外觀檢查設(shè)備、外觀檢查方法以及程序的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了外觀檢查設(shè)備、外觀檢查方法以及程序。通過參考針對將由外觀檢查設(shè)備使用的多個測量工具中的特定測量工具而被設(shè)置為另一測量工具的測量區(qū)域的測量區(qū)域，來降低用戶的負(fù)擔(dān)。針對通過對無缺陷產(chǎn)品進(jìn)行成像而獲取的基礎(chǔ)圖像，設(shè)置作為諸如連接器尺寸檢查工具之類的第一測量工具的測量參考的參考點或搜索區(qū)域。接下來，用戶選擇執(zhí)行與第一測量工具分離的測量的諸如面積測量工具之類的第二測量工具。對于作為將被第二測量工具測量的區(qū)域的測量區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，在必要時調(diào)節(jié)并參考針對第一測量工具設(shè)置的參考點或搜索區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
【專利說明】外觀檢查設(shè)備、外觀檢查方法以及程序
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于通過對產(chǎn)品成像來檢查產(chǎn)品的外觀的外觀檢查設(shè)備、外觀檢查方法以及程序。
【背景技術(shù)】
[0002]通過對諸如連接器或半導(dǎo)體元件之類的產(chǎn)品的外觀成像并執(zhí)行圖案匹配(圖像識另O)來執(zhí)行所謂的產(chǎn)品外觀檢查。取決于產(chǎn)品的尺寸，產(chǎn)品可能不處于相機(jī)的成像范圍內(nèi)，并且通過連接這樣的產(chǎn)品的多個圖像來創(chuàng)建表示整個產(chǎn)品的圖像，以便對這樣的產(chǎn)品執(zhí)行外觀檢查(日本未審查專利公開N0.H06-167321和N0.H09-251536)。
[0003]為了確定作為外觀檢查的對象的產(chǎn)品(檢查對象)的質(zhì)量,必須將檢查對象的端子的端部或角部預(yù)設(shè)為參考點，或者將連接多個端子的直線設(shè)置為參考線。而且，需要針對具有100個引腳的連接器中的100個引腳的每一個，設(shè)置測量參數(shù)或質(zhì)量確定參數(shù)。由此，用戶的工作負(fù)擔(dān)也與引腳數(shù)量成比例地增大。
[0004]用于執(zhí)行外觀檢查的測量工具中包含測量引腳位置、測量引腳高度、或者測量引腳之間的距離或面積的多個不同類型的測量工具。在現(xiàn)有技術(shù)中，設(shè)置工作傾向于與測量工具的數(shù)量成比例地增加，這是因為檢測點或檢查區(qū)域和搜索區(qū)域是針對每個測量工具設(shè)置的。
[0005]另一方面，連接器中布置的多個引腳通常按照相同的形狀等距地布置。用戶需要通過在監(jiān)視器上與每個連接器引腳的位置相關(guān)聯(lián)地顯示各個連接器引腳來設(shè)置測量區(qū)域，或者與一個連接器引腳的位置相關(guān)聯(lián)地設(shè)置測量區(qū)域，以特定間隔移動該區(qū)域，并復(fù)制該區(qū)域。在前一種情況下，出現(xiàn)了復(fù)雜的重復(fù)性工作，從而用戶的負(fù)擔(dān)較重。在后一種情況下，出現(xiàn)了手動校正以等距復(fù)制的測量區(qū)域的工作，這是因為當(dāng)連接器引腳的位置存在差異時，連接器引腳之間的間隔不是固定的。針對每個測量工具，都出現(xiàn)了這種工作。
[0006]另一方面，如果可以在上述任意一種方法中設(shè)置針對多個測量工具中的連接器引腳位置測量工具的測量區(qū)域、并且另一測量工具可參考該位置測量工具的設(shè)置結(jié)果，則在多個測量工具中的用戶的工作負(fù)擔(dān)將總體地減小。例如，如果針對檢測引腳的尖端位置的引腳檢測工具設(shè)置每個引腳的測量區(qū)域、并且針對引腳檢測工具設(shè)置的每個引腳的測量區(qū)域進(jìn)行對于測量引腳之間的面積的面積測量工具的偏移布局，則面積測量工具的測量區(qū)域?qū)⑼ㄟ^簡單任務(wù)來設(shè)置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]由此，本發(fā)明的一個目的是提供一種設(shè)備和一種方法，其通過將針對將由外觀檢查設(shè)備使用的多個測量工具中的特定測量工具設(shè)置的測量區(qū)域看作為另一測量工具的測量區(qū)域，來降低用戶的負(fù)擔(dān)。
[0008]根據(jù)本發(fā)明，提供了一種外觀檢查設(shè)備，包括:
[0009]基礎(chǔ)圖像存儲部分，其存儲通過對具有在特定(或者固定)方向上排列的多個特征部分的檢查對象進(jìn)行成像而得到的基礎(chǔ)圖像；
[0010]顯示部分，其顯示所述基礎(chǔ)圖像；
[0011]位置檢測區(qū)域設(shè)置部分，其根據(jù)每個特征部分，對所述顯示部分上所顯示的基礎(chǔ)圖像設(shè)置用于檢測所述檢查對象的多個特征部分的位置的位置檢測區(qū)域；
[0012]測量工具選擇部分，其從用于執(zhí)行不同測量的多個測量工具中選擇用于測量所述檢查對象的測量工具；
[0013]測量區(qū)域設(shè)置部分，其根據(jù)所述位置檢測區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的位置檢測區(qū)域來設(shè)置測量區(qū)域，所述測量區(qū)域是將由所述測量工具選擇部分所選的測量工具測量的區(qū)域；以及
[0014]質(zhì)量確定部分，其根據(jù)所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的測量區(qū)域來執(zhí)行測量，并且根據(jù)測量結(jié)果來確定所述檢查對象是良好的還是有缺陷的，其中
[0015]所述顯示部分將所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的測量區(qū)域與所述基礎(chǔ)圖像一起顯不O
[0016]根據(jù)本發(fā)明，通過將針對將由外觀檢查設(shè)備使用的多個測量工具中的特定測量工具設(shè)置的測量區(qū)域看作為另一測量工具的測量區(qū)域，可降低用戶的負(fù)擔(dān)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是圖示出外觀檢查設(shè)備的輪廓的示意圖；
[0018]圖2是圖示出外觀檢查設(shè)備的硬件配置的示例的示圖；
[0019]圖3是圖示出外觀檢查處理的基本流程的流程圖；
[0020]圖4是圖示出設(shè)置參數(shù)時檢測對象、相機(jī)和照明設(shè)備之間的位置關(guān)系的示圖；
[0021]圖5是圖示出在將作為檢查對象的連接器劃分成三個分區(qū)之后利用前燈拍攝的圖像和利用后燈拍攝的圖像的不圖；
[0022]圖6是圖示出尺寸測量的示例的示圖；
[0023]圖7是圖示出與第二行的引腳相關(guān)的尺寸測量的示例的示圖；
[0024]圖8是圖示出獲取每個引腳的高度的方法的示圖；
[0025]圖9是圖示出其中針對第二行的每個引腳獲取引腳高度的示例的示圖；
[0026]圖10是圖示出用于設(shè)置成像操作的次數(shù)的對話框的示圖；
[0027]圖11是圖示出用于設(shè)置成像操作的次數(shù)的對話框的示圖；
[0028]圖12是圖示出可視地表示用戶設(shè)置的成像操作的次數(shù)的對話框的示圖；
[0029]圖13是圖示出利用鼠標(biāo)從表示多個圖像處理工具的類別的工具目錄中選擇連接器類別、并進(jìn)一步選擇連接器位置偏移校正作為圖像處理工具的示圖；
[0030]圖14是圖示出用于設(shè)置連接器位置偏移校正所需的參數(shù)的UI的示圖；
[0031]圖15是圖示出用于設(shè)置連接器位置偏移校正所需的參數(shù)的UI的示圖；
[0032]圖16是圖示出用于設(shè)置連接器位置偏移校正所需的參數(shù)的UI的示圖；
[0033]圖17是圖示出表示用于連接器位置偏移校正的設(shè)置已經(jīng)結(jié)束的Π的示例的示圖；
[0034]圖18是圖示出利用鼠標(biāo)從表示多個圖像處理工具類別的工具目錄中選擇連接器類別、并進(jìn)一步選擇連接器尺寸檢查工具作為圖像處理工具的示圖；[0035]圖19是圖示出在其上設(shè)置圖像連接點的設(shè)置屏幕的示圖；
[0036]圖20是圖示出引腳行檢測參數(shù)的設(shè)置屏幕的示圖；
[0037]圖21是圖示出引腳模型登記屏幕的示圖；
[0038]圖22是圖示出引腳檢測設(shè)置屏幕的示圖；
[0039]圖23是圖示出連接器的中間部分和右端部分中的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和參考點的設(shè)置屏幕的示圖；
[0040]圖24是圖示出連接器的中間部分和右端部分中的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和參考點的設(shè)置屏幕的示圖；
[0041]圖25是圖示出表示已經(jīng)完成了第一行的引腳模型的登記(引腳行檢測的設(shè)置)的屏幕的示圖；
[0042]圖26是圖示出其上執(zhí)行與連接器的端部檢測相關(guān)的設(shè)置操作的設(shè)置屏幕的示圖；
[0043]圖27是圖示出用于選擇作為端部檢測目標(biāo)的端部的選擇項的示圖；
[0044]圖28是圖示出用于端部檢測的搜索模型的登記屏幕的示圖；
[0045]圖29是圖示出搜索區(qū)域的設(shè)置屏幕的示圖；
[0046]圖30是圖示出用于端部檢測的搜索模型的登記屏幕的示圖；
[0047]圖31是圖示出搜索區(qū)域的設(shè)置屏幕的示圖；
[0048]圖32是圖示出參考點的指定屏幕的示圖；
[0049]圖33是圖示出參考點的指定屏幕的示圖；
[0050]圖34是圖示出表示已經(jīng)正常地設(shè)置了工件左端和右端的屏幕的示圖；
[0051]圖35是圖示出在其上設(shè)置參考線的設(shè)置屏幕的示圖；
[0052]圖36是圖示出參考線的指定方法的選擇項的示圖；
[0053]圖37是圖示出已經(jīng)從選擇項中指定項目“連接外殼兩端的線”作為參考線的屏幕的示圖；
[0054]圖38是圖示出在其上設(shè)置尺寸測量參數(shù)的主屏幕的示圖；
[0055]圖39是圖示出用于設(shè)置尺寸測量參數(shù)的項目選擇屏幕的示圖；
[0056]圖40是圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕的示圖；
[0057]圖41是圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕的示圖；
[0058]圖42是圖示出用于設(shè)置尺寸測量參數(shù)的項目選擇屏幕的示圖；
[0059]圖43是圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕的示圖；
[0060]圖44是圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕的示圖；
[0061]圖45是圖示出作為用于連接多個圖像的參考的標(biāo)記的示例的示圖；
[0062]圖46是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記的設(shè)置屏幕的示圖；
[0063]圖47是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記的設(shè)置屏幕的示圖；
[0064]圖48是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記的設(shè)置屏幕的示圖；[0065]圖49是圖不出基于標(biāo)記連接的如燈圖像和后燈圖像的不圖；
[0066]圖50是圖示出利用邊緣檢測的引腳檢測方法的示圖；
[0067]圖51是圖示出利用邊緣檢測的外殼檢測方法的示圖；
[0068]圖52是圖示出針對連接器尺寸檢查工具設(shè)置的多個參數(shù)的示圖；
[0069]圖53是圖示出用于面積測量工具(一種連接器外觀檢查工具)的參數(shù)設(shè)置屏幕的示例的示圖；
[0070]圖54A是圖示出霧醫(yī)的示例的示圖，圖54B是圖示出毛刺的示例的示圖；
[0071]圖55是圖示出用于復(fù)制、細(xì)調(diào)和將用于特定測量工具的參數(shù)設(shè)置為另一測量工具的參數(shù)的用戶界面的示例的示圖；
[0072]圖56是圖示出其中存在引腳缺失的連接器的示例的示圖；
[0073]圖57是圖示出無效區(qū)域設(shè)置屏幕的示例的示圖；
[0074]圖58是圖示出其中已經(jīng)在引腳缺失位置附近設(shè)置了測量區(qū)域的示例的示圖；
[0075]圖59是圖示出檢測點追蹤與搜索區(qū)域中心追蹤之間的差異的示圖；
[0076]圖60A是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的參考點來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域的示例的示圖，圖60B是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域中心來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域的示例的示圖；
[0077]圖61A是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳缺失的連接器的連接器尺寸檢查工具的參考點來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域的示例的示圖，圖61B是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域中心來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域的示例的示圖；
[0078]圖62是外觀檢查設(shè)備的功能框圖；
[0079]圖63是圖示出根據(jù)本實施例的外觀檢查方法的流程圖；以及
[0080]圖64是圖示出測量區(qū)域設(shè)置方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0081]下面將描述本發(fā)明的實施例。下文描述的每個實施例將有助于理解本發(fā)明的諸如總體構(gòu)思、中級構(gòu)思和從屬構(gòu)思之類的各種構(gòu)思。而且，本發(fā)明的技術(shù)范圍由權(quán)利要求的范圍決定，而不限于下文描述的每個實施例。
[0082]圖1是圖示出外觀檢查設(shè)備I的輪廓的示意圖。外觀檢查設(shè)備I包括控制器2、可編程邏輯控制器(PLC) 3、相機(jī)4、照明設(shè)備5 (前燈51和后燈52)、鼠標(biāo)9、監(jiān)視器10以及程序創(chuàng)建支持設(shè)備11。由PLC3控制的諸如傳送帶之類的傳送設(shè)備7傳送檢查對象8，相機(jī)4對由諸如前燈51或后燈52之類的照明設(shè)備所照亮的檢查對象8進(jìn)行成像。根據(jù)來自PLC3的命令，例如，控制器2切換用于對檢查對象8進(jìn)行照明的照明設(shè)備，或者使相機(jī)4執(zhí)行成像。對于相機(jī)4，前端相機(jī)4a安裝在檢查對象8的傳送方向上的左側(cè)，后端相機(jī)4b安裝在右側(cè)。在對檢查對象8的傳送方向上的右側(cè)進(jìn)行檢查時使用后端相機(jī)4b。下文中，除非特別說明，否則前端相機(jī)4a將被描述為相機(jī)4。在此，雖然在示例中采用了兩個相機(jī)，但是相機(jī)的數(shù)量可以是3個、4個或者更多。當(dāng)然，也可以使用一個相機(jī)。根據(jù)檢查對象或外觀檢查的類型來確定相機(jī)的數(shù)量。例如，兩個相機(jī)被用來從安裝在連接器的兩側(cè)的多個引腳的接地表面(共面)觀測懸浮引腳，這是因為必須從連接器的兩側(cè)對引腳成像。而且，需要第三相機(jī)對連接器的上表面成像。
[0083]控制器2執(zhí)行根據(jù)檢查對象(工件)8的圖像進(jìn)行的諸如邊緣檢測或面積計算之類的各類測量處理。利用從相機(jī)4獲取的圖像數(shù)據(jù)來執(zhí)行圖像處理，并且向諸如外部連接的PLC3之類的控制設(shè)備輸出確定信號，作為表示檢查對象8的質(zhì)量等的確定結(jié)果的信號。
[0084]相機(jī)4包括具有對檢查對象8成像的圖像傳感器的相機(jī)模塊。對于圖像傳感器，例如，可以使用互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體器件(CMOS)或電荷耦合器件(CXD)。根據(jù)從PLC3輸入的控制信號(例如，定義從相機(jī)4接收圖像數(shù)據(jù)的定時的成像觸發(fā)信號)對檢查對象8成像。
[0085]監(jiān)視器10是顯示設(shè)備，例如液晶面板或者自發(fā)光面板。通過對檢查對象8成像獲取的圖像或者利用其圖像數(shù)據(jù)的測量處理的結(jié)果被顯示出來。監(jiān)視器10可顯示將被用來創(chuàng)建用于圖案匹配的對比數(shù)據(jù)(模型圖像)的諸如參考圖像之類的從無缺陷產(chǎn)品獲取的圖像。
[0086]鼠標(biāo)9是允許用戶在監(jiān)視器10上執(zhí)行各種操作的輸入設(shè)備(如果監(jiān)視器10是觸摸面板，則可省略)。鼠標(biāo)9在監(jiān)視器10上選擇每個菜單項或設(shè)置參數(shù)值。鼠標(biāo)9是點擊設(shè)備的一個示例。通過查看監(jiān)視器10，用戶可以在控制器2運行的同時檢查操作狀態(tài)。此夕卜，用戶在查看監(jiān)視器10的同時，在必要時可通過操作鼠標(biāo)9執(zhí)行各種設(shè)置或各種編輯。
[0087]照明設(shè)備5是對檢查對象8進(jìn)行照明的設(shè)備。在圖1中，圖示了前燈51以及后燈52。此外，對于照明設(shè)備5，可以采用執(zhí)行諸如用于增強(qiáng)光澤的同軸落射光照明、用于突顯劃痕或凹陷邊緣的低角度照明、用于照射背光的背光照明、將被用作后燈52的表面照明(用于從前燈51的相對側(cè)提供照明并觀察檢查對象的透射光或陰影的透射照明)、用于在所有方向上照射漫射光的天棚照明之類的各種照明的照明設(shè)備。具體地說，同軸落射光照明是一種基本上均勻地照亮整個視野的照明技術(shù)，其具有的優(yōu)勢在于，通過按照V形來布置相機(jī)4和照明設(shè)備5，可以獲得基本上與從檢查對象8接收常規(guī)反射光的照明技術(shù)相同的效果。此外，低角度照明是一種按照例如環(huán)形布置諸如發(fā)光二極管(LED)之類的泛光燈組件并在所有圓周方向上以淺角向檢查對象8的表面照射光的照明技術(shù)。照射至檢查對象8的表面的光沒有在相機(jī)4的方向上反射，僅僅被凹陷或劃痕的邊緣部分反射的光被接收。即，由于照射角度是一個非常淺的角度，光面中的反射很弱，只有在檢查對象8上的輕微劃痕或邊緣中才能獲得強(qiáng)反射，可以獲得清楚的對比。換言之，前燈51是用于提取檢查對象8的表面的特征(紋理、邊緣等)的照明燈，后燈52是用于提取檢查對象8的輪廓(或邊緣部分)的照明燈。
[0088]程序創(chuàng)建支持設(shè)備11是用于創(chuàng)建將被控制器2執(zhí)行的控制程序的計算機(jī)(個人計算機(jī)(PC))?？刂瞥绦蚓哂卸鄠€測量處理模塊，每個測量處理模塊執(zhí)行下文將要描述的與外觀檢查相關(guān)的不同的測量?？刂破?按照設(shè)置的順序調(diào)用并執(zhí)行各種測量處理模塊。程序創(chuàng)建支持設(shè)備11和控制器2經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)連接?？刂瞥绦蚧蛑T如在程序創(chuàng)建支持設(shè)備11上產(chǎn)生的參數(shù)值之類的設(shè)置信息被傳輸至控制器2。此外，另一方面，可從控制器2接收控制程序或諸如參數(shù)值之類的設(shè)置信息，并在程序創(chuàng)建支持設(shè)備11上進(jìn)行編輯。
[0089]在工廠里，多個檢查對象8在諸如傳送器之類的傳送設(shè)備7的線路上流轉(zhuǎn)。安裝在檢查對象8上方(或側(cè)邊，或下方)的相機(jī)4對檢查對象8進(jìn)行成像，控制器2比較拍攝的圖像與參考圖像(例如，通過對無缺陷產(chǎn)品成像獲取的圖像)或根據(jù)參考圖像創(chuàng)建的模型圖像，并確定檢查對象8上是否存在劃痕或缺陷。當(dāng)確定檢查對象8中存在劃痕、缺陷等時，作出否定(NG)確定。另一方面，當(dāng)確定檢查對象8中不存在劃痕、缺陷等時，作出肯定(OK)確定。因此，外觀檢查設(shè)備I利用通過對檢查對象8成像獲取的圖像來執(zhí)行對檢查對象8的外觀的質(zhì)量確定。
[0090]在對檢查對象8的外觀進(jìn)行檢查時，必須設(shè)置將在檢查中使用的參數(shù)的內(nèi)容(參數(shù)值等)。例如，參數(shù)包括定義諸如快門速度之類的成像條件、定義諸如照明強(qiáng)度之類的照明條件的照明參數(shù)、定義表示將被執(zhí)行的檢查的類型的檢查條件的測量處理參數(shù)(所謂的檢查參數(shù))之類的成像參數(shù)等。在外觀檢查設(shè)備I中，在作出質(zhì)量確定之前設(shè)置各種參數(shù)的內(nèi)容。
[0091]外觀檢查設(shè)備I具有其中實際地執(zhí)行在傳送設(shè)備7的線路上不停流轉(zhuǎn)的檢查對象8的外觀檢查的模式(即，其中實際地執(zhí)行檢查對象8的質(zhì)量確定的操作模式(運行模式))以及其中設(shè)置了檢查中將使用的各種參數(shù)的內(nèi)容的設(shè)置模式(非運行模式)，以及用于執(zhí)行在模式間的切換的模式切換設(shè)備。在操作模式下針對在傳送設(shè)備7的線路上流轉(zhuǎn)的多個檢查對象8重復(fù)執(zhí)行質(zhì)量確定之前，用戶設(shè)置(調(diào)節(jié))設(shè)置模式下的各種參數(shù)的最佳參數(shù)值?；旧希槍Ω鞣N參數(shù)設(shè)置缺省值，并且當(dāng)缺省值被確定為對于參數(shù)值來說最佳時，無需特別地調(diào)節(jié)參數(shù)值。但是，實際上，存在這樣的情況，其中由于外圍照明環(huán)境的差異、相機(jī)4的附接位置、相機(jī)4的姿態(tài)偏移以及亮度平衡調(diào)節(jié)等原因，用戶很難在缺省值中獲取期望的確定結(jié)果。由此，在控制器2的監(jiān)視器10上或在程序創(chuàng)建支持設(shè)備11上執(zhí)行從操作模式至設(shè)置模式的切換，并且各種參數(shù)的內(nèi)容被配置成在設(shè)置模式下被編輯。
[0092]<外觀檢查設(shè)備I的硬件配置>
[0093]圖2是圖示出外觀檢查設(shè)備I的硬件配置的示例的示圖。
[0094]主控制部分21根據(jù)各種程序執(zhí)行數(shù)值計算或信息處理，并控制硬件的各個部分。例如，主控制部分21具有作為中間算術(shù)處理設(shè)備的中央處理單元(CPU) 22、諸如隨機(jī)存取存儲器(RAM)之類的在主控制部分21執(zhí)行各種程序時作為工作區(qū)域的工作存儲器23、以及諸如只讀存儲器(ROM)、閃存ROM或電可擦除可編程ROM (EEPROM)之類的其中存儲了啟動程序、初始化程序等的程序存儲器24。
[0095]根據(jù)來自主控制部分21的CPU2或PLC3的命令，照明控制部分26向前燈51、后燈52等傳遞照明控制信號。
[0096]圖像輸入部分25包括專用集成電路(ASIC)，其接收通過在相機(jī)4中拍攝圖像而獲取的圖像數(shù)據(jù)等。圖像輸入部分25中可包含用于緩存圖像數(shù)據(jù)的幀緩存器。具體地說，圖像輸入部分25在從CPU22接收到相機(jī)4的成像命令時，將圖像數(shù)據(jù)接收信號傳遞給相機(jī)4。相應(yīng)地，圖像輸入部分25接收相機(jī)4在已經(jīng)執(zhí)行了成像之后通過拍攝圖像而獲取的圖像數(shù)據(jù)。接收到的圖像數(shù)據(jù)被暫時緩存(高速緩存)。
[0097]操作輸入部分27接收從鼠標(biāo)9輸入的操作信號。操作輸入部分27作為根據(jù)用戶操作而從鼠標(biāo)9接收操作信號的接口(I/F)。
[0098]用戶利用鼠標(biāo)9的操作內(nèi)容被顯示在監(jiān)視器10上。具體地說，通過操作鼠標(biāo)9，在編輯圖像處理的控制程序時、在編輯每個測量處理模塊的參數(shù)值時、在設(shè)置相機(jī)4的成像條件時、在參考圖像的特征部分被登記為模型圖像時、或者在與模型圖像一致的區(qū)域被設(shè)置為檢查區(qū)域時，用戶可以通過在監(jiān)視器10的搜索區(qū)域內(nèi)執(zhí)行搜索來執(zhí)行各種操作。
[0099]顯示控制部分28包括顯示數(shù)字信號處理器(DSP)，其使監(jiān)視器10顯示圖像。顯示控制部分28中可包括諸如視頻RAM (VRAM)之類的在顯示圖像時暫時緩存圖像數(shù)據(jù)的視頻存儲器。根據(jù)從CPU傳遞來顯示命令，用于顯示預(yù)定圖像(視頻)的控制信號被傳遞給監(jiān)視器10。例如，為了在測量處理之前或之后顯示圖像數(shù)據(jù)，控制信號被傳遞給監(jiān)視器10。此夕卜，顯示控制部分28還傳遞用于使監(jiān)視器10顯示用戶利用鼠標(biāo)9做出的操作內(nèi)容的控制信號。
[0100]通信部分29被連接成可以與外部PLC3、程序創(chuàng)建支持設(shè)備11等通信。例如，在生產(chǎn)線上安裝通信部分29以便識別檢查對象8的到達(dá)時間，并且通信部分29用作在存在來自與PLC3連接的傳感器(光電傳感器等(未示出))的觸發(fā)輸入時接收從PLC3傳遞過來的成像觸發(fā)信號的I/F。此外，通信部分29用作接收從程序創(chuàng)建支持設(shè)備11等傳遞過來的控制器2的控制程序的I/F。
[0101]圖像處理部分30包括算術(shù)DSP等，其執(zhí)行諸如邊緣檢測或面積計算之類的測量處理。圖像處理部分30中可以包括一個存儲用于測量處理的圖像數(shù)據(jù)的存儲器。圖像處理部分30對圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行測量處理。具體地說，圖像處理部分30首先通過從圖像輸入部分25的幀存儲器讀取圖像數(shù)據(jù)，在圖像處理部分30內(nèi)執(zhí)行朝向存儲器的內(nèi)部傳輸。相應(yīng)地，圖像處理部分30提供讀取存儲在存儲器中的圖像數(shù)據(jù)來執(zhí)行測量處理。
[0102]程序存儲器24存儲用于根據(jù)來自CPU22的命令等來控制照明控制部分26、圖像輸入部分25、操作輸入部分27、顯示控制部分28、通信部分29以及圖像處理部分30的每個部分的控制程序。此外，從程序創(chuàng)建支持設(shè)備11傳遞過來的控制程序被存儲在程序存儲器24中。
[0103]一旦經(jīng)由通信部分29從PLC3接收到圖像觸發(fā)信號，CPU22就向圖像輸入部分25傳遞成像命令。此外，根據(jù)控制程序，CPU22向圖像處理部分30傳遞表示將被執(zhí)行的圖像處理的命令。諸如光電傳感器之類的觸發(fā)輸入傳感器而不是PLC3，可直接連接至通信部分29，作為產(chǎn)生成像觸發(fā)信號的設(shè)備。
[0104]其每件硬件被連接成可經(jīng)由諸如總線之類的電通信路徑(布線)進(jìn)行通信。
[0105]<測量模塊(圖像處理工具)>
[0106]在此，執(zhí)行外觀檢查的測量模塊被稱為圖像處理工具。存在各種圖像處理工具。存在邊緣位置測量工具、邊緣角度測量工具、邊緣寬度測量工具、邊緣間距測量工具、面積測量工具、污點(blob)測量工具、圖案搜索測量工具、劃痕測量工具等，作為主圖像處理工具。
[0107].邊緣位置測量工具:設(shè)置了顯示檢查對象8的圖像的屏幕上的期望從中檢測邊緣位置的針對檢查區(qū)域的窗口，由此通過在設(shè)置的檢查區(qū)域內(nèi)沿任意方向執(zhí)行掃描操作來檢測多個邊緣(明亮切換成黑暗的位置或者黑暗切換成明亮的位置)。從多個檢測到的邊緣中指定一個邊緣，并且測量所指定的邊緣的位置。
[0108].邊緣角度測量工具:在設(shè)置的檢查區(qū)域內(nèi)設(shè)置兩個分段，并且測量檢查對象8相對于每個分段所檢測到的邊緣的傾斜角度。對于傾斜角度，例如，順時針方向可設(shè)為正的。
[0109].邊緣寬度測量工具:通過在設(shè)置的檢查區(qū)域內(nèi)沿任意方向執(zhí)行掃描操作來檢測多個邊緣，并且測量多個檢測到的邊緣之間的寬度。
[0110].邊緣間距測量工具:通過在設(shè)置的檢查區(qū)域內(nèi)沿任意方向執(zhí)行掃描操作來檢測多個邊緣。測量多個檢測到的邊緣間的距離(角度)中的最大值/最小值或平均值。
[0111].面積測量工具:通過對由相機(jī)4成像的檢查對象8的圖像執(zhí)行二值化處理來測量白色或黑色區(qū)域的面積。例如，作為測量目標(biāo)的白色或黑色區(qū)域被指定為參數(shù)，并且由此測量白色或黑色區(qū)域的面積。
[0112].污點測量工具:通過二值化相機(jī)4所成像的檢查對象8的圖像，針對具有相同亮度值(255或O)的一組(團(tuán))像素，對數(shù)量、面積、中心位置等進(jìn)行測量作為參數(shù)。
[0113].圖案搜索測量工具:通過在存儲裝置中預(yù)先存儲將被比較的圖像圖案(模型圖像)并且從成像的檢查對象8的多個圖像中檢測出與所存儲的圖像圖案相似的部分來測量圖像圖案的位置、傾斜角度和關(guān)聯(lián)值。
[0114].劃痕測量工具:通過在設(shè)置的檢查區(qū)域內(nèi)移動小區(qū)域(分段)來計算像素值的平均密度值，并且確定在具有閾值大小或者更大的密度差異的位置處存在劃痕。
[0115]?此外，還存在在檢查區(qū)域內(nèi)修剪字符信息并將修剪的字符信息與字典數(shù)據(jù)等進(jìn)行比較來識別字符串的光學(xué)字符識別(OCR)工具，具有在移動在圖像上設(shè)置的窗口(區(qū)域)的同時在每個窗口位置處重復(fù)執(zhí)行邊緣檢測的功能的趨勢邊緣工具，具有在設(shè)置的窗口內(nèi)測量灰度的均值、偏移等的功能的灰度工具，具有在設(shè)置的窗口內(nèi)測量密度的均值、偏移等的功能的密度工具等。用戶可根據(jù)檢查內(nèi)容來選擇必要的圖像處理工具。注意，這些圖像處理工具僅示出了實現(xiàn)其的典型功能和方法的代表性示例。與所有圖像處理相對應(yīng)的圖像處理工具可以是本申請的發(fā)明的目標(biāo)。
[0116]<外觀檢查的基 本流程>
[0117]圖3是圖示外觀檢查處理的基本流程的流程圖。外觀檢查處理被分成設(shè)置模式(其中，設(shè)置了確定檢查對象8的質(zhì)量所需的模型圖像、檢查區(qū)域、搜索區(qū)域、檢測點(下文中稱為參考點)、參考線和公差的閾值等)以及操作模式(其中，通過實際地對檢查對象8成像并執(zhí)行圖案匹配來確定質(zhì)量)。通常重復(fù)執(zhí)行設(shè)置模式和操作模式，從而適當(dāng)?shù)卦O(shè)置檢查參數(shù)。外觀檢查處理可通過尺寸測量、面積工具、劃痕工具等來執(zhí)行。
[0118]在S301中，CPU22通過經(jīng)由圖像輸入部分25將成像命令傳遞給相機(jī)4來使相機(jī)4執(zhí)行成像。CPU22經(jīng)由顯示控制部分28使監(jiān)視器10顯示相機(jī)4獲取的圖像數(shù)據(jù)。用戶通過查看監(jiān)視器10上顯示的圖像來檢查相機(jī)4的姿勢以及照明設(shè)備5的照明狀態(tài)。
[0119]在S302中，CPU22根據(jù)利用鼠標(biāo)9輸入的指令來調(diào)節(jié)諸如相機(jī)4的快門速度之類的曝光條件。用戶可手動地調(diào)節(jié)相機(jī)4的姿勢。
[0120]在S303中，CPU22將成像命令傳遞給相機(jī)4以便接收布置在傳送設(shè)備7的成像位置處的檢查對象8的圖像，作為工件圖像。工件圖像(基礎(chǔ)圖像)可以是存儲在非易失性存儲器中并被重復(fù)使用的參考圖像、或者為了創(chuàng)建模型圖像而在每次創(chuàng)建模型圖像時拍攝的圖像。此處，工件圖像被存儲在工作存儲器23中?？筛鶕?jù)參考圖像創(chuàng)建模型圖像。
[0121]在S304中，CPU22執(zhí)行位置偏移校正設(shè)置處理。在相機(jī)4獲取的圖像中，檢查對象8的圖像位置可能偏離理想位置。相應(yīng)地，CPU22通過旋轉(zhuǎn)或移動檢查對象8的圖像來校正位置偏移。位置偏移校正可由圖像處理部分30執(zhí)行。
[0122]在S305中，CPU22設(shè)置上述各種圖像處理工具。例如，對外觀檢查中將要執(zhí)行的測量的類型以及執(zhí)行測量所需的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域、參考點等進(jìn)行設(shè)置。
[0123]在S306，CPU22根據(jù)利用鼠標(biāo)9輸入的指令來設(shè)置外觀檢查所需的參數(shù)(例如，諸如公差之類的檢查閾值)。在S307，CPU22執(zhí)行從設(shè)置模式至操作模式的切換。
[0124]在S308，CPU22根據(jù)來自PLC3的指令來利用相機(jī)4對檢查對象8成像，使得圖像處理部分30執(zhí)行圖案匹配，根據(jù)執(zhí)行結(jié)果來確定質(zhì)量，并輸出確定結(jié)果至PLC3或監(jiān)視器10。
[0125]在S309，當(dāng)從鼠標(biāo)9輸入模式切換指令時，CPU22執(zhí)行從操作模式至設(shè)置模式的切換。在S310，CPU22基于利用鼠標(biāo)9輸入的指令來重置參數(shù)
[0126]〈參數(shù)的設(shè)置〉
[0127]圖4圖示出設(shè)置參數(shù)時檢查對象8、相機(jī)4和照明設(shè)備5之間的位置關(guān)系。雖然檢查對象8可能是具有多個引腳的集成電路(1C)、具有多個焊料球的球柵陣列(BGA)等，但是為了便于描述，檢查對象8被假設(shè)為具有由樹脂形成的外殼40和多個引腳41的連接器。
[0128]作為照明設(shè)備5的后燈52被布置成跨過傳送設(shè)備7而與相機(jī)4面對，并從檢查對象8的后部對檢查對象8進(jìn)行照明。前燈51是環(huán)形照明設(shè)備，并且被布置在從傳送設(shè)備7看來與相機(jī)4相同的一側(cè)，并從檢查對象8前端進(jìn)行照明。
[0129]在操作模式中，PLC3控制傳送設(shè)備7，并在檢查對象8到達(dá)相機(jī)4的成像位置時，使傳送設(shè)備7停止并經(jīng)由控制器2命令相機(jī)4拍攝圖像。在這種情況下，PLC3經(jīng)由控制器2命令照明設(shè)備5執(zhí)行照明。此外，相機(jī)4在前燈51 (用于提取外殼40的表面的特征)對連接器的引腳41或外殼40進(jìn)行照明的狀態(tài)下執(zhí)行成像。相機(jī)4在連接器的外殼40的輪廓被后燈52 (用于提取外殼40的輪廓)照亮的狀態(tài)下執(zhí)行成像。
[0130]另一方面，在設(shè)置模式中，傳送設(shè)備7基本上停止，控制器2直接控制相機(jī)4或照明設(shè)備5，從而拍攝檢查對象8的工件圖像。設(shè)置模式下成像的檢查對象8是用戶確定為無缺陷產(chǎn)品的工件(產(chǎn)品)。通常，拍攝一個工件圖像。然而，檢查對象8可能在傳送設(shè)備7的傳遞方向上較長，并且可能很難在單個成像操作中對整個檢查對象8成像。在這種情況下，控制器2控制相機(jī)4來劃分檢查對象8，并多次對檢查對象8成像。當(dāng)已經(jīng)在設(shè)置模式下獲取多個工件圖像時，在操作模式下同樣獲取其數(shù)量等于工件圖像數(shù)量的圖像，并且將工件圖像與模型圖像進(jìn)行比較。
[0131]在設(shè)置模式和操作模式中，相機(jī)4在連接器的引腳41或外殼40被前燈51照明的情況下執(zhí)行成像。此外，相機(jī)4在連接器的外殼40的輪廓被后燈52照亮的情況下執(zhí)行成像。當(dāng)檢查對象8被劃分并且被多次成像時，PLC3可通過檢查對象8和相機(jī)4之一來執(zhí)行多次成像操作。檢查對象8或相機(jī)4可手動地移動。當(dāng)檢查對象8被分成三個或更多分區(qū)并成像時，相機(jī)4通過利用前燈51在傳遞方向上的第一成像位置(附圖的左端)和傳遞方向上的最終成像位置(附圖的右端)對檢查對象8進(jìn)行照明，來執(zhí)行成像。此后，相機(jī)4通過利用后燈52對檢查對象8進(jìn)行照明來執(zhí)行成像。另一方面，相機(jī)4通過利用前燈51對檢查對象8進(jìn)行照明來執(zhí)行成像，并且省略了在第一成像位置和最終成像位置之間的一個或多個中間成像位置處采用后燈52的成像操作。這是因為，檢查對象8的中間位置的輪廓對于外觀檢查來說不重要。通過省略利用后燈52針對中間位置的成像操作，可以提高外觀檢查的工作效率。
[0132]圖5圖示了連接器(檢查對象8)被分成三個分區(qū)的狀態(tài)下利用前燈51拍攝的圖像以及利用后燈52拍攝的圖像。圖像53是利用前燈51成像的連接器左端的圖像。圖像54是利用前燈51成像的連接器的中間圖像。圖像55是利用前燈51成像的連接器右端的圖像。圖像56是利用后燈52成像的連接器左端的圖像。圖像57是利用后燈52成像的連接器右端的圖像。圖像53至55中每個圖像中的連接器下的黑色部分是作為傳送設(shè)備7的傳送帶的圖像。當(dāng)檢查對象8被安裝在夾具等上并被傳送設(shè)備7傳送時，夾具被成像在圖像中。如上所述，省略了在連接器的中央(下文中稱為中部)利用后燈52的成像操作。
[0133]相機(jī)4利用前燈51對預(yù)定位置處的連接器進(jìn)行成像，隨后在保持連接器的位置的狀態(tài)下利用后燈52對連接器進(jìn)行成像。即，檢查對象8的位置在利用前燈51拍攝的圖像和利用后燈52拍攝的圖像中一致。
[0134]在圖像53的右端和圖像54的左端處示出了連接器的相同部分。類似地，在圖像54的右端和圖像55的左端處示出了連接器的相同部分。相鄰部分圖像中冗余地示出相同部分，這是因為一個完整的圖像是通過連接三個局部圖像來創(chuàng)建的。即，圖像處理部分30連接兩個相鄰部分圖像，從而兩個相鄰局部圖像中共同地示出的相同引腳相重疊。由此創(chuàng)建的完整圖像中包括了整個連接器。
[0135]〈尺寸測量〉
[0136].引腳和角落之間的距離
[0137]圖6是圖示尺寸測量的示例的示圖。在監(jiān)視器10上顯示的用戶界面(UI) 60中，示出了通過連接利用前燈51拍攝的多個部分圖像構(gòu)成的一個圖像(前燈圖像61)以及通過連接利用后燈52拍攝的多個部分圖像構(gòu)成的圖像(后燈圖像62)。前燈圖像61和后燈圖像62的每一個都是一個通過連接通過執(zhí)行前燈51和后燈52之間的切換而成像的相同目標(biāo)的局部圖像創(chuàng)建的完整圖像。由此，前燈圖像61的座標(biāo)系與后燈圖像62的座標(biāo)系一致。此處，前燈圖像61的座標(biāo)系將前燈圖像61的左端作為原點,后燈圖像62的座標(biāo)系將后燈圖像62的左端作為原點。由此，前燈圖像61中的每個引腳的中心位置以及后燈圖像62中的每個引腳的中心位置可由相同的坐標(biāo)表示。類似地，前燈圖像61中外殼40的角部64的位置以及后燈圖像62中外殼40的角部64的位置可由相同的坐標(biāo)表不。
[0138]在Π60中，前燈圖像61和后燈圖像62同時顯示，由此前燈圖像61的水平方向上的兩端與后燈圖像62的水平方向上的兩端一致。即，通過將前燈圖像61的水平方向上的端部與后燈圖像62的水平方向上的端部對齊而垂直布置并顯示前燈圖像61和后燈圖像62。由此，用戶很容易理解的是，前燈圖像61和后燈圖像62是通過對同一檢查對象8進(jìn)行成像而獲取的圖像。此外，前燈圖像61中設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域、以及檢測點可直接設(shè)置在后燈圖像62中。即，在前燈圖像61和后燈圖像62中，可相互關(guān)聯(lián)地顯示搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點。類似地，后燈圖像62中設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點可直接設(shè)置在前燈圖像61中，并且兩者可相互關(guān)聯(lián)地顯示。由此，很難在一個圖像中設(shè)置的特征部分可利用另一圖像來進(jìn)行設(shè)置。在本發(fā)明中，可以利用這樣的特征來設(shè)置各種測量目標(biāo)，例如檢查對象8中的尺寸。
[0139]在圖6中，圖像處理部分30計算從外殼40的角部64至第一引腳63的中心的距離。在本示例的連接器中，在兩行中每行布置17個引腳。就引腳編號而言，左端的引腳被設(shè)置為第一引腳，右端的引腳被設(shè)置為第十七引腳。
[0140]順便提及，當(dāng)外殼40的顏色接近白色時，角部64的位置很可能不會從前燈圖像61精確地檢測出來。另一方面，可以精確地檢測后燈圖像62中的角部64。這是因為，背景和外殼之間的對比度較高。圖像處理部分30從前燈圖像61確定第一引腳63的位置(坐標(biāo))，并從后燈圖像62確定角部64的位置。此處，由于前燈圖像61和后燈圖像62的坐標(biāo)系彼此完全一致，所以圖像處理部分30可以計算從前燈圖像61獲取的第一引腳63的位置和從后燈圖像62獲取的角部64的位置之間的距離?？梢园凑疹愃频某绦驈那盁魣D像61和后燈圖像62計算出第十七引腳和外殼40的右上角之間的距離。
[0141]圖7是圖示出與第二行的引腳相關(guān)的尺寸測量的示例的示圖。也可以與第一行的第一引腳63類似的過程來計算出第二行的第一引腳65至角部64的距離。
[0142]此處，雖然已經(jīng)描述了第一引腳和第十七引腳，但也可以從前燈圖像61檢測出作為特征點的引腳的位置，從后燈圖像62檢測出作為特征點的角部的位置，并針對第二引腳至第十六引腳獲得兩者之間的距離。
[0143].從引腳至外殼的外邊緣的距離(引腳高度)
[0144]圖8是圖示出獲取每個引腳的高度的方法的示圖。在該示例中，圖像處理部分30計算從每個引腳的中心(參考點82)至外殼40的上側(cè)的外邊緣的距離作為引腳高度。
[0145]為了從后燈圖像62建立外殼40的上側(cè)的外邊緣，圖像處理部分30檢測右上角的位置和左上角的位置，并且確定連接這兩者的直線(直線的公式)作為參考線81。使用了后燈圖像62，這是因為相比于前燈圖像61來說，其可精確地檢測出角部。圖像處理部分30從前燈圖像61檢測出每個引腳的中心位置，作為參考點82。圖像處理部分30計算從每個引腳的參考點82至參考線81的距離作為每個引腳的高度。
[0146]此處，已經(jīng)從前燈圖像61檢測出參考點82，已經(jīng)從后燈圖像62檢測出參考線81。然而，當(dāng)影響圖像的對比度的參數(shù)(例如，檢查對象8的形狀、色系和材料)不同時，圖像處理部分30可從前燈圖像61檢測出參考線81并且從后燈圖像62檢測出參考點82。
[0147]圖9圖示出針對第二行的每個引腳獲取引腳高度的示例。為了從后燈圖像62建立外殼40的上側(cè)的外邊緣，圖像處理部分30根據(jù)圖像識別檢測出右上角的位置以及左上角的位置，并確定連接這兩者的直線(直線的公式)作為參考線81。而且，圖像處理部分30從前燈圖像61檢測出第二行的每個引腳的中心位置作為參考點85。圖像處理部分30計算從每個引腳的參考點85至參考線81的距離作為每個引腳的高度。
[0148]<成像操作的次數(shù)的設(shè)置>
[0149]圖10和圖11均圖示出用于設(shè)置成像操作的次數(shù)的對話框101。在對話框101中，示出了圖像的劃分?jǐn)?shù)量的輸入欄102和相機(jī)數(shù)量或成像技術(shù)的選擇欄103。當(dāng)劃分?jǐn)?shù)量被設(shè)置為I個時，這就意味著整個檢查對象8保持在一個圖像中。當(dāng)劃分?jǐn)?shù)量被設(shè)置為3個時，這就意味著整個檢查對象8被分成三個圖像并保持在其中。如圖11所示，在選擇欄103中，可以選擇拍攝圖像的成像技術(shù)，同時例如改變僅僅檢查對象8的兩端處的照明。
[0150]圖12圖示了對話框104，其可視地表示了用戶設(shè)置的成像操作的次數(shù)。該示例示出了利用照明A (前燈51)在三個成像位置處執(zhí)行成像操作、以及利用照明B (后燈52)在兩個成像位置處執(zhí)行成像操作(除去中間位置)。此外，還示出了成像順序105，以便向用戶清楚地指出成像順序。在該示例中，利用照明A在第一成像位置執(zhí)行第一成像操作。利用照明B在第一成像位置執(zhí)行第二成像操作。從而，用戶容易理解到，當(dāng)?shù)谝缓偷诙上癫僮饕呀?jīng)結(jié)束時要移動檢查對象8。
[0151]〈連接器位置偏移校正〉
[0152]當(dāng)在傳送設(shè)備7傳遞檢查對象8的同時拍攝用于質(zhì)量確定的圖像時，檢查對象8的位置可能偏離理想位置。此處，理想位置是利用相機(jī)4拍攝用于圖案匹配的模型圖像時無缺陷工件的布局位置。由于無缺陷工件被精確地手工布置，所以該位置被相對于相機(jī)4精確地確定。由此，為了改進(jìn)在實際生產(chǎn)線拍攝檢查對象8的圖像時圖案匹配和質(zhì)量確定的精度，其中拍攝的圖像在左側(cè)方向、右側(cè)方向、向上方向和向下方向上旋轉(zhuǎn)或移動的位置偏移校正是必須的。
[0153]順便提及，可以在如上所述的改變照明技術(shù)的同時，在檢查對象8的相同位置執(zhí)行多個成像操作。例如，由于在前燈圖像61和后燈圖像62中在相同位置執(zhí)行成像操作而不移動檢查對象8，因此各個位置偏移量應(yīng)當(dāng)一致。相應(yīng)地，利用從各個成像位置的圖像中的前燈圖像61獲取的位置偏移量或其校對量來設(shè)置后燈圖像62的校對量。當(dāng)出現(xiàn)連接器的位置偏移時，為下一階段的檢查中的精確檢查檢測出連接器的位置，并校正偏移量。
[0154]如上所述，在該實施例中，圖像處理部分30從對檢查對象8的相同位置進(jìn)行成像而獲取的多個圖像中的一個圖像獲取位置偏移的校正量，通過獲取的校正量來校正多個圖像中的每個圖像的位置，并利用校正的圖像進(jìn)行質(zhì)量確定。
[0155]圖13是圖示利用鼠標(biāo)9從表示多個圖像處理工具的類別的工具目錄111選擇連接器類別108并進(jìn)一步選擇連接器位置偏移校正作為圖像處理工具的示圖。
[0156]圖14、圖15和圖16均圖示出用于設(shè)置連接器位置偏移校正所需的參數(shù)的Π (圖14至16分別是與圖像IA至3A相對應(yīng)的Π)。此處，利用鼠標(biāo)9設(shè)置兩個搜索區(qū)域112。如在圖14的右邊所示，當(dāng)用戶預(yù)先登記模型圖像(搜索圖案)，并利用鼠標(biāo)9設(shè)置搜索區(qū)域112時，實時地對搜索區(qū)域112內(nèi)是否存在與模型圖像圖案匹配的部分進(jìn)行搜索。相應(yīng)地，當(dāng)找到模型圖像時，模型圖像在屏幕上被顯示為檢查區(qū)域113。即，在圖14中，在搜索區(qū)域112中找到模型圖像，從而顯示檢查區(qū)域113。此處，搜索區(qū)域112是表示其中可移動模型圖像的范圍的區(qū)域。檢查區(qū)域113是一個包括作為圖案匹配目標(biāo)的部分(模型圖像)的區(qū)域(其中如上所述地在圖14中找到模型圖像的區(qū)域)。設(shè)置了兩個搜索區(qū)域112，這是因為考慮了制造檢查對象的公差，或者因為精確校正了傳送檢查對象時位置/傾斜的偏移。如果在兩個搜索區(qū)域112中識別出兩個檢查區(qū)域113的位置，則可以計算出連接器位置相對于識別出的位置的位置偏移量。
[0157]如圖14、圖15和圖16所示，在連接器的左端、中間部分和右端的每一個中設(shè)置用于位置偏移校正的兩個搜索區(qū)域112以及兩個檢查區(qū)域113。由于連接器的左端、中間部分和右端中的位置偏移量可能一樣，所以可以從左端、中間部分和右端之一獲取位置偏移量。然而，可以從左端、中間部分和右端這三個位置獲取位置偏移校正量，以便改進(jìn)位置偏移校正的精確性。
[0158]圖17是表示設(shè)置連接器位置偏移校正的操作已經(jīng)結(jié)束的Π的示例。圖像處理部分30可利用采用鼠標(biāo)9設(shè)置的參數(shù)來執(zhí)行對由相機(jī)4成像的無缺陷產(chǎn)品的位置偏移校正，并在已經(jīng)成功地進(jìn)行了位置偏移校正時在監(jiān)視器10上顯示表示成功的OK標(biāo)記114。
[0159]<連接器尺寸檢查工具的添加>
[0160]圖18是圖示出利用鼠標(biāo)9從表示多個圖像處理工具的種類的工具目錄111中選擇連接器類別108、并進(jìn)一步選擇連接器尺寸檢查工具109作為圖像處理工具的示圖。如果點擊了表示連接器尺寸檢查工具109的按鈕，則屏幕轉(zhuǎn)換成設(shè)置屏幕。對于設(shè)置屏幕的轉(zhuǎn)換，可進(jìn)一步點擊添加按鈕。
[0161].圖像連接參數(shù)的設(shè)置[0162]存在作為連接器尺寸檢查工具的設(shè)置項之一的圖像連接參數(shù)。當(dāng)無連接圖像時，無需設(shè)置參數(shù)的操作。
[0163]圖19是圖示出在其上設(shè)置圖像連接點的設(shè)置屏幕的示圖。在該屏幕中，可利用鼠標(biāo)9來選擇圖像對齊的順序116以及指定連接技術(shù)的連接方法117。例如，如果項目“左一右”被選為圖像對齊的順序116，則表示從左至右地拍攝檢查對象8的圖像。如果項目“引腳行中的連接”被選為連接方法117，則圖像處理部分30從每個圖像檢測引腳行并連接多個圖像以使得整個引腳行作為一行。
[0164].引腳行檢測參數(shù)的設(shè)置
[0165]圖20圖示出引腳行檢測參數(shù)的設(shè)置屏幕。在該示例中，引腳布局118是用于設(shè)置其中布置引腳的行的數(shù)量的設(shè)置項。第一引腳的位置119是用于設(shè)置布置在一行中的多個引腳中的哪一個是第一引腳的設(shè)置項。在該示例中，由于作為檢查對象8的連接器具有兩行，所以利用鼠標(biāo)9為引腳布局118選擇項目“兩行”。
[0166].引腳模型的登記
[0167]連接器具有較多數(shù)量的引腳，并且有必要檢查所有引腳。相應(yīng)地，有必要登記檢查對象的每個引腳的模型圖像及其位置，以在無缺陷產(chǎn)品確定中使用。
[0168]圖21圖示出引腳模型的登記屏幕。CPU22在登記屏幕內(nèi)放大并顯示連接器左端的圖像53。這是為了容易登記引腳模型。用戶將檢查區(qū)域113設(shè)置為包括第一引腳63。CPU22在存儲器中將檢查區(qū)域113圍繞的局部圖像存儲為模型圖像。由CPU22以與鼠標(biāo)9的操作相關(guān)聯(lián)的方式改變檢查區(qū)域113的位置和尺寸。
[0169]圖22圖示出引腳檢測的設(shè)置屏幕。CPU22在檢查區(qū)域113的中央布置參考點120，并將搜索區(qū)域112布置成圍繞檢查區(qū)域113。CPU22將檢查區(qū)域113的位置、參考點120的位置以及搜索區(qū)域112的位置存儲在存儲器中。如上所述，檢查區(qū)域113代表在搜索區(qū)域112內(nèi)作為與圖21中設(shè)置的模型圖像圖案匹配的結(jié)果而被檢測到的區(qū)域。即，在圖22中，檢查區(qū)域113代表與模型圖像圖案匹配的檢測結(jié)果。
[0170]如上所述，應(yīng)當(dāng)針對所有引腳設(shè)置搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113、參考點120等。然而，當(dāng)該設(shè)置工作是手動完成的時候，對用戶施加了沉重的負(fù)擔(dān)。相應(yīng)地，在本實施例中，通過利用鼠標(biāo)9設(shè)置作為設(shè)置項之一的引腳數(shù)121，用戶可半自動化針對每個引腳(包括第二引腳和后面的引腳)設(shè)置搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120的操作。根據(jù)輸入的引腳數(shù)121，CPU22通過在向右方向上復(fù)制搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120來為6個特定引腳的每個設(shè)置搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120。假設(shè)各個引腳等間隔布置，并且各個引腳的尺寸彼此一致。用戶可利用鼠標(biāo)9針對每個引腳精細(xì)地調(diào)節(jié)CPU22設(shè)置的搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120。根據(jù)來自鼠標(biāo)9的輸入，CPU22校正搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120的坐標(biāo)(位置)，并在存儲器中存儲經(jīng)校正的坐標(biāo)。
[0171]圖23和圖24是各自圖示出連接器的中間部分和右端部分中的搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120的設(shè)置屏幕的示圖。還以與連接器的左端部分類似的過程設(shè)置針對連接器的中間部分和右端部分的搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120。
[0172]S卩，CPU22利用第一引腳的搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120的數(shù)據(jù)以及引腳數(shù)121，針對連接器的中間部分和右端部分的每個引腳，設(shè)置搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120。[0173]圖25圖示出表示已經(jīng)完成了第一行的引腳模型的登記的屏幕。在該屏幕中，連接器的整個屏幕122與搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和參考點120 —起顯示。CPU22可通過獲取輸入引腳數(shù)之和來在監(jiān)視器10上顯示總的引腳數(shù)123。
[0174]雖然已經(jīng)在圖21至圖25中描述了第一行的引腳，還可以類似的過程執(zhí)行第二行引腳的引腳登記。
[0175]?端部檢測參數(shù)的設(shè)置
[0176]在執(zhí)行連接器的外觀檢查時，必須如上所述地檢測連接器的端部(角部)的位置。當(dāng)在連接器外殼的兩端配置了金屬附件時，金屬附件(而不是角部)可被檢測為端部。在這種情況下，只需要為金屬附件設(shè)置搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點(參考點)即可。
[0177]圖26是圖示出其上執(zhí)行與連接器的端部檢測相關(guān)的設(shè)置操作的設(shè)置屏幕的示圖。將被檢測的端部數(shù)量由于連接器的類型而不同。相應(yīng)地，通過利用鼠標(biāo)9按下添加按鈕124來設(shè)置必要的端部數(shù)量。
[0178]圖27圖示出用于選擇作為端部檢測目標(biāo)的端部的選擇項125。根據(jù)連接器的類型，存在其中布置在連接器中的金屬應(yīng)該是一個端部的情況，其中連接器的外殼應(yīng)該是一個端部的情況，其中用于傳遞連接器的夾具應(yīng)該是一個端部的情況等。相應(yīng)地，用戶根據(jù)作為檢查對象8的連接器的類型，通過鼠標(biāo)9的操作從選擇項125中選擇端部檢測目標(biāo)。
[0179]圖28是圖示出用于端部檢測的搜索模型的登記屏幕的示圖。為了設(shè)置工件的左端，利用鼠標(biāo)9從圖像選擇部分126中選擇連接器的左端的前燈圖像(成像1A)。CPU22放大并顯示左端的圖像，從而使搜索模型能夠容易地被登記。通過操作鼠標(biāo)9來設(shè)置包括該端的檢查區(qū)域127。一旦檢測到模型登記按鈕228已經(jīng)被按下，則CPU22在存儲器中存儲當(dāng)時設(shè)置的檢查區(qū)域127的位置以及檢查區(qū)域127圍繞的模型圖像。
`[0180]圖29圖示出搜索區(qū)域128的設(shè)置屏幕。CPU22將根據(jù)鼠標(biāo)9的操作而設(shè)置的一個矩形區(qū)域設(shè)置為用于端部檢測的搜索區(qū)域128。此處，CPU22在搜索區(qū)域128內(nèi)執(zhí)行經(jīng)模型登記的檢查區(qū)域127的模型圖像的搜索，并且確定是否已經(jīng)找到模型圖像。如圖29所示，在背景與外殼之間的對比度較低時端部檢測失敗。
[0181 ] 在本實施例中，利用后燈圖像設(shè)置端部檢測參數(shù)。
[0182]圖30是圖示出用于端部檢測的搜索模型的登記屏幕的示圖。利用鼠標(biāo)9從圖像選擇部分126中選擇連接器的左端的后燈圖像(成像IB)。CPU22放大并顯示左端的后燈圖像從而使搜索模型能夠容易地被登記。通過操作鼠標(biāo)9來設(shè)置包括該端部的檢查區(qū)域127。一旦檢測到模型登記按鈕228已經(jīng)被按下，則CPU22在存儲器中存儲當(dāng)時設(shè)置的檢查區(qū)域127的位置以及檢查區(qū)域127圍繞的模型圖像。
[0183]圖31圖示出搜索區(qū)域128的設(shè)置屏幕。CPU22將根據(jù)鼠標(biāo)9的操作而設(shè)置的一個矩形區(qū)域設(shè)置為用于端部檢測的搜索區(qū)域128。此處，CPU22在搜索區(qū)域128內(nèi)執(zhí)行經(jīng)模型登記的檢查區(qū)域127的模型圖像的搜索，并且確定是否已經(jīng)找到模型圖像。如圖31所示，在背景與外殼之間的對比度較高時端部檢測成功。當(dāng)利用鼠標(biāo)9點擊了用于指定參考點的參考點指定按鈕130時，CPU22使參考點的指定屏幕顯示在監(jiān)視器10上。
[0184]圖32和圖33都是圖示出參考點131的指定屏幕的示圖。具體地說，圖32圖示出精細(xì)調(diào)節(jié)之前的參考點131，圖33圖示出精細(xì)調(diào)節(jié)之后的參考點131。CPU22在檢查區(qū)域127的中部布置參考點131。用戶通過操作鼠標(biāo)9在參考點131上執(zhí)行精細(xì)調(diào)節(jié)，CPU22在存儲器中存儲精細(xì)調(diào)節(jié)之后參考點131的位置。
[0185]對于作為連接器右端的端部的工件右端，以與工件的左端類似的過程設(shè)置檢查區(qū)域127、搜索區(qū)域128和參考點131。
[0186]圖34是表示已經(jīng)正常地設(shè)置了工件的左端和右端的屏幕。在該示例中，示出了利用后燈圖像設(shè)置工件的左端和右端。
[0187].參考線的設(shè)置
[0188]圖35圖示出在其上設(shè)置參考線81的設(shè)置屏幕。當(dāng)添加按鈕(編輯按鈕)140被點擊，屏幕轉(zhuǎn)換成詳細(xì)設(shè)置屏幕，在其上設(shè)置參考線81的每個參數(shù)。
[0189]圖36圖示出參考線81的指定方法的選擇項141。此處，利用鼠標(biāo)9指定將被指定為參考線81的用于作為檢查對象8的連接器的線。
[0190]圖37是圖示出已經(jīng)從選擇項141中指定項目“連接外殼的兩端的線”作為參考線81的屏幕的示圖。如上所述，利用后燈圖像預(yù)先設(shè)置外殼的兩端(工件的左端和右端)。相應(yīng)地，當(dāng)項目“連接外殼的兩端的線”被指定為參考線81時，CPU22將參考線81設(shè)置成經(jīng)過工件的左端和右端。工件的左端對應(yīng)于參考點131。雖然沒有示出，但是工件的右端也利用參考點設(shè)置。
[0191]?尺寸測量參數(shù)的設(shè)置
[0192]此處，在連接器的尺寸中，設(shè)置了連接器中將被測量的部分的尺寸。
[0193]圖38是圖示出在其上設(shè)置尺寸測量參數(shù)的主屏幕的示圖。用戶可通過利用鼠標(biāo)9點擊項目選擇按鈕150來選擇將被測量的尺寸。
[0194]圖39是圖示出用于設(shè)置尺寸測量參數(shù)的項目選擇屏幕的示圖。此處，顯示了表示按照類別的將被測量的連接器部分的尺寸測量類別151以及示出與所選尺寸測量類別相對應(yīng)的一個或多個測量項的測量項列表152。CPU22根據(jù)利用鼠標(biāo)9選擇的類別切換測量項列表152。在圖39所示的示例中，如果從尺寸測量類別151選擇外殼,貝U顯示與外殼相關(guān)的各種測量項。外殼高度是將參考線作為初始點的外殼的高度。外殼距離是外殼的從左端至右端的距離。外殼與引腳(端部)之間的距離是從外殼的端部至端部引腳的距離。外殼與金屬附件之間的距離是從外殼至金屬附件的距離，例如，從外殼的端部至金屬附件中點的距離。利用鼠標(biāo)9從測量項列表152選擇的測量項被添加為將被實際測量的項目。
[0195]圖40圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕。在參數(shù)設(shè)置部分160中，通過鼠標(biāo)9輸入針對第一行的引腳的外殼與引腳(端部)之間的距離的設(shè)計的標(biāo)準(zhǔn)值和正/負(fù)公差。CPU22可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)值和公差計算出尺寸的上限和下限，以便在參數(shù)設(shè)置部分160中指示計算出的上限和下限。此外，CPU22可利用圖像處理部分30實際地根據(jù)工件圖像測量尺寸，以獲取并顯示第一引腳的測量值和第十七引腳的測量值之間的平均值，或者顯示最小值和最大值。
[0196]圖41圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕。在參數(shù)設(shè)置部分161中，通過鼠標(biāo)9輸入針對第二行各管腳的外殼與引腳(端部)之間的距離的設(shè)計的標(biāo)準(zhǔn)值和正/負(fù)公差。CPU22可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)值和公差計算出尺寸的上限和下限，以便在參數(shù)設(shè)置部分161中指示計算出的上限和下限。此外，CPU22可利用圖像處理部分30實際地根據(jù)工件圖像測量尺寸，以獲取并顯示第一引腳的測量值和第十七引腳的測量值之間的平均值，或者顯示最小值和最大值。[0197]圖42是圖示出用于設(shè)置尺寸測量參數(shù)的項目選擇屏幕的示圖。此處，由于引腳高度是從尺寸測量類別151中選擇的，所以與引腳高度相關(guān)的測量項顯示在測量項列表152上。用戶通過鼠標(biāo)9點擊并選擇測量項。此處，假設(shè)選擇了距離參考線的引腳高度。
[0198]圖43圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕。為了容易地獲知測量項，參考線、參考點、引腳編號、表示將被測量的部分的標(biāo)記等與工件圖像一起顯示在圖像顯示部分162上。此處，顯示了前燈圖像和后燈圖像作為工件圖像。在參數(shù)設(shè)置部分163中，通過鼠標(biāo)9輸入針對第一行的引腳的引腳高度的設(shè)計的標(biāo)準(zhǔn)值和正/負(fù)公差。CPU22可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)值和公差計算出尺寸的上限和下限，以便在參數(shù)設(shè)置部分163中指示計算出的上限和下限。此外，CPU22可利用圖像處理部分30根據(jù)工件圖像實際地測量尺寸，以獲取并顯示第一引腳至第十七引腳的測量值的平均值，或顯示最小值和最大值?？梢院苋菀椎馗鶕?jù)這些數(shù)值來識別用于拍攝工件圖像的工件(產(chǎn)品)是否適合。
[0199]圖44圖示出在其上設(shè)置在對選擇的測量項的質(zhì)量確定中使用的參數(shù)的屏幕。在參數(shù)設(shè)置部分164中，輸入第二行的引腳的引腳高度的參數(shù)。CPU22可根據(jù)在參數(shù)設(shè)置部分164中輸入的標(biāo)準(zhǔn)值和公差計算出尺寸的上限和下限，以便在參數(shù)設(shè)置部分164中指示計算出的上限和下限。此外，CPU22可利用圖像處理部分30根據(jù)工件圖像實際地測量尺寸，以獲取并顯示第二行的第一引腳至第十七引腳的每個引腳的測量值的平均值，或顯示最小值和最大值。
[0200]<圖像連接的修改示例>
[0201]在上述實施例中，已經(jīng)描述了執(zhí)行成像操作以使得在相鄰圖像之間包括一個或多個公共引腳并且連接兩個相鄰圖像以使得公共引腳重疊，由此CPU22或圖像處理部分30創(chuàng)建了檢查對象8的完整圖像。然而，在相鄰圖像中公共地包含的一個部分無需是檢查對象8的一部分。即，作為連接參考的標(biāo)記可布置至與檢查對象8 —起移動的部件(例如夾具或傳送帶)上。
[0202]圖45是圖示出作為用于連接多個圖像的參考的標(biāo)記的示例的示圖。在該示例中，在傳遞檢查對象8的夾具中布置連接標(biāo)記170。如果項目“在任意點處連接”被選為連接方法117，則CPU22可根據(jù)標(biāo)記170進(jìn)行連接。
[0203]圖46是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記170的設(shè)置屏幕的示圖。CPU22通過放大并顯示連接器的左端圖像端，使得參考點171、檢查區(qū)域和搜索區(qū)域很容易被設(shè)置。用戶通過操作鼠標(biāo)9在標(biāo)記170的中央設(shè)置參考點171。而且，CPU22基于參考點171來設(shè)置檢查區(qū)域和搜索區(qū)域。根據(jù)鼠標(biāo)9的操作，CPU22可精細(xì)地調(diào)節(jié)參考點171或調(diào)節(jié)檢查區(qū)域和搜索區(qū)域的位置和尺寸。
[0204]圖47是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記170的設(shè)置屏幕的示圖。通過放大并顯示連接器的中間部分的圖像，CPU22使得作為用于連接左端圖像和中間部分圖像的參考的參考點172、基于參考點172的檢查區(qū)域和搜索區(qū)域、作為用于連接中間部分圖像和右端圖像的參考的參考點173、以及基于參考點173的檢查區(qū)域和搜索區(qū)域很容易被設(shè)置。通過操作鼠標(biāo)9，用戶在左側(cè)的標(biāo)記170的中央設(shè)置參考點172，并在右側(cè)的標(biāo)記170的中央設(shè)置參考點173。而且，CPU22根據(jù)參考點172和173來設(shè)置檢查區(qū)域和搜索區(qū)域。CPU22可根據(jù)鼠標(biāo)9的操作精細(xì)地調(diào)節(jié)參考點172和173或調(diào)節(jié)位置檢查區(qū)域和搜索區(qū)域的位置和尺寸。[0205]圖48是圖示出在其上設(shè)置作為圖像連接的參考的標(biāo)記170的設(shè)置屏幕的示圖。CPU22通過放大并顯示連接器的右端圖像，使得用于連接右端圖像和中間部分圖像的參考的參考點174、檢查區(qū)域以及搜索區(qū)域很容易被設(shè)置。用戶通過操作鼠標(biāo)9在標(biāo)記170的中央設(shè)置參考點174。而且，CPU22基于參考點174設(shè)置檢查區(qū)域和搜索區(qū)域。CPU22可根據(jù)鼠標(biāo)9的操作精細(xì)地調(diào)節(jié)參考點174或者調(diào)節(jié)檢查區(qū)域和搜索區(qū)域的位置和尺寸。
[0206]圖49是圖示出基于標(biāo)記170連接的前燈圖像和后燈圖像的示圖。當(dāng)連接連接器的左端圖像、中間部分圖像和右端圖像時，圖像處理部分30連接左端圖像和中間部分圖像，以使得參考點171和172重疊。而且，圖像處理部分30連接中間部分圖像和右端圖像，以使得參考點173和174重疊。由此，創(chuàng)建了其中保持了整個檢查對象8的連接圖像(完整圖像)。由于前燈圖像和后燈圖像中的坐標(biāo)系一致，所以可以類似地根據(jù)前燈圖像的連接位置進(jìn)行對后燈圖像的連接。如圖49所示，當(dāng)后燈圖像只有左端圖像和右端圖像時，使得前燈圖像的左端圖像和后燈圖像的左端圖像的原點(圖像的左上角)一致。此外，使得前燈圖像的右端圖像和后燈圖像的右端圖像的原點(圖像的左上角)一致。由此，如圖49所示，創(chuàng)建了示出整個連接器的前燈圖像和后燈圖像。
[0207]<引腳或外殼檢測方法>
[0208]上述實施例是其中利用采用模型圖像的圖案匹配來檢測檢查對象8的外殼或引腳的示例。然而，模型圖像不是不可或缺的。
[0209]圖50是圖示出利用邊緣檢測的引腳檢測方法的示圖。圖像處理部分30通過執(zhí)行邊緣檢測來檢測水平方向的多個邊緣或垂直方向的多個邊緣。相應(yīng)地，預(yù)定方向的檢測到的邊緣中間位置(中心位置)被自動地設(shè)置為參考點200。圖像處理部分30計算從參考點200至每個邊緣的距離，并搜索具有等于(固定公差范圍內(nèi)允許的)預(yù)定距離的距離的邊緣的組合。在該示例中，對應(yīng)于引腳41的左端的邊緣201以及對應(yīng)于右端的邊緣202被識別為與引腳檢測條件一致的邊緣。類似地，圖像處理部分30識別出與引腳41的上端對應(yīng)的邊緣203以及與下端對應(yīng)的邊緣204，作為與引腳檢測條件一致的邊緣。這是因為距離參考點200的距離與引腳檢測條件一致。由此，圖像處理部分30可通過針對整個圖像執(zhí)行邊緣檢測來檢測每個引腳的位置。
[0210]圖51是圖示出利用邊緣檢測的外殼檢測方法的示圖。圖像處理部分30檢測水平或垂直方向的多個邊緣，并提取在參考點210處彼此正交的邊緣211和邊緣212。此處，邊緣211和212是位于最外邊位置的邊緣。參考點(交叉點)210在提取邊緣211和212之后被自動設(shè)置為邊緣211與邊緣212交叉處的點。通過預(yù)設(shè)這樣的檢測條件，圖像處理部分30可利用邊緣檢測來檢測外殼邊緣。
[0211]<多個測量工具中測量區(qū)域的參考>
[0212]圖52圖示了針對連接器尺寸檢查工具設(shè)置的多個參數(shù)。通過按下工具添加按鈕600，執(zhí)行外觀檢查的多個圖像處理工具(測量工具)被添加。此處，對于將被上述連接器尺寸檢查工具測量的引腳63，設(shè)置了測量區(qū)域(搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113、參考點120等)。
[0213]圖53圖示了作為連接器外觀檢查工具之一的面積測量工具的參數(shù)設(shè)置屏幕的示例。例如，面積測量工具是測量兩個相鄰引腳63夾著的區(qū)域的面積的工具。通過測量面積，可以確定是否將樹脂布置在引腳63 (樹脂霧翳(resin fog))周圍，或者在引腳63中是否出現(xiàn)了毛刺(金屬毛刺)。測量工具名欄601表示作為參數(shù)設(shè)置對象的測量工具的名稱。工具選擇部分602是下拉菜單，用于在為面積測量工具設(shè)置測量區(qū)域112’時選擇將被涉及的測量工具。此處，通過復(fù)制用于連接器外觀檢查工具的搜索區(qū)域112，暫時的設(shè)置了用于面積測量工具的測量區(qū)域112’。追蹤點選擇部分603是無線電按鈕，用于選擇連接器尺寸檢查工具的由用于面積測量工具的測量區(qū)域112’追蹤的點(例如，檢測點或搜索區(qū)域的中心點)。
[0214]圖54A是圖示出霧翳(fog)的示例的示圖。構(gòu)成外殼40的樹脂被放置在引腳63的左端側(cè)。這樣的霧翳631造成了接觸缺陷，由此必須確定產(chǎn)品為缺陷產(chǎn)品。面積測量工具測量引腳63的面積以將測量的面積與閾值進(jìn)行比較，或者測量兩個相鄰引腳63之間的面積以將測量的面積與閾值進(jìn)行比較，由此找到這樣的霧翳631。
[0215]圖54B是圖示出毛刺的示例的示圖。毛刺632出現(xiàn)在引腳63的右端。由于這樣的毛刺632縮短了相鄰引腳之間的絕緣距離，必須確定產(chǎn)品為缺陷產(chǎn)品。面積測量工具測量引腳63的面積以將測量的面積與閾值進(jìn)行比較，或者測量兩個相鄰引腳63之間的面積以將測量的面積與閾值進(jìn)行比較，由此找到這樣的毛刺632。為了測量引腳63的面積，與引腳63的面積相關(guān)聯(lián)地設(shè)置測量區(qū)域112’。此外，為了測量兩個相鄰引腳63之間的面積，測量區(qū)域112’在兩個引腳63之間移動測量區(qū)域112’，并且在必要時調(diào)節(jié)測量區(qū)域112’的尺寸。
[0216]圖55圖示出用于復(fù)制、細(xì)調(diào)和將用于特定測量工具的參數(shù)設(shè)置為另一測量工具的參數(shù)的用戶界面。如圖52所示，在每個引腳63中設(shè)置用于連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域112。此外，如圖53所示，在初始狀態(tài)，根據(jù)用于連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域112來設(shè)置測量區(qū)域112’。通過利用鼠標(biāo)9操作以按下圖53所示的編輯按鈕604來使屏幕轉(zhuǎn)換成圖55所示的編輯屏幕。
[0217]在圖55中，用戶通過利用鼠標(biāo)9操作光標(biāo)650來向右地拖拽測量區(qū)域112’，由此偏移測量區(qū)域112’偏移并設(shè)置在兩個相鄰引腳之間。多個測量區(qū)域112’彼此相關(guān)地偏移。即，光標(biāo)650的拖拽量作為偏移量。此外，通過將偏移量加至連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域112的坐標(biāo)數(shù)據(jù)而獲得的結(jié)果成為用于面積測量工具的測量區(qū)域112’的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。此夕卜，多個測量區(qū)域112’的尺寸彼此相關(guān)地改變。通過操作鼠標(biāo)9而將光標(biāo)650拖拽至一個特定搜索區(qū)域112的角部或一側(cè)的附近來使所有測量區(qū)域112’的尺寸彼此相關(guān)地改變。
[0218]光標(biāo)650所選的測量區(qū)域的測量結(jié)果被顯示為柱狀圖顯示部分605上的柱狀圖。用戶可通過檢查柱狀圖來檢查是否精確地設(shè)置了用于面積測量工具的測量區(qū)域112’。
[0219]圖56是圖示出其中存在引腳缺失的連接器的示例的示圖。理論上，引腳等間隔地布置在連接器中。然而，當(dāng)確認(rèn)一些引腳未被使用時，在不形成這些引腳的情況下促進(jìn)了連接等的成本下降。在這種情況下，在連接器尺寸檢查工具中的引腳缺失位置處不設(shè)置參考點120等。由此，當(dāng)必須進(jìn)行針對引腳缺失位置的面積測量時，不針對測量區(qū)域112’來參考連接器尺寸檢查工具的參考點120的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。相應(yīng)地，通過利用鼠標(biāo)9操作圖53所示的無效區(qū)域設(shè)置按鈕604a，屏幕轉(zhuǎn)換至圖57所示的設(shè)置屏幕。
[0220]圖57是圖示出無效區(qū)域設(shè)置屏幕的示例的示圖。根據(jù)圖57，由于在從左邊算起的第二個引腳中設(shè)置了引腳缺失664，所以在第二引腳和第三引腳之間沒有設(shè)置測量區(qū)域112’。相應(yīng)地，通過檢查無效區(qū)域設(shè)置部分610中的與第二引腳和第三引腳之間之間的區(qū)域相對應(yīng)的復(fù)選框，該區(qū)域被添加為測量區(qū)域112’。[0221]圖58是圖示出其中已經(jīng)在引腳缺失位置附近設(shè)置了測量區(qū)域112’的示例的示圖。在檢查無效區(qū)域設(shè)置部分610時，利用測量區(qū)域112’是等間隔布置的這一事實來確定用于引腳缺失位置的測量區(qū)域112’的位置。
[0222].檢測點追蹤和搜索區(qū)域中心追蹤
[0223]圖59是圖示出檢測點追蹤與搜索區(qū)域中心追蹤之間的差異的示圖。如上所述，在連接器尺寸檢查工具中，設(shè)置了搜索區(qū)域112、檢查區(qū)域113和檢測點(參考點120)。如圖59所示，搜索區(qū)域112的中點稱作搜索區(qū)域中心620。此處，為了復(fù)制連接器尺寸檢查工具的參數(shù)來作為面積測量工具的參數(shù)，考慮了基于參考點120執(zhí)行復(fù)制操作的方法以及基于搜索區(qū)域中心620執(zhí)行復(fù)制操作的方法。這些方法均具有優(yōu)點和缺點。在存在引腳彎曲時，基于參考點120執(zhí)行復(fù)制操作的方法是有利的。在存在上述引腳缺失時，基于搜索區(qū)域中心620執(zhí)行復(fù)制操作的方法是有利的。
[0224]圖60A是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的參考點120來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’的示例的示圖。在該示例中，由于連接器尺寸檢查工具的參考點120設(shè)置在實際引腳的尖部，所以即使在出現(xiàn)引腳彎曲時，也是通過經(jīng)由圖案識別檢測引腳尖部來實際地設(shè)置測量區(qū)域112’。
[0225]圖60B是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域中心620來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’的示例的示圖。在該示例中，由于面積測量工具的測量區(qū)域112’是基于搜索區(qū)域中心620設(shè)置的，所以測量區(qū)域112’的位置與實際引腳63的位置偏離。這是因為作為面積測量工具的測量區(qū)域112’之源的搜索區(qū)域112是固定區(qū)域。即，這是因為通過根據(jù)實際引腳位置的圖案識別動態(tài)地校正了參考點120，但是搜索區(qū)域112未被校正。
[0226]圖61A是圖示出根據(jù)用于其中存在引腳缺失的連接器的連接器尺寸檢查工具的參考點120來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’的示例的示圖。如上所述，在存在引腳缺失664時，沒有為其引腳設(shè)置參考點120。即，由于沒有作為用于設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’的參考的參考點120，因此很難簡單地設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’。由此，利用圖57和圖58描述的附加的設(shè)置方法是必要的。
[0227]圖61B圖示出根據(jù)用于其中存在引腳彎曲的連接器的連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域中心620來設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’的示例。由于在存在引腳缺失時也等間距地固定地設(shè)置搜索區(qū)域112，所以可以設(shè)置面積測量工具的測量區(qū)域112’，只要它是基于搜索區(qū)域中心620的即可。
[0228]由此，通過在引腳缺失位置設(shè)置面積測量工具測量區(qū)域112’，可以檢測引腳是否錯誤地形成而不管是否有外界物體附接至一個引腳缺失位置或該引腳缺失位置。
[0229]對于搜索區(qū)域中心620和參考點120，諸如具有不同顏色的十字形標(biāo)記之類的標(biāo)記被標(biāo)記以便能容易地獲知它們的位置。
[0230]〈內(nèi)部處理〉
[0231]此處,將描述CPU22和圖像處理部分30所實現(xiàn)的功能。每個功能可僅僅由CPU22實現(xiàn)，僅僅由圖像處理部分30實現(xiàn)，或者由CPU22和圖像處理部分30的組合操作實現(xiàn)。
[0232]圖62是外觀檢查設(shè)備I的功能框圖。如以上利用圖2所描述的那樣，照明設(shè)備5作為向檢查對象8照射多個不同束的照明光的照明部分。照明控制部分26根據(jù)來自CPU22或圖像處理部分30的指令來控制照明設(shè)備5，以使得照明設(shè)備5切換將被照射的照明光。相機(jī)4作為成像部分，其對采用照明設(shè)備5的照明燈照射的檢查對象8進(jìn)行成像。此外，夕卜觀檢查設(shè)備I是對相機(jī)4獲取的檢查對象8的圖像執(zhí)行測量處理的設(shè)備。
[0233]成像控制部分301是命令照明控制部分26切換諸如前燈或后燈之類的照明或命令相機(jī)4執(zhí)行成像的控制部分。在對檢查對象8進(jìn)行劃分和成像時，成像控制部分301還負(fù)責(zé)對相機(jī)4的控制以及對照明設(shè)備5的控制。
[0234]第一圖像存儲部分304存儲通過相機(jī)4對采用照明設(shè)備5的照明燈(例如，前燈)照射的檢查對象8的預(yù)定區(qū)域(例如，整個連接器或連接器的左端、中間或右端)進(jìn)行成像操作而獲取的第一圖像(例如，前燈圖像、其部分圖像等)。第二圖像存儲部分305存儲通過相機(jī)4對采用照明設(shè)備5的照明燈(例如，后燈)照射的檢查對象8的預(yù)定區(qū)域進(jìn)行成像操作而獲取的第二圖像(例如，后燈圖像、其部分圖像等)。第一圖像存儲部分304或第二圖像存儲部分305，例如，由工作存儲器23實現(xiàn)。顯示控制部分28或監(jiān)視器10作為顯示第一圖像和第二圖像的顯示部分。
[0235]UI控制部分310控制諸如上述Π60之類的顯示系統(tǒng)用戶界面以及諸如鼠標(biāo)9或鍵盤之類的輸入系統(tǒng)界面。Π控制部分310被進(jìn)一步分成各種功能部分。參數(shù)設(shè)置部分330設(shè)置多個參數(shù)(包括作為將被測量的部分的圖像的模型圖像)以及針對諸如參考圖像之類的基礎(chǔ)圖像的測量處理所需的數(shù)值。參數(shù)設(shè)置部分330被進(jìn)一步分成各種功能部分。如上利用圖21至圖25所描述的那樣，第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置特征部分(例如，引腳檢測點)，作為用于測量與監(jiān)視器10上顯示的第一和第二圖像中的一個圖像中的檢查對象8相關(guān)的尺寸的初始點。
[0236]如上利用圖30至圖37所描述的那樣，第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312設(shè)置特征部分(例如，用于外殼角部的檢測點，在多個檢測點之間進(jìn)行連接的參考線等)，作為用于測量與監(jiān)視器10上顯示的第一和第二圖像中的另一個圖像中的檢查對象8相關(guān)的尺寸的結(jié)束點。第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311或第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312設(shè)置的諸如模型圖像、參考點和參考線之類的數(shù)據(jù)被存儲在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中。特征數(shù)據(jù)存儲部分306由工作存儲器23實現(xiàn)。
[0237]尺寸計算部分302作為一個利用由相機(jī)4對將在線路上傳遞的檢查對象8進(jìn)行成像并獲取的圖像的多個參數(shù)來對檢查對象8執(zhí)行測量處理的測量處理部分。例如，尺寸計算部分302計算從作為第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置的初始點的特征部分至作為第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312設(shè)置的結(jié)束點的特征部分的尺寸。此處，尺寸是距離、面積等。
[0238]UI控制部分310可具有閾值設(shè)置部分313，其設(shè)置用于確定檢查對象8的外觀的質(zhì)量的閾值。質(zhì)量確定部分303根據(jù)測量處理部分的測量結(jié)果(尺寸計算部分302計算的尺寸與閾值之間的比較結(jié)果等)來確定檢查對象8的外觀的質(zhì)量。例如，當(dāng)尺寸計算部分302針對多個引腳中的每個獲取的引腳高度超過閾值設(shè)置部分313根據(jù)公差或標(biāo)準(zhǔn)值獲取的上限時，質(zhì)量確定部分303確定引腳是有缺陷的。
[0239]如利用圖6等所描述的那樣，UI控制部分310創(chuàng)建其中監(jiān)視器10同時顯示第一圖像和第二圖像使得第一圖像的水平方向的末端與第二圖像的水平方向的末端一致的用戶界面的顯示數(shù)據(jù)，并將所創(chuàng)建的顯示數(shù)據(jù)傳遞給顯示控制部分28。S卩，通過對齊第一圖像的水平方向上的末端以及第二圖像的水平方向上的末端，Π控制部分310創(chuàng)建顯示數(shù)據(jù)以使得監(jiān)視器10垂直地布置并顯示第一圖像和第二圖像。此外，UI控制部分310創(chuàng)建顯示數(shù)據(jù)以使得表示針對第一和第二圖像中的一個圖像設(shè)置的初始點的特征部分的標(biāo)志(例如，表示搜索區(qū)域、檢查區(qū)域或檢測點的十字形標(biāo)記等)與第一和第二圖像中的另一圖像相關(guān)聯(lián)地顯示。Π控制部分310可創(chuàng)建用于與第一和第二圖像中的一個圖像相關(guān)聯(lián)地顯示表示作為針對第一和第二圖像中的另一圖像設(shè)置的結(jié)束點的特征部分的標(biāo)志的顯示數(shù)據(jù)。由此，在Π60中，表示搜索區(qū)域、檢查區(qū)域或檢測點的十字形標(biāo)記等被配置成在前燈圖像和后燈圖像之間關(guān)聯(lián)地顯示。例如，Π控制部分310還在前燈圖像上直接設(shè)置并顯示利用后燈圖像設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點。當(dāng)后燈圖像的原點被設(shè)置在后燈圖像的左上角，前燈圖像的原點被設(shè)置在前燈圖像的左上角時，使得利用后燈圖像設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點的坐標(biāo)與利用前燈圖像設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點的坐標(biāo)一致。由此，當(dāng)前燈圖像的原點設(shè)置在前燈圖像的左上角時，UI控制部分310使得利用后燈圖像設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點與利用前燈圖像設(shè)置的搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和檢測點關(guān)聯(lián)顯不。
[0240]第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311和第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312將參考點82、85、120、131、171、172、173、174、200和210 (圖像上的一個或多個位置的坐標(biāo))設(shè)置為特征部分。
[0241]如利用圖21等描述的那樣，Π控制部分310可創(chuàng)建用于使監(jiān)視器10放大并顯示圖像之一的顯示數(shù)據(jù)。第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311根據(jù)鼠標(biāo)9的操作而在監(jiān)視器10上放大并顯示該圖像上設(shè)置的特征部分。
[0242]如利用圖30等描述的那樣，Π控制部分310可創(chuàng)建用于使使監(jiān)視器10放大并顯示另一圖像的顯示數(shù)據(jù)。第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312根據(jù)鼠標(biāo)9的操作而在監(jiān)視器10上放大并顯示的該另一圖像上設(shè)置特征部分。
[0243]如上利用圖35至圖37描述的那樣，第二測量目標(biāo)設(shè)置部分312可設(shè)置參考線81(連接針對該另一圖像指定的兩個參考點的直線)作為特征部分。具體地說，當(dāng)外殼40的角部被設(shè)置為參考點時，很難檢測前燈圖像中的角部。通過設(shè)置外殼40的角部作為后燈圖像的參考點，可以精確地檢測角部的位置。相應(yīng)地，還可以精確地計算從引腳中央至角部的距離。而且，對產(chǎn)品質(zhì)量確定的精度得以改善。
[0244]如上利用圖5等描述的那樣，圖像連接部分321通過按照成像順序從左至右地布置并連接由相機(jī)4多次對檢查對象8進(jìn)行劃分和成像所獲取的多個局部圖像來創(chuàng)建第一圖像和第二圖像。此處，圖像連接部分321可利用構(gòu)成第一圖像的多個局部圖像的連接位置(例如，共同成像的引腳或標(biāo)記的位置)的坐標(biāo)，來連接構(gòu)成第二圖像的多個局部圖像。Π控制部分310可進(jìn)一步包括在第一圖像中設(shè)置連接位置的連接位置設(shè)置部分314。連接位置設(shè)置部分314可將相鄰的局部圖像中共同示出的檢查對象部分(例如，引腳，金屬附件等)的位置設(shè)置為連接位置。如上利用圖45至圖49所述的那樣，連接位置設(shè)置部分314可將固定了相鄰的局部圖像中共同示出的檢查對象的夾具部分(例如，標(biāo)記170)的位置設(shè)置成連接位置。
[0245]圖像連接部分321通過將檢查對象8的左右兩端的局部圖像布置在第二圖像的兩端、并省略檢查對象8的中部的圖像，可創(chuàng)建第二圖像。
[0246]在圖62中，圖像識別部分322將示出了通過UI控制部分310設(shè)置的檢查對象8的無缺陷產(chǎn)品的部分的模型圖像與相機(jī)4獲取的在線路上流轉(zhuǎn)的檢查對象8的圖像進(jìn)行比較，并通過圖案識別來指定與模型圖像一致的部分。圖像識別部分322在預(yù)設(shè)的搜索區(qū)域的一個范圍內(nèi)搜索模型圖像。具有與模型圖像的尺寸相同的尺寸的圖像區(qū)域成為檢查區(qū)域。與模型圖像一致的檢查區(qū)域的中心作為參考點。可通過Π控制部分精細(xì)地調(diào)節(jié)參考點。搜索區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)或者參考點(檢測點)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)被存儲在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中，并且被圖像識別部分322、圖像連接部分321和坐標(biāo)計算部分323使用。坐標(biāo)計算部分323根據(jù)表示鼠標(biāo)9的光標(biāo)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)的位置以及后燈圖像或前燈圖像的坐標(biāo)數(shù)據(jù)來計算搜索區(qū)域、檢查區(qū)域和參考點的坐標(biāo)。
[0247]基礎(chǔ)圖像存儲部分337存儲通過相機(jī)4對具有在具體方向上排列的多個特征部分(例如，具有根據(jù)固定規(guī)則排列的相同形狀的引腳63)的檢查對象8成像而獲取的基礎(chǔ)圖像。UI控制部分310在監(jiān)視器10上顯示檢查對象8的基礎(chǔ)圖像，如圖52至圖54、圖56至圖58等所示。第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311作為位置檢測區(qū)域設(shè)置部分，其向監(jiān)視器10上顯示的基礎(chǔ)圖像設(shè)置用于根據(jù)每個特征部分檢測檢查對象8的多個特征部分的位置的位置檢測區(qū)域(例如，搜索區(qū)域112)。第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311可設(shè)置用于搜索特征部分和檢測點(作為與搜索區(qū)域內(nèi)檢測到的特征部分的位置相關(guān)的位置檢測的參考)的搜索區(qū)域，作為位置檢測區(qū)域。例如，第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311可在搜索區(qū)域內(nèi)將針對與模型圖像一致的檢查區(qū)域的諸如右上角、左上角、中心之類的檢查區(qū)域預(yù)定的坐標(biāo)，設(shè)置為檢測點。用戶可以針對各個引腳逐個地設(shè)置位置檢測區(qū)域，或者第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311利用各個引腳是等間距布置的這一事實來等間距地布置位置檢測區(qū)域。
[0248]測量工具選擇部分331從執(zhí)行不同測量的多個測量工具中選擇測量檢查對象8的測量工具。當(dāng)感測到圖52所示工具添加按鈕600已經(jīng)被鼠標(biāo)9操作時，測量工具選擇部分331顯示用于從多個測量工具中選擇一個測量工具的選擇屏幕，并在選擇屏幕中選擇利用鼠標(biāo)9指定的測量工具。在圖52所示的示例中，已經(jīng)添加了連接器外觀檢查(面積)工具。當(dāng)利用鼠標(biāo)9選擇了在圖52中布置為按鈕的連接器外觀檢查(面積)工具時，測量工具選擇部分331使圖53所示的設(shè)置屏幕顯示在監(jiān)視器10上。
[0249]測量區(qū)域設(shè)置部分332根據(jù)第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置的位置檢測區(qū)域(例如，參考點120或搜索區(qū)域112)，設(shè)置作為測量工具選擇部分331所選的測量工具將要測量的區(qū)域的測量區(qū)域112’。如利用圖53和圖55至圖58描述的那樣，測量區(qū)域設(shè)置部分332通過復(fù)制參考點120或搜索區(qū)域112的坐標(biāo)數(shù)據(jù)來設(shè)置測量區(qū)域112’。如利用圖53和圖55至圖58描述的那樣，監(jiān)視器10將測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’與基礎(chǔ)圖像一起顯示。質(zhì)量確定部分303根據(jù)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’來測量線路上傳遞的檢查對象8，并根據(jù)測量結(jié)果確定檢查對象8的質(zhì)量。
[0250]測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333根據(jù)第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置的位置檢測區(qū)域來調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’的位置和尺寸中的至少一個。如利用圖57描述的那樣，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333根據(jù)利用鼠標(biāo)9對光標(biāo)650的操作，移動測量區(qū)域112’的位置，或者放大或縮小測量區(qū)域112’的尺寸。測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333可以以相等的調(diào)節(jié)量調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的多個測量區(qū)域112’的位置或尺寸中的每一個。類似地，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333可以以相等的調(diào)節(jié)量來調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的多個測量區(qū)域112’的角度。測量區(qū)域112’是可旋轉(zhuǎn)的。所以，多個測量區(qū)域112’的每一個可以相等的角度旋轉(zhuǎn)。用戶利用鼠標(biāo)來拖拽一個測量區(qū)域112’，使得可調(diào)節(jié)測量區(qū)域112’的位置和尺寸，并且調(diào)節(jié)量也可以反映在另一測量區(qū)域112’中。即，所有測量區(qū)域112’被配置成以相等的調(diào)節(jié)量進(jìn)行調(diào)節(jié)。然而，當(dāng)在兩行中布置引腳時，可在第一和第二行中分別執(zhí)行調(diào)節(jié)，并且可在第一和第二行中整合并反映該調(diào)節(jié)?？商鎿Q地，可以不執(zhí)行借助這種關(guān)聯(lián)的調(diào)節(jié)。即，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333可根據(jù)鼠標(biāo)9的操作量來單獨地調(diào)節(jié)一個或多個利用鼠標(biāo)9選擇的測量區(qū)域112’。由此，可利用鼠標(biāo)9準(zhǔn)備并切換連續(xù)保持模式和單獨調(diào)節(jié)模式。
[0251 ] 如利用圖59描述的那樣，第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置作為位置檢測參考的檢測點(參考點120)，以及設(shè)置用于通過圖案識別搜索與特征部分的模型圖像一致的圖像的搜索區(qū)域112，作為位置檢測區(qū)域。如利用圖60和圖61描述的那樣，測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置測量區(qū)域112’以便追蹤檢測點(參考點120)或搜索區(qū)域112的搜索區(qū)域中心620。追蹤目標(biāo)選擇部分334根據(jù)用戶輸入來選擇參考點120或搜索區(qū)域中心620作為測量區(qū)域的追蹤目標(biāo)。如利用圖53所描述的那樣，追蹤目標(biāo)選擇部分334通過用于選擇追蹤點的追蹤點選擇部分603來識別參考點120和搜索區(qū)域中心620中的哪個已經(jīng)被用戶選擇為測量區(qū)域的追蹤目標(biāo)。
[0252]如利用圖55描述的那樣，柱狀圖創(chuàng)建部分335創(chuàng)建表示測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’的圖像密度的柱狀圖。監(jiān)視器10顯示柱狀圖創(chuàng)建部分335創(chuàng)建的柱狀圖。用戶可檢查是否通過查看柱狀圖精確地設(shè)置了測量區(qū)域112’。
[0253]如利用圖57描述的那樣，當(dāng)連接器中存在引腳缺失時，設(shè)置無效部分226使多個搜索區(qū)域112中與引腳缺失相對應(yīng)的一個或多個搜索區(qū)域無效，作為被排除的引腳。在這種情況下，測量區(qū)域設(shè)置部分332取消了對被設(shè)置無效部分226無效的搜索區(qū)域112的無效。通過檢查如上所述的與被排除引腳相對應(yīng)的復(fù)選框來取消無效。測量區(qū)域設(shè)置部分332根據(jù)其中已經(jīng)取消了無效的搜索區(qū)域112來設(shè)置測量區(qū)域112’。另一方面，設(shè)置無效部分226可根據(jù)用戶對鼠標(biāo)9的操作來無效掉位置檢測區(qū)域設(shè)置部分所無效的多個位置檢測區(qū)域中的一個或多個位置檢測區(qū)域。尺寸檢查中的必要區(qū)域?qū)τ诹硪煌庥^檢查可能是不必要的。在這種情況下，設(shè)置無效部分226使其其位置檢測區(qū)域無效，因此測量區(qū)域設(shè)置部分332不能參考被無效的位置檢測區(qū)域。
[0254]UI控制部分310使監(jiān)視器10在基礎(chǔ)圖像上覆蓋并顯示一個表示特征部分的位置的標(biāo)記(十字形標(biāo)記等)。
[0255]圖63是圖示根據(jù)該實施例的外觀檢查方法的流程圖。
[0256]在S631，成像控制部分301控制相機(jī)4，通過對具有根據(jù)固定規(guī)則布置的基本相同的形狀的多個特征部分的檢查對象(無缺陷檢查對象8)成像來獲取基礎(chǔ)圖像，并在基礎(chǔ)圖像存儲部分337中存儲獲取的基礎(chǔ)圖像。
[0257]在S632，第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311通過顯示控制部分28使監(jiān)視器10顯示基礎(chǔ)圖像。
[0258]在S633，第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置參考點120、檢查區(qū)域113和搜索區(qū)域112，用于針對監(jiān)視器10上顯示的基礎(chǔ)圖像中的每個特征部分檢測檢查對象8的多個特征部分的位置。參考點120、檢查區(qū)域113和搜索區(qū)域112的數(shù)據(jù)被存儲在特征數(shù)據(jù)存儲部分306 中。
[0259]在S634，測量工具選擇部分331從用于執(zhí)行不同測量的多個測量工具中選擇測量檢查對象8的測量工具(例如，面積測量工具)。面積測量工具僅僅是示例性的。本發(fā)明可類似地應(yīng)用至其中可參考連接器尺寸檢查工具的參考點120或搜索區(qū)域112來設(shè)置的測量區(qū)域的任何測量工具。測量區(qū)域的數(shù)據(jù)被存儲在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中。
[0260]在S635，測量區(qū)域設(shè)置部分332根據(jù)設(shè)置的參考點120或設(shè)置的搜索區(qū)域112來設(shè)置所選擇的測量工具的測量區(qū)域112’。該測量區(qū)域設(shè)置處理將利用圖64來詳細(xì)描述。
[0261]在S636，成像控制部分301控制相機(jī)4，并通過對線路上傳送的檢查對象8進(jìn)行成像來獲取檢查圖像。
[0262]在S637，尺寸計算部分302利用連接器尺寸檢查工具或面積測量工具執(zhí)行對檢查圖像的測量。由此，測量前面描述的引腳高度、引腳面積、引腳之間的面積等。 [0263]在S638，質(zhì)量確定部分303通過將尺寸計算部分302輸出的測量結(jié)果與質(zhì)量確定閾值進(jìn)行比較，來確定檢查對象8的質(zhì)量。例如,如果引腳高度超過閾值,則質(zhì)量確定部分303確定特定引腳是有缺陷的。如果引腳面積超過毛刺檢測閾值，則質(zhì)量確定部分303確定引腳中出現(xiàn)金屬毛刺(即，引腳是有缺陷的)。這些閾值是由閾值設(shè)置部分313預(yù)設(shè)的。此外，如果測量的面積超過樹脂霧翳檢測閾值，則質(zhì)量確定部分303確定引腳中出現(xiàn)樹脂霧翳(B卩，引腳有缺陷)。此外，如果設(shè)置了引腳缺失處的位置的樹脂面積沒有超過污染檢測量的閾值，則質(zhì)量確定部分303確定出現(xiàn)了污染或者錯誤地形成了引腳(即，該部分是有缺陷的)。這是因為，如果附著了外界物體或者如果形成了引腳，則樹脂的面積小于期望面積。
[0264]圖64是圖示出測量區(qū)域設(shè)置方法的流程圖。測量區(qū)域設(shè)置方法對應(yīng)于圖63所示的 S635。
[0265]在S641，追蹤目標(biāo)選擇部分334根據(jù)鼠標(biāo)9的操作來選擇將被測量區(qū)域112’追蹤的目標(biāo)(例如，參考點120或搜索區(qū)域中心620)。
[0266]在S642，測量區(qū)域設(shè)置部分332確定檢測點追蹤是否已經(jīng)被追蹤目標(biāo)選擇部分334選擇(B卩，追蹤參考點120的操作)。當(dāng)檢測點追蹤已經(jīng)被選擇時，處理進(jìn)入S643。當(dāng)搜索區(qū)域中心追蹤已經(jīng)被選擇時，處理進(jìn)入S646。
[0267].檢測點追蹤
[0268]在S643，測量區(qū)域設(shè)置部分332讀取并獲取特征數(shù)據(jù)存儲部分306中存儲的每個引腳的參考點120的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。測量區(qū)域設(shè)置部分332地基于參考點120來暫時設(shè)置測量區(qū)域112’，并使監(jiān)視器10顯示暫時設(shè)置的測量區(qū)域112’。例如，在缺省狀態(tài)下，測量區(qū)域112’的中心被設(shè)置為參考點120。此外，測量區(qū)域112’的尺寸也被設(shè)置為預(yù)定的給定尺寸。用戶調(diào)節(jié)通過操作鼠標(biāo)9而顯示的一個測量區(qū)域112’的尺寸和位置。
[0269]在S644，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333根據(jù)鼠標(biāo)9的操作來調(diào)芐基于參考點120設(shè)置的測量區(qū)域112’的位置和尺寸，并在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中存儲此時的位置和尺寸的調(diào)節(jié)量作為偏移量。
[0270]在S645，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333為剩下的測量區(qū)域112’設(shè)置相同的偏移量。由此，以距離每個參考點120的偏移量的位置偏移布置每個測量區(qū)域112’。此外，尺寸的調(diào)節(jié)結(jié)果也反映在每個測量區(qū)域112’中。布局結(jié)果被實時地顯示在監(jiān)視器10上。
[0271]?搜索區(qū)域追蹤
[0272]在S646，測量區(qū)域設(shè)置部分332讀取并獲取在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中存儲的所有引腳的搜索區(qū)域112的搜索區(qū)域中心620的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。測量區(qū)域設(shè)置部分332暫時地基于搜索區(qū)域中心620來設(shè)置測量區(qū)域112’，并使監(jiān)視器10顯示測量區(qū)域112’。例如，在缺省狀態(tài)下，測量區(qū)域112’的中心被設(shè)置為搜索區(qū)域中心620。此外，測量區(qū)域112’的尺寸也被設(shè)置為預(yù)定的給定尺寸。用戶調(diào)節(jié)通過操作鼠標(biāo)9而顯示的一個測量區(qū)域112’的尺寸和位置。
[0273]在S647，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333根據(jù)鼠標(biāo)9的操作來調(diào)節(jié)基于搜索區(qū)域中心620設(shè)置的測量區(qū)域112’的位置和尺寸，并在特征數(shù)據(jù)存儲部分306中存儲此時的位置和尺寸的調(diào)節(jié)量作為偏移量。
[0274]在S648，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333為剩下的測量區(qū)域112’設(shè)置相同的偏移量。由此，以距離每個搜索區(qū)域中心620的偏移量的位置偏移布置每個測量區(qū)域112’。此外，尺寸的調(diào)節(jié)結(jié)果也反映在每個測量區(qū)域112’中。布局結(jié)果被實時地顯示在監(jiān)視器10上。
[0275]如上所述，根據(jù)本實施例，針對通過對無缺陷產(chǎn)品成像而獲取的基礎(chǔ)圖像設(shè)置參考點120或搜索區(qū)域112，作為用于諸如連接器尺寸檢查工具之類的第一測量工具的測量參考。接下來，用戶選擇執(zhí)行與第一測量工具不同的測量的諸如面積測量工具之類的第二測量工具。對于測量區(qū)域112’ (即，針對第二測量工具在其中測量檢查對象的特征部分(例如，引腳等)的基礎(chǔ)圖像設(shè)置的一個區(qū)域)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，在必要時調(diào)節(jié)并參考針對第一測量工具設(shè)置的參考點120或搜索區(qū)域112的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。由此，根據(jù)本實施例，通過參考針對將由外觀檢查設(shè)備I使用的多個測量工具中的特定測量工具而被設(shè)置為另一測量工具的測量區(qū)域的測量區(qū)域，可降低用戶的負(fù)擔(dān)。例如，由于區(qū)域設(shè)置間隔在多行引腳布置的連接器中不是固定的，所以現(xiàn)有技術(shù)中用戶的負(fù)擔(dān)是較重的。在本發(fā)明中，用于外觀檢查的測量區(qū)域被配置成簡單設(shè)置，這是因為參考了尺寸測量的設(shè)置或測量結(jié)果。
[0276]例如，參考點120是作為特征部分的位置檢測的參考的檢測點，并且搜索區(qū)域112是用于通過圖案識別搜索出與基礎(chǔ)圖像中的檢查區(qū)域113的區(qū)域裁剪出的特征部分的模型圖像一致的圖像的區(qū)域。模型圖像在搜索區(qū)域112內(nèi)垂直或水平地移動，并且計算相似度。測量區(qū)域設(shè)置部分332將測量區(qū)域112’設(shè)置為追蹤參考點120或者搜索區(qū)域112。當(dāng)多個特征部分具有基本相同形狀并根據(jù)固定規(guī)則布置時，參考點120或搜索區(qū)域112也根據(jù)固定規(guī)則布置。即，參考點120或搜索區(qū)域112的坐標(biāo)與測量區(qū)域112’的坐標(biāo)之間存在關(guān)聯(lián)。由此，如果將測量區(qū)域112’設(shè)置成追蹤參考點120或搜索區(qū)域112，則可以精確地布置測量區(qū)域112’。
[0277]如上所述，當(dāng)檢查對象8中存在引腳缺失或引腳彎曲時，參考點120和搜索區(qū)域112中的哪一個將追蹤測量區(qū)域112’對于改進(jìn)工作效率來說是很重要的。在本實施例中，追蹤目標(biāo)選擇部分334根據(jù)用戶輸入來選擇參考點120或搜索區(qū)域112作為測量區(qū)域112’的追蹤目標(biāo)。如利用圖60所描述的那樣，如果連接器尺寸檢查工具的參考點120被選為追蹤目標(biāo)以便精確地設(shè)置用于在存在引腳彎曲時測量引腳面積的測量區(qū)域112’，則用戶的工作負(fù)擔(dān)可以減輕。另一方面，如利用圖61所描述的那樣，如果連接器尺寸檢查工具的搜索區(qū)域112 (具體地說，搜索區(qū)域中心620)被選為追蹤目標(biāo)以便精確地設(shè)置用于在存在引腳彎曲時測量引腳面積的測量區(qū)域112’，則用戶的工作負(fù)擔(dān)可以減輕。
[0278]測量區(qū)域112’的尺寸和位置可能不與搜索區(qū)域112的尺寸和位置一致。S卩，存在這樣的情況，其中應(yīng)該基于第一測量目標(biāo)設(shè)置部分311設(shè)置的針對連接器尺寸檢查工具的位置檢測區(qū)域來調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’的位置和尺寸中的至少一個。相應(yīng)地，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333可根據(jù)使用鼠標(biāo)9的光標(biāo)650的操作來調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的測量區(qū)域112’的位置和尺寸中的至少一個。
[0279]在必須精細(xì)地調(diào)節(jié)多個測量區(qū)域112’的位置和尺寸中的每一個時，通過鼠標(biāo)9的操作以對多個測量區(qū)域112’中的每一個進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié)的用戶工作負(fù)擔(dān)是較重的。另一方面，在本實施例中，假設(shè)多個特征部分具有基本相同的形狀并根據(jù)固定規(guī)則布置。由此，在使用這種規(guī)律性時，可以簡單地通過調(diào)節(jié)一個測量區(qū)域112’來在剩下的其它測量區(qū)域112’中反映調(diào)節(jié)結(jié)果。相應(yīng)地，在本實施例中，測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分333可以與鼠標(biāo)9的操作量相關(guān)聯(lián)地以相等的調(diào)節(jié)量來調(diào)節(jié)測量區(qū)域設(shè)置部分332設(shè)置的多個測量區(qū)域112’的位置或尺寸中的每一個。由此，可以顯著地減輕用戶的工作負(fù)擔(dān)。
[0280]根據(jù)本實施例，可以顯示表示測量區(qū)域112’的圖像密度的柱狀圖。用戶可容易地在精細(xì)調(diào)節(jié)測量區(qū)域112’時實時地確定是否通過檢查柱狀圖精確地設(shè)置了測量區(qū)域112，。
[0281]如上所述，在存在引腳缺失時，在連接器尺寸檢查工具中使引腳的引腳位置檢測區(qū)域無效。然而，可以期望的是檢查是否附著了外界物體或者是否在引腳缺失位置處錯誤地形成了引腳。在這種情況下，必須也在引腳缺失位置處設(shè)置測量區(qū)域112’。由此，測量區(qū)域設(shè)置部分332取消了對由于引腳缺失而被無效的位置檢測區(qū)域的無效，并基于該位置檢測區(qū)域設(shè)置測量區(qū)域112’。由此，即使存在特征部分的缺失，也能設(shè)置測量區(qū)域112’。
[0282]此外，Π控制部分310在基礎(chǔ)圖像上覆蓋并顯示表示特征部分位置的標(biāo)記。由此，用戶可容易地識別出特征部分的位置。
[0283]雖然已經(jīng)在本實施例中描述了其中面積測量工具參考連接器尺寸檢查工具的參數(shù)的示例，本發(fā)明并非必須限于此。基于諸如上述邊緣位置測量工具、邊緣角度測量工具、邊緣寬度測量工具、邊緣間距測量工具、面積測量工具、污點測量工具、圖案搜索測量工具、劃痕測量工具、OCR識別工具、趨勢邊緣工具、灰度工具以及密度工具之類的多個測量工具中的特征部分來設(shè)置參數(shù)。由此，一個測量工具的參數(shù)可類似地被參考作為另一測量工具的參數(shù)。
[0284]雖然圖案搜索已經(jīng)在本實施例中被描述為弓I腳位置檢測方法，但是也可以采用另一方法。例如，利用幾何搜索來檢測引腳位置的方法、通過應(yīng)用邊緣檢測來檢測引腳位置的方法、通過應(yīng)用污點檢測來檢測引腳位置的方法等都可用來替換該圖案搜索。
【權(quán)利要求】
1.一種外觀檢查設(shè)備，包括: 基礎(chǔ)圖像存儲部分，其存儲通過對具有在特定方向上排列的多個特征部分的檢查對象進(jìn)行成像而得到的基礎(chǔ)圖像； 顯示部分，其顯示所述基礎(chǔ)圖像； 位置檢測區(qū)域設(shè)置部分，其根據(jù)每個特征部分，向所述顯示部分上所顯示的基礎(chǔ)圖像，設(shè)置用于檢測所述檢查對象的所述多個特征部分的位置的位置檢測區(qū)域； 測量工具選擇部分，其從用于執(zhí)行不同測量的多個測量工具中選擇測量工具以測量所述檢查對象； 測量區(qū)域設(shè)置部分，其根據(jù)所述位置檢測區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的位置檢測區(qū)域來設(shè)置測量區(qū)域，所述測量區(qū)域是將被所述測量工具選擇部分所選的測量工具進(jìn)行測量的區(qū)域；以及 質(zhì)量確定部分，其根據(jù)所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的測量區(qū)域來執(zhí)行測量，并且根據(jù)測量結(jié)果來確定所述檢查對象是良好的還是有缺陷的，其中 所述顯示部分將所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的測量區(qū)域與所述基礎(chǔ)圖像一起顯示。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查設(shè)備，其中: 所述位置檢測區(qū)域設(shè)置部分設(shè)置一個搜索區(qū)域作為所述位置檢測區(qū)域，其中所述搜索區(qū)域用于搜索所述特征部分、以及與在所述搜索區(qū)域內(nèi)檢測到的所述特征部分的位置相關(guān)聯(lián)的并且作為位置檢測的參考的檢測點，并且 所述測量區(qū)域設(shè)置部分設(shè)置所述測量區(qū)域以便追蹤所述檢測點或所述搜索區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查設(shè)備，還包括: 追蹤目標(biāo)選擇部分，其根據(jù)用戶輸入來選擇所述檢測點或所述搜索區(qū)域作為所述測量區(qū)域的追蹤目標(biāo)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查設(shè)備，還包括: 測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分，其基于所述位置檢測區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的位置檢測區(qū)域來調(diào)節(jié)由所述測量區(qū)域設(shè)置部分設(shè)置的測量區(qū)域的位置和尺寸中的至少一個。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的外觀檢查設(shè)備，其中所述測量區(qū)域調(diào)節(jié)部分以相等的調(diào)節(jié)量來調(diào)節(jié)所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的多個測量區(qū)域中的每一個的位置、尺寸和角度中的至少一個。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查設(shè)備，還包括: 柱狀圖創(chuàng)建部分，其創(chuàng)建表示所述測量區(qū)域設(shè)置部分所設(shè)置的測量區(qū)域的圖像密度的柱狀圖，其中 所述顯示部分顯示所述柱狀圖創(chuàng)建部分所創(chuàng)建的柱狀圖。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查設(shè)備，其中: 當(dāng)所述位置檢測區(qū)域設(shè)置部分使多個位置檢測區(qū)域中的一個或多個位置檢測區(qū)域無效時，所述測量區(qū)域設(shè)置部分取消所述一個或多個位置檢測區(qū)域的無效，并基于其中已經(jīng)取消了無效的所述一個或多個位置檢測區(qū)域來設(shè)置所述測量區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查設(shè)備，其中所述顯示部分執(zhí)行在所述基礎(chǔ)圖像上覆蓋并顯示表示所述特征部分的位置的標(biāo)記。
9.一種外觀檢查方法，包括步驟:獲取通過對具有在特定方向上排列的多個特征部分的檢查對象進(jìn)行成像而得到的基礎(chǔ)圖像； 在顯示部分上顯示所述基礎(chǔ)圖像； 根據(jù)每個特征部分，向所述顯示部分上所顯示的基礎(chǔ)圖像，設(shè)置用于檢測所述檢查對象的多個特征部分的位置的位置檢測區(qū)域； 從用于執(zhí)行不同測量的多個測量工具中選擇測量所述檢查對象的測量工具； 根據(jù)所設(shè)置的位置檢測區(qū)域來設(shè)置測量區(qū)域，所述測量區(qū)域是將被所選的測量工具進(jìn)行測量的區(qū)域； 通過對所述檢查對象進(jìn)行成像來獲取檢查圖像；以及 根據(jù)所設(shè)置的測量區(qū)域來針對所述檢查圖像執(zhí)行測量，并且根據(jù)測量結(jié)果來確定所述檢查對象的質(zhì)量。
10.一種用于使計算機(jī) 執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求9所述的外觀檢查方法的步驟的程序。
【文檔編號】G01N21/88GK103674961SQ201310421768
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月14日
【發(fā)明者】生島靖久 申請人:株式會社其恩斯