探針卡和檢查裝置制造方法
【專利摘要】提供一種探針卡和檢查裝置，以限制探針卡在測試對象檢查過程中的變形并且抑制探針卡的平坦度的降低。探針卡是與測試對象接觸以執(zhí)行檢查的探針卡，該探針卡具有：探針基板，其在第一表面上設(shè)置有多個(gè)探針并且在第二表面上設(shè)置有多個(gè)固定件接收部；以及支撐體，其被布置成支撐探針基板的外周，在探針基板的第二表面上，在探針存在區(qū)域內(nèi)至少配置有彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部。
【專利說明】探針卡和檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體集成電路的通電測試(energization test)的探針卡和檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)地，具有分別與測試對象上的多個(gè)電極接觸的探針的探針卡用于諸如半導(dǎo)體集成電路等測試對象的電氣檢查。典型地，探針卡為圓盤狀的形狀。與測試對象電連接的多個(gè)探針設(shè)置在探針卡的第一表面。由檢查裝置可拆裝地支撐探針卡的外周。
[0003]在這種探針卡中，有時(shí)，當(dāng)由多個(gè)探針的頂端限定的平面的平坦度沒有滿足規(guī)定平坦度(例如，30 μ m以下)時(shí)，探針沒有與測試對象上的電極接觸，不能進(jìn)行電氣檢查。為了防止這種問題，提供如下的檢查裝置:在該檢查裝置中能夠調(diào)整探針卡的平坦度以允許將探針卡的第一表面的平坦度維持在等于或小于平坦度的規(guī)定值(參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)I]日本特開第2008-216060號公報(bào)
[0007]在該檢查裝置中，具有內(nèi)螺紋的多個(gè)固定件接收部(anchor receiving portion)設(shè)置在探針卡的探針基板的與設(shè)置有探針的表面相反的一個(gè)表面上。此外，基準(zhǔn)體布置在探針卡的該相反側(cè)，彈簧針座和配線板被夾持在探針卡和基準(zhǔn)體之間?；鶞?zhǔn)體設(shè)置有固定件部，該固定件部在各自的頂端具有待與各固定件接收部的內(nèi)螺紋螺紋連接的外螺紋。
[0008]在該檢查裝置中，通過調(diào)整固定件部的外螺紋相對于固定件接收部的內(nèi)螺紋的螺紋連接狀態(tài)以使探針卡相對于基準(zhǔn)體的位置移位，能夠校正探針卡的平坦度。

【發(fā)明內(nèi)容】

_9] 發(fā)明要解決的問題
[0010]另外，例如，如圖10所示，該檢查裝置中的探針卡132的固定件接收部134a、134b形成在探針卡的上述相反側(cè)的同心圓136、138上。形成在同心圓136上的四個(gè)(4個(gè))固定件接收部134a以均勻的間隔布置在同心圓136上。類似地，形成在同心圓138上的八個(gè)(8個(gè))固定件接收部134b以均勻的間隔布置在同心圓138上。
[0011]當(dāng)三個(gè)(3個(gè))相鄰的固定件接收部134a通過假想線彼此連接時(shí)，圖10中布置在同心圓136上的四個(gè)(4個(gè))固定件接收部134a形成由三個(gè)(3個(gè))相鄰的固定件接收部134a包圍的區(qū)域，即形成具有等腰三角形形狀的兩個(gè)單元形狀140。
[0012]另外，當(dāng)彼此相鄰的固定件接收部134a和固定件接收部134b通過假想線彼此連接時(shí)，布置在同心圓138上的八個(gè)(8個(gè))固定件接收部134b形成由一個(gè)(I個(gè))固定件接收部134b和兩個(gè)(2個(gè))固定件接收部134a包圍的等腰三角形單元形狀142以及由兩個(gè)(2個(gè))固定件接收部134b和一個(gè)(I個(gè))固定件接收部134a包圍的等腰三角形單元形狀144。
[0013]由于各等腰三角形具有不同的邊長，所以圖10中的這些等腰三角形140、142、144的面積不同。即，由三個(gè)(3個(gè))固定件接收部134a、134b包圍的各區(qū)域具有不同的面積(尺寸)，導(dǎo)致了由各固定件接收部134a、134b支撐的單元形狀的面積差。因此，當(dāng)引起變形的力施加到探針卡時(shí)，施加在各固定件接收部134a、134b上的力將不同，由在均具有等腰三角形形狀的單元形狀140、142、144的范圍內(nèi)的力產(chǎn)生的變形量將彼此不同。因而，將損害探針卡的平坦度。
[0014]針對上述問題，本發(fā)明的目的是通過在檢查測試對象的同時(shí)抑制探針卡的變形來限制探針卡的平坦度的降低。
[0015]用于解決問題的方案
[0016]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的第一方面的探針卡為:
[0017]一種探針卡，其通過與測試對象接觸來執(zhí)行檢查，所述探針卡包括:
[0018]探針基板，其在第一表面具有多個(gè)探針，并且在第二表面具有多個(gè)固定件接收部；以及
[0019]支撐體，其布置成支撐所述探針基板的外周，
[0020]其中，在所述探針基板的第二表面上，在探針存在區(qū)域內(nèi)至少配置有彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部。
[0021]根據(jù)該方面，在所述探針基板的第二表面上，在探針存在區(qū)域內(nèi)至少配置有彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部，因而由在探針卡上彼此等距離相鄰地規(guī)則配置的多個(gè)固定件接收部形成的區(qū)域具有相等的面積。換言之，在探針卡的探針存在區(qū)域中，當(dāng)通過具有抵接在固定件接收部上的固定件部的基準(zhǔn)體支撐探針卡時(shí)，能夠使探針卡上的由各固定件部支撐的各單元面積相等。因而，在上述的每個(gè)固定件和每個(gè)單元面積中，施加的使探針卡變形的力的大小沒有改變。結(jié)果，限制了探針卡的變形，防止探針卡的平坦度的降低。
[0022]應(yīng)該注意的是，本說明書中的“探針存在區(qū)域”是指在如下的圓內(nèi)的區(qū)域:該圓使用從探針卡的中心到位于從探針卡的中心朝向外周最遠(yuǎn)位置處的探針的距離作為半徑。
[0023]同樣，本說明書中的“固定件接收部彼此等距離地布置”的描述中包括的短語“彼此等距離地”不需要是字面上的嚴(yán)格意義的等距離。在固定件接收部的至少部分抵接表面和固定件接觸的條件下，即使當(dāng)固定件接收部的軸線位置與固定件的軸線位置不對齊時(shí)，相鄰的固定件接收部之間的距離也被認(rèn)為是本說明書中的“相等”。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的第二方面的探針卡為第一方面的探針卡，其中從所述探針基板的中心沿徑向存在至少兩個(gè)單元形狀，所述單元形狀是由等距離地規(guī)則布置并且彼此相鄰的多個(gè)所述固定件接收部形成的。
[0025]根據(jù)該方面，具有相等面積的多個(gè)單元形狀在探針基板的探針存在區(qū)域內(nèi)從探針基板的中心沿徑向布置。因而，當(dāng)變形力施加到探針基板時(shí)，相等的力施加到各單元形狀上。因此，即使在探針基板變形時(shí)，由于變形量在各單元形狀之間相等，所以防止了探針基板的平坦度的降低。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的第三方面的探針卡是第二方面的探針卡，其中由三個(gè)相鄰的所述固定件接收部形成的所述單元形狀具有等邊三角形形狀。
[0027]根據(jù)該方面，由固定件接收部組成的具有相等面積的等邊三角形單元形狀形成在探針卡的探針存在區(qū)域中。因而，當(dāng)引起探針基板變形的力施加到探針基板時(shí)，該力被均等地施加在所有等邊三角形單元形狀上。這意味著施加在各單元形狀上的力沒有差別，能夠限制單元形狀中的變形量的差別。因此，能夠?qū)⑻结樆宓钠教苟染S持在等于或小于預(yù)定值(例如，30 μ m以下)。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的第四方面的探針卡是第二方面的探針卡，其中由四個(gè)相鄰的所述固定件接收部形成的所述單元形狀具有正方形形狀。
[0029]根據(jù)該方面，由固定件接收部組成的具有相等面積的正方形單元形狀形成在探針卡的探針存在區(qū)域中。因而，當(dāng)引起探針基板變形的力施加到探針基板時(shí)，該力被均等地施加在所有正方形單元形狀上。這意味著施加在各單元形狀上的力沒有差別，能夠限制單元形狀中的變形量的差別。因此，能夠?qū)⑻结樆宓钠教苟染S持在等于或小于預(yù)定值(例如，30 μ m以下)。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的第五方面的探針卡是第一方面或第二方面的探針卡，其中多個(gè)所述固定件接收部中的一個(gè)布置在所述探針基板的中心。
[0031]根據(jù)該方面，由于固定件接收部設(shè)置在探針基板的中心，所以探針基板的中心由固定件支撐，這意味著改善了探針基板的剛性。結(jié)果，抑制了探針基板的變形，防止了探針卡的平坦度的降低。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的第六方面的探針卡是第一方面或第二方面的探針卡，其中分別與多個(gè)彈簧針接觸的多個(gè)端子設(shè)置于所述探針基板的第二表面，并且密封構(gòu)件接觸區(qū)域被設(shè)置成在端子存在區(qū)域的外側(cè)且是在所述探針基板的外周的內(nèi)側(cè)形成低壓室。
[0033]當(dāng)通過將固定件接收部抵接在固定件部上而由基準(zhǔn)體支撐探針卡時(shí)，探針卡的端子存在區(qū)域受到來自彈簧針的反作用力。因而，在探針基板的外周的內(nèi)側(cè)的低壓室中，探針基板受到的力在大氣壓和來自端子存在區(qū)域中的彈簧針的反作用力之間平衡。相反地，在端子存在區(qū)域的外側(cè)沒有來自彈簧針的反作用力，探針基板受到的力不平衡。這將導(dǎo)致在探針基板的端子存在區(qū)域的內(nèi)側(cè)和外側(cè)產(chǎn)生變形差。
[0034]在該實(shí)施方式中，在端子存在區(qū)域的外側(cè)和探針基板的外周的內(nèi)側(cè)設(shè)置密封構(gòu)件接觸區(qū)域。因而，在探針基板的外周的內(nèi)側(cè)形成的低壓室中，沒有受到來自彈簧針的反作用力的區(qū)域變小。因此，減小了探針基板上產(chǎn)生的變形差。
[0035]同樣，根據(jù)該實(shí)施方式，經(jīng)由與探針基板接觸的密封構(gòu)件，在探針基板的密封構(gòu)件接觸區(qū)域中受到來自彈簧針座的反作用力。因而，探針基板的端子存在區(qū)域和密封構(gòu)件接觸區(qū)域分別受到來自彈簧針和彈簧針座的反作用力。結(jié)果，防止了由端子存在區(qū)域中和端子存在區(qū)域外側(cè)的反作用力的存在或不存在而產(chǎn)生的變形，抑制了探針卡的平坦度的降低。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的第七方面的探針卡是第一方面或第二方面的探針卡，其中分別與多個(gè)彈簧針接觸的多個(gè)端子設(shè)置于所述探針基板的第二表面，并且密封構(gòu)件被設(shè)置成在端子存在區(qū)域的外側(cè)和所述探針基板的外周的內(nèi)側(cè)形成低壓室。
[0037]根據(jù)該方面，當(dāng)通過將固定件接收部抵接在固定件部上而由基準(zhǔn)體支撐探針卡時(shí)，探針卡的端子存在區(qū)域受到來自彈簧針的反作用力。在這種狀態(tài)下，探針基板的端子存在區(qū)域外側(cè)的區(qū)域經(jīng)由密封構(gòu)件與彈簧針座接觸，以受到來自彈簧針座的反作用力。因而，探針基板的端子存在區(qū)域和端子存在區(qū)域外側(cè)的區(qū)域分別受到來自彈簧針和彈簧針座的反作用力。結(jié)果，防止了由端子存在區(qū)域中和端子存在區(qū)域的外側(cè)的反作用力的存在或不存在而產(chǎn)生的變形，抑制了探針卡的平坦度的降低。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的第八方面的探針卡是第一方面或第二方面的探針卡，其中除了彼此等距離地規(guī)則布置的所述多個(gè)固定件接收部之外，在所述探針基板的第二表面的探針存在區(qū)域內(nèi)還設(shè)置有至少一個(gè)固定件接收部，并且所述至少一個(gè)固定件接收部和相鄰的所述多個(gè)固定件接收部之間的距離與所述多個(gè)固定件接收部之間的距離不同。
[0039]根據(jù)該方面，由在探針基板的第二表面的探針存在區(qū)域內(nèi)彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部來形成等面積的多個(gè)單元形狀。因而，當(dāng)引起探針基板變形的力施加到探針基板時(shí)，在所有單元形狀上施加等量的力。因此，即使在探針基板變形時(shí)，由于在各單元面積之間的變形量相等，因而防止了探針基板的平坦度的降低。
[0040]如上所述，在固定件接收部等距離地規(guī)則布置以在探針基板上形成等面積的單元形狀的狀態(tài)下，即使設(shè)置了以不同距離定位的其它固定件接收部時(shí)，也可以忽略探針基板的平坦度的降低。因而，如果需要的話，可以設(shè)置上述其它固定件接收部而不會(huì)使得平坦度降低。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的第九方面的檢查裝置是一種檢查裝置，其包括:
[0042]根據(jù)第一方面或第二方面所述的探針卡；
[0043]彈簧針座，其位于所述探針基板的第二表面?zhèn)炔⑶以O(shè)置有與設(shè)置于所述探針基板的第二表面的第一端子電連接的多個(gè)彈簧針；
[0044]基準(zhǔn)體，其具有待抵接在所述探針卡的固定件接收部上的多個(gè)固定件部，并且所述基準(zhǔn)體在所述固定件接收部抵接在所述固定件部時(shí)限定所述探針卡的平坦度；
[0045]配線板，其布置在所述彈簧針座和所述基準(zhǔn)體之間，并且具有多個(gè)第二端子，所述第二端子分別地電連接到所述彈簧針的與所述第一端子接觸的一側(cè)的相反側(cè)，
[0046]探針器，所述探針卡經(jīng)由所述支撐體安裝到所述探針器，所述探針器具有臺，在所述臺上載置待與所述探針卡的探針接觸的測試對象，以及
[0047]測試器，其與所述配線板電連接。
[0048]根據(jù)該方面，在該檢查裝置中能夠產(chǎn)生與第一方面至第八方面中任意一項(xiàng)的效果相同的效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0049]圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的包括探針卡的檢查裝置的側(cè)視圖。
[0050]圖2是示出在根據(jù)本發(fā)明的檢查裝置上探針卡和彈簧針座分離的狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0051]圖3是示出在根據(jù)本發(fā)明的檢查裝置上探針卡、彈簧針座、探針器和其它元件彼此分離的狀態(tài)的分解側(cè)視圖。
[0052]圖4的(A)是示出探針卡的探針基板和支撐構(gòu)件的接合狀態(tài)的側(cè)視剖視圖，圖4的(B)示出探針卡的探針基板和支撐構(gòu)件的拆卸狀態(tài)的側(cè)視剖視圖。
[0053]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
[0054]圖6是示出彈簧針與探針基板和基準(zhǔn)體的接觸狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0055]圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的探針卡經(jīng)由固定件接收部和固定件部而由基準(zhǔn)體支撐的狀態(tài)的側(cè)視剖視圖。[0056]圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
[0057]圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
[0058]圖10是示出傳統(tǒng)探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
[0059]圖11是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的變形例的探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
[0060]圖12是示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例的探針卡上的固定件接收部的配置的平面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0061]在下文中基于附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式做出描述。僅在第一實(shí)施方式中描述在所有實(shí)施方式中通過相同的附圖標(biāo)記表示的共同的組成元件，在隨后的實(shí)施方式中省略該描述。
[0062]參照圖1和圖2描述檢查裝置10的組成元件。檢查裝置10具有探針器12、測試器14、探針卡16、彈簧針座18、配線板20和基準(zhǔn)體22。探針器12具有吸盤頂(chuck top)24和檢查臺26。
[0063]通過組合X臺、Y臺、Z臺和Θ臺來構(gòu)成檢查臺26。吸盤頂24安裝到檢查臺26的頂部。因而，吸盤頂24在X軸方向上、Y軸方向上和Z軸方向上位置可調(diào)，其中，Y軸方向在水平面上與X軸方向正交，Z軸方向與水平面(XY平面)垂直。同樣，吸盤頂24圍繞Z軸在Θ方向上轉(zhuǎn)動(dòng)地可調(diào)。
[0064]安裝測試對象30的安裝面28設(shè)置在吸盤頂24上。在本實(shí)施方式中，測試對象30是集成有多個(gè)集成電路的半導(dǎo)體晶圓。
[0065]通過探針器12在探針卡16的外周支撐探針卡16，該探針卡16布置在吸盤頂24的安裝面28的上方。多個(gè)探針34以探針34從探針卡16的下表面32 (B卩，探針卡16的“第一表面”并且為圖1中的-Z軸側(cè)的表面)沿著-Z軸方向突出的方式布置于下表面32。
[0066]彈簧針座18布置在探針卡16的上表面36 (B卩，探針卡16的“第二表面”并且為圖1中的+Z軸側(cè)的表面)上。彈簧針座18包括多個(gè)彈簧針38。如稍后將描述地，當(dāng)探針卡16的固定件接收部40與設(shè)置在基準(zhǔn)體上的固定件部42抵接時(shí)，彈簧針座18使配線板20上的各端子21 (參照圖6)與探針卡16上的探針34電連接。在彈簧針38的存在區(qū)域的外側(cè)、在彈簧針座18的上表面和下表面，彈簧針座18設(shè)置有環(huán)形密封構(gòu)件44。
[0067]配線板20布置在彈簧針座18的上方，即圖1中的+Z軸側(cè)。分別與彈簧針38接觸的多個(gè)端子21 (參照圖6)設(shè)置于配線板20的下表面。配線板20安裝到基準(zhǔn)體22的下表面。電氣路徑(未示出)設(shè)置在配線板20和基準(zhǔn)體22中。電氣路徑的第一端連接到配線板20的下表面的各端子21，電氣路徑的第二端連接到設(shè)置在基準(zhǔn)體22的上表面的電極(未示出)?；鶞?zhǔn)體22上的電極經(jīng)由連接線纜46與測試器14電連接。
[0068]基準(zhǔn)體22具有經(jīng)由配線板20朝向探針卡16突出的多個(gè)固定件部42。由位于基準(zhǔn)體上方(即相對于基準(zhǔn)體在+Z軸方向上)的測試器14支撐基準(zhǔn)體22。測試器14被形成為能夠沿Z軸方向移動(dòng)。[0069]因而，由密封構(gòu)件44包圍的空間48形成在探針卡16的上表面36和彈簧針座18的下表面之間，當(dāng)測試器14沿-Z軸方向移位以使彈簧針38的下端與探針基板52的端子87接觸時(shí)，導(dǎo)致探針卡16的上表面36與彈簧針座18的下表面端的密封構(gòu)件44接觸。通過使用未示出的氣體供給和排出部件使空間48排氣，以在空間48中產(chǎn)生負(fù)壓。換言之，空間48形成低壓室。可選地，彈簧針座18的下表面端的密封構(gòu)件44可以被設(shè)計(jì)成與支撐體54接觸，而不是與探針卡16的上表面36接觸。
[0070]類似地，由于彈簧針座18的上表面端的密封構(gòu)件44的存在，由密封構(gòu)件44包圍的空間50形成在彈簧針座18的上表面和基準(zhǔn)體22的下表面之間。通過使用未示出的氣體供給和排出部件使空間50排氣，以在空間50中產(chǎn)生負(fù)壓。換言之，空間50形成低壓室。
[0071]應(yīng)該注意的是，經(jīng)由彈簧針38內(nèi)的空間和以從上表面貫穿到下表面的方式設(shè)置于彈簧針座18的通孔(未示出)使空間50和空間48彼此連通以形成單一空間，能夠從該空間的任意一端使空間48和空間50排氣以同時(shí)形成低壓狀態(tài)。
[0072]由于在空間48和空間50中進(jìn)行排氣，密封空間48、50中的壓力相對于外側(cè)大氣壓變得較低。歸因于相對于外側(cè)大氣壓的壓力差，配線板20和探針基板52之間的距離減小，同時(shí)朝向彈簧針座18壓入彈簧針38。最終，固定件部42抵接在探針基板52上的固定件接收部40上，配線板20和探針基板52不再靠得更近。同時(shí)，不再進(jìn)一步壓入彈簧針38。
[0073]因此，探針卡16的探針34經(jīng)由彈簧針38、配線板20的端子、配線板20和基準(zhǔn)體22中的電氣路徑(未示出)、設(shè)置在基準(zhǔn)體22的上表面的電極(未示出)和連接線纜46而電連接到測試器14。因而，檢查裝置10變得能夠檢查測試對象30。
[0074]?<第一實(shí)施方式>>>
[0075]參照圖3至圖5詳細(xì)描述根據(jù)第一實(shí)施方式的探針卡16。探針卡16具有探針基板52和支撐體54。在本實(shí)施方式中，探針基板52為圓盤狀(圓形)的形狀，探針基板52被構(gòu)成為包括陶瓷板和配線板的多層板(未示出)。探針基板52具有上表面36和下表面32。支撐體54布置在探針基板52的外周。
[0076]支撐體54形成為環(huán)形構(gòu)件，并且用作當(dāng)探針卡16安裝到探針器12時(shí)用于探針卡16的高度基準(zhǔn)。支撐體54具有高度基準(zhǔn)構(gòu)件56和探針基板支撐部58。高度基準(zhǔn)構(gòu)件56具有高度基準(zhǔn)部60和探針卡夾持部62。高度基準(zhǔn)部60的下表面64安裝到探針器12。下表面64為探針卡16的高度基準(zhǔn)表面。定位孔68形成在高度基準(zhǔn)部60中，以將定位銷66插入探針器12，用以確定探針卡16相對于探針器12的位置(參照圖1、圖4和圖5)。
[0077]裝配到探針基板52的凹部70中的定位銷72以從探針卡夾持部62的下表面突出的方式設(shè)置于該下表面。同樣，通孔74形成在探針卡夾持部62中，并且螺紋構(gòu)件76插入到通孔74中。
[0078]環(huán)形探針基板支撐部58具有接合部78和夾持頭(clamping bit) 80。待與螺紋構(gòu)件76螺紋連接的內(nèi)螺紋82設(shè)置在接合部78中。設(shè)置夾持頭80以形成支撐探針基板52的下表面32的外周的環(huán)。
[0079]當(dāng)定位銷72裝配到凹部70中時(shí)，探針基板52的外周84的上表面36與高度基準(zhǔn)構(gòu)件56的探針卡夾持部62接觸。此外，探針基板52的外周84的下表面32與探針卡夾持部62的夾持頭80接觸。換言之，當(dāng)插入到探針卡夾持部62的通孔74中的螺紋構(gòu)件76與接合部78的內(nèi)螺紋82螺紋 連接時(shí)，探針基板52的外周84被夾持在探針卡夾持部62和夾持頭80之間。
[0080]另外，探針基板52具有從下表面32突出的多個(gè)探針34。多個(gè)探針34以如下方式安裝到下表面32:使得通過連接探針34的頂端獲得的假想平面的平坦度等于或小于預(yù)定值(例如，30 μ m以下)。
[0081]同樣，分別與彈簧針38接觸的多個(gè)端子87 (參照圖6)設(shè)置在與彈簧針座18上的彈簧針38的存在區(qū)域相對應(yīng)的假想圓86 (參照圖5)內(nèi)側(cè)的區(qū)域。換言之，假想圓86的內(nèi)部區(qū)域被定義為端子存在區(qū)域88。同樣，在上表面36上，通過利用例如聚酰亞胺涂覆假想圓86和假想圓90之間的區(qū)域使得密封構(gòu)件接觸區(qū)域92 (參照圖5和圖7)形成在假想圓86和假想圓90之間的區(qū)域中，其中假想圓90與假想圓86同心。在本實(shí)施方式中，探針34設(shè)置在下表面32的與假想圓94內(nèi)側(cè)的區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域中。即，假想圓94的內(nèi)部區(qū)域?yàn)樘结槾嬖趨^(qū)域96 (參照圖5)。
[0082]多個(gè)固定件接收部40a、40b、40c形成在上表面36上。在本實(shí)施方式中，固定件接收部40a、40b、40c形成為圓柱形。多個(gè)固定件接收部40a布置在探針存在區(qū)域96內(nèi)。固定件接收部40a中的一個(gè)布置在探針基板52的中心位置。六個(gè)(6個(gè))固定件接收部40a圍繞布置在中心位置的固定件接收部40a布置。固定件接收部40a以各固定件接收部40a和相鄰的固定件接收部40a之間的距離相等的方式布置。即，規(guī)則地布置七個(gè)(7個(gè))固定件接收部40a，以形成正六邊形，該正六邊形的基點(diǎn)在位于中心的固定件接收部40a處。
[0083]三個(gè)(3個(gè))相鄰的固定件接收部40a在通過假想線彼此連接時(shí)形成由三個(gè)(3個(gè))相鄰的固定件接收部40a包圍的區(qū)域，即，形成具有等邊三角形形狀的單元形狀98。此外，在本實(shí)施方式中，彼此等距離地布置的多個(gè)固定件接收部40b、40c沿著探針基板52和支撐體54的邊界形成。
[0084]固定件接收部40b以到相鄰兩個(gè)(2個(gè))固定件接收部40a的距離等于等邊三角形單元形狀98的一邊的長度的方式布置。因而，由一個(gè)(I個(gè))固定件接收部40b和兩個(gè)(2個(gè))固定件接收部40a包圍的區(qū)域也形成具有等邊三角形形狀的單元形狀98。這意味著從探針基板52的中心沿徑向布置兩個(gè)(2個(gè))或更多個(gè)等邊三角形單元形狀98。
[0085]各固定件接收部40a、40b、40c形成在與基準(zhǔn)體22上的固定件部42相對應(yīng)的位置處。然而，對應(yīng)的位置為如下位置:在該位置處，固定件接收部40a、40b、40c的抵接面的至少一部分與固定件部42重疊。因而，固定件接收部40a、40b、40c的軸線位置(在圖5中的XY平面上)和固定件部42的軸線位置不必完全一致，而是可以在固定件接收部40a、40b、40c的抵接面的至少一部分與固定件部42重疊的范圍內(nèi)錯(cuò)開。
[0086]在本實(shí)施方式中，七個(gè)(7個(gè))固定件接收部40a布置在端子存在區(qū)域88內(nèi)。因而，與現(xiàn)有技術(shù)中的固定件接收部IOOaUOOb的數(shù)量為十二個(gè)(12個(gè))相比，能夠減少固定件接收部的數(shù)量。換言之，能夠減少端子存在區(qū)域88內(nèi)的被固定件接收部占用的面積，能夠與減少的面積成比例地增加與彈簧針38對應(yīng)的端子87的數(shù)量。結(jié)果，能夠增加到探針34的信號線的數(shù)量，以實(shí)現(xiàn)檢查裝置10的檢查性能的改進(jìn)。
[0087]同樣在本實(shí)施方式中，固定件接收部40a中的一個(gè)布置在探針基板52的中心。這意味著通過固定件支撐探針基板的中心，以提高探針基板的剛性，并且抑制探針基板52的變形。采用這種方法，抑制通過連接設(shè)置在探針基板52的下表面32的探針34的頂端獲得的假想的X-Y平面的平坦度變得比前述平坦度(例如，30 μ m以下)差。[0088]接著，參照圖6和圖7詳細(xì)描述設(shè)置在基準(zhǔn)體22的下表面?zhèn)鹊墓潭?2。在圖6中，形成在探針基板52的上表面36上的固定件接收部40和設(shè)置在基準(zhǔn)體22的下表面?zhèn)鹊墓潭?2處于未抵接狀態(tài)。固定件部42從基準(zhǔn)體22的下表面突出并且包括柱狀部100和擴(kuò)展部102。柱狀部100設(shè)置在彈簧針座18中并且插入豎直貫穿彈簧針座18的通孔104中。通孔104的直徑在下端部擴(kuò)展，以形成能夠接收擴(kuò)展部102的擴(kuò)展直徑部106。
[0089]因而，在圖6中，彈簧針座18處于固定件部42的擴(kuò)展部102裝配到擴(kuò)展直徑部106而與之接觸并且朝向基準(zhǔn)體22拉彈簧針座18以使彈簧針38被壓到配線板20上的狀態(tài)。優(yōu)選地，設(shè)計(jì)并調(diào)整使彈簧針38壓抵配線板20的力的強(qiáng)度，使得彈簧針38僅輕輕壓抵配線板20而不引起配線板20的任何變形。
[0090]圖6示出了測試器14朝向探針卡16移位直到彈簧針38的下端接觸探針基板52上的端子87的狀態(tài)。需要注意的是，在這種狀態(tài)下，施加在彈簧針38的上端和下端的加壓載荷小于接觸所需的載荷，歸因于不充分的加壓載荷，從探針34到測試器14的電連接不穩(wěn)定。
[0091]此時(shí)，設(shè)置在彈簧針座18的上表面的外周的密封構(gòu)件44與配線板20接觸。于是，由密封構(gòu)件44包圍的空間50形成在彈簧針座18的上表面和基準(zhǔn)體22的下表面之間。同樣，設(shè)置在彈簧針座18的下表面的外周的密封構(gòu)件44與密封構(gòu)件接觸區(qū)域92接觸。于是，由密封構(gòu)件44包圍的空間48形成在探針基板52的上表面36和彈簧針座18的下表面之間。優(yōu)選地，經(jīng)由彈簧針38內(nèi)的空間和以從上表面貫穿到下表面的方式設(shè)置于彈簧針座18的通孔(未示出)使空間50和空間48彼此連通以形成單一空間。
[0092]此時(shí)，使用未示出的氣體供給和排出部件開始對位于彈簧針座18的上表面和下表面的空間進(jìn)行排氣，即，對由設(shè)置于彈簧針座18的密封構(gòu)件44與配線板20和探針基板52形成的空間48、50進(jìn)行排氣。
[0093]由于進(jìn)行了排氣，密封空間48、50中的壓力相對于外側(cè)大氣壓變得較低。歸因于相對于外側(cè)大氣壓的壓力差，沿著使配線板20和探針基板52彼此靠近的方向朝向彈簧針座18壓縮配線板20和探針基板52。最終，如圖7中示出的，基準(zhǔn)體22上的固定件部42的抵接面抵接在探針基板52上的固定件接收部40的抵接面上。此時(shí)，彈簧針座18在Z軸方向上被定位在探針基板52和配線板20之間，該彈簧針座18受到來自配線板20的反作用力并且受到來自探針基板52的反作用力，來自配線板20的反作用力是由壓靠配線板20的彈簧針38的上端產(chǎn)生的，來自探針基板52的反作用力是由壓靠探針基板52的彈簧針38的下端產(chǎn)生的(狀態(tài)I)。
[0094]應(yīng)該注意的是，在這種狀態(tài)下，彈簧針38的上端和下端以規(guī)定的載荷值分別壓靠配線板20上的端子21和探針基板52上的端子87，從探針34到測試器14的電連接變得穩(wěn)定。因而，經(jīng)由固定件接收部40和固定件部42通過基準(zhǔn)體22支撐探針卡16。因此，限定了探針卡16和基準(zhǔn)體22的相對定位，探針卡16的平坦度取決于基準(zhǔn)體22的平坦度。在這種狀態(tài)下，由配線板20和探針基板52處的空間50、48的減壓分別引起的來自外側(cè)大氣壓的力和隨著彈簧針38被壓入而抵抗并試圖將彈簧針38推回的朝向外側(cè)的力在探針存在區(qū)域大體平衡。為此，配線板20和探針基板52幾乎不可能向內(nèi)或向外彎曲。
[0095]當(dāng)從狀態(tài)I進(jìn)一步進(jìn)行排氣時(shí)，一旦通過未示出的測量部件測量的空間48、50內(nèi)的負(fù)壓達(dá)到規(guī)定值，氣體供給和排出部件(未示出)將空間48、50內(nèi)的負(fù)壓保持在恒定值(狀態(tài)2)。在狀態(tài)2中，空間48、50被制成低壓室，通過探針卡16和配線板20壓入彈簧針38，這使得固定件接收部40抵接在固定件部42上(狀態(tài)I )，另外，歸因于新產(chǎn)生的壓力差，探針卡16經(jīng)由固定件部42與基準(zhǔn)體22 —體化。
[0096]當(dāng)空間48脫離狀態(tài)I或平衡狀態(tài)進(jìn)入負(fù)壓狀態(tài)時(shí)，將通過大氣壓產(chǎn)生的力從下表面32施加到探針基板52，試圖使探針基板52朝向彈簧針座18移位。此時(shí)，通過多個(gè)固定件部42支撐探針基板52，探針基板52通過具有相同面積的區(qū)域(即多個(gè)等邊三角形單元形狀98)受到前述的力。
[0097]由于以使得各等邊三角形單元形狀98具有相等的面積的方式形成多個(gè)等邊三角形單元形狀98,所以將等量的力施加到各等邊三角形單元形狀98。這意味著施加在各單元形狀98上的力沒有差別，并且探針基板52朝向彈簧針座18的位移量在整個(gè)面積中都相等。因此，抑制了探針基板52的變形。
[0098]另外，在各頂點(diǎn)到重心的距離恒定的正多邊形中，等邊三角形單元形狀98允許頂點(diǎn)的數(shù)量減少到最小的數(shù)量。
[0099]這能夠證明如下:當(dāng)從各頂點(diǎn)到重心的距離為“a”時(shí)，
[0100]正η邊形的面積“S”能夠通過以下等式表示:
[0101]S=n.a2.{cos ( π /n).sin ( π /n)}
[0102]正η邊形的內(nèi)角(rad.)能夠表示如下:
[0103]Ji (η — 2) /n
[0104]并且η邊形的內(nèi)角和能夠通過下式來表示:
[0105]Ji (η — 2)
[0106]因而，η邊形擁有的幾何頂點(diǎn)的數(shù)量，即固定件的數(shù)量N能夠通過以下等式來表示:
[0107]N= τι (η — 2) /2 = (η — 2)/2
[0108]因此，當(dāng)各頂點(diǎn)和重心之間的距離保持恒定時(shí)，面積“S”除以面積“S”中的固定件的數(shù)量得到的值，即每個(gè)固定件的面積“S”，能夠表示如下:
[0109]s=S/N = η.a2.{cos ( π /n).sin (Ji /n)} / {(η — 2) /2}
[0110]=2n.a2.{cos ( π /n).sin ( π /n) / (n — 2)}
[0111]基于該公式，
[0112]當(dāng)n=3時(shí)，即在等邊三角形的情況下，s = 2.598a2。
[0113]類似地，
[0114]當(dāng)n=4時(shí)，即在正方形的情況下，s = 2a2,
[0115]當(dāng)n=5時(shí)，即在正五邊形的情況下，s = 1.585a2，以及
[0116]當(dāng)n=6時(shí)，即在正六邊形的情況下，S=L 299a2。
[0117]采用這種方法，隨著“η”的增大，每個(gè)固定件的面積都減小了。
[0118]當(dāng)利用布置在正多邊形的頂點(diǎn)的固定件從與固定件相對的面將均勻的壓力施加在彈性體上時(shí)，離固定件最遠(yuǎn)的重心位置為正多邊形幾何形狀中產(chǎn)生最大位移的點(diǎn)。然而，如果從正多邊形的頂點(diǎn)起的距離相等，則位移量將大體相等。因而，對于相等的單元面積，當(dāng)單元形狀形成為等邊三角形時(shí)需要最小數(shù)量的固定件。換言之，當(dāng)面積相等時(shí)，在固定件布置在具有較少邊數(shù)的正多邊形的頂點(diǎn)時(shí)重心處的位移量變得較小。[0119]另外，彈簧針38的抵抗來自下表面32的大氣壓的加壓力的反作用力在探針基板52的探針存在區(qū)域96中被施加在探針基板52上。另外，來自在密封構(gòu)件接觸區(qū)域92中與探針基板52接觸的密封構(gòu)件44的反作用力施加在探針基板52的外周，即施加在探針存在區(qū)域96的外側(cè)。因而，抵抗施加在下表面32上的大氣壓的反作用力(即，彈簧針38和密封構(gòu)件44的反作用力)施加在彈簧針38的存在區(qū)域中的上表面36上和在徑向上從中心位置朝向外周延伸的密封構(gòu)件44上。這使得能夠減小探針基板52在徑向上的變形。
[0120]?<第二實(shí)施方式>>>
[0121]參照圖8描述根據(jù)第二實(shí)施方式的探針卡108。第二實(shí)施方式在固定件接收部110相對于第一實(shí)施方式的探針基板52上的固定件接收部40的位置方面與第一實(shí)施方式不同，并且在單元形狀面積方面也與第一實(shí)施方式不同，第二實(shí)施方式的單元形狀面積小于第一實(shí)施方式的單元形狀面積，以提高探針基板52的剛性。
[0122]在探針卡108中，多個(gè)固定件接收部110a、110b、110c、110d、110e設(shè)置在探針基板52的上表面36上。三個(gè)(3個(gè))固定件接收部IlOa以固定件接收部IlOa之間的距離相等的方式布置。另外，三個(gè)(3個(gè))固定件接收部IlOa以具有等邊三角形形狀并且由三個(gè)(3個(gè))固定件接收部IlOa形成的單元形狀112的重心與探針基板52的中心相對應(yīng)的方式布置。
[0123]此外，均具有等邊三角形形狀的單元形狀114以單元形狀114與等邊三角形單元形狀112共用一條邊的方式圍繞具有等邊三角形形狀的單元形狀112布置，等邊三角形單元形狀114具有與等邊三角形單元形狀112相等的尺寸。在構(gòu)成各等邊三角形單元形狀114的三個(gè)(3個(gè))頂點(diǎn)中，由固定件接收部IlOa形成兩個(gè)(2個(gè))頂點(diǎn)，由固定件接收部IlOb形成剩下的一個(gè)頂點(diǎn)。
[0124]此外，等邊三角形單元形狀116以單元形狀116與等邊三角形單元形狀114共用一條邊的方式圍繞等邊三角形單元形狀114布置，等邊三角形單元形狀116具有與等邊三角形單元形狀112、114相等的尺寸。在構(gòu)成各等邊三角形單元形狀116的三個(gè)(3個(gè))頂點(diǎn)中，由固定件接收部IlOa形成一個(gè)頂點(diǎn)，由固定件接收部IlOb形成另外兩個(gè)頂點(diǎn)中的一個(gè)頂點(diǎn)。固定件接收部IlOc布置在剩下的頂點(diǎn)上。
[0125]對于位于兩個(gè)(2個(gè))等邊三角形單元形狀116之間的等邊三角形單元形狀118，由固定件接收部IlOa形成等邊三角形的三個(gè)(3個(gè))頂點(diǎn)中的一個(gè)，由固定件接收部IlOc形成剩下的兩個(gè)(2個(gè))頂點(diǎn)。在等邊三角單元形狀118中，連接固定件接收部IlOa和固定件接收部IlOc的兩條(2條)邊分別與相鄰的等邊三角形單元形狀116的一條邊共用。因而，固定件接收部110a、110b、IlOc以到彼此相鄰的固定件接收部110a、110b、IlOc的距離相等的方式規(guī)則布置在探針基板52上的探針存在區(qū)域96中。
[0126]另外，在探針基板52的六個(gè)(6個(gè))等邊三角形單元形狀116中的每一個(gè)中，位于徑向外側(cè)的一邊、即不與等邊三角單元形狀114、118共用的一邊與等邊三角形單元形狀120的一邊共用。在等邊三角形單元形狀120的三個(gè)(3個(gè))頂點(diǎn)中，由固定件接收部IlOb形成一個(gè)頂點(diǎn)，由固定件接收部IlOc形成另外兩個(gè)頂點(diǎn)中的一個(gè)。固定件接收部IlOd布置在剩下的頂點(diǎn)上。
[0127]同樣在本實(shí)施方式中，多個(gè)固定件接收部IlOe布置在如下的圓的圓周上:該圓的半徑與從探針基板52的中心到固定件接收部IlOd的位置的距離相對應(yīng)。在該圓的圓周上等間隔地布置固定件接收部IlOd和110e。
[0128]在本實(shí)施方式中等距離地定位各固定件接收部110a、110b、110c、110d。同樣，以彼此具有相同尺寸的方式形成等邊三角形單元形狀112、114、116、118、120。換言之，等邊三角形單元形狀112、114、116、118、120具有相等的面積。
[0129]在本實(shí)施方式中，由固定件接收部110組成的具有相等面積的等邊三角形單元形狀112、114、116、118形成在探針基板52上的探針存在區(qū)域96內(nèi)。因而，當(dāng)引起探針基板52的變形的力施加到探針基板52時(shí)，該力被均等地施加到所有等邊三角形單元形狀112、114、116、118上。這意味著施加在各單元形狀上的力沒有差別，能夠限制單元形狀中的變形量的差別。因此，能夠?qū)⑻结樆?2的平坦度維持在等于或小于預(yù)定值(例如，30μπι以下)。
[0130]此外，在本實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式的等邊三角形單元形狀98的數(shù)量為6個(gè)的情況相比，探針存在區(qū)域96中的等邊三角形單元形狀112、114、116、118的總數(shù)增加到13個(gè)。這意味著由各固定件接收部110a、110b、110c支撐的單元面積變得更小，并且限制了在探針基板52上產(chǎn)生的變形。
[0131]〈〈〈第三實(shí)施方式〉》
[0132]參照圖9描述根據(jù)第三實(shí)施方式的探針卡122。第三實(shí)施方式在固定件接收部124相對于第一實(shí)施方式的探針基板52上的固定件接收部40的位置方面與第一實(shí)施方式不同。
[0133]在探針卡122中，多個(gè)固定件接收部124a、124b、124c、124d設(shè)置在探針基板52的上表面36上。以距探針基板52的中心的距離相等的方式布置四個(gè)(4個(gè))固定件接收部124a。此外，以使得相鄰固定件接收部124a之間的距離相等的方式布置該四個(gè)(4個(gè))固定件接收部124a。S卩，四個(gè)(4個(gè))固定件接收部124a形成正方形單元形狀126。
[0134]與正方形單元形狀126共用一條邊的正方形單元形狀128布置于正方形單元形狀126的四條(4條)邊。在正方形單元形狀128的四個(gè)(4個(gè))頂點(diǎn)中，由固定件接收部124a形成兩個(gè)(2個(gè))頂點(diǎn)，由固定件接收部124b形成剩下的兩個(gè)(2個(gè))頂點(diǎn)。即，固定件接收部124a、124b以到相鄰的固定件接收部124a、124b的距離相等的方式規(guī)則布置在探針基板52上的探針存在區(qū)域96中。
[0135]正方形單元形狀130布置在兩個(gè)(2個(gè))正方形單元形狀128之間，該兩個(gè)(2個(gè))正方形單元形狀128的一條邊分別與正方形單元形狀126的以直角相交的兩條(2條)邊共用。正方形單元形狀130的以直角相交的兩條(2條)邊分別與正方形單元形狀128的一條邊共用。
[0136]同樣，固定件接收部124c、124d布置在探針卡122上的探針基板52和支撐體54的邊界處。固定件接收部124c、124d以到同一個(gè)圓上相鄰的固定件接收部124c、124d的距離相等的方式布置。同樣，固定件接收部124c布置在正方形單元形狀130的不與正方形單元形狀128共用的兩條邊相交的交點(diǎn)附近。
[0137]同樣，以彼此具有相等尺寸的方式形成正方形單元形狀126、128、130。換言之，正方形單元形狀126、128、130具有相等的面積。
[0138]在本實(shí)施方式中，由固定件接收部124組成的具有相同面積的正方形單元形狀126、128形成在探針基板52上的探針存在區(qū)域96中。因而，當(dāng)引起探針基板52的變形的力施加到探針基板52時(shí)，該力被均勻地施加到所有正方形單元形狀126、128上。這意味著施加在各單元形狀上的力沒有差別，并且能夠限制在單元形狀中的變形量的差別。因此，能夠?qū)⑻结樆?2的平坦度維持在等于或小于預(yù)定值(例如，30μπι以下)。
[0139]另外，使用正方形單元形狀126布置固定件接收部124允許信號線等沿著與半導(dǎo)體芯片配置的方向匹配的豎直方向或水平方向反復(fù)配置。因?yàn)樵撎卣鲗μ结樋ㄉa(chǎn)過程中的簡單配置做出了貢獻(xiàn)，所以在很多情況下是優(yōu)選的。雖然這種配置在保持平坦度等于等邊三角形單元形狀的平坦度方面沒有優(yōu)勢，卻具有其它正多邊形不能提供的優(yōu)點(diǎn)。
[0140]?<第一實(shí)施方式到第三實(shí)施方式的變形例>>>
[0141](I)以固定件部42抵接在固定件接收部40上并且在空間48、50中產(chǎn)生負(fù)壓使得由基準(zhǔn)體22支撐探針卡16的方式形成第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式?？蛇x地，可以以在各固定件部42的頂端設(shè)置外螺紋并且在各固定件接收部40上設(shè)置內(nèi)螺紋使得通過將固定件部42與固定件接收部40螺紋連接而由基準(zhǔn)體22支撐探針卡16的方式形成第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式。
[0142](2)第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式形成為在探針基板52的上表面36的外周部設(shè)置密封構(gòu)件接觸區(qū)域92。可選地，密封構(gòu)件44可以設(shè)置在上表面36的外周。
[0143](3)在第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式中，固定件接收部40、110、124等距離地布置在探針基板52和支撐體54的邊界上?？蛇x地，固定件接收部40、110、124可以以不規(guī)則的距離布置在探針基板52和支撐體54的邊界上。
[0144](4)除了由等邊三角形或正方形形成單元形狀的構(gòu)造外，可以由正多邊形或者這些形狀的組合形成單元 形狀。
[0145](5)通過在探針基板52的探針存在區(qū)域96中彼此等距離地規(guī)則布置固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b形成第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式?？蛇x地，除了這些固定件接收部之外，可以在探針存在區(qū)域96中布置至少一個(gè)固定件接收部146。可以以到相鄰的固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b的不規(guī)則距離與各固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b之間的距離不同的方式布置至少一個(gè)固定件接收部146。
[0146]同樣，在探針存在區(qū)域96中由固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b形成的單元形狀98、112、114、116、118、126、128可以以至少一個(gè)固定件接收部146設(shè)置在單元形狀98、112、114、116、118、126、128中的至少一個(gè)中的方式形成。
[0147]在圖11和圖12中示出了至少一個(gè)固定件接收部146的配置示例。固定件接收部146的配置示例包括:在探針存在區(qū)域96中的沒有形成單元形狀98、112、114、116、118、126,128的位置處，在探針基板52的中心設(shè)置固定件接收部146 ;或者在探針存在區(qū)域96中的形成單元形狀98、112、114、116、118、126、128的位置處，在探針基板52的中心設(shè)置固定件接收部146。
[0148]在圖11和圖12中示出的至少一個(gè)固定件接收部146的配置示例中，單元形狀112、114、116、118、126、128形成在探針存在區(qū)域96中，并且在各單元形狀上施加相同大小的力。因而，在探針存在區(qū)域96中增加至少一個(gè)固定件接收部146將不會(huì)引起探針基板52的平坦度的任何降低。
[0149]探針卡16、108、122是與測試對象30接觸以執(zhí)行測試的探針卡16、108、122，該探針卡16、108、122包括:探針基板52，其在下表面32設(shè)置有多個(gè)探針34并且在上表面36設(shè)置有多個(gè)固定件接收部40、110、124 ;和支撐體54，其被布置為支撐探針基板52的外周，在探針基板52的上表面36上，在探針34的存在區(qū)域96內(nèi)至少配置有彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部40、110、124。
[0150]在探針卡16、108、122 上，存在單元形狀 98、112、114、116、118、120、126、128、130中的至少兩個(gè)(2個(gè))單元形狀，從探針基板52的中心沿徑向存在的單元形狀98、112、114、116、118、120、126、128、130是由彼此等距離地規(guī)則布置并且彼此相鄰的多個(gè)固定件接收部40、110、124 形成的。
[0151]在探針卡16、108上，由三個(gè)(3個(gè))相鄰的固定件接收部40、110形成的單元形狀為等邊三角形98、112、114、116、118、120。在探針卡122上，由四個(gè)(4個(gè))相鄰的固定件接收部124形成的單元形狀為正方形126、128、130。在探針卡16上，在探針基板52的中心處布置多個(gè)固定件接收部40中的一個(gè)。
[0152]探針卡16、108、122包括:多個(gè)端子87，其在探針基板52的上表面36上分別與多個(gè)彈簧針38接觸；以及密封構(gòu)件接觸區(qū)域92，其在端子87的存在區(qū)域88的外側(cè)和探針基板52的外周的內(nèi)側(cè)以形成低壓室48、50。同樣，探針卡16、108、122包括:多個(gè)端子87，其在探針基板52的上表面36上分別與多個(gè)彈簧針38接觸；以及密封構(gòu)件44，其在端子87的存在區(qū)域88的外側(cè)和探針基板52的外周的內(nèi)側(cè)以形成低壓室48、50。
[0153]除了彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b之外，在探針基板52的上表面36上的探針34的存在區(qū)域96內(nèi)還設(shè)置至少一個(gè)固定件接收部146。至少一個(gè)固定件接收部146與相鄰的多個(gè)固定件接收部40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b 之間的距離與多個(gè)固定件接收部 40a、110、110a、110b、110c、124、124a、124b中的每一個(gè)之間的距離不同。
[0154]檢查裝置10包括:探針卡16、108、122 ;彈簧針座18，其被定位在探針基板52的上表面36側(cè)并且設(shè)置有與端子87電連接的多個(gè)彈簧針38 ;基準(zhǔn)體22，其具有待抵接在探針卡16、108、122的固定件接收部40、110、124上的多個(gè)固定件部42并且在固定件接收部40、110、124抵接于固定件部42時(shí)限定探針卡16、108、122的平坦度；配線板20，其布置在彈簧針座18和基準(zhǔn)體22之間并且具有分別電連接到彈簧針38的與端子87接觸的一端的相反端的多個(gè)端子21 ;探針器12，探針卡16、108、122經(jīng)由支撐體54安裝到探針器12，探針器12具有檢查臺26，在檢查臺26上載置與探針卡16、108、122上的探針34接觸的測試對象30 ;測試器14，其與配線板20電連接。
[0155]不用說，本發(fā)明不限于以上實(shí)施方式，在權(quán)利要求書中說明的本發(fā)明的范圍內(nèi)的各種變形都是可以的，并且這種變形也包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0156]附圖標(biāo)記說明
[0157]10:檢查裝置
[0158]12:探針器
[0159]14:測試器
[0160]16、108、122、132:探針卡
[0161]18:彈黃針座
[0162]20:配線板[0163]21:配線板上的端子
[0164]22:基準(zhǔn)體
[0165]24:吸盤頂
[0166]26:檢查臺
[0167]28:安裝面
[0168]30:測試對象
[0169]32:探針卡的下表面
[0170]34:探針
[0171]36:探針卡的上表面
[0172]38:彈簧針
[0173]40、40a、40b、110、110a、110b、110c、110d、110e、124、124a、124b、124c、124d、134、134a、134b、146:固定件接收部
[0174]42:固定件部
[0175]44:密封構(gòu)件
[0176]46:連接纜線
[0177]48、50:空間
[0178]52:探針基板
[0179]54:支撐體
[0180]56:高度基準(zhǔn)構(gòu)件
[0181]58:探針基板支撐部
[0182]60:高度基準(zhǔn)部
[0183]62:探針卡夾持部
[0184]64:高度基準(zhǔn)部的下表面
[0185]66、72:定位銷
[0186]68:定位孔
[0187]70:凹部
[0188]74、104:通孔
[0189]76:螺紋構(gòu)件
[0190]78:接合部
[0191]80:夾持頭
[0192]82:內(nèi)螺紋
[0193]84:探針基板的外周
[0194]86、90、94:假想圓
[0195]87:探針基板上的端子
[0196]88:端子存在區(qū)域
[0197]92:密封構(gòu)件接觸區(qū)域
[0198]98、112、114、116、118、120、126、128、130:單元形狀 100:柱狀部
[0199]102:擴(kuò)展部
[0200]106:擴(kuò)展直徑部[0201]136:同心圓
[0202]138:同心圓
[0203]140、142、144:等腰三角形單元形狀
【權(quán)利要求】
1.一種探針卡，其通過與測試對象接觸來執(zhí)行檢查，所述探針卡包括: 探針基板，其在第一表面具有多個(gè)探針，并且在第二表面具有多個(gè)固定件接收部；以及 支撐體，其布置成支撐所述探針基板的外周， 其中，在所述探針基板的第二表面上，在探針存在區(qū)域內(nèi)至少配置有彼此等距離地規(guī)則布置的多個(gè)固定件接收部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，從所述探針基板的中心沿徑向存在至少兩個(gè)單元形狀，所述單元形狀是由等距離地規(guī)則布置并且彼此相鄰的多個(gè)所述固定件接收部形成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡，其特征在于，由三個(gè)相鄰的所述固定件接收部形成的所述單元形狀具有等邊三角形形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡，其特征在于，由四個(gè)相鄰的所述固定件接收部形成的所述單元形狀具有正方形形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡，其特征在于，多個(gè)所述固定件接收部中的一個(gè)布置在所述探針基板的中心。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡，其特征在于，分別與多個(gè)彈簧針接觸的多個(gè)端子設(shè)置于所述探針基板的第二表面，并且 密封構(gòu)件接觸區(qū)域被設(shè)置成在端子存在區(qū)域的外側(cè)且是在所述探針基板的外周的內(nèi)側(cè)形成低壓室。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡，其特征在于，分別與多個(gè)彈簧針接觸的多個(gè)端子設(shè)置于所述探針基板的第二表面，并且 密封構(gòu)件被設(shè)置成在端子存在區(qū)域的外側(cè)和所述探針基板的外周的內(nèi)側(cè)形成低壓室。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡，其特征在于，除了彼此等距離地規(guī)則布置的所述多個(gè)固定件接收部之外，在所述探針基板的第二表面的探針存在區(qū)域內(nèi)還設(shè)置有至少一個(gè)固定件接收部，并且 所述至少一個(gè)固定件接收部和相鄰的所述多個(gè)固定件接收部之間的距離與所述多個(gè)固定件接收部之間的距離不同。
9.一種檢查裝置，包括: 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針卡； 彈簧針座，其位于所述探針基板的第二表面?zhèn)炔⑶以O(shè)置有與設(shè)置于所述探針基板的第二表面的第一端子電連接的多個(gè)彈簧針； 基準(zhǔn)體，其具有待抵接在所述探針卡的固定件接收部上的多個(gè)固定件部，并且所述基準(zhǔn)體在所述固定件接收部抵接在所述固定件部時(shí)限定所述探針卡的平坦度； 配線板，其布置在所述彈簧針座和所述基準(zhǔn)體之間，并且具有多個(gè)第二端子，所述第二端子分別地電連接到所述彈簧針的與所述第一端子接觸的一側(cè)的相反側(cè)， 探針器，所述探針卡經(jīng)由所述支撐體安裝到所述探針器，所述探針器具有臺，在所述臺上載置待與所述探針卡的探針接觸的測試對象，以及 測試器，其與所述配線板電連接。
【文檔編號】G01R31/26GK103852607SQ201310626022
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月28日
【發(fā)明者】中田義朗, 菊地義德, 藤田洋征 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司