影像量測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種影像量測裝置，其基座設(shè)置于一落地工作桌上，而載臺設(shè)于基座上，且設(shè)有一第一移動件及一第二移動件，分別用以控制載臺于基座上沿X軸及Y軸方向移動，而立柱設(shè)于基座上且位于載臺一側(cè)，此立柱設(shè)有一第三移動件，并可沿Z軸方向移動，而量測鏡組設(shè)于其上，受第三移動件的帶動位移；此外，控制裝置具有一控制單元，可供控制第一及第二移動件的位移以改變載臺的位置，以及可供控制第三移動件的位移以改變量測鏡組的位置，以及可供控制量測鏡組切換不同倍率的接物顯微鏡，以達全自動化的量測。
【專利說明】影像量測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型與影像量測裝置有關(guān)，尤指一種全自動化量測及擴充性高的影像量測
>J-U ρ?α裝直。
【背景技術(shù)】
[0002]常用的影像量測裝置具有一可沿X軸及Y軸的水平方向位移的量測載臺，以及一可沿Z軸的垂直方向位移的量測鏡頭，通過此三個軸向位移的相互搭配，而調(diào)整至最適合觀測樣本的位置。
[0003]但是上述常用裝置的載臺及鏡頭的位移調(diào)整結(jié)構(gòu)是以手動方式轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)鈕，通過機械傳動機構(gòu)控制載臺及鏡頭的位移，這種控制方式的精度不足，無法進行極小距離的位移微調(diào)，在觀測極微小尺寸的樣本時會產(chǎn)生難以調(diào)整至最佳觀測位置的困擾。
[0004]此外，常用裝置的量測鏡頭是以一立柱懸掛于載臺上方以供進行量測，然受限于立柱固定形狀及尺寸使量測鏡頭位于載臺上方的位置固定，相對載臺的尺寸也受限，如此一來，同一機臺上無法適用不同尺寸的載臺，其擴充性非常不足。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的主要目的在于提供一種影像量測裝置，其運用一控制裝置來控制載臺及量測鏡組的X、Y、Z軸自動移`動及控制量測鏡組自動選擇所需的鏡頭及光源，再搭配量測單元而達到全自動化的量測，使量測作業(yè)更加快速與簡便，更可提高量測的精準(zhǔn)度。
[0006]本實用新型的另一目的在于，該量測鏡組可因應(yīng)載臺尺寸的不同而改變與立柱間的距離，使同一機臺可適用多種不同尺寸的載臺，可增加其擴充性，以降低成本。
[0007]為達前述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0008]一種影像量測裝置，其包括有一基座、一用以置放量測物件的載臺、一立柱、一量測鏡組及一控制裝置，其中:
[0009]該載臺設(shè)于該基座上，且該載臺設(shè)有一第一移動件及一第二移動件，此二移動件用以控制該載臺于該基座上分別沿兩個界定相互垂直的X軸及Y軸方向移動；
[0010]該立柱設(shè)于該基座上且位于該載臺一側(cè)，該立柱設(shè)有一第三移動件，其可沿該立柱界定為Z軸的高度方向移動；
[0011]該量測鏡組設(shè)于該第三移動件上而伸至該載臺的上方，且可隨該第三移動件位移，該量測鏡組包括有一可轉(zhuǎn)動的鼻輪及一光源，其中該鼻輪上設(shè)有數(shù)個不同倍率的接物顯微鏡，而該光源可提供接物顯微鏡量測時所需的光度；
[0012]該控制裝置分別與該第一、第二、第三移動件及該鼻輪與該光源電性連接，該控制裝置具有一控制單元，而可供控制該第一及第二移動件的位移以改變該載臺的位置，以及可供控制該第三移動件的位移以改變該量測鏡組的位置，以及可供控制該鼻輪的轉(zhuǎn)動以切換不同倍率的接物顯微鏡，以及可供控制該光源提供不同強度的光。
[0013]更進一步地，該控制裝置為一電腦，且該電腦中還設(shè)有一量測單元，而與該控制單元搭配以達全自動化的量測。
[0014]更進一步地，該量測鏡組還設(shè)有一影像擷取裝置。
[0015]更進一步地，該第三移動件與該量測鏡組之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的連接件。
[0016]更進一步地，該立柱與該第三移動件之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的擴充件。
[0017]本實用新型的優(yōu)點在于:
[0018]本實用新型的影像量測裝置，運用控制裝置控制載臺及量測鏡組的X、Y、Z軸自動移動及控制量測鏡組自動選擇所需的鏡頭及光源，再搭配量測單元而達到全自動化的量測，使量測作業(yè)更加快速與簡便，更可提高量測的精準(zhǔn)度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本實用新型的立體示意圖。
[0020]圖2為本實用新型的平面示意圖。
[0021]圖3為本實用新型另一個使用狀態(tài)的平面示意圖。
【具體實施方式】
[0022]請參閱圖1及圖2，其為本實用新型所提供的影像量測裝置，其包括有一用以置放量測物件的載臺1、一立柱2、一量測鏡組3及一控制裝置(圖中未示)，其中載臺I設(shè)于一基座11上，基座11固定于一落地的工作桌12上，而相對于基座11界定有三個呈兩兩垂直的軸向，分別為處于同一水平面的X軸及Y軸，以及同時垂直于X軸及Y軸向的Z軸；據(jù)此，載臺I設(shè)有一第一移動件13及一第二移動件14,該第一移動件13用以帶動載臺I于基座11上沿X軸方向移動，第二移動件14用以帶動載臺I于基座11上沿Y軸方向移動。
[0023]載臺I 一側(cè)設(shè)有一位于基座11上的立柱2，立柱2沿Z軸方向向上延伸。立柱2上設(shè)有一第三移動件22，其可沿Z軸方向沿立柱2的高度方向進行上下移動，而量測鏡組3設(shè)于第三移動件上，以此，量測鏡組3則可受第三移動件的帶動以形成相對于載臺I的上下位移，而量測鏡組3包括有一可轉(zhuǎn)動的鼻輪31及一光源32，其中鼻輪31上設(shè)有數(shù)個不同倍率的接物顯微鏡311，可通過鼻輪31的轉(zhuǎn)動以切換使用不同的接物顯微鏡311，而光源32則可提供接物顯微鏡311量測時所需的光度，以供進行量測作業(yè)之需。此外于本實施例中，量測鏡組3還包括有一影像擷取裝置34，可供通過顯微鏡311觀測到所需的影像后進行擷取。
[0024]承上，如上所述的第一、第二、第三移動件13、14、22及鼻輪31與光源32分別與控制裝置(圖中未示)電性連接，其中于本實施例中，該控制裝置為一電腦。該電腦具有一控制單元，在接收欲前往的座標(biāo)資訊后，該電腦通過該控制單元控制第一及第二移動件13、14的位移，以令載臺I分別沿X軸與Y軸方向相對于基座11位移；以及控制第三移動件22的位移，以令量測鏡組3沿Z軸方向相對于載臺I位移；以及控制鼻輪31轉(zhuǎn)動，以切換不同倍率的接物顯微鏡311 ;以及控制光源32發(fā)光的功率，依據(jù)各種量測需求提供不同強度的光。此外，于本實施例中，電腦還設(shè)有一用于量測作業(yè)的量測單元，以其與該控制單元相互搭配，而可以此達到全自動化的量測，完全不用人工操作載臺及量測鏡組的移動與鏡頭的選擇，使量測作業(yè)更加快速與簡便，更因全自動的控制可提高量測的精準(zhǔn)度。[0025]另外，因應(yīng)量測物件尺寸大小，其載臺I也有尺寸大小的區(qū)分，較大的量測物件需較大的載臺來承載，若要在同一基座11上設(shè)置不同尺寸的載臺I時，量測鏡組3與立柱2間的距離必須是要可以改變的，如此才有空間供載臺I移動，在本實用新型于本實施例中，如圖1及圖2所示，于第三移動件22與量測鏡組3之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的連接件33，此外，立柱2與第三移動件之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的擴充件21，上述的連接件33及擴充件21可使量測鏡組3與立柱2間具有一較長的距離H1，而可適用較大尺寸的載臺I。
[0026]若要在同一基座11上設(shè)置較小尺寸的載臺IA時，如圖3所示為本實用新型將連接件33與擴充件21拆卸之后的使用狀態(tài)，由圖可見量測鏡組3與立柱2間的距離H2相對縮短，而可適用較小尺寸的載臺1A。
[0027]由于本實用新型的連接件33與擴充件21設(shè)計成可拆卸或組裝的方式，當(dāng)因應(yīng)不同尺寸的載臺時，可選擇增設(shè)或減設(shè)連接件33與擴充件21，使同一機臺可適用多種不同尺寸的載臺，可增加其擴充性，以降低成本。
[0028]以上所述是本實用新型的較佳實施例及其所運用的技術(shù)原理，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不背離本實用新型的精神和范圍的情況下，任何基于本實用新型技術(shù)方案基礎(chǔ)上的等效變換、簡單替換等顯而易見的改變，均屬于本實用新型保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種影像量測裝置，其包括有一用以置放量測物件的載臺、一立柱、一量測鏡組及一控制裝置，其特征在于: 該載臺設(shè)于一基座上，該基座設(shè)置于一落地的工作桌上，而該載臺設(shè)有一第一移動件及一第二移動件，此二移動件用以帶動該載臺于該基座上分別沿兩個界定相互垂直的X軸及Y軸方向移動； 該立柱設(shè)于該基座上且位于該載臺一側(cè)，該立柱設(shè)有一第三移動件，其可沿該立柱界定為Z軸的高度方向移動； 該量測鏡組設(shè)于該第三移動件上而伸至該載臺的上方，且可隨該第三移動件位移，該量測鏡組包括有一可轉(zhuǎn)動的鼻輪及一光源，其中該鼻輪上設(shè)有數(shù)個不同倍率的接物顯微鏡，而該光源可提供接物顯微鏡量測時所需的光度； 該控制裝置分別與該第一、第二、第三移動件及該鼻輪與該光源電性連接，該控制裝置具有一控制單元，而可供自動控制該第一及第二移動件的位移以改變該載臺的位置，以及可供自動控制該第三移動件的位移以改變該量測鏡組的位置，以及可供自動控制該鼻輪的轉(zhuǎn)動以切換不同倍率的接物顯微鏡，以及可供自動控制該光源提供不同強度的光。
2.依權(quán)利要求1所述的影像量測裝置，其特征在于，所述控制裝置為一電腦，且該電腦中還設(shè)有一量測單元，而與該控制單元搭配以達全自動化的量測。
3.依權(quán)利要求1所述的影像量測裝置，其特征在于，該量測鏡組還設(shè)有一影像擷取裝置。
4.依權(quán)利要求1所述的影像量測裝置，其特征在于，所述第三移動件與該量測鏡組之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的連接件。
5.依權(quán)利要求1所述的影像量測裝置，其特征在于，所述立柱與所述第三移動件之間還設(shè)有至少一個可選擇拆卸的擴充件。
【文檔編號】G01B9/04GK203385392SQ201320412864
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月11日
【發(fā)明者】施盈盈 申請人:源臺精密科技股份有限公司