))側(cè)觀察對(duì)在工件W的第4面Ws4側(cè)并列的引線Wb、Wd (圖7 (a))這組進(jìn)行外觀檢查的狀況而得的圖。圖20所示的工件W為作為拍攝對(duì)象的引線Wb不彎曲、不是拍攝對(duì)象的引線Wa彎曲的狀態(tài)。此外，用單點(diǎn)劃線Z表示圖20的工件W的第I面Wsl的方向，單點(diǎn)劃線Z與拍攝路徑Mp大致平行。因此，不彎曲的2根引線Wd及Wc在基于拍攝路徑Mp的拍攝中被大致重疊地拍攝。另一方面，從照相機(jī)N4觀察位于比引線Wb更遠(yuǎn)的位置的引線Wa,其自身彎曲，因此，被LED照明器L4的照明光Ra4、Rb4照射，由此弓丨線Wa與引線Wb —起被拍攝到。圖21示出該拍攝圖像。圖21 (a)表示圖像整體，通過圖像處理程序的作用，在引線Wb、Wd周圍的一定范圍分別設(shè)定區(qū)域Tl、T2。圖21 (b)示出區(qū)域Tl、T2附近的放大圖。在圖21 (b)中，與圖19 (b)同樣，利用圖像處理程序定義對(duì)白色區(qū)域的外切矩形。此時(shí)，由于引線Wd和引線Wc都不彎曲，因此被大致重疊地拍攝，結(jié)果，在區(qū)域T2內(nèi)可看到作為拍攝對(duì)象的引線Wd，而大致看不到不是拍攝對(duì)象的引線Wb。
[0141]因此，區(qū)域T2內(nèi)的白色區(qū)域大致為引線Wd，外切矩形Wdx與引線Wd大致一致，Tdxl的測(cè)定值與引線Wd的寬度大致一致。與此相對(duì)，位于引線Wb背后的引線Wa彎曲，且由于該彎曲，圖20的照射光Ra4、Rb4也照射到引線Wa，因此在圖21 (b)中在區(qū)域Tl內(nèi)成為如下圖像:在作為拍攝對(duì)象的未彎曲的引線Wb的上端部附近的背后，可看到不是拍攝對(duì)象、且彎曲的引線Wa的上端部附近。S卩，區(qū)域Tl內(nèi)的白色區(qū)域由作為拍攝對(duì)象的引線Wb和不是拍攝對(duì)象的引線Wa這二者構(gòu)成，且由于引線Wa彎曲，因此所定義的外切矩形Wbax的橫寬Tbax2比引線Wb的橫寬大。因此，當(dāng)利用圖像處理程序的作用而測(cè)定外切矩形Wbax的橫寬Tbax2時(shí)，變得大于標(biāo)準(zhǔn)值ε，實(shí)際未彎曲的引線Wb被判斷為發(fā)生彎曲。這意味著品質(zhì)管理數(shù)據(jù)出現(xiàn)錯(cuò)誤。
[0142]圖22進(jìn)一步示出比較例的問題。如圖22所示，引線Wa、Wb、Wc、Wd均未彎曲的狀態(tài)的工件W被輸送嘴3吸附時(shí)的姿勢(shì)，相對(duì)于照相機(jī)N4的拍攝路徑Np4稍微傾斜。如圖22所示，與圖20相比，與照相機(jī)N4的拍攝路徑Np4平行的單點(diǎn)劃線Z和工件W的第I面Wsl所成的角不同。
[0143]在圖20中，單點(diǎn)劃線Z與第I面Wsl所成的角為0°，即但點(diǎn)劃線Z和第I面Wsl位于同一平面上。與此相對(duì)，在圖22中，第I面Wsl相對(duì)于單點(diǎn)劃線Z傾斜微小角度β。這樣產(chǎn)生角度β的原因在于，在圖9的工件方向變換部8，如圖16那樣使工件W旋轉(zhuǎn)90°時(shí)，有時(shí)旋轉(zhuǎn)角度產(chǎn)生微小誤差。由于傾斜該微小角度β，若由LED照明器L4將照明光Ra4、Rb4向引線Wb、Wd照射，利用使用照相機(jī)N4的拍攝路徑Np4進(jìn)行引線Wb、Wd的拍攝，則向未彎曲的引線Wb和Wa這二者照射照明光，結(jié)果，二者以一部分重疊的狀態(tài)并列地被拍攝。同樣，對(duì)未彎曲的引線Wd和Wc這二者照射照明光，結(jié)果，二者以一部分重疊的狀態(tài)并列地被拍攝。將該拍攝圖像不于圖23 (a) (b)。
[0144]圖23 (a)示出圖像整體，通過圖像處理程序的作用，在引線Wb、Wd周圍的一定范圍分別設(shè)定區(qū)域Tl、T2。圖23 (b)示出區(qū)域Tl、T2附近的放大圖。在圖23 (b)，與圖19
(b)同樣，利用圖像處理程序定義對(duì)白色區(qū)域的外切矩形。此時(shí)，引線Wb和引線Wa如上述那樣一起被照明光照射而以重疊的狀態(tài)并列地被拍攝到，因此區(qū)域Tl內(nèi)的白色區(qū)域由引線Wb和引線Wa這二者構(gòu)成，宛如I個(gè)寬度寬的引線。因此，所定義的外切矩形Wbax的橫寬Tbax3大于引線Wb的寬度，因此，利用圖像處理程序的作用測(cè)定外切矩形Wbax的橫寬Tbax3時(shí)，變得大于標(biāo)準(zhǔn)值ε，實(shí)際未彎曲的引線Wb被判斷為發(fā)生了彎曲。此外，Τ2的白色區(qū)域也同樣由引線Wd和引線Wc這二者構(gòu)成，宛如I個(gè)寬度寬的引線。因此，所定義的外切矩形Wdcx的橫寬Tdcx3大于引線Wd的寬度，因此利用圖像處理程序的作用而測(cè)定外切矩形Wdcx的橫寬Tdcx3時(shí)，變得大于標(biāo)準(zhǔn)值ε，實(shí)際未彎曲的引線Wb被判斷為發(fā)生了彎曲。這些判定都是誤判定。
[0145]在以上的說明中說明了在圖17的第2外觀檢查部90，由LED照明器L4對(duì)在第4面Ws4側(cè)并列的引線Wb、Wd (圖7 (a))這組照射照明光Ra4、Rb4，利用照相機(jī)N4由攝路徑N4p對(duì)引線Wb、Wd這組拍攝的情況，但在由LED照明器L6對(duì)在第6面Ws6側(cè)并列的作為拍攝對(duì)象的引線Wa、Wc (圖7 Ca))這組照射照明光Ra6、Rb6，并利用照相機(jī)N6由拍攝路徑N6p對(duì)引線Wa、Wc這組進(jìn)行拍攝的情況下，同樣對(duì)不是拍攝對(duì)象的引線的引線Wb、Wd也照射了照明光Ra6、Rb6，因此有時(shí)不是拍攝對(duì)象的引線被同時(shí)拍攝而產(chǎn)生同樣的問題。
[0146]與此相對(duì)，根據(jù)本發(fā)明，通過使用工件遮擋一部分照明光以避免對(duì)不是拍攝對(duì)象的引線照射照明光，從而能夠更加提高外觀檢查的精度。
【權(quán)利要求】
1.一種外觀檢查裝置，對(duì)工件進(jìn)行外觀檢查，所述工件由具有基準(zhǔn)面的多面體構(gòu)成，所述基準(zhǔn)面包括第I邊和與第I邊相對(duì)的第2邊，在基準(zhǔn)面的第I邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第I邊平行的多個(gè)突起物，在基準(zhǔn)面的第2邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第2邊平行的多個(gè)突起物，所述外觀檢查裝置的特征在于，包括: 輸送工件的輸送機(jī)構(gòu)； 對(duì)工件照射照明光的照明機(jī)構(gòu)；和 拍攝工件的突起物的拍攝機(jī)構(gòu)， 照明機(jī)構(gòu)包括第I照明機(jī)構(gòu)和第2照明機(jī)構(gòu)，所述第I照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，所述第2照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光， 拍攝機(jī)構(gòu)包括第I拍攝機(jī)構(gòu)和第2拍攝機(jī)構(gòu)，所述第I拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第I邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝，所述第2拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第2邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 突起物具有直線狀的引線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 照明機(jī)構(gòu)還具有第3照明機(jī)構(gòu)和第4照明機(jī)構(gòu)，所述第3照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光，所述第4照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述·的外觀檢查裝置，其特征在于， 第I拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第3照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝，第2拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第4照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝。
5.一種外觀檢查方法，對(duì)工件進(jìn)行外觀檢查，所述工件由具有基準(zhǔn)面的多面體構(gòu)成，所述基準(zhǔn)面包括第I邊和與第I邊相對(duì)的第2邊，在基準(zhǔn)面的第I邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第I邊平行的多個(gè)突起物，在基準(zhǔn)面的第2邊側(cè)的區(qū)域設(shè)有與第2邊平行的多個(gè)突起物，所述外觀檢查方法的特征在于，包括: 由輸送機(jī)構(gòu)輸送工件的輸送工序； 由照明機(jī)構(gòu)對(duì)工件照射照明光的照明工序；和 由拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)工件的突起物進(jìn)行拍攝的拍攝工序， 照明機(jī)構(gòu)包括第I照明機(jī)構(gòu)和第2照明機(jī)構(gòu)，所述第I照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光，所述第2照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從與基準(zhǔn)面相反的一側(cè)斜向地照射照明光， 拍攝機(jī)構(gòu)包括第I拍攝機(jī)構(gòu)和第2拍攝機(jī)構(gòu)，所述第I拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第I邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝，所述第2拍攝機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面及第2邊側(cè)的突起物進(jìn)行拍攝。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的外觀檢查方法，其特征在于， 突起物具有直線狀的引線。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的外觀檢查方法，其特征在于，照明機(jī)構(gòu)還具有第3照明機(jī)構(gòu)和第4照明機(jī)構(gòu)，所述第3照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光，所述第4照明機(jī)構(gòu)對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面，從正面照射照明光。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的外觀檢查方法，其特征在于， 第I拍攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第I邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第3照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝，第2拍 攝機(jī)構(gòu)還對(duì)包括基準(zhǔn)面的第2邊的與基準(zhǔn)面相鄰的面在由第4照明機(jī)構(gòu)進(jìn)行照射時(shí)進(jìn)行拍攝。
【文檔編號(hào)】G01N35/02GK103575739SQ201310306386
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月19日
【發(fā)明者】柴田祐二, 田中吉美 申請(qǐng)人:東京威爾斯股份有限公司