半導(dǎo)體檢查裝置以及半導(dǎo)體檢查方法
【專(zhuān)利摘要】半導(dǎo)體檢查裝置具備測(cè)試程序執(zhí)行部，依測(cè)試程序向被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供規(guī)定信號(hào)執(zhí)行測(cè)試程序；信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部，在測(cè)試程序的執(zhí)行中檢測(cè)被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域及穩(wěn)定區(qū)域；測(cè)試時(shí)間計(jì)算部，根據(jù)信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部檢測(cè)的不穩(wěn)定區(qū)域及穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算具有從不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)一部分期間的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間；測(cè)試程序修正部，使最佳測(cè)試時(shí)間反映于測(cè)試程序；信號(hào)波形取入部，根據(jù)測(cè)試程序修正部使最佳測(cè)試時(shí)間反映于測(cè)試程序后的測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間，取入被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)，測(cè)試程序執(zhí)行部再次執(zhí)行測(cè)試程序修正部反映最佳測(cè)試時(shí)間之后的測(cè)試程序。
【專(zhuān)利說(shuō)明】半導(dǎo)體檢查裝置以及半導(dǎo)體檢查方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)
[0002]本申請(qǐng)享有以日本專(zhuān)利申請(qǐng)2012-265063號(hào)(申請(qǐng)日:2012年12月4日)為基礎(chǔ)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)通過(guò)參照該基礎(chǔ)申請(qǐng)而包含基礎(chǔ)申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明的實(shí)施方式涉及依照測(cè)試程序進(jìn)行被測(cè)定對(duì)象元件的檢查的半導(dǎo)體檢查裝置以及半導(dǎo)體檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0004]在使用測(cè)試程序進(jìn)行半導(dǎo)體芯片的檢查的情況下，重要的是盡可能在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行檢查。從向半導(dǎo)體芯片的測(cè)試信號(hào)輸入引腳輸入測(cè)試信號(hào)起到信號(hào)輸出引腳的信號(hào)開(kāi)始發(fā)生變化為止需要某種程度的時(shí)間。另外，信號(hào)輸出引腳的信號(hào)不是立刻就變成所希望的信號(hào)電平，而是從信號(hào)開(kāi)始變化起，暫時(shí)信號(hào)電平變?yōu)椴环€(wěn)定的不穩(wěn)定區(qū)域，然后信號(hào)電平變?yōu)榉€(wěn)定的穩(wěn)定區(qū)域。
[0005]因此，以往對(duì)半導(dǎo)體芯片的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供測(cè)試信號(hào)，利用示波器等的計(jì)量器來(lái)測(cè)定信號(hào)輸出引腳的波形，分析該測(cè)定波形，檢測(cè)不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域，根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果設(shè)定信號(hào)的取入定時(shí)。該作業(yè)必須由操作者手工操作來(lái)進(jìn)行，花費(fèi)工夫。另外，該作業(yè)必須針對(duì)各信號(hào)輸出引腳的每個(gè)來(lái)進(jìn)行，所以存在引腳數(shù)越多，操作者的工夫花費(fèi)越多的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的實(shí)施方式提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)完成檢查的半導(dǎo)體檢查裝置以及半導(dǎo)體檢查方法。
[0007]實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體檢查裝置具備測(cè)試程序執(zhí)行部，依照測(cè)試程序向被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供規(guī)定的信號(hào)，執(zhí)行測(cè)試程序；信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部，在測(cè)試程序的執(zhí)行過(guò)程中，檢測(cè)被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域；測(cè)試時(shí)間計(jì)算部，根據(jù)由信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部檢測(cè)出的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算具有從不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)的一部分的期間為止的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間；測(cè)試程序修正部，使最佳測(cè)試時(shí)間反映于測(cè)試程序；以及信號(hào)波形取入部，根據(jù)由測(cè)試程序修正部使最佳測(cè)試時(shí)間反映于測(cè)試程序后的測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間，取入被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)，測(cè)試程序執(zhí)行部再次執(zhí)行由測(cè)試程序修正部反映了最佳測(cè)試時(shí)間之后的測(cè)試程序。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是表示一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體檢查裝置I的主要部分的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0009]圖2是表示包含圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I的檢查系統(tǒng)2概略結(jié)構(gòu)的圖。[0010]圖3是表示圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I的處理動(dòng)作的一個(gè)例子的流程圖。
[0011]圖4是表示信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的一個(gè)例子的信號(hào)波形圖。
[0012]圖5是表示測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13計(jì)算出的最佳測(cè)試時(shí)間的一個(gè)例子的圖。
[0013]圖6是表示測(cè)試程序的一個(gè)例子的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]以下，邊參照附圖邊說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0015]圖1是表示一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體檢查裝置I的主要部分的結(jié)構(gòu)的框圖，圖2是表示包含圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I的半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)2的概略結(jié)構(gòu)的圖。
[0016]圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I對(duì)被測(cè)定對(duì)象元件的各種電氣特性進(jìn)行檢查。
[0017]進(jìn)行檢查的電氣特性沒(méi)有特別限制，例如信號(hào)振幅、信號(hào)延遲延時(shí)間等的DC特性等。被測(cè)定對(duì)象元件的具體的種類(lèi)也沒(méi)有特別限制，例如除了二極管、雙極性晶體管、MOS晶體管等分立半導(dǎo)體元件之外，還有系統(tǒng)LS1、存儲(chǔ)器元件等。
[0018]首先，說(shuō)明圖2的半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)2的概要。圖2的半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)2具有與圖1相同的結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體檢查裝置1、計(jì)算機(jī)裝置3、頭盒(Head boxes) 4、輸送器5。
[0019]計(jì)算機(jī)裝置3既可以是通用的PC，也可以是工作站、迷你計(jì)算機(jī)等。計(jì)算機(jī)裝置3和半導(dǎo)體檢查裝置I通過(guò)多個(gè)纜線進(jìn)行連接。各纜線用來(lái)傳送檢查結(jié)果、測(cè)試程序等，既可以是進(jìn)行串行傳送的纜線，也可以是進(jìn)行并行傳送的纜線。另外，纜線的數(shù)量也沒(méi)有特別限制。
[0020]半導(dǎo)體檢查裝置I連接有例如多個(gè)頭盒4。各頭盒4連接有與被測(cè)定對(duì)象元件連接的測(cè)定纜線6。各測(cè)定纜線6與被測(cè)定對(duì)象元件的分別不同的測(cè)定引腳連接。各頭盒4由于能夠分別并行地進(jìn)行測(cè)定，所以能夠同時(shí)進(jìn)行一個(gè)被測(cè)定對(duì)象元件的多個(gè)測(cè)定引腳的信號(hào)波形測(cè)定。另外，將各頭盒4的測(cè)定纜線6分別與不同的被測(cè)定對(duì)象元件連接，還能夠同時(shí)進(jìn)行多個(gè)被測(cè)定對(duì)象元件的某個(gè)特定引腳的信號(hào)波形測(cè)定。
[0021]輸送器5進(jìn)行搬運(yùn)被測(cè)定對(duì)象元件的處理。在與頭盒4連接的測(cè)定纜線6的頂端部設(shè)置有用于載置被測(cè)定對(duì)象元件的插座(未圖示)，輸送器5進(jìn)行在各插座之間搬運(yùn)被測(cè)定對(duì)象元件的處理。
[0022]接下來(lái)，說(shuō)明圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I。圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I具備測(cè)試程序執(zhí)行部11、信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部12、測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13、測(cè)試程序修正部14、信號(hào)波形取入部15。
[0023]測(cè)試程序執(zhí)行部11依照測(cè)試程序向被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供規(guī)定的信號(hào)而執(zhí)行測(cè)試程序。另外，測(cè)試程序的生成既可以由半導(dǎo)體檢查裝置I進(jìn)行，也可以由計(jì)算機(jī)裝置3進(jìn)行。
[0024]信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部12在測(cè)試程序的執(zhí)行過(guò)程中，檢測(cè)被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域。這里，例如將信號(hào)輸出引腳的信號(hào)利用未圖示的A/D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并監(jiān)視該數(shù)字信號(hào)的信號(hào)電平發(fā)生變化的情況，檢測(cè)信號(hào)電平?jīng)]穩(wěn)定的不穩(wěn)定區(qū)域和在不穩(wěn)定區(qū)域之后信號(hào)電平穩(wěn)定的穩(wěn)定區(qū)域?；蛘?，也可以將如示波器那樣的信號(hào)波形計(jì)量器設(shè)置于半導(dǎo)體檢查裝置I內(nèi)，通過(guò)該信號(hào)波形計(jì)量器監(jiān)視信號(hào)輸出引腳的信號(hào)，檢測(cè)上述的不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域。[0025]測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13根據(jù)由信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部12檢測(cè)出的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算具有從不穩(wěn)定區(qū)域的期間起到之后的所述穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)的一部分的期間為止的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間。最佳測(cè)試時(shí)間是具有用于將例如信號(hào)輸出引腳的信號(hào)正常地取入的所需最小限度的時(shí)間寬度的期間。測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13在被測(cè)定對(duì)象元件具有多個(gè)信號(hào)輸出引腳的情況下，針對(duì)各引腳的每個(gè)計(jì)算最佳測(cè)試時(shí)間。
[0026]測(cè)試程序修正部14使最佳測(cè)試時(shí)間反應(yīng)在測(cè)試程序中。這里，進(jìn)行將測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間的值置換為最佳測(cè)試時(shí)間的處理。
[0027]信號(hào)波形取入部15根據(jù)在反映了最佳測(cè)試時(shí)間之后的測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間，取入被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)。更具體而言，信號(hào)波形取入部15在測(cè)試時(shí)間即將結(jié)束時(shí)刻之前，取入對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)。當(dāng)在測(cè)試程序中針對(duì)多個(gè)信號(hào)輸出引腳的每個(gè)記述了各自的測(cè)試時(shí)間的情況下，信號(hào)波形取入部15針對(duì)各信號(hào)輸出引腳的每個(gè)，根據(jù)對(duì)應(yīng)的測(cè)試時(shí)間進(jìn)行各信號(hào)的取入。
[0028]圖3是圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I的處理動(dòng)作的一個(gè)例子的流程圖。通過(guò)輸送器5將被測(cè)定對(duì)象元件搬運(yùn)來(lái)，在被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳上連接有頭盒4的測(cè)定纜線6時(shí)，圖1的半導(dǎo)體檢查裝置I開(kāi)始圖3的處理。
[0029]首先，測(cè)試程序執(zhí)行部11開(kāi)始測(cè)試程序(步驟SI)。由此，從被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳輸入規(guī)定的信號(hào)。
[0030]然后，信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部12監(jiān)視信號(hào)輸出引腳的信號(hào)，檢測(cè)信號(hào)電平開(kāi)始變化但信號(hào)電平尚未穩(wěn)定的不穩(wěn)定區(qū)域和其后的穩(wěn)定區(qū)域(步驟S2)。
[0031]然后，測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13根據(jù)在步驟S2中檢測(cè)出的不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算最佳測(cè)試時(shí)間(步驟S3)。
[0032]接著，測(cè)試程序修正部14將測(cè)試程序中原來(lái)記述的測(cè)試時(shí)間置換為在步驟S3中計(jì)算出的最佳測(cè)試時(shí)間(步驟S4)。
[0033]之后，測(cè)試程序執(zhí)行部11再次進(jìn)行測(cè)試程序，依照該測(cè)試程序在測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間即將結(jié)束之前、即從不穩(wěn)定區(qū)域向穩(wěn)定區(qū)域轉(zhuǎn)移了之后，由信號(hào)波形取入部15進(jìn)行信號(hào)輸出引腳的取入(步驟S5)。由信號(hào)波形取入部15取入的信號(hào)根據(jù)需要被送入計(jì)算機(jī)裝置3。
[0034]并且，也可以在步驟S5中再次執(zhí)行了測(cè)試程序之后，反復(fù)進(jìn)行步驟S2?S4的處理。由此，每次執(zhí)行測(cè)試程序，就進(jìn)行不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域的檢測(cè)，能夠?qū)⒆罴褱y(cè)試時(shí)間設(shè)定為精度更高的測(cè)試時(shí)間。
[0035]圖4是表示信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的一個(gè)例子的信號(hào)波形圖。在圖4的例子中，示出了在時(shí)刻tl為不穩(wěn)定區(qū)域，時(shí)刻t2?t3為穩(wěn)定區(qū)域的例子。在依照測(cè)試程序?qū)Ρ粶y(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供了規(guī)定的信號(hào)之后取入圖4的信號(hào)的情況下，如果在成為穩(wěn)定區(qū)域之后還沒(méi)取入，則無(wú)法實(shí)現(xiàn)正確的信號(hào)電平的測(cè)定。因而，以往如圖4所示那樣，從不穩(wěn)定區(qū)域到穩(wěn)定區(qū)域設(shè)定比較長(zhǎng)的測(cè)試時(shí)間，在測(cè)試時(shí)間即將結(jié)束之前取入了信號(hào)。相反，在本實(shí)施方式中，是以將測(cè)試時(shí)間盡量地設(shè)定得短為目標(biāo)。
[0036]另外，以往使用示波器等信號(hào)波形計(jì)量器，通過(guò)手工操作來(lái)測(cè)定信號(hào)輸出引腳的信號(hào)波形，檢測(cè)不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域，測(cè)試時(shí)間也通過(guò)手動(dòng)來(lái)設(shè)定。相反，在本實(shí)施方式中，信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部12自動(dòng)地檢測(cè)不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域，最佳測(cè)試時(shí)間也自動(dòng)地進(jìn)行設(shè)定。由此，即使在信號(hào)輸出引腳的數(shù)量多的情況下，也能迅速地設(shè)定各信號(hào)輸出引腳的最佳測(cè)試時(shí)間。
[0037]圖5示出測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13計(jì)算的最佳測(cè)試時(shí)間的一個(gè)例子。測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13設(shè)定從不穩(wěn)定區(qū)域的期間到穩(wěn)定區(qū)域的期間的最佳測(cè)試時(shí)間，使穩(wěn)定區(qū)域的期間盡可能地短。因此能夠?qū)⒆罴褱y(cè)試時(shí)間的期間縮短為所需最小限度。
[0038]圖6是示出測(cè)試程序的一個(gè)例子的圖。測(cè)試程序修正部14將在以前測(cè)試程序所記述的測(cè)試時(shí)間置換為由測(cè)試時(shí)間計(jì)算部13計(jì)算出的最佳測(cè)試時(shí)間。在圖6的例子中示出以前記述的測(cè)試時(shí)間為1.00ms，將其置換為最佳測(cè)試時(shí)間0.50ms的例子。
[0039]圖6的測(cè)試程序示出記述了一個(gè)測(cè)試時(shí)間的例子，但在記述了多個(gè)測(cè)試時(shí)間的情況下，對(duì)于這些測(cè)試時(shí)間都置換為最佳測(cè)試時(shí)間。
[0040]這樣，在本實(shí)施方式中，由于計(jì)算具有從被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域到穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)的一部分的期間為止的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間，并反映到測(cè)試程序中，所以對(duì)于被測(cè)定對(duì)象元件具有的信號(hào)輸出引腳的各個(gè)引腳能夠在所需最小限度的最佳測(cè)試時(shí)間內(nèi)取入各信號(hào)，能夠大幅縮短檢查時(shí)間。
[0041]另外，在本實(shí)施方式中，由于能夠使計(jì)算最佳測(cè)試時(shí)間的處理自動(dòng)化，所以可以不進(jìn)行使用示波器等信號(hào)波形計(jì)量器以手工操作來(lái)檢測(cè)不穩(wěn)定區(qū)域和穩(wěn)定區(qū)域，能夠減輕操作員的負(fù)擔(dān)。
[0042]在上述的實(shí)施方式中說(shuō)明的半導(dǎo)體檢查裝置I的至少一部分既可以用硬件來(lái)構(gòu)成也可以由軟件來(lái)構(gòu)成。在由軟件來(lái)構(gòu)成的情況下，將實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體檢查裝置I的至少一部分功能的程序收納在軟盤(pán)、CD-ROM等記錄介質(zhì)中，使計(jì)算機(jī)讀取并執(zhí)行。記錄介質(zhì)不限于磁盤(pán)、光盤(pán)等可裝卸的記錄介質(zhì)，還可以是硬盤(pán)裝置、存儲(chǔ)器等固定型記錄介質(zhì)。
[0043]另外，還可以將實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體檢查裝置I的至少一部分功能的程序經(jīng)由因特網(wǎng)等通信線路(還包含無(wú)線通信)分發(fā)。進(jìn)而對(duì)該程序進(jìn)行加密或者調(diào)制，在壓縮了的狀態(tài)下，經(jīng)由因特網(wǎng)等有線線路或無(wú)線線路來(lái)進(jìn)行分發(fā)，或者收納在記錄介質(zhì)中進(jìn)行分發(fā)。
[0044]說(shuō)明了本發(fā)明的一些實(shí)施方式，但是這些實(shí)施方式是作為例子而提出的，并不意圖限制發(fā)明范圍。這些新的實(shí)施方式能夠以其他各種形式來(lái)實(shí)施，在不脫離發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種省略、置換、變更。這些實(shí)施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍、要旨中，并且包含在與權(quán)利要求書(shū)記載的發(fā)明及其等同的范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體檢查裝置，具備: 測(cè)試程序執(zhí)行部，依照測(cè)試程序向被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供規(guī)定的信號(hào)，執(zhí)行所述測(cè)試程序； 信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部，在所述測(cè)試程序的執(zhí)行過(guò)程中，檢測(cè)被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域； 測(cè)試時(shí)間計(jì)算部，根據(jù)由所述信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部檢測(cè)出的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算具有從所述不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的所述穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)的一部分的期間為止的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間； 測(cè)試程序修正部，使所述最佳測(cè)試時(shí)間反映于所述測(cè)試程序；以及 信號(hào)波形取入部，根據(jù)將由所述測(cè)試程序修正部使所述最佳測(cè)試時(shí)間反映于所述測(cè)試程序后的所述測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間，取入被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)， 所述測(cè)試程序執(zhí)行部再次執(zhí)行由所述測(cè)試程序修正部反映了所述最佳測(cè)試時(shí)間之后的所述測(cè)試程序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述最佳測(cè)試時(shí)間是具有用于正常地取入所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的所需最小限度的時(shí)間寬度的期間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述測(cè)試程序修正部將所述測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間的值置換為所述最佳測(cè)試時(shí)間的值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述信號(hào)波形取入部在所述測(cè)試時(shí)間程序中記述的測(cè)試時(shí)間即將結(jié)束之前，取入對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述信號(hào)波形取入部在對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)從不穩(wěn)定區(qū)域轉(zhuǎn)移到穩(wěn)定區(qū)域之后，取入該信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 在具有多個(gè)所述信號(hào)輸出引腳的情況下，所述測(cè)試時(shí)間計(jì)算部針對(duì)多個(gè)所述信號(hào)輸出引腳的每個(gè)計(jì)算所述最佳測(cè)試時(shí)間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述不穩(wěn)定區(qū)域是對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的信號(hào)電平開(kāi)始變化但信號(hào)電平尚未穩(wěn)定的區(qū)域， 所謂所述穩(wěn)定區(qū)域是接著所述不穩(wěn)定區(qū)域的信號(hào)電平穩(wěn)定的區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢查裝置，其特征在于: 所述信號(hào)穩(wěn)定狀況檢測(cè)部每當(dāng)所述測(cè)試程序執(zhí)行部執(zhí)行所述測(cè)試程序時(shí)就檢測(cè)所述不穩(wěn)定區(qū)域以及所述穩(wěn)定區(qū)域。
9.一種半導(dǎo)體檢查方法，具有: 依照測(cè)試程序向被測(cè)定對(duì)象元件的測(cè)試信號(hào)輸入引腳提供規(guī)定的信號(hào)，執(zhí)行所述測(cè)試程序的步驟； 在所述測(cè)試程序的執(zhí)行過(guò)程中，檢測(cè)被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域的步驟； 根據(jù)檢測(cè)出的所述不穩(wěn)定區(qū)域以及穩(wěn)定區(qū)域，計(jì)算具有從所述不穩(wěn)定區(qū)域的期間到其后的所述穩(wěn)定區(qū)域的開(kāi)頭側(cè)的一部分的期間為止的時(shí)間寬度的最佳測(cè)試時(shí)間的步驟； 使所述最佳測(cè)試時(shí)間反映于所述測(cè)試程序的步驟； 根據(jù)將所述最佳測(cè)試時(shí)間反映于所述測(cè)試程序后的所述測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間，取入被測(cè)定對(duì)象元件的信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 所述最佳測(cè)試時(shí)間是具有用于正常地取入所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的所需最小限度的時(shí)間寬度的期間。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 在反應(yīng)于所述測(cè)試程序的步驟中，將所述測(cè)試程序中記述的測(cè)試時(shí)間的值置換為所述最佳測(cè)試時(shí)間的值。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 在取入所述信號(hào)的步驟中，在所述測(cè)試時(shí)間程序中記述的測(cè)試時(shí)間即將結(jié)束之前，取入對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 在取入所述信號(hào)的步驟中，在對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)從不穩(wěn)定區(qū)域轉(zhuǎn)移到穩(wěn)定區(qū)域之后，取 入該信號(hào)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 在計(jì)算所述最佳測(cè)試時(shí)間的步驟中，在具有多個(gè)所述信號(hào)輸出引腳的情況下，針對(duì)多個(gè)所述信號(hào)輸出引腳的每個(gè)計(jì)算所述最佳測(cè)試時(shí)間。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 所述不穩(wěn)定區(qū)域是對(duì)應(yīng)的所述信號(hào)輸出引腳的信號(hào)的信號(hào)電平開(kāi)始變化但信號(hào)電平尚未穩(wěn)定的區(qū)域， 所謂所述穩(wěn)定區(qū)域是接著所述不穩(wěn)定區(qū)域的信號(hào)電平穩(wěn)定的區(qū)域。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體檢查方法，其特征在于: 在檢測(cè)所述不穩(wěn)定區(qū)域以及所述穩(wěn)定區(qū)域的步驟中，每當(dāng)所述測(cè)試程序執(zhí)行部執(zhí)行所述測(cè)試程序時(shí)檢測(cè)所述不穩(wěn)定區(qū)域以及所述穩(wěn)定區(qū)域。
【文檔編號(hào)】G01R31/28GK103852703SQ201310374109
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年8月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月4日
【發(fā)明者】西薗正實(shí) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝