一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，包括固定在基座上的待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔，沿棱鏡式環(huán)形諧振腔的一角上設(shè)有與外源穩(wěn)頻激光器出射激光束相對(duì)應(yīng)的半反射、半透射鏡，另設(shè)置有三塊能夠反射出射激光束的全反射棱鏡，在三個(gè)全反射棱鏡的任意一個(gè)外側(cè)加裝有衍射輔助光闌；與半反射、半透射鏡a反射的激光束水平位置設(shè)有全反射鏡，與全反射棱鏡反射和全反射鏡反射的激光束垂直相交處設(shè)有半反射、半透射鏡b；半反射、半透射鏡b反射的激光束對(duì)應(yīng)設(shè)有光功率計(jì)，半反射、半透射鏡b透射的激光束對(duì)應(yīng)設(shè)有CCD探測(cè)器。本系統(tǒng)對(duì)四棱鏡諧振腔光路的共面度進(jìn)行高精度檢測(cè)，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確、有效、直觀的要求。
【專利說明】一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及精密裝配【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于有著高性能穩(wěn)定度要求的相干檢測(cè)激光光源一棱鏡式環(huán)形激光器而言，光路共面性直接關(guān)系這種激光器工作時(shí)性能的穩(wěn)定性。這種激光器對(duì)諧振腔體以及貼附在諧振腔體對(duì)應(yīng)位置的棱鏡角度尺寸精度要求很高，一般腔體或者棱鏡幾十秒的塔差就足以差生影響，由于涉及微觀尺寸的測(cè)量，直接測(cè)量非常困難。為此，根據(jù)激光干涉原理設(shè)計(jì)一種新的檢測(cè)方案，即通過干涉光斑能量的分布情況(干涉條紋的垂直度)，間接反映光通過非共面諧振腔時(shí)能量受到的調(diào)制作用，從而反映由四塊棱鏡組成的諧振腔光路的共面度成為目前本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。實(shí)踐證明這種方案檢測(cè)靈敏度很高，滿足工程實(shí)際要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，以解決這種激光器裝配過程中棱鏡以及腔體加工塔差難以檢測(cè)，其影響難以消除的技術(shù)問題，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)這種高工作穩(wěn)定要求的激光器裝配質(zhì)量的有效控制。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，包括一固定在基座上的待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔，沿待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔的一個(gè)角上設(shè)有一與外源穩(wěn)頻激光器出射激光束相對(duì)應(yīng)的半反射、半透射鏡a，在另三個(gè)角上設(shè)置有三塊能夠反射出射激光束的全反射棱鏡，在三個(gè)全反射棱鏡的任意一個(gè)外側(cè)加裝有衍射輔助光闌；與半反射、半透射鏡a反射的激光束水平位置設(shè)有一與其布置角度相同的全反射鏡，與全反射棱鏡反射的激光束和全反射鏡反射的激光束垂直相交處設(shè)有一半反射、半透射鏡b ;所述半反射、半透射鏡b反射的激光束對(duì)應(yīng)設(shè)有一光功率計(jì)，所述半反射、半透射鏡b透射的激光束對(duì)應(yīng)設(shè)有一CCD探測(cè)器。
[0006]進(jìn)一步地，所述衍射輔助光闌為一端部呈梯形結(jié)構(gòu)的光楔，衍射輔助光闌鏡面與全反射棱鏡鏡面角度分布一致。
[0007]進(jìn)一步地，所述半反射、半透射鏡a鏡面與出射激光束成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
[0008]進(jìn)一步地，所述全反射鏡鏡面與激光束成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
[0009]進(jìn)一步地，所述半反射、半透射鏡b鏡面與垂直相交的全反射棱鏡反射的激光束和全反射鏡反射激光束成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
[0010]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果在于:
[0011]本套系統(tǒng)可通過棱鏡和腔體的匹配挑選排除棱鏡或腔體的加工誤差，對(duì)四棱鏡諧振腔光路的共面度進(jìn)行高精度檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)棱鏡式激光器光路結(jié)構(gòu)的匹配、調(diào)整裝配。本套系統(tǒng)利用激光干涉光斑包含激光傳輸過程中將受到光路誤差引起激光相位調(diào)制的原理，利用干涉光斑信息反映待檢光路的共面性信息。并依據(jù)光學(xué)干涉現(xiàn)象產(chǎn)生的條件:參與干涉的兩束光，①同頻率(一個(gè)外源穩(wěn)頻激光器分光而來，能夠滿足)；②光振動(dòng)方向相同(一個(gè)外源穩(wěn)頻激光器分光而來，能夠滿足);③相位差恒定(光路不變，誤差恒定，能夠滿足)，根據(jù)外源激光器穿光、與外源激光器出光進(jìn)行干涉，獲得的干涉光斑圖樣，進(jìn)行光路共面度的檢測(cè)。
[0012]為了方便判斷，設(shè)計(jì)了衍射輔助光闌，將衍射尾跡作為檢定干涉光斑是否垂直的標(biāo)準(zhǔn)。在干涉光斑水平方向上獲得長(zhǎng)尾跡(衍射光斑)，若干涉條紋垂直于衍射尾跡，則表明光路共面度滿足要求，若干涉條紋不垂直于衍射尾跡，發(fā)生傾斜，則表明光路共面度存在問題，更換棱鏡進(jìn)行匹配。
[0013]本發(fā)明干涉檢測(cè)分辨力極強(qiáng)，通過干涉光斑能量的分布，可以明確反映光路中存在的各種問題。系統(tǒng)只需一次對(duì)光，只要保證各部分位置基本不變，可以方便完成多個(gè)諧振腔和棱鏡共面度的檢測(cè)和選配。設(shè)計(jì)了輔助衍射光闌，在干涉光斑中加入明顯的參照，使檢定工作方便易行。
[0014]本裝配系統(tǒng)已在工程實(shí)際中得到應(yīng)用，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確、有效、直觀，只需稍作改進(jìn)，原理上可適用于各類高精度相干檢測(cè)用激光光源的光路精密檢測(cè)的要求。該系統(tǒng)對(duì)棱鏡式激光器光路的精密檢測(cè)以及棱鏡和腔體的選配裝配有重要意義。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為棱鏡式激光器光路不意圖。
[0016]圖2為本發(fā)明一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3 (a)、圖3 (b)為本發(fā)明設(shè)計(jì)的輔助衍射光闌結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖4 (a)、圖4 (b)是本發(fā)明檢測(cè)結(jié)果示意圖。
[0019]圖中:1_外源穩(wěn)頻激光器；2_半反射、半透射鏡a ；3-棱鏡式環(huán)形諧振腔；4_全反射棱鏡；5_衍射輔助光闌；6_全反射鏡；7_半反射、半透射鏡b ；8-CCD探測(cè)器；9_光功率計(jì)；10-激光束。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0021]圖1為棱鏡式激光器光路示意圖。請(qǐng)參閱圖2所示，本發(fā)明是一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，包括:外源穩(wěn)頻激光器1、半反射、半透射鏡2、7、棱鏡式環(huán)形諧振腔3、全反射棱鏡4、衍射輔助光闌5、全反射鏡6、CCD探測(cè)器8、光功率計(jì)9和基座。
[0022]在基座上固定一待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔3，沿待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔3的一個(gè)角上設(shè)有一與外源穩(wěn)頻激光器I出射激光束10相對(duì)應(yīng)的、鏡面呈45°布置的半反射、半透射鏡a2，在另三個(gè)角上設(shè)置有三塊能夠反射出射激光束10的全反射棱鏡4，使得出射激光束10在經(jīng)過半反射、半透射鏡a2透射后經(jīng)三個(gè)全反射棱鏡4后水平反射；在三個(gè)全反射棱鏡4的任意一個(gè)外側(cè)加裝有衍射輔助光闌5 ;與半反射、半透射鏡a2反射的激光束10水平位置設(shè)有一與其布置角度相同的全反射鏡6,與全反射棱鏡4水平反射的激光束10和全反射鏡6垂直反射的激光束10垂直相交處設(shè)有一半反射、半透射鏡b7 ;半反射、半透射鏡b7反射的激光束10對(duì)應(yīng)設(shè)有一光功率計(jì)9，半反射、半透射鏡b7透射的激光束10對(duì)應(yīng)設(shè)有一CCD探測(cè)器8。
[0023]如圖3 (a)所示，衍射輔助光闌5為一端部呈梯形結(jié)構(gòu)的光楔；如圖3 (b)所示，設(shè)置在全反射棱鏡4外側(cè)的衍射輔助光闌5內(nèi)端面將相鄰全反射棱鏡4反射的激光束部分反射，部分沿光楔梯形垂直端和梯形斜面反射。
[0024]衍射輔助光闌5鏡面與全反射棱鏡4鏡面角度分布一致。
[0025]半反射、半透射鏡a2鏡面與出射激光束10成傾斜角度設(shè)置，全反射鏡6鏡面與激光束10成傾斜角度設(shè)置，半反射、半透射鏡a2鏡面和全反射鏡6鏡面的傾斜角度均為45°。半反射、半透射鏡b7鏡面與垂直相交的全反射棱鏡4反射的激光束10和全反射鏡6反射激光束10成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
[0026]本實(shí)施例在使用過程中，將待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔3腔體固定在基座上，并在諧振腔體的對(duì)應(yīng)位置放置待檢棱鏡，打開外源穩(wěn)頻激光器I的開關(guān)，調(diào)整入射光位置，使外源穩(wěn)頻激光器I穿光點(diǎn)亮待檢驗(yàn)棱鏡式環(huán)形諧振腔3腔體。放置半反射、半透射鏡a2、半反射、半透射鏡b7以及全反射鏡6，使之組成如圖2所示的光路，并在CXD探測(cè)器8前獲得干涉光斑。從光功率計(jì)9讀取光功率，并適當(dāng)調(diào)節(jié)外源穩(wěn)頻激光器I的泵浦功率，保證CCD探測(cè)器8上的讀取的光斑條紋邊沿清晰。此時(shí)，可通過CCD探測(cè)器8檢視干涉光斑，如光斑中出現(xiàn)能量異常調(diào)制的現(xiàn)象，更換調(diào)整待檢驗(yàn)棱鏡，直到獲得理想干涉條紋，完成檢定和選配。
[0027]由外源穩(wěn)頻激光器I出射的激光束10通過半反射、半透射鏡2分為兩路，一路投射到全反射鏡6上，一路透射入棱鏡式諧振腔3 ;透射入棱鏡式諧振腔3的激光束10經(jīng)過三個(gè)全反射棱鏡4的反射，再沿與原入射諧振腔光束垂直的方向射出諧振腔3 ;在三個(gè)全反射棱鏡4的任意一個(gè)外側(cè)加裝衍射輔助光闌5，裝配該光闌的目的是在干涉光斑獲得衍射尾跡，衍射尾跡可作為檢定干涉光斑是否垂直的標(biāo)準(zhǔn)。透射出棱鏡式環(huán)形諧振腔3的激光束10在半反射、半透射鏡7的表面和經(jīng)由全反射鏡6的光發(fā)生干涉，其干涉光斑入射CXD探測(cè)器8，CCD探測(cè)器8輸出干涉光斑圖樣；另外，在半反射、半透射鏡7的另側(cè)放置光功率計(jì)9，用于檢測(cè)光功率，指導(dǎo)調(diào)節(jié)外源激光器的輸出功率。
[0028]圖4顯示了本發(fā)明檢測(cè)結(jié)果，干涉光斑中央為暗條紋，兩側(cè)的長(zhǎng)尾跡是對(duì)稱安裝了兩片輔助衍射光闌的結(jié)果；圖4 (a)為共面度合格的諧振腔體干涉光斑；圖4 (b)為共面度不合格的諧振腔體干涉光斑。
[0029]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】?jī)H限于此，對(duì)于本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單的推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明由所提交的權(quán)利要求書確定專利保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于:包括一固定在基座上的待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔(3)，沿待檢棱鏡式環(huán)形諧振腔(3)的一個(gè)角上設(shè)有一與外源穩(wěn)頻激光器(I)出射激光束(10)相對(duì)應(yīng)的半反射、半透射鏡a (2)，在另三個(gè)角上設(shè)置有三塊能夠反射出射激光束(10)的全反射棱鏡(4)，在三個(gè)全反射棱鏡(4)的任意一個(gè)外側(cè)加裝有衍射輔助光闌(5);與半反射、半透射鏡a (2)反射的激光束(10)水平位置設(shè)有一與其布置角度相同的全反射鏡(6 )，與全反射棱鏡(4)反射的激光束(10 )和全反射鏡(6 )反射的激光束(10)垂直相交處設(shè)有一半反射、半透射鏡b (7);所述半反射、半透射鏡b (7)反射的激光束(10)對(duì)應(yīng)設(shè)有一光功率計(jì)(9)，所述半反射、半透射鏡b (7)透射的激光束(10)對(duì)應(yīng)設(shè)有一 CXD探測(cè)器(8)。
2.如權(quán)利要求1所述一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述衍射輔助光闌(5)為一端部呈梯形結(jié)構(gòu)的光楔，衍射輔助光闌(5)鏡面與全反射棱鏡(4)鏡面角度分布一致。
3.如權(quán)利要求1所述一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述半反射、半透射鏡a (2)鏡面與出射激光束(10)成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
4.如權(quán)利要求1所述一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述全反射鏡(6)鏡面與激光束(10)成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
5.如權(quán)利要求1所述一種棱鏡式環(huán)形激光器光路共面度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述半反射、半透射鏡b (7)鏡面與垂直相交的全反射棱鏡(4)反射的激光束(10)和全反射鏡(6)反射激光束(10)成傾斜角度設(shè)置，鏡面的傾斜角度為45°。
【文檔編號(hào)】G01M11/02GK103712779SQ201310689100
【公開日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月16日
【發(fā)明者】劉健寧, 鐘聰, 屈波 申請(qǐng)人:西安北方捷瑞光電科技有限公司