檢查單元、探針卡、檢查裝置以及檢查裝置用的控制系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】檢查單元、探針卡、檢查裝置以及檢查裝置用的控制系統(tǒng)。提供了探針卡隔著真空室與連接體一體化的檢查單元。該檢查單元防止了設(shè)置在探針卡上的探針的頂端的平面度在探針卡由于真空室的吸力（負(fù)壓）而與連接體一體化時(shí)劣化。檢查單元包括：探針卡，其在其第一表面具有探針；和連接體，其隔著第一真空室與探針卡的第二表面一體化。第一真空室形成有多個(gè)室。
【專(zhuān)利說(shuō)明】檢查單元、探針卡、檢查裝置以及檢查裝置用的控制系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于在半導(dǎo)體集成電路等的通電測(cè)試(energization test)中使用的接觸式檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)地，在諸如半導(dǎo)體集成電路等測(cè)試物體上進(jìn)行通電測(cè)試以確定測(cè)試物體是否被生產(chǎn)為精確的規(guī)格。在該通電測(cè)試中使用如下檢查裝置:設(shè)置有探針卡的檢查單元安裝至該檢查裝置，該探針卡具有壓抵測(cè)試物體的各個(gè)電極的探針。這種類(lèi)型的檢查單元被用于將測(cè)試物體的電極電連接至用于檢查的測(cè)試器。
[0003]在該通電測(cè)試中使用的檢查單元包括探針卡、彈簧針座、配線(xiàn)板和基準(zhǔn)體，其中，探針卡在第一表面具有待與測(cè)試物體接觸的多個(gè)探針，彈簧針座位于探針卡的第二表面?zhèn)申蚺渚€(xiàn)板相對(duì)于彈簧針座位于探針卡所在側(cè)的相反側(cè)并且經(jīng)由貫穿彈簧針座延伸的彈簧針電連接至探針卡的探針，基準(zhǔn)體相對(duì)于配線(xiàn)板位于作為連接體的彈簧針座所在側(cè)的相反側(cè)以防止探針卡彎曲或者扭曲。通過(guò)利用緊固部件使探針卡、彈簧針座、配線(xiàn)板和基準(zhǔn)體一體化來(lái)組裝檢查單元。
[0004]安裝在探針卡上的探針的數(shù)量至少為幾百，有時(shí)甚至多達(dá)幾萬(wàn)。
[0005]在上述傳統(tǒng)的探針中，當(dāng)重復(fù)進(jìn)行測(cè)試物體的檢查時(shí)，從探針卡的突出的量(即高度)由于磨損或其他原因而減少。因而，磨損的探針不能夠與測(cè)試物體的相應(yīng)的電極接觸。
[0006]即使當(dāng)一個(gè)探針由于磨損或其他原因而不能夠與測(cè)試物體的相應(yīng)的電極接觸時(shí)，檢查單元也不能夠?qū)崿F(xiàn)作為檢查單元的全部功能。在該情況下，必須將檢查單元更換成新的。然而，考慮到組成部件的有效使用，僅因?yàn)橐粋€(gè)探針的磨損而更換包括彈簧針座、配線(xiàn)板和基準(zhǔn)體在內(nèi)的整個(gè)檢查單元著實(shí)浪費(fèi)，這對(duì)用戶(hù)產(chǎn)生了顯著的經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)。
[0007]作為補(bǔ)救，存在如下測(cè)試物體檢查裝置:探針卡能夠與檢查單元的其他構(gòu)成部件分離，使得能夠僅更換探針卡而不是更換整個(gè)檢查單元(參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0008][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0009][專(zhuān)利文獻(xiàn)]
[0010][專(zhuān)利文獻(xiàn)I] JP2012_163410A
[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)I的圖1示出一種檢查單元，其包括周緣由板臺(tái)支承的探針卡、彈簧針座、配線(xiàn)板和作為“基準(zhǔn)體”的性能板。在該檢查單元中，探針卡能夠與彈簧針座、配線(xiàn)板和性能板(基準(zhǔn)體)分離。可分離結(jié)構(gòu)如下。
[0012]探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)通過(guò)基于在它們之間形成的真空室中的負(fù)壓的吸力而一體化。當(dāng)在真空室中產(chǎn)生負(fù)壓時(shí)，探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)一體化，當(dāng)真空室中的壓力返回至大氣壓時(shí)，探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)變得可分離。
[0013]真空室由設(shè)置在探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)之間的環(huán)狀密封構(gòu)件限定。當(dāng)使探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)從分離狀態(tài)而接觸時(shí)，密封構(gòu)件起到密封構(gòu)件的作用。然后，當(dāng)利用真空泵等將由密封構(gòu)件、探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)限定的空間減壓至期望的真空狀態(tài)(減壓狀態(tài))時(shí)，形成具有負(fù)壓的真空室。
[0014]當(dāng)探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)由于負(fù)壓而一體化時(shí)，由位于探針卡和性能板之間的錨定件(中間體)確定探針卡和性能板(基準(zhǔn)體)之間的相對(duì)位置。
[0015]當(dāng)更換探針卡時(shí)，真空室從真空狀態(tài)返回至大氣壓，由負(fù)壓產(chǎn)生的吸力消失，使得能夠?qū)⑻结樋ㄅc性能板(基準(zhǔn)體)分離。因此，能夠容易地更換檢查單元中的探針卡。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0017]在一些情況下，如圖10的(A)所示，在檢查單元中設(shè)置有多個(gè)中間體、即多個(gè)錨定件。在該檢查單元中，由于加工精度等問(wèn)題，錨定件90a、90b、90c、90d的從探針卡92突出的長(zhǎng)度可能具有變化。
[0018]例如，參照?qǐng)D10的(A)，當(dāng)錨定件90a、90b、90c、90d從探針卡92朝向基準(zhǔn)體94突出時(shí)，錨定件90b、90c、90d可以具有Z軸方向上的突出長(zhǎng)度Z2，該突出長(zhǎng)度Z2比錨定件90a的Z軸方向上的突出長(zhǎng)度Zl長(zhǎng)。在該情況下，當(dāng)探針卡92經(jīng)由錨定件與基準(zhǔn)體94接觸時(shí)，錨定件90b、90c、90d與基準(zhǔn)體94接觸，錨定件90a不與基準(zhǔn)體94接觸。
[0019]當(dāng)錨定件90a、90b、90c、90d具有Z軸方向上的不同的突出長(zhǎng)度時(shí)，使探針卡92與基準(zhǔn)體94 一體化所必需的真空度(基于負(fù)壓的吸力)取決于錨定件90a、90b、90c、90d的突出長(zhǎng)度而不同。
[0020]換言之，使錨定件90a與基準(zhǔn)體94接觸所必需的真空度大于使錨定件90b、90c、90d與基準(zhǔn)體94接觸所必需的真空度。
[0021]參照?qǐng)D10的(B)，抽取由探針卡92、基準(zhǔn)體94和密封構(gòu)件96限定的空間(真空室)98中的空氣以在該空間中產(chǎn)生負(fù)壓，從而使探針卡92和基準(zhǔn)體94 一體化。此時(shí)，錨定件90b、90c、90d首先與基準(zhǔn)體94接觸。然而，錨定件90a由于其真空度不能夠與基準(zhǔn)體94接觸。當(dāng)真空度增大時(shí)，錨定件90a才能夠與基準(zhǔn)體94接觸。
[0022]然而，因?yàn)橹淮嬖谝粋€(gè)真空室，所以產(chǎn)生了如下問(wèn)題。錨定件90b、90c、90d的突出長(zhǎng)度沒(méi)有從Z2變?yōu)閆l。因此，在錨定件90b與90c之間以及錨定件90c與90d之間，過(guò)大的真空度(與突出長(zhǎng)度Zl相應(yīng)的真空度(負(fù)壓))施加至探針卡92的中間部。結(jié)果，“中間部”被牽拉并且朝向基準(zhǔn)體94彎曲。
[0023]因此，因?yàn)樘结樋?2沿Z軸方向局部地彎曲，所以探針卡92的平面度整體上劣化。結(jié)果，從探針卡92朝向測(cè)試物體突出的探針的頂端沿垂向偏離。于是，由探針的頂端形成的XY平面的平面度可能劣化，從而不滿(mǎn)足規(guī)定要求(例如30 μ m以下)，使得不能夠進(jìn)行測(cè)試物體的檢查。
[0024]本發(fā)明的目的是，在探針卡隔著真空室與連接體一體化的檢查單元中，防止設(shè)置在探針卡上的探針的頂端的平面度在探針卡基于真空室中的真空度(負(fù)壓)而與連接體一體化時(shí)劣化。
[0025]用于解決問(wèn)題的方案
[0026]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面的檢查單元包括:探針卡，所述探針卡在其第一表面具有探針；以及連接體，所述連接體隔著第一真空室與所述探針卡的第二表面一體化，其中所述第一真空室形成有多個(gè)室。[0027]根據(jù)這一方面，因?yàn)樘结樋ㄅc連接體之間的第一真空室形成有多個(gè)室，所以能夠?qū)Ω鱾€(gè)真空室獨(dú)立地設(shè)定真空度。因此，與第一真空室構(gòu)造為單個(gè)真空室的情況相比，能夠在各個(gè)真空室中單獨(dú)地產(chǎn)生不使探針卡變形的真空度。因此，能夠防止設(shè)置在探針卡上的探針的頂端的平面度劣化。
[0028]本說(shuō)明書(shū)中的“探針卡”不包括彈簧針座、配線(xiàn)板和基準(zhǔn)體，主要由在一個(gè)表面上包括多個(gè)探針的配線(xiàn)板形成。
[0029]“連接體”典型地是指彈簧針座，但是該術(shù)語(yǔ)也可以用來(lái)指基準(zhǔn)體。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的第二方面的檢查單元的特征在于，在第一方面中，所述第一真空室形成為使得能夠獨(dú)立地控制真空室中的真空度。
[0031]根據(jù)該方面，因?yàn)樵跈z查單元中能夠獨(dú)立地控制真空室中的真空度，所以能夠在各個(gè)真空室中設(shè)定吸引連接體所必需的真空度。因此，由于沒(méi)有額外的壓力施加至設(shè)置真空室的探針卡，所以能夠防止探針卡的設(shè)置真空室的部分變形。因此，能夠防止設(shè)置在探針卡上的探針的頂端的平面度劣化。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的第三方面的檢查單元的特征在于，在第二或第二方面中，所述檢查單元還包括壓力傳感器和用于調(diào)節(jié)真空度的部件，所述壓力傳感器設(shè)置于所述第一真空室的各個(gè)真空室中，所述用于調(diào)節(jié)真空度的部件使用由所述壓力傳感器檢測(cè)到的檢測(cè)值將各個(gè)真空室中的真空度調(diào)節(jié)到對(duì)于各個(gè)真空室所設(shè)定的真空度。
[0033]根據(jù)該方面，第一真空室的各個(gè)真空室設(shè)置有壓力傳感器和調(diào)節(jié)部件。因此，當(dāng)在任一真空室中檢測(cè)到的值小于或大于設(shè)定值時(shí)，能夠使用調(diào)節(jié)部件將真空室中的真空度調(diào)節(jié)至設(shè)定值。換言之，因?yàn)楦鱾€(gè)真空室中的真空度能夠維持為設(shè)定值，所以防止了探針卡變形，并且能夠維持探針的頂端的平面度。
[0034]“將各個(gè)真空室中的真空度調(diào)節(jié)到對(duì)于各個(gè)真空室所設(shè)定的真空度”中的短語(yǔ)“對(duì)于各個(gè)真空室所設(shè)定的真空度”是指特定范圍的真空度，在該真空度的特定范圍內(nèi)能夠維持探針的頂端的平面度。
[0035]在根據(jù)本發(fā)明的第三方面的檢查單元中，可以呈規(guī)則的間隔來(lái)配置第一真空室的真空室。另外，探針卡可以為圓形，可以呈規(guī)則的間隔沿周向配置第一真空室的真空室。
[0036]在第一至第三方面中的任一方面中，根據(jù)本發(fā)明的第四方面的檢查單元還包括平面基準(zhǔn)體，所述平面基準(zhǔn)體相對(duì)于所述連接體位于所述探針卡所在側(cè)的相反側(cè)并且包括面對(duì)所述連接體的平坦面，所述探針卡包括從所述第二表面朝向所述平面基準(zhǔn)體突出的多個(gè)第一基準(zhǔn)體，所述平面基準(zhǔn)體包括從所述平坦面朝向所述探針卡突出的多個(gè)第二基準(zhǔn)體，以及所述第一基準(zhǔn)體與所述第二基準(zhǔn)體接觸以確定所述探針卡與所述平面基準(zhǔn)體之間的相對(duì)位置。
[0037]根據(jù)該方面，探針卡相對(duì)于平面基準(zhǔn)體的位置由第一基準(zhǔn)體和第二基準(zhǔn)體確定。結(jié)果，確定了對(duì)應(yīng)于真空室的探針卡與對(duì)應(yīng)于真空室的平面基準(zhǔn)體之間的相對(duì)位置。
[0038]對(duì)于探針卡的真空室中的真空度獨(dú)立地調(diào)節(jié)，其中探針卡由于真空室中的負(fù)壓與連接體一體化。因此，探針卡不會(huì)局部彎曲，而是能夠維持其平面度。因此，由于探針卡的相對(duì)位置由第一基準(zhǔn)體和第二基準(zhǔn)體確定，所以探針卡跟隨平面基準(zhǔn)體的平坦面。換言之，探針卡具有與平面基準(zhǔn)體的平坦面相同的平面度。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的第五方面的檢查單元的特征在于，在第四方面中，所述連接體隔著第二真空室與所述平面基準(zhǔn)體一體化。
[0040]根據(jù)該方面，因?yàn)檫B接體隔著第二真空室安裝到平面基準(zhǔn)體，所以能夠容易地將連接體從平面基準(zhǔn)體移除。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的第六方面的檢查單元的特征在于，在第五方面中，所述第二真空室形成有多個(gè)室。
[0042]根據(jù)該方面，因?yàn)榈诙婵帐倚纬捎卸鄠€(gè)室，所以能夠在將連接體從平面基準(zhǔn)體移除時(shí)調(diào)節(jié)將連接體安裝到平面基準(zhǔn)體所利用的吸力。因此，防止了在將連接體從平面基準(zhǔn)體移除時(shí)連接體突然脫離平面基準(zhǔn)體。結(jié)果，能夠減少對(duì)于損壞連接體和第二基準(zhǔn)體的擔(dān)心。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的第七方面的檢查單元的特征在于，在第六方面中，所述第一真空室與所述第二真空室彼此連通。
[0044]根據(jù)該方面，因?yàn)榈谝徽婵帐业恼婵帐遗c第二真空室的相應(yīng)的真空室彼此連通，所以當(dāng)設(shè)置壓力傳感器和/或調(diào)節(jié)部件時(shí)，能夠減少壓力傳感器和/或調(diào)節(jié)部件的數(shù)量以簡(jiǎn)化檢查單元的構(gòu)成。
[0045]在本發(fā)明的第七方面中，第一真空室的真空室與第二真空室的真空室可以配置為面對(duì)稱(chēng)關(guān)系。可選地，第一真空室的真空室與第二真空室的真空室可以配置為相對(duì)于連接體不對(duì)稱(chēng)的關(guān)系。另外，當(dāng)?shù)谝徽婵帐业恼婵帐遗c第二真空室的真空室可以配置為面對(duì)稱(chēng)關(guān)系時(shí)，連接體可以具有用于將第一真空室的真空室與第二真空室的相應(yīng)的真空室連通的連通孔，該第二真空室的相應(yīng)的真空室配置成與第一真空室的真空室呈面對(duì)稱(chēng)關(guān)系。
[0046]根據(jù)本發(fā)明的第八方面的檢查單元的特征在于，在第一至第七方面中的任一方面中，所述探針卡與所述連接體能夠彼此分離。
[0047]根據(jù)該方面，因?yàn)樘结樋軌蚺c連接體彼此分離，所以當(dāng)探針磨損時(shí)，能夠在檢查裝置中僅更換探針卡。因此，能夠增加檢查裝置的經(jīng)濟(jì)效率。
[0048]根據(jù)本發(fā)明的第九方面的探針卡包括:第一表面，在所述第一表面上安裝探針；第二表面，所述第二表面隔著各自被設(shè)定了真空度的多個(gè)真空室與連接體一體化，其中，所述探針卡具有在所述探針卡的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的與各個(gè)真空室對(duì)應(yīng)的真空度的設(shè)定值。
[0049]“與各個(gè)真空室對(duì)應(yīng)的真空度的設(shè)定值”是在探針卡的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的值。具體的，作為真空室的真空度的設(shè)定值，使用在利用夾具使第一基準(zhǔn)體與第二基準(zhǔn)體接觸時(shí)通過(guò)壓力傳感器檢測(cè)到的真空室中的真空度，其中，所述夾具能夠創(chuàng)造與在探針卡的生產(chǎn)過(guò)程期間檢查裝置的測(cè)量環(huán)境相同的環(huán)境。設(shè)定值設(shè)定在如下范圍內(nèi):在該范圍內(nèi)探針卡的平面度能夠維持在適當(dāng)?shù)臈l件下。
[0050]短語(yǔ)“具有…與各個(gè)真空室對(duì)應(yīng)的真空度的設(shè)定值”是指將真空度的設(shè)定值利用印刷媒介或電子媒介或經(jīng)由通信手段與探針卡一起提供給使用探針卡的用戶(hù)。
[0051]根據(jù)該方面，因?yàn)樘结樋ň哂腥缦略O(shè)定值:當(dāng)探針卡與連接體一體化時(shí)，真空室中的真空度應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)至該設(shè)定值，所以當(dāng)用戶(hù)簡(jiǎn)單地將探針卡安裝至檢查裝置以使真空室中的真空度等于真空度的設(shè)定值時(shí)，能夠?qū)⑻结樋ǖ钠矫娑染S持在適當(dāng)?shù)臈l件下。另外，當(dāng)在多個(gè)檢查裝置中使用探針卡時(shí)，無(wú)需設(shè)定各個(gè)檢查裝置的真空室中的真空度。因此，能夠提高探針卡的安裝效率。
[0052]根據(jù)本發(fā)明的第十方面的檢查裝置包括:根據(jù)第一至第八方面中的任一方面的檢查單元，所述檢查單元還包括平面基準(zhǔn)體，所述平面基準(zhǔn)體相對(duì)于所述連接體位于所述探針卡所在側(cè)的相反側(cè)并且包括面對(duì)所述連接體的平坦面；探針器，所述探針器包括工作臺(tái)，待與所述探針卡的探針接觸的測(cè)試物體載置在所述工作臺(tái)上；以及測(cè)試器，所述測(cè)試器電連接至所述平面基準(zhǔn)體，其中，所述檢查單元的探針卡安裝至所述探針器。
[0053]根據(jù)該方面，在該檢查裝置中能夠?qū)崿F(xiàn)與第一至第八方面中的任一方面的效果相同的效果。
[0054]在本發(fā)明的第十方面中，安裝至探針器的探針卡的垂向位置優(yōu)選地確定檢查單元相對(duì)于工作臺(tái)的垂向位置。
[0055]根據(jù)本發(fā)明的第十一方面的控制系統(tǒng)包括多個(gè)根據(jù)第十方面的檢查裝置；以及控制部，所述控制部用于控制所述檢查裝置，其中，所述控制部具有根據(jù)第一至第八方面中的任一方面的檢查單元中的第一真空室的各個(gè)真空室的真空度的設(shè)定值，在所述檢查單元安裝至所述檢查裝置時(shí)，各個(gè)真空室中的真空度基于所述設(shè)定值來(lái)設(shè)定。
[0056]根據(jù)該方面，因?yàn)槟軌蛴啥鄠€(gè)檢查裝置分享對(duì)于探針卡的第一真空室的各真空室的真空度的設(shè)定值，所以，例如，當(dāng)探針卡從一個(gè)檢查裝置轉(zhuǎn)移至另一檢查裝置時(shí)，能夠增大設(shè)定真空度的效率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0057]圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的包括探針卡的檢查裝置的側(cè)視圖。
[0058]圖2是根據(jù)第一實(shí)施方式的檢查裝置的檢查單元和頂部卡盤(pán)的側(cè)視圖。
[0059]圖3是示出探針卡和連接體在根據(jù)第一實(shí)施方式的檢查裝置中分離了的狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0060]圖4是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的探針卡的平面圖。
[0061]圖5的(A)是根據(jù)第一實(shí)施方式的連接體的平面圖，圖5的(B)是沿著圖5的(A)中的線(xiàn)A-O-A截取的截面圖。
[0062]圖6是示出第一實(shí)施方式的效果的說(shuō)明圖。
[0063]圖7是用于根據(jù)第一實(shí)施方式的檢查裝置的控制系統(tǒng)的示意圖。
[0064]圖8是根據(jù)第二實(shí)施方式的連接體的平面圖。
[0065]圖9是根據(jù)第三實(shí)施方式的連接體的平面圖。
[0066]圖10的(A)是示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的探針卡的問(wèn)題的說(shuō)明圖，圖10的(B)是示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的探針卡的問(wèn)題的說(shuō)明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0067]以下基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作出說(shuō)明。在所有實(shí)施方式中被賦予相同的附圖標(biāo)記的共同的構(gòu)成元件僅在第一實(shí)施方式中說(shuō)明，在隨后的實(shí)施方式中省略其說(shuō)明。
[0068]?<第一實(shí)施方式>>>
[0069][檢查單元和檢查裝置] [0070]參照?qǐng)D1說(shuō)明檢查裝置10的構(gòu)成元件。檢查裝置10包括探針器(prober) 12、測(cè)試器14和測(cè)試物體傳送機(jī)構(gòu)16。探針器12包括作為“工作臺(tái)”的檢查臺(tái)18、頂部卡盤(pán)20和檢查單元22。[0071]檢查臺(tái)18通過(guò)組合X臺(tái)、Y臺(tái)、Z臺(tái)和Θ臺(tái)而構(gòu)成。頂部卡盤(pán)20安裝在檢查臺(tái)18的頂部。因此，頂部卡盤(pán)20沿X軸方向、Y軸方向和Z軸方向位置可調(diào)，其中，Y軸方向在水平面上與X軸方向正交，Z軸方向垂直于水平面(XY平面)。此外，頂部卡盤(pán)20繞Z軸沿0方向轉(zhuǎn)動(dòng)地可調(diào)。
[0072]安裝測(cè)試物體26的安裝面24設(shè)置于頂部卡盤(pán)20。在本實(shí)施方式中，測(cè)試物體26是集成有多個(gè)集成電路的半導(dǎo)體晶圓(semiconductor wafer)。
[0073]測(cè)試物體傳送機(jī)構(gòu)16能夠?qū)y(cè)試物體26傳送至頂部卡盤(pán)20的安裝面24并且能夠從安裝面24卸離測(cè)試物體26。具體地，當(dāng)頂部卡盤(pán)20的安裝面24遠(yuǎn)離位于安裝面上方的檢查單元22 (稍后說(shuō)明)、換言之在Z軸方向上距檢查單元22 —定距離時(shí)，測(cè)試物體傳送機(jī)構(gòu)16將測(cè)試物體26傳送至安裝面24以及從安裝面24卸離測(cè)試物體26。
[0074]經(jīng)由板保持器28安裝至探針器12的檢查單元22位于頂部卡盤(pán)20的安裝面24上方。另外，電連接至檢查單元的測(cè)試器14位于檢查單元22上方。測(cè)試器14能夠沿Z軸方向移動(dòng)。
[0075]測(cè)試器14以能相對(duì)于探針卡(probe card) 32搖動(dòng)的方式支承彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36，使得彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36在與探針卡32安裝至探針器12的位置相同的位置處組裝至探針卡32。
[0076]檢查裝置10朝向檢查單元22移動(dòng)頂部卡盤(pán)20，并且對(duì)安裝在安裝面24上的測(cè)試物體26施加電流以利用測(cè)試物體26的電極與檢查單元22的各探針30 (稍后說(shuō)明)保持接觸而進(jìn)行檢查。
[0077]接著參照?qǐng)D2和圖3說(shuō)明檢查單元22的構(gòu)成。檢查單元22包括探針卡32、作為“連接體”的彈簧針座34以及平面基準(zhǔn)體36。
[0078]在本實(shí)施方式中，探針卡32具有盤(pán)狀(圓形)形狀，并且構(gòu)造成包括陶瓷板和配線(xiàn)板(未示出)的多層板。探針卡32在其面對(duì)頂部卡盤(pán)20的安裝面24的表面(第一表面)包括多個(gè)探針30。探針卡32在其面對(duì)彈簧針座34的表面(第二表面)包括作為朝向+Z方向突出的作為“第一基準(zhǔn)體”的多個(gè)錨定件部(anchor portion)38。錨定件部38具有圓柱形狀。
[0079]盡管未示出，探針卡32仍包括多個(gè)電通道(electric path)。電通道的第一端部連接至各探針30，電通道的第二端部連接至各連接區(qū)42 (參見(jiàn)圖4)，連接區(qū)42在XY平面上與彈簧針座34的彈簧針40對(duì)應(yīng)地配置在探針卡32的面對(duì)彈簧針座34的表面(第二表面)。
[0080]另外，探針卡的高度-平面度基準(zhǔn)部44沿著探針卡32的外周設(shè)置。探針卡的高度-平面度基準(zhǔn)部44與板保護(hù)件28接合。探針卡的高度-平面度基準(zhǔn)部44確定當(dāng)探針卡32安裝到探針器12時(shí)探針卡32相對(duì)于頂部卡盤(pán)20的垂向高度。
[0081]參照?qǐng)D5的(A)詳細(xì)說(shuō)明彈簧針座34的構(gòu)成。彈簧針座34是與將探針卡32的探針30電連接至印刷電路板58的各個(gè)電極(未示出)的構(gòu)件。彈簧針座34支承多個(gè)彈簧針40。彈簧針座34具有厚盤(pán)形狀。彈簧針座34包括多個(gè)彈簧針插孔46。彈簧針座34在其中央包括沿垂向(圖5的(B)中的Z軸方向)延伸的通孔47。
[0082]彈簧針插孔46沿垂向延伸貫穿彈簧針座3。各彈簧針40包括上下端部，當(dāng)各彈簧針40插入彈簧針插孔46時(shí)，上下端部從彈簧針座34上下突出。[0083]如圖5的(A)所示，彈簧針插孔46在彈簧針座34中配置成在XY平面上形成多個(gè)區(qū)域34a。密封構(gòu)件50在彈簧針座34上設(shè)置成包圍各區(qū)域34a。區(qū)域34a以規(guī)則的間隔沿周向配置在彈簧針座34上。環(huán)狀密封構(gòu)件51在彈簧針座34的各上下表面上設(shè)置成包圍通孔47。
[0084]在本實(shí)施方式中，區(qū)域34a形成在彈簧針座34的Z軸方向上的上下表面兩者。形成在彈簧針座34的上表面的區(qū)域34a與形成在彈簧針座34的下表面的區(qū)域34a對(duì)應(yīng)。換言之，區(qū)域34a在彈簧針座34的上下表面配置成面對(duì)稱(chēng)關(guān)系。
[0085]另外，形成在彈簧針座34的上表面的各區(qū)域34a經(jīng)由連通孔52與形成在彈簧針座34的下表面的對(duì)應(yīng)的區(qū)域34a連通。
[0086]另外，彈簧針座34包括貫穿彈簧針座34沿垂向延伸的多個(gè)通孔54。通孔54在彈簧針座34中形成在與探針卡32的錨定件部38相應(yīng)的位置。各通孔54均包括位于上表面?zhèn)鹊男讲?4a和位于下表面?zhèn)鹊拇髲讲?4b。小徑部54a具有比錨定件部38的直徑小的直徑，大徑部54b具有比錨定件部38的直徑大的直徑。
[0087]參照?qǐng)D2、圖3和圖5的(B)詳細(xì)說(shuō)明平面基準(zhǔn)體36的構(gòu)成。平面基準(zhǔn)體36具有盤(pán)狀形狀并且由金屬構(gòu)件形成。測(cè)試器14的測(cè)試器減振器56沿圖2和圖3中的Z軸方向連接至平面基準(zhǔn)體36的上表面，其中平面基準(zhǔn)體36被支承為相對(duì)于測(cè)試器14搖動(dòng)。
[0088]平面基準(zhǔn)體36包括形成為平坦面36a的下表面。平面基準(zhǔn)體36的平坦面36a形成為滿(mǎn)足規(guī)定的平面度要求(例如30 μ m以下)。另外，印刷電路板58設(shè)置在平面基準(zhǔn)體36的下表面。電極(未示出)在與彈簧針座34的彈簧針40對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置在印刷電路板58的下表面。
[0089]多個(gè)電極(未示出)設(shè)置在平面基準(zhǔn)體36的上表面，并且經(jīng)由連接線(xiàn)纜60電連接至測(cè)試器14。電通道(未示出)設(shè)置于平面基準(zhǔn)體36和印刷電路板58。電通道的第一端部連接至位于印刷電路板58的下表面的各個(gè)電極，電通道的第二端部連接至位于平面基準(zhǔn)體36的上表面的各個(gè)電極。
[0090]另外，作為“第二基準(zhǔn)體”的多個(gè)錨定件接收器(anchor receiver) 62從平面基準(zhǔn)體36的下表面向下延伸貫穿印刷電路板58。錨定件接收器62在XY平面上與探針卡32的錨定件部38的位置對(duì)應(yīng)地設(shè)置在平面基準(zhǔn)體36的下表面。各錨定件接收器62均包括從平面基準(zhǔn)體36的下表面延伸的柱狀部62a和設(shè)置在柱狀部62a的頂端的錨定件抵接部62b。柱狀部62a和錨定件抵接部62b具有圓柱形狀。
[0091]柱狀部62a和錨定件抵接部62b分別裝配在彈簧針座34的通孔54的小徑部54a和大徑部54b。錨定件抵接部62b具有比通孔54的小徑部54a的直徑大的直徑。因此，當(dāng)彈簧針座34將要遠(yuǎn)離平面基準(zhǔn)體36移動(dòng)時(shí)，小徑部54a與錨定件抵接部62b接觸以防止彈簧針座34的運(yùn)動(dòng)。
[0092]換言之，當(dāng)彈簧針座34安裝至平面基準(zhǔn)體36 (參見(jiàn)圖3)時(shí)，彈簧針座34能夠在規(guī)定范圍內(nèi)朝向平面基準(zhǔn)體36移動(dòng)并且能夠遠(yuǎn)離平面基準(zhǔn)體36移動(dòng)。另外，柱狀部62a裝配在通孔54的小徑部54a中，由此彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36在XY平面上的位置是確定的。
[0093]平面基準(zhǔn)體36在與形成在彈簧針座34的上表面的區(qū)域34a對(duì)應(yīng)的位置包括作為“用于調(diào)節(jié)真空度的部件”的多個(gè)調(diào)壓部件64。各調(diào)壓部件64均包括壓力傳感器65和真空調(diào)節(jié)器67，其中，壓力傳感器65用于檢測(cè)形成在區(qū)域34a中的相應(yīng)一個(gè)區(qū)域的真空室66(稍后說(shuō)明)中的壓力，真空調(diào)節(jié)器67基于來(lái)自壓力傳感器的檢測(cè)值調(diào)節(jié)真空室66中的真空度。
[0094]參照?qǐng)D2、圖3和圖5的(B)說(shuō)明在檢查單元22中使探針卡32、彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36 —體化的步驟。
[0095]在圖3所示的狀態(tài)下，探針卡32經(jīng)由板保持件28安裝到探針器12。彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36經(jīng)由測(cè)試器減振器56被測(cè)試器14支承。這里，彈簧針座34懸掛于平面基準(zhǔn)體36，同時(shí)小徑部54a由于重力與錨定件抵接部62b保持接觸。
[0096]這時(shí)，包圍形成在彈簧針座34的上表面的區(qū)域34a的密封構(gòu)件50與印刷電路板58保持接觸，并且也與平面基準(zhǔn)體36接觸。因此，由密封構(gòu)件50包圍的空間68在彈簧針座34與平面基準(zhǔn)體36之間形成在與區(qū)域34a對(duì)應(yīng)的位置。這時(shí)，彈簧針座34的上表面上的密封構(gòu)件50與印刷電路板58保持接觸。
[0097]然后，由測(cè)試器14支承的彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36朝向探針卡32移動(dòng)。此時(shí)，壓力調(diào)節(jié)部件64被致動(dòng)以抽取空間68中的空氣。然后，當(dāng)通過(guò)測(cè)試器14使彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36向下移動(dòng)時(shí)，包圍形成在彈簧針座34的下表面的區(qū)域34a的密封構(gòu)件50與探針卡32接觸。
[0098]結(jié)果，由密封構(gòu)件50包圍的空間70在探針卡32與彈簧針座34之間形成在與形成于彈簧針座34的下表面的區(qū)域34a對(duì)應(yīng)的位置。此時(shí)，位于彈簧針座34的下表面的密封構(gòu)件51也與探針卡32接觸，其中由密封構(gòu)件51包圍的空間71形成在通孔47中。
[0099]在調(diào)壓部件64繼續(xù)抽取空間68以及與空間68連通的空間70中的空氣的情況下，通過(guò)測(cè)試器14使彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36向下移動(dòng)，直到探針卡32的錨定件部38與平面基準(zhǔn)體36的錨定件接收部62的錨定件抵接部62b接觸。還通過(guò)另一調(diào)壓部件(未示出)抽取空間71中的空氣。
[0100]當(dāng)錨定件部38中的任一個(gè)與其相應(yīng)的錨定件抵接部62b接觸時(shí)，由信號(hào)檢測(cè)部件(未示出)檢測(cè)到錨定件部38與錨定件抵接部62b之間的接觸。一旦檢測(cè)到，由相應(yīng)的壓力傳感器65測(cè)量與錨定件部38相鄰的空間(真空室)68和70中的真空度(負(fù)壓)，其中所述錨定件部38與其相應(yīng)的錨定件抵接部62b接觸。
[0101]然后，調(diào)壓部件64的真空調(diào)節(jié)器67將空間68和70中的真空度(負(fù)壓)維持為與檢測(cè)時(shí)的真空度相同的真空度，其中，所述調(diào)壓部件64抽取與錨定件部38相鄰的空間(真空室)68和70中的空氣，所述錨定件部38與錨定件抵接部62b接觸。此外，一旦檢測(cè)到，與空間71對(duì)應(yīng)的調(diào)壓部件維持空間71中的真空度(負(fù)壓)與檢測(cè)值相同。為了防止對(duì)于探針卡32的平面度的不利效果，空間71中的真空度(負(fù)壓)設(shè)置成小于或等于空間68和70中的真空度(負(fù)壓)，其中通過(guò)上述檢測(cè)維持真空度。
[0102]每次錨定件部38與其相應(yīng)的錨定件抵接部62b接觸時(shí)，相應(yīng)的壓力傳感器65均測(cè)量與錨定件部38相鄰的空間(真空室)68和70中的真空度(負(fù)壓)，其中所述錨定件部38與其相應(yīng)的錨定件抵接部62b接觸。真空調(diào)節(jié)器67將相應(yīng)的空間(真空室)68和70中的真空度(負(fù)壓)維持在與檢測(cè)的真空度相同的水平。當(dāng)所有的錨定件部38與相應(yīng)的錨定件抵接部62b接觸時(shí)，使測(cè)試器14停止向下移動(dòng)。
[0103]當(dāng)錨定件部38與錨定件抵接部62b接觸時(shí)，通孔54的大徑部54b接收錨定件部38以確定探針卡32和彈簧針座34在XY平面上的位置。
[0104]在本實(shí)施方式中，因?yàn)樾纬稍阱^定件部38以及與錨定件部38相應(yīng)的錨定件抵接部62b中的電通道彼此電連接使得當(dāng)錨定件部38和相應(yīng)的錨定件抵接部62b彼此接觸時(shí)允許流通電流，所以信號(hào)檢測(cè)部件(未示出)能夠檢測(cè)到信號(hào)。
[0105]這里，因?yàn)槌槿×丝臻g68和70中的空氣，所以空間68和70處于真空狀態(tài)(減壓狀態(tài))。當(dāng)停止抽取空間70中的空氣時(shí)，各調(diào)壓部件64利用其壓力傳感器65檢測(cè)相應(yīng)的空間70中的真空度。由于錨定件部38和錨定件抵接部62b之間的接觸，確定了探針卡32與平面基準(zhǔn)體36之間的相對(duì)位置。
[0106]這樣，空間70在探針卡32與彈簧針座34之間進(jìn)入真空狀態(tài)。結(jié)果，處于真空狀態(tài)的空間70用作第一真空室72的真空室。同樣，空間68在彈簧針座34與平面基準(zhǔn)體36之間進(jìn)入真空狀態(tài)。結(jié)果，處于真空狀態(tài)的空間68用作第二真空室74的真空室。探針卡32隔著第一真空室72與彈簧針座34 —體化，彈簧針座34隔著第二真空室74與平面基準(zhǔn)體36 —體化。
[0107]第一真空室72形成有有多個(gè)空間70，換言之形成有多個(gè)真空室。因此，能夠通過(guò)相應(yīng)的調(diào)節(jié)部件64對(duì)于第一真空室72中的各真空室設(shè)定真空度(負(fù)壓)。因此，真空度(負(fù)壓)不可能增加至比各真空室所需的大。同樣，第二真空室74形成有多個(gè)空間68，換言之形成有多個(gè)真空室。
[0108]結(jié)果，如圖6所示，當(dāng)信號(hào)檢測(cè)部件檢測(cè)到錨定件部38與相應(yīng)的錨定件抵接部62b之間的接觸時(shí)，第一真空室72的與接觸的錨定件部38相鄰的真空室72a、72b、72c中的真空度(負(fù)壓)維持在與接觸時(shí)檢測(cè)到的真空度相同的水平。因此，由于各真空室中的真空度(負(fù)壓)不過(guò)度增加，所以防止了探針卡32的與真空室對(duì)應(yīng)的部分朝向彈簧針座34彎曲(變形)。
[0109]因此，確定了探針卡32的對(duì)應(yīng)于真空室的部分和對(duì)應(yīng)的平面基準(zhǔn)體36的部分之間的相對(duì)位置。因此，探針卡32的與真空室對(duì)應(yīng)的部分跟隨由平面基準(zhǔn)體36形成的平面。
[0110]因此，探針卡32的平面度與平面基準(zhǔn)體36的平坦面36a—致。結(jié)果，由探針卡32的探針30的頂端形成的XY平面的平面度也與平面基準(zhǔn)體36的平坦面36a —致，這滿(mǎn)足規(guī)定的平面度要求(例如30μπι以下)。
[0111]另外，通過(guò)利用調(diào)壓部件64和其他調(diào)壓部件(未示出)使第一真空室72的真空室的真空度(負(fù)壓)和空間71中的真空度(負(fù)壓)返回至大氣壓，能夠容易地從彈簧針座34移除探針卡32。換言之，探針卡32可從彈簧針座34分離。
[0112][控制系統(tǒng)]
[0113]接著參照?qǐng)D7詳細(xì)說(shuō)明用于控制多個(gè)檢查裝置10a、10b、10c、IOd的控制系統(tǒng)76?？刂葡到y(tǒng)76包括電連接至檢查裝置10a、10b、10c、IOd的控制部78。
[0114]當(dāng)探針卡32安裝至檢查裝置10a、IObUOcUOd時(shí)，控制部78控制探針卡32的第
一真空室72的真空室中的真空度(負(fù)壓)?？刂撇?8還將真空室中的真空度(負(fù)壓)控制成使得真空室中的真空度達(dá)到在探針卡32的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的真空度的各設(shè)定值。
[0115]各真空室的真空度的設(shè)定值是在探針卡32的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的值。具體地，作為真空室的真空度的設(shè)定值使用當(dāng)利用夾具使錨定件部38與錨定件抵接部62b接觸時(shí)通過(guò)調(diào)壓部件64的壓力傳感器65檢測(cè)到的真空室中的真空度，其中，所述夾具能夠創(chuàng)造與在探針卡32的生產(chǎn)過(guò)程期間檢查裝置10的測(cè)量環(huán)境相似的環(huán)境。真空度的設(shè)定值設(shè)定在探針卡32能夠滿(mǎn)足規(guī)定的平面度要求(例如30 μ m以下)這樣的范圍。
[0116]另外，在探針卡32的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的第一真空室72的真空室的真空度的設(shè)定值以印刷媒介或電子媒介或經(jīng)由通信手段與探針卡32 —起提供給使用探針卡的用戶(hù)。
[0117]控制部78包括存儲(chǔ)裝置(例如硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器或嵌入存儲(chǔ)器)(未示出)，使得探針卡32的真空室的真空度的設(shè)定值能夠存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中。
[0118]因此，當(dāng)已經(jīng)安裝至檢查裝置10a、IObUOcUOd中的一個(gè)檢查裝置的探針卡32被安裝至檢查裝置10a、10b、10c、10d中的另一檢查裝置時(shí)，控制部78向檢查裝置10a、10b、IOcUOd中的所述另一檢查裝置發(fā)送新安裝的探針卡32的第一真空室72的真空室的真空度的設(shè)定值。因此，控制部78控制探針卡32的第一真空室72的真空室中的真空度(負(fù)壓)。
[0119]因此，能夠在檢查裝置10a、10b、10c、IOd中的任一檢查裝置中容易地重新產(chǎn)生探針卡32的測(cè)量環(huán)境。
[0120]?<第一實(shí)施方式的變型>>>
[0121](1)在本實(shí)施方式中，代替面對(duì)稱(chēng)關(guān)系，第一真空室72的真空室和第二真空室74的真空室可以配置為不對(duì)稱(chēng)的關(guān)系。
[0122](2)在本實(shí)施方式中，代替用于確定探針卡32、彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36之間的相對(duì)位置的錨定件部38和錨定件接收器62，位于探針卡32與彈簧針座34之間的密封構(gòu)件50和位于彈簧針座34與平面基準(zhǔn)體36之間的密封構(gòu)件50可以用作用于確定探針卡32、彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36之間的相對(duì)位置的構(gòu)件。
[0123]具體地，密封構(gòu)件50可以變型為在Z軸方向上變形不超過(guò)特定極限值，使得能夠當(dāng)?shù)谝徽婵帐?2的真空室中的真空度和第二真空室74的真空室中的真空度達(dá)到各設(shè)定值時(shí)確定探針卡32、彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36之間的相對(duì)位置。
[0124](3)檢測(cè)裝置10可以變型為存儲(chǔ)探針卡32的真空室的真空度的設(shè)定值并且控制探針卡32的真空室中的真空度(負(fù)壓)。
[0125](4)在本實(shí)施方式中，彈簧針座34和平面基準(zhǔn)體36可以組裝至探針卡32。然而，平面基準(zhǔn)體36可以安裝至測(cè)試器14以形成基準(zhǔn)平面，探針卡32和彈簧針座34可以組裝至平面基準(zhǔn)體36。
[0126](5)在本實(shí)施方式中探針卡32的具有圓柱形狀的錨定件部38可以代替為具有矩形塊形狀。彈簧針座34可以具有圓筒形狀，該圓筒形狀可在其內(nèi)徑部和外徑部形成有沿周向間隔開(kāi)的槽口，錨定件部38可以形成為能夠裝配于槽口的構(gòu)件。
[0127](6)在上述實(shí)施方式中，彈簧針座用作連接體。然而，平面基準(zhǔn)體可以用作連接體。例如，當(dāng)彈簧針座為專(zhuān)利文獻(xiàn)I的圖1所示的小尺寸時(shí)或當(dāng)彈簧針座構(gòu)成有多個(gè)小塊時(shí)，這也是適用的。
[0128]〈〈〈第二實(shí)施方式》〉
[0129]參照?qǐng)D8說(shuō)明根據(jù)第二實(shí)施方式的檢查單元22。根據(jù)第二實(shí)施方式的檢查單元22與第一實(shí)施方式的不同之處在于，第一真空室72的真空室不與第二真空室74的真空室連通。
[0130]彈簧針座80在其上下表面包括多個(gè)區(qū)域80a，該多個(gè)區(qū)域80a以規(guī)則的間隔沿周向配置并且由密封構(gòu)件50包圍。當(dāng)探針卡32和彈簧針座80 —體化時(shí)，形成在彈簧針座80的下表面的區(qū)域80a限定第一真空室72的多個(gè)真空室。當(dāng)探針卡32和彈簧針座80 —體化時(shí)，形成在彈簧針座80的上表面的區(qū)域80a限定第二真空室74的多個(gè)真空室。
[0131 ] 盡管未示出，調(diào)節(jié)部件64與第一真空室72的真空室和第二真空室74的真空室對(duì)應(yīng)地設(shè)置為多個(gè)。彈簧針座80在其中央包括沿Z軸方向延伸的通孔81。環(huán)狀密封構(gòu)件82在彈簧針座80的各上下表面設(shè)置成包圍通孔81。因此，當(dāng)探針卡32和彈簧針座80 —體化時(shí)，由密封構(gòu)件82包圍的空間83形成在通孔81中。空間83通過(guò)另一調(diào)壓部件(未示出)而形成真空狀態(tài)?？臻g83中的真空度(負(fù)壓)設(shè)置成小于或等于第一真空室72的真空室中的真空度(負(fù)壓)的最小值。
[0132]?<第三實(shí)施方式>>>
[0133]參照?qǐng)D9說(shuō)明根據(jù)第三實(shí)施方式的檢查單元22。根據(jù)第三實(shí)施方式的檢查單元22與第一實(shí)施方式的不同之處在于，第二真空室74形成有一個(gè)真空室，第一真空室72的真空室不與第二真空室74連通。
[0134]彈簧針座84的下表面上的構(gòu)成與第一實(shí)施方式中相同。因此，設(shè)置成貫穿彈簧針座84的彈簧針40與形成在彈簧針座84的下表面上的多個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)地配置。位于內(nèi)周側(cè)的環(huán)狀密封構(gòu)件85和位于外周側(cè)的環(huán)狀密封構(gòu)件86設(shè)置在彈簧針座84的上表面上。在密封構(gòu)件85和86之間的區(qū)域84a，多個(gè)彈簧針40與多個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)地配置。
[0135]當(dāng)彈簧針座84和探針卡32 —體化時(shí)，密封構(gòu)件85和86之間的區(qū)域84a限定第二真空室74。在本實(shí)施方式中，第二真空室由單個(gè)真空室構(gòu)成。盡管未示出，調(diào)壓部件64與第一真空室72的真空 室和第二真空室74的真空室對(duì)應(yīng)地設(shè)置為多個(gè)。
[0136]彈簧針座84在其中央包括沿Z軸方向延伸的通孔87。環(huán)狀密封構(gòu)件88在彈簧針座84的各上下表面設(shè)置成包圍通孔87。因此，當(dāng)探針卡32和彈簧針座84 —體化時(shí)，由密封構(gòu)件88包圍的空間89形成在通孔87中?？臻g89通過(guò)另一調(diào)壓部件(未示出)形成真空狀態(tài)。空間89中的真空度(負(fù)壓)設(shè)定成小于或等于第一真空室72的真空室中的真空度(負(fù)壓)的最小值。
[0137]總結(jié)以上說(shuō)明，本實(shí)施方式的檢查單元22包括在第一表面具有探針30的探針卡32、隔著第一真空室72與探針卡32的第二表面一體化的彈簧針座34、80、84，第一真空室72形成有多個(gè)室。
[0138]第一真空室72形成為使得能夠獨(dú)立地控制真空室中的真空度(負(fù)壓)。檢查單元22包括:壓力傳感器65，其設(shè)置于第一真空室72的各個(gè)真空室；和真空調(diào)節(jié)器67，其用于將真空室的真空度調(diào)節(jié)至如下真空度:該真空度是利用壓力傳感器65檢測(cè)到的檢測(cè)值而對(duì)真空室設(shè)定的真空度。
[0139]檢查單元22包括平面基準(zhǔn)體36和面對(duì)彈簧針座34、80、84的平坦面,所述平面基準(zhǔn)體36相對(duì)于彈簧針座34、80、84位于探針卡32所在側(cè)的相反側(cè)。探針卡32包括作為從第二表面朝向平面基準(zhǔn)體36突出的多個(gè)第一基準(zhǔn)體的錨定件部38。平面基準(zhǔn)體36包括作為從平坦面36a朝向探針卡32突出的多個(gè)第二基準(zhǔn)體的錨定件接收器62。錨定件部38與錨定件接收器62接觸以確定探針卡32與平面基準(zhǔn)體36之間的相對(duì)位置。
[0140]彈簧針座34、80、84與平面基準(zhǔn)體36隔著第二真空室74 —體化。第二真空室74形成有多個(gè)室。第一真空室72與第二真空室74彼此連通。探針卡32與彈簧針座34、80、84能夠彼此分離。[0141]探針卡32包括:第一表面，探針30安裝在該第一表面上:以及第二表面，其隔著設(shè)定成具有各自真空度的多個(gè)真空室72與彈簧針座34、80、84 —體化。探針卡32具有在探針卡的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的與各個(gè)真空室72對(duì)應(yīng)的真空度的設(shè)定值。
[0142]檢查裝置10包括檢查單元22、具有工作臺(tái)18的探針器12以及電連接至平面基準(zhǔn)體36的測(cè)試器14，其中待與探針卡32的探針30接觸的測(cè)試物體26安裝在該工作臺(tái)18上。檢查單元22的探針卡32安裝至探針器12。
[0143]控制系統(tǒng)76包括多個(gè)檢查裝置10a、10b、10c、IOd和用于控制檢查裝置的控制部
78?？刂撇?8具有檢查單元22的第一真空室72的各個(gè)真空室的真空度的設(shè)定值以及當(dāng)檢查單元22安裝至檢查裝置10a、10b、10c、IOd時(shí)基于該設(shè)定值而設(shè)定各真空室的真空度(負(fù)壓)。
[0144]不言而喻，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在權(quán)利要求書(shū)闡明的發(fā)明范圍內(nèi)能夠作出各種變型，這些變型也應(yīng)包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0145]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0146]10、10a、10b、10c、IOd:檢查裝置
[0147]12:探針器
[0148]14:測(cè)試器
[0149]16:測(cè)試物體傳送機(jī)構(gòu)
[0150]18:檢查臺(tái)
[0151]20:頂部卡盤(pán)
[0152]22:檢查單元
[0153]24:安裝面
[0154]26:測(cè)試物體
[0155]28:板保持件
[0156]30:探針
[0157]32、92:探針卡
[0158]34、80、84:彈簧針座
[0159]34a、80a、84a:區(qū)域
[0160]36:平面基準(zhǔn)體
[0161]36a:平坦面
[0162]38:錨定件部
[0163]40:彈簧針
[0164]42:連接區(qū)
[0165]44:探針卡的高度-平面度基準(zhǔn)部
[0166]46:彈簧針插孔
[0167]50、51、82、85、86、88、96:密封構(gòu)件
[0168]52:連通孔
[0169]47、54、81、87:通孔
[0170]54a:小徑部
[0171]54b:大徑部[0172]56:測(cè)試器減振器
[0173]58:印刷電路板
[0174]60:連接線(xiàn)纜
[0175]62:錨定件接收器
[0176]62a:柱狀部
[0177]62b:錨定件抵接部
[0178]64:調(diào)壓部件
[0179]65:壓力傳感器
[0180]66:真空室
[0181]67:真空調(diào)節(jié)器
[0182]68、70、71、83、89、98:空間
[0183]72:第一真空室
[0184]72a、72b、72c:第一真空室的真空室
[0185]74:第二真空室
[0186]76:控制系統(tǒng)
[0187]78:控制部
[0188]90、90a、90b、90c、90d:錨定件
[0189]94:基準(zhǔn)體
[0190]Z1、Z2:錨定件的突出長(zhǎng)度
【權(quán)利要求】
1.一種檢查單元，其包括: 探針卡，所述探針卡在其第一表面具有探針；以及 連接體，所述連接體隔著第一真空室與所述探針卡的第二表面一體化， 其中，所述第一真空室形成有多個(gè)室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查單元，其特征在于，在所述第一真空室中，能夠獨(dú)立地控制真空室中的真空度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查單元，其特征在于，所述檢查單元還包括壓力傳感器和用于調(diào)節(jié)真空度的部件，所述壓力傳感器設(shè)置于所述第一真空室的各個(gè)真空室中，所述用于調(diào)節(jié)真空度的部件使用由所述壓力傳感器檢測(cè)到的檢測(cè)值將各個(gè)真空室中的真空度調(diào)節(jié)到對(duì)于各個(gè)真空室所設(shè)定的真空度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查單元，其特征在于，所述檢查單元還包括平面基準(zhǔn)體，所述平面基準(zhǔn)體相對(duì)于所述連接體位于所述探針卡所在側(cè)的相反側(cè)并且包括面對(duì)所述連接體的平坦面， 所述探針卡包括從所述第二表面朝向所述平面基準(zhǔn)體突出的多個(gè)第一基準(zhǔn)體， 所述平面基準(zhǔn)體包括從所述平坦面朝向所述探針卡突出的多個(gè)第二基準(zhǔn)體，以及所述第一基準(zhǔn)體與所述第二基準(zhǔn)體接觸以確定所述探針卡與所述平面基準(zhǔn)體之間的相對(duì)位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查單元，其特征在于，所述連接體隔著第二真空室與所述平面基準(zhǔn)體一體化 。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查單元，其特征在于，所述第二真空室形成有多個(gè)室。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查單元，其特征在于，所述第一真空室與所述第二真空室彼此連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查單元，其特征在于，所述探針卡與所述連接體能夠彼此分離。
9.一種探針卡，其包括:第一表面，在所述第一表面上安裝探針；第二表面，所述第二表面隔著各自被設(shè)定了真空度的多個(gè)真空室與連接體一體化， 其中，所述探針卡具有在所述探針卡的生產(chǎn)過(guò)程期間確定的與各個(gè)真空室對(duì)應(yīng)的真空度的設(shè)定值。
10.一種檢測(cè)裝置，其包括: 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查單元，所述檢查單元還包括平面基準(zhǔn)體，所述平面基準(zhǔn)體相對(duì)于所述連接體位于所述探針卡所在側(cè)的相反側(cè)并且包括面對(duì)所述連接體的平坦面；探針器，所述探針器包括工作臺(tái)，待與所述探針卡的探針接觸的測(cè)試物體載置在所述工作臺(tái)上；以及 測(cè)試器，所述測(cè)試器電連接至所述平面基準(zhǔn)體， 其中，所述檢查單元的探針卡安裝至所述探針器。
11.一種檢查裝置用的控制系統(tǒng)，其包括: 多個(gè)如權(quán)利要求10所述的檢查裝置；以及 控制部，所述控制部用于控制所述檢查裝置， 其中，所述控制部具有根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查單元中的第一真空室的各個(gè)真空室的真空度的設(shè)定值，在所述檢查單元安裝至所述檢查裝置時(shí)，各個(gè)真空室中的真空度基于所述設(shè)定值來(lái)設(shè)定。`
【文檔編號(hào)】G01R31/28GK103792482SQ201310526787
【公開(kāi)日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2013年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月30日
【發(fā)明者】鷲尾賢一, 山口憲榮 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司