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一種壓力傳感器的結構的制作方法

文檔序號:6198487閱讀:294來源:國知局
一種壓力傳感器的結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種壓力傳感器的結構,包括一機械外殼體,其特征在于:機械外殼體上開有腔體,腔體與機械外殼體內部的壓力檢測通道相通,在所述的腔體內設有油封帽,油封帽的開口處設有電路基板,電路基板在油封帽壓內部形成一密封空腔,密封空腔內充滿壓力傳導液體,在電路基板上設有阻式敏感壓力芯片,阻式敏感壓力芯片浸沒在壓力傳導液體中,所述的油封帽和電路基板被一鎖緊環(huán)緊固在機械外殼體的腔體內;導線從電路基板上引出,導線同時與壓力芯片相互連。本實用新型能滿足各種介質,比如水、有腐蝕性介質的測量。
【專利說明】一種壓力傳感器的結構
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于壓力傳感器技術,具體是一種將壓力信號轉換為電壓信號的一個結構整體,以適應各種介質的測量和方便各種壓力測量儀器儀表的應用。
【背景技術】
[0002]半導體硅材料的壓阻效應被人們發(fā)現以后,利用當代集成電路工藝,人們制造出了壓阻式壓力敏感元件,實現了壓力和電壓信號的轉換。但是由于測量介質的多樣性,這種只適于干燥空氣和不導電、無腐蝕介質應用的元件,對其他介質應用顯得無能為力。
[0003]目前市場上有的壓力充油芯體一般都是利用超薄的不銹鋼膜片來密封油腔,同時對內部油腔的要求比較高,需要高溫注油,以排除腔體內的氣體,同時需要激光焊接不銹鋼膜片,這樣才能保證芯體測量性能優(yōu)異,但是相對來說,產品的工藝要求也比較高,所以成品的價格也很高,只能用在工業(yè)領域的測量上,民用產品上都無法承受其高端價格。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型的目的是解決上述現實問題,旨在提供一種壓力傳感器的結構,既能滿足各種介質,比如水、有腐蝕性介質的測量,同時又能極大的降低整體產品成本,以滿足更廣泛的民用產品。
[0005]為實現上述目的,本實用新型采取的技術方案是:
[0006]—種壓力傳感器的結構,包括一機械外殼體,其特征在于:機械外殼體上開有腔體,腔體與機械外殼體內部的壓力檢測通道相通,在所述的腔體內設有油封帽,油封帽的開口處設有電路基板,電路基板在油封帽壓內部形成一密封空腔,密封空腔內充滿壓力傳導液體,在電路基板上設有阻式敏感壓力芯片,阻式敏感壓力芯片浸沒在壓力傳導液體中,所述的油封帽和電路基板被一鎖緊環(huán)緊固在機械外殼體的腔體內;導線從電路基板上引出,導線同時與壓力芯片相互連。
[0007]所述的腔體設置在機械外殼體的后部,所述的壓力檢測通道貫穿機械外殼體的前部,機械外殼體的前部上設有外螺紋。
[0008]所述的腔體內設置限位置,腔體開口處設外螺紋,所述的油封帽上設置向四周延伸的邊沿,鎖緊環(huán)上設有與腔體開口處內螺紋配合的外螺紋,鎖緊環(huán)通過螺紋配合將電路基板和油封帽的邊沿固定在腔體的限位槽處。
[0009]所述的機械外殼體可以為金屬材質或工程塑料制成。
[0010]所述的壓力傳導液體為硅油。
[0011]本實用新型將阻式敏感壓力芯片設置充油密封空間內,通過壓力傳導液體將外部壓力傳層給阻式敏感壓力芯片,并由阻式敏感壓力芯片將壓力信號轉換為電壓信號輸出,本實用新型結構不受環(huán)境和壓力介質的影響,極大的降低整體產品成本,以滿足更廣泛的民用廣品?!緦@綀D】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構示意圖;
[0013]圖2為本實用新型的分解結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1、2所示,一種壓力傳感器的結構,包括了由金屬材質或工程塑料制成的機械外殼體1,在機械外殼體2的后部設置腔體11,腔體與貫穿機械外殼體I的前部壓力檢測通道12相通,機械外殼體I的前部上設有外螺紋,外螺紋用于與工件連接,所述的腔體11內設置限位槽13,在所述的腔體11內還設有油封帽2,油封帽2的開口處設有電路基板3,電路基板3使油封帽2壓內部形成一密封空腔31,密封空腔31內充滿硅油,所述的油封帽2上設置向四周延伸的邊沿21,有一鎖緊環(huán)5上設有與腔體11開口處內螺紋配合的外螺紋,鎖緊環(huán)5通過螺紋配合將電路基板3和油封帽的邊沿21固定在腔體11的限位槽13處。
[0015]在所述電路基板3上設有阻式敏感壓力芯片4,阻式敏感壓力芯片4浸沒在硅油中,導線從電路基板3上引出,導線3同時與阻式敏感壓力芯片4相互連。
[0016]本實用新開進根據最終產品的應用,設計合適安裝的機械外殼體1,螺紋選擇與成品要求一致的標準或者內部安裝方便的尺寸,通過鍛造、數控車床、注塑等方法出成型產品,將油封帽2放進機械外殼體I后部的腔體內配合的限位槽里,在充液體時在密封空腔31內倒上足夠多的對壓力芯片不產生腐蝕的液體,在本實施例中采用硅油,實際應用中采用其它不生產生腐蝕的液體均可,將事先已經連接好的阻式敏感壓力芯片4和電路基板3蓋在上面,阻式敏感壓力芯片4充分接觸填充液體,導線在電路基本上事先引出,用鎖緊環(huán)5旋進在機械外殼體后部的腔體的開口處,直到壓住電路基版3,油封帽的邊沿21,并使油封帽2輕度變形,產生密封效果,最后通過弓I出的導線和外部電路連接,完成裝配。
[0017]本實用新型最大的特點是通過壓力傳導液體將外部壓力通過檢測通道相通12給油封帽,油封帽變形使得內部的傳導液體將壓力傳導給阻式敏感壓力芯片,并由阻式敏感壓力芯片將壓力信號轉換為電壓信號輸出,本實用新型壓力感受不受環(huán)境和壓力介質的影響,極大的降低整體產品成本,以滿足更廣泛的民用產品。
【權利要求】
1.一種壓力傳感器的結構,包括一機械外殼體,其特征在于:機械外殼體上開有腔體,腔體與機械外殼體內部的壓力檢測通道相通,在所述的腔體內設有油封帽,油封帽的開口處設有電路基板,電路基板在油封帽壓內部形成一密封空腔,密封空腔內充滿壓力傳導液體,在電路基板上設有阻式敏感壓力芯片,阻式敏感壓力芯片浸沒在壓力傳導液體中,所述的油封帽和電路基板被一鎖緊環(huán)緊固在機械外殼體的腔體內;導線從電路基板上引出,導線同時與壓力芯片相互連。
2.如權利要求1所述的一種壓力傳感器的結構,其特征在于:所述的腔體設置在機械外殼體的后部,所述的壓力檢測通道貫穿機械外殼體的前部,機械外殼體的前部上設有外螺紋。
3.如權利要求1所述的一種壓力傳感器的結構,其特征在于:所述的腔體內設置限位置,腔體開口處設外螺紋,所述的油封帽上設置向四周延伸的邊沿,鎖緊環(huán)上設有與腔體開口處內螺紋配合的外螺紋,鎖緊環(huán)通過螺紋配合將電路基板和油封帽的邊沿固定在腔體的限位槽處。
4.如權利要求1或2所述的一種壓力傳感器的結構,其特征在于:所述的機械外殼體可以為金屬材質或工程塑料制成。
5.如權利要求1所述的一種壓力傳感器的結構,其特征在于:所述的壓力傳導液體為硅油。
【文檔編號】G01L9/06GK203479449SQ201320556952
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年9月9日 優(yōu)先權日:2013年9月9日
【發(fā)明者】任良元 申請人:任良元
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