一種微小尺寸芯片固定裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)的失效分析領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，包括底座和位于該底座上的若干條擋塊，且該底座與所述若干條擋塊共同構(gòu)成承載主體；所述若干條擋塊之間形成了多個樣品槽，且每相鄰的兩條擋塊之間分別設(shè)置有一條滑塊。該結(jié)構(gòu)使得本發(fā)明的芯片測試結(jié)構(gòu)不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針，芯片表面也不會受到污染；同時，芯片背面與固定裝置底座充分接觸，不會因傾斜而影響光發(fā)射顯微鏡的鏡頭聚焦；再次，當探針進行扎針時，針尖與芯片不會發(fā)生相對滑動，而且整個操作過程不涉及化學(xué)物品，安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
【專利說明】—種微小尺寸芯片固定裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)的失效分析領(lǐng)域，尤其涉及一種微小尺寸芯片固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光發(fā)射顯微鏡(Photo Emission Microscope,以下簡稱為PEM)是一種非常靈敏的芯片缺陷定位工具，當芯片內(nèi)部有過量的電子-電洞產(chǎn)生式，會因電子-電洞的躍遷二產(chǎn)生紅外光子，此可被PEM檢測到。當芯片故障是由于氧化層崩潰、靜電放電破壞、閂鎖效應(yīng)、撞擊游離及飽和的晶體管時，將會產(chǎn)生過量的電子-電洞對，而伴隨由于電子-電洞躍遷產(chǎn)生的光子，可由PEM精確地定位出此種故障位置。
[0003]當使用PEM對微小尺寸的芯片進行失效定位時，現(xiàn)有的方法是用膠帶將芯片兩端固定在一透明的載玻片上，且該載玻片架設(shè)于具有頂部開口結(jié)構(gòu)的樣品臺上。這樣的操作將會引入以下問題:
[0004]1、由于芯片長度過小，在芯片兩端粘貼膠帶時容易遮擋住測試結(jié)構(gòu)，從而對為分析結(jié)構(gòu)而進行扎針加電處理造成影響；
[0005]2、由于芯片底面積較小，使用膠帶固定時，芯片底部與載玻片或樣品臺不能充分接觸，容易造成傾斜，導(dǎo)致PEM鏡頭無法對待分析結(jié)構(gòu)聚焦，從而影響分析結(jié)果的準確性；
[0006]3、實用膠帶固定芯片不夠牢固，利用PEM附帶的探針臺對樣品扎針施加電性條件時。探針的接觸壓力會使芯片發(fā)生滑動，造成探針與芯片無法完全接觸，從而導(dǎo)致電性條件無法施加；
[0007]4、最小芯片的表面積只有幾平方毫米，操作時十分不方便，容易接觸并污染芯片上的目標區(qū)域，而且在剝離膠帶時還會留下殘留物。
[0008]為了解決上述問題，人們采取的方法是使用熱熔膠帶來替代傳統(tǒng)膠帶，這種方法雖然貼合牢固，但粘貼和剝離芯片時需要借助加熱臺進行加熱，而且剝離膠帶后還需要將芯片浸入丙酮來去除殘留的熱熔膠，因此操作較為繁瑣，更嚴重的問題是丙酮具有一定的毒性，對人體將會產(chǎn)生危害。
[0009]中國專利(公布號:200310122969.8)記載了一種用于發(fā)光顯微鏡查找芯片缺陷的芯片固定裝置，包括:一個印有復(fù)數(shù)條電氣連接線的印刷線路板；一個由透明材料制成的觀察窗，設(shè)于該印刷線路板上；復(fù)數(shù)條電氣連接線向粘貼于觀察窗上的芯片提供電源連接；還設(shè)有一個固定板，位于所述印刷線路板的下層，與印刷線路板為上下二層的結(jié)構(gòu)；復(fù)數(shù)條電氣連接線印制于觀察窗周圍且彼此相互絕緣，每條電氣連接線在觀察窗周圍分別設(shè)有復(fù)數(shù)個接觸點，向芯片就近提供電源，每條電氣連接線在印刷線路板的邊緣分別設(shè)有一個接線端子；本芯片固定裝置可將芯片直接粘貼在觀察窗上，觀察窗的尺寸可適用于各種規(guī)格芯片；上下兩層的結(jié)構(gòu)可避免芯片接線所帶來的雜亂，且下層固定板使得重心穩(wěn)定，從而使得缺陷查找迅速、簡便、可靠性高、適用性好。該用于發(fā)光顯微鏡查找芯片缺陷的芯片固定裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，操作起來較為繁瑣，不利于操作人員使用。[0010]中國專利(公布號:201020647090.0)記載了一種偏心顯微鏡的UV光鏡頭固定裝置。包括偏心顯微鏡上的支架安裝板，以及相配套的高度調(diào)節(jié)桿、水平調(diào)節(jié)桿、鏡頭固定座和固定螺栓，其中高度調(diào)節(jié)桿安裝在偏心顯微鏡上的支架安裝板的豎孔內(nèi)，并用固定螺栓鎖緊，水平調(diào)節(jié)桿安裝在高度調(diào)節(jié)桿的橫孔內(nèi)，用固定螺栓鎖緊，鏡頭固定座用固定螺栓安裝在水平調(diào)節(jié)桿上，UV光鏡頭用固定螺栓鎖緊安裝在鏡頭固定座上。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，實用性強，將UV光鏡頭與偏心顯微鏡穩(wěn)定連接，且鏡頭可靈活調(diào)節(jié)的特點。該專利文獻并未提到如何固定微小尺寸的芯片。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明記載了一種微小尺寸芯片固定裝置，應(yīng)用于采用光發(fā)射顯微鏡對芯片進行的失效定位測試中，其特征在于，所述固定裝置包括承載主體、滑塊和固定螺栓，所述滑塊通過所述固定螺栓與所述承載主體連接；
[0012]所述承載主體包括一底座和若干個固定設(shè)置于所述底座上表面的擋塊，位于任意兩個相鄰所述擋塊之間的底座表面和該兩個相鄰擋塊共同形成一樣品槽；
[0013]所述固定螺栓貫穿所述擋塊的中部，伸入所述樣品槽內(nèi)；
[0014]所述固定螺栓的位于所述樣品槽內(nèi)的一端與一個所述滑塊的中部實現(xiàn)可脫卸連接，且所述螺栓并未穿通所述滑塊；
[0015]其中，所述底座由透明材料制成。
[0016]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述底座為一載玻片。
[0017]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊為3個，并形成2個所述樣品槽，且所述滑塊為2個。
[0018]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，每相鄰的兩個所述擋塊之間的距離相等。
[0019]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊的長度與所述滑塊的長度以及所述載玻片的寬度一致。
[0020]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊與所述滑塊的高度相同且小于所述芯片的厚度。
[0021]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊側(cè)面的中心位置設(shè)置有通孔。
[0022]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊的通孔于水平方向貫穿所述擋塊。
[0023]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述滑塊側(cè)面的中心位置設(shè)
置有盲孔。
[0024]上述的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其中，所述擋塊的通孔與所述滑塊的盲孔通過所述固定螺栓連接。
[0025]本發(fā)明由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置的芯片測試結(jié)構(gòu)不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針，芯片表面也不會受到污染；同時，芯片背面與固定裝置底座充分接觸，不會因傾斜而影響光發(fā)射顯微鏡的鏡頭聚焦；再次，當探針進行扎針時，針尖與芯片不會發(fā)生相對滑動，而且整個操作過程不涉及化學(xué)物品，安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是本發(fā)明中承載主體的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0027]圖2是本發(fā)明中承載主體的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0028]圖3是本發(fā)明中擋塊的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0029]圖4是在圖1的基礎(chǔ)上增加滑塊后的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0030]圖5是本發(fā)明中滑塊的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0031]圖6是在圖4的基礎(chǔ)上增加了固定螺栓后的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0032]圖7是在圖2的基礎(chǔ)上增加了滑塊和固定螺栓后的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0033]圖8是在圖6基礎(chǔ)上加入樣品后的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0034]圖9是在圖7基礎(chǔ)上加入樣品后的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0035]圖10是在圖8的基礎(chǔ)上將滑塊貼緊樣品后的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0036]圖11是在圖9的基礎(chǔ)上將滑塊貼緊樣品后的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0037]圖12是在圖10的基礎(chǔ)上用固定螺栓將滑塊固定后的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0038]圖13是在圖11的基礎(chǔ)上用固定螺栓將滑塊固定后的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置進行詳細說明:
[0040]圖1是本發(fā)明的承載主體的俯視圖；如圖1所示，一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置包括底座11和固定于該底座11上的3條擋塊，該3條擋塊中的1條擋塊121被固定于底座11的中心位直，另外兩條擋塊122和123則分別固定于底座11的左右兩邊，且擋塊122與擋塊121之間的距離和擋塊123與擋塊121之間的距離相等；其中，被固定于底座11中心位置的擋塊121的寬度大于另外兩條擋塊122和123的寬度；底座11和被固定于底座11上的擋塊12共同構(gòu)成承載主體10。如圖2所示，a為擋塊的高度，b為底座的高度，擋塊的寬度不應(yīng)過寬且擋塊的長度應(yīng)與底座11的寬度保持一致，從而為樣品預(yù)留出一定的空間。
[0041]進一步的，如圖1所示，擋塊122的側(cè)面的中心位置還設(shè)置有第一通孔31，擋塊123的側(cè)面的中心位置還設(shè)置有第二通孔32，兩擋塊的側(cè)視結(jié)構(gòu)均如圖3所示。其中，擋塊的聞度a不應(yīng)超過樣品的聞度c。
[0042]優(yōu)選的，底座為矩形透明載玻片，以方便對樣品進行檢測。
[0043]如圖4、圖6、圖7所不，兩相鄰的兩擋塊之間形成有樣品槽141和樣品槽142,且在樣品槽141內(nèi)均放置有滑塊131，在樣品槽142中放置有滑塊132 ;該兩滑塊并不固定在承載主體10上，從而使得兩滑塊可以在與其相鄰的兩個擋塊之間進行滑動，以此來適應(yīng)不同尺寸的芯片。其中，滑塊131靠近擋塊122的側(cè)面設(shè)置有第一盲孔41，滑塊132靠近擋塊123的側(cè)面的中心位置設(shè)置有第二盲孔41，且兩盲孔的側(cè)視結(jié)構(gòu)如圖5所示。然后用固定螺栓151將第一通孔31和第一盲孔41連接在一起，并用固定螺栓152將第二通孔32和第二盲孔41連接在一起，當轉(zhuǎn)動固定螺栓時，滑塊便可隨著固定螺栓的螺紋的轉(zhuǎn)動在樣品槽內(nèi)平穩(wěn)滑動。
[0044]優(yōu)選的，固定螺栓151貫穿擋塊122并與擋塊122側(cè)面的通孔通過螺紋緊密連接，同時固定螺栓152也貫穿擋塊123并與擋塊123側(cè)面的通孔通過螺紋緊密連接。并且兩個固定螺栓151和152均浸沒于與其連接的滑塊之中，即上述的兩個固定螺栓均只貫穿了擋塊而并未貫穿滑塊，以此來方便推動滑塊進行運動，并且確?；瑝K靠近樣品的一側(cè)的均勻性和平滑性，避免對樣品造成不必要的損傷。
[0045]下面結(jié)合附圖來介紹該固定裝置在現(xiàn)實操作中的使用方法:
[0046]首先，如圖8和圖9所示，將固定裝置水平放置，然后將需要檢測的樣品201放入樣品槽141中，并將樣品202放入樣品槽142 ;優(yōu)選的，該兩個樣品應(yīng)在緊貼擋塊121的前提下放入對應(yīng)的樣品槽中。其中，樣品的個數(shù)并非僅僅限定于本實施例中的兩個。
[0047]然后，推動滑塊131將樣品201固定于樣品槽141內(nèi)，并推動滑塊132將樣品202固定于樣品槽142內(nèi)，形成如圖10和圖11所示結(jié)構(gòu)；其中，可以分先后順序來推動滑塊131和滑塊132，也可同時推動滑塊131和滑塊132，具體方法可以參考實際工藝需求而定。且當推動滑塊時，應(yīng)緩慢推動滑塊，當滑塊與樣品相貼合時便停止對固定螺栓的轉(zhuǎn)動，避免由于過度擠壓而損害到樣品。
[0048]最后，轉(zhuǎn)動固定螺栓151，使固定螺栓151緩慢的靠近滑塊131并最終旋入滑塊131側(cè)壁的第一盲孔41內(nèi)，并轉(zhuǎn)動固定螺栓152，使固定螺栓152緩慢的靠近滑塊132并最終旋入滑塊132側(cè)壁的第二盲孔42內(nèi)，形成如圖12和圖13所示結(jié)構(gòu)。其中，轉(zhuǎn)動固定螺栓時，如感覺阻力加大，即停止對固定螺栓的轉(zhuǎn)動，從而完成對樣品的固定工序。
[0049]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置的芯片測試結(jié)構(gòu)不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針，芯片表面也不會受到污染；同時，芯片背面與固定裝置底座充分接觸，不會因傾斜而影響光發(fā)射顯微鏡的鏡頭聚焦；再次，當探針進行扎針時，針尖與芯片不會發(fā)生相對滑動，而且整個操作過程不涉及化學(xué)物品，安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
[0050]通過說明和附圖，給出了【具體實施方式】的特定結(jié)構(gòu)的典型實施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。
[0051]對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種微小尺寸芯片固定裝置，應(yīng)用于采用光發(fā)射顯微鏡對芯片進行的失效定位測試中，其特征在于，所述固定裝置包括承載主體、滑塊和固定螺栓，所述滑塊通過所述固定螺栓與所述承載主體連接；所述承載主體包括一底座和若干個固定設(shè)置于所述底座上表面的擋塊，位于任意兩個相鄰所述擋塊之間的底座表面和該兩個相鄰擋塊共同形成一樣品槽；所述固定螺栓貫穿所述擋塊的中部，伸入所述樣品槽內(nèi)；所述固定螺栓的位于所述樣品槽內(nèi)的一端與一個所述滑塊的中部實現(xiàn)可脫卸連接，且所述螺栓并未穿通所述滑塊；其中，所述底座由透明材料制成。
2.如權(quán)利要求1所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述底座為一載玻片。
3.如權(quán)利要求1所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊為3個，并形成2個所述樣品槽，且所述滑塊為2個。
4.如權(quán)利要求3所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，每相鄰的兩個所述擋塊之間的距離相等。
5.如權(quán)利要求4所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊的長度與所述滑塊的長度以及所述載玻片的寬度一致。
6.如權(quán)利要求3或5所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊與所述滑塊的高度相同且小于所述芯片的厚度。
7.如權(quán)利要求3或5所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊側(cè)面的中心位置設(shè)置有通孔。
8.如權(quán)利要求7所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊的通孔于水平方向貫穿所述擋塊。
9.如權(quán)利要求3或5所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述滑塊側(cè)面的中心位置設(shè)置有盲孔。
10.如權(quán)利要求9所述的用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置，其特征在于，所述擋塊的通孔與所述滑塊的盲孔通過所述固定螺栓連接。
【文檔編號】G01R1/04GK103645352SQ201310600929
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年11月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月22日
【發(fā)明者】白月 申請人:上海華力微電子有限公司