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臥軸式激光小角度測量裝置制造方法

文檔序號:6201920閱讀:242來源:國知局
臥軸式激光小角度測量裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于測量技術,具體公開了一種臥軸式激光小角度測量裝置,包括軸系安裝臺和干涉鏡組,軸系安裝臺上設有正弦臂,正弦臂上設有平面鏡,正弦臂的下端設有微動機構,軸系安裝臺內設有臥軸軸系,干涉鏡組包括偏振分光棱鏡和三個反射鏡,本裝置能夠實現(xiàn)對水平角小角度進行檢測和校準,由于采用正弦臂并設計臥軸軸系,使得正弦臂具有獨立回轉中心,相關的光學部件關系相對固定,因此保證了裝置的穩(wěn)定性和安裝的重復性,從而提高了測量裝置的測量準確性,進一步,軸套分別于端蓋和固定盤緊固,端蓋和固定盤安裝在在花崗巖平臺上,保證臥軸軸系與平臺安裝的穩(wěn)定性。
【專利說明】臥軸式激光小角度測量裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于測量技術,具體涉及一種角度測量裝置。
【背景技術】
[0002]激光干涉測角是一種采用正弦原理,以邁克爾遜干涉法測量小角度的高精度測角方法,測角裝置主要由正弦臂,分光鏡組,激光干涉系統(tǒng)組成。正弦臂相對中心上下兩側對稱安裝角隅棱鏡,兩個角隅棱鏡中心距離構成了正弦臂的臂長D。當正弦臂繞回轉中心旋轉角度Θ時,激光干涉系統(tǒng)測量光程差變化為H,與正弦臂臂長D存在的正弦關系sin0 =H/D。
[0003]目前,國內采用的激光小角度測量裝置多數采用正弦臂、分光鏡和激光器部件分離結構形式。測量俯仰小角度時,需借助臥式回轉軸系完成測角功能,臥式軸系上安裝調整光學系統(tǒng)繁瑣,裝置結構不穩(wěn)定,重復性難以保證,導致測量準確度受安裝調整影響較大。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型的目的在于提供一種能夠實現(xiàn)±1°范圍內俯仰角的準確度測量的臥軸式激光小角度測量裝置。
[0005]本實用新型的技術方案如下:
[0006]一種臥軸式激光小角度測量裝置,它包括軸系安裝臺和干涉鏡組,所述的軸系安裝臺上設有正弦臂,所述的正弦臂上設有平面鏡,所述正弦臂的下端設有微動機構,所述的軸系安裝臺內設有臥軸軸系;所述的臥軸軸系包括主軸和軸套,所述的主軸一端連接工作臺,工作臺為圓盤狀,中心加工有通孔,主軸另一端連接正弦臂,所述軸套兩側分別設有軸系端蓋和固定盤,所述的軸系端蓋和固定盤均固定在軸系安裝臺上;所述的干涉鏡組包括偏振分光棱鏡和三個反射鏡,所述的偏振分光棱鏡和反射鏡A依次位于光入射方向,反射鏡A的上方反射方向上設有反射鏡C,偏振分光棱鏡下方分光方向上設有反射鏡B,在反射鏡C的光反射方向上設有上角隅棱鏡,所述的反射鏡B的光反射方向上設有下角隅棱鏡,所述的上角隅棱鏡和下角隅棱鏡分別安裝在正弦臂上下端。
[0007]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,所述的微動機構包括安裝在滾珠絲杠上的移動平臺,所述的移動平臺上設有旋轉臂和限位塊,所述的滾珠絲杠通過聯(lián)軸節(jié)連接步進電機。
[0008]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,還包括隔離罩和花崗巖平臺,上述軸系安裝臺和干涉鏡組固定在隔離罩內,所述的隔離罩固定在花崗巖平臺上,隔離罩的一側固定設有零位指示器。
[0009]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,所述的隔離罩為兩層鋼板之間夾保溫石棉的結構。
[0010]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,所述的軸系安裝臺安裝在過渡板上。
[0011]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,所述的正弦臂采用鏤空加筋的結構,材料選用合金鋼S4J32A。
[0012]在上述的臥軸式激光小角度測量裝置中,所述的主軸采用加工材料為GCrl5,為階梯軸形式,所述的軸套采用加工材料為40Gr,為回轉體。
[0013]本實用新型的有益效果在于:本裝置能夠實現(xiàn)對水平角小角度進行檢測和校準,由于采用正弦臂并設計臥軸軸系,使得正弦臂具有獨立回轉中心,相關的光學部件關系相對固定,因此保證了裝置的穩(wěn)定性和安裝的重復性,從而提高了測量裝置的測量準確性,進一步,軸套分別于端蓋和固定盤緊固,端蓋和固定盤安裝在在花崗巖平臺上,保證臥軸軸系與平臺安裝的穩(wěn)定性。
[0014]另外干涉鏡組、偏振分光棱鏡以及反射鏡和平面鏡等光學部件組成光學系統(tǒng)采用正弦原理完成線性量和角度量的轉化,為裝置實現(xiàn)小角度高精度測量提供了保障;
[0015]同時,設計花崗巖平臺和隔離罩保證系統(tǒng)受環(huán)境影響最小,保證測量的準確性;設計的微動機構能夠實現(xiàn)對軸系微小角度的驅動,保證小角度轉動;安裝零位指示器,保證系統(tǒng)測量零位的指示,每次使用不用反復裝調,大大提高裝置的測試效率;軸系安裝臺通過金屬過渡板安裝在花崗巖平臺,最大程度上使整套系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到保障;隔離罩采用兩層鋼板之間夾保溫石棉的結構,進一步保證隔離的有效性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型的臥軸式激光小角度測量裝置示意圖;
[0017]圖2為臥軸軸系示意圖;
[0018]圖3為微動機構示意圖;
[0019]圖中:1.花崗巖平臺;2.激光器;3.相位計;4.接收器;5.偏振分光棱鏡;6.干涉鏡組;7.反射鏡A ;8.正弦臂;9.上角隅棱鏡;10.軸系安裝臺;11.平面鏡;12.隔離罩;13.臥軸軸系;14.微動機構;15.零位指示器;16.軸承;17.主軸;18.工作臺;19.軸套;20.軸系端蓋;21.過渡板;22.固定盤;23.滾珠絲杠;24.限位塊;25.移動平臺;26.旋轉臂;27.聯(lián)軸節(jié);28.下角隅棱鏡;29.反射鏡B;30.反射鏡C ;31.步進電機。
【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
[0021]如圖1所示,隔離罩12固定在花崗巖平臺I上,在上述隔離罩12內固定安裝有軸系安裝臺10和干涉鏡組6。所述的隔離罩12兩側壁上加工有孔。
[0022]所述干涉鏡組6包括偏振分光棱鏡5和三個反射鏡,干涉鏡組6通過隔尚罩12上的孔接收激光器2發(fā)出的光。所述的偏振分光棱鏡5和反射鏡A7依次位于光入射方向,反射鏡A7的上方反射方向上安裝反射鏡C30,偏振分光棱鏡5下方分光方向上設有反射鏡B29,在反射鏡C30的光反射方向上設有上角隅棱鏡9,在反射鏡B29的光反射方向上安裝有下角隅棱鏡28。所述的激光器2安裝在隔離罩12外部,同時激光器2的下方安裝相位計3,相位計3通過接收器4接收上述干涉鏡組6反射的光。
[0023]所述的軸系安裝臺10固定安裝豎直的正弦臂8,正弦臂8的下端安裝微動機構14,軸系安裝臺10內安裝有臥軸軸系13,平面鏡11固定安裝在正弦臂8上。
[0024]上述的上角隅棱鏡9和下角隅棱鏡28分別安裝在正弦臂8上下端。[0025]為了方便儀器使用,實現(xiàn)對裝置零位指示作用,在花崗巖平臺I上、隔離罩12的一側固定安裝零位指示器15。
[0026]如圖2所示,臥軸軸系13包括水平固定安裝在軸系安裝臺10內的主軸17,其外部安裝有軸承16,軸承16安裝軸套19內,軸套19通過螺釘與軸系安裝臺10固定,在所述的主軸17 —端通過螺釘固定安裝工作臺18,工作臺18為圓盤狀,中心加工有通孔。主軸17的另一端通過螺釘固定安裝正弦臂8。
[0027]所述的軸承16為角接觸球軸承。所述的主軸17采用加工材料為GCrl5,為階梯軸形式。所述的軸套19采用加工材料為40Gr,為回轉體。
[0028]利用螺釘將軸系端蓋20和固定盤22分別安裝在軸套19兩側,端蓋20和固定盤22的外圈加工有安裝孔,與軸系安裝臺10兩側螺紋孔位置相匹配,通過螺釘將軸系端蓋20和固定盤22固定在軸系安裝臺10上,實現(xiàn)對整個軸系的固定。軸系安裝臺10安裝在過渡板21上,通過螺釘孔將過渡板21安裝在花崗巖平臺1,實現(xiàn)軸系安裝臺10的固定,最大程度上使整套系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到保障。
[0029]如圖3所示,所述的微動機構14包括滾珠絲杠23、限位塊24、聯(lián)軸節(jié)27和步進電機31。步進電機31通過聯(lián)軸節(jié)27連接滾珠絲杠23,驅動滾珠絲杠23轉動,從而帶動滾珠絲杠23上的移動平臺25運動。為了保證移動平臺25帶動旋轉臂26轉動,正是利用限位塊24限定旋轉臂26與移動平臺25相對關系。
[0030]本實施例中,正弦臂8采用鏤空加筋的結構,材料選用低膨脹合金鋼S4J32A(即銦鋼)。干涉鏡組6中的偏振分光棱鏡5的偏振態(tài)激光透射率達到99%以上,反射鏡采用微晶玻璃基體,利用金電極濺射鍍膜工藝制成平面度達到λ/20的反射面。
[0031]工作時,激光器2發(fā)射出激光束經干涉鏡組6分成兩路激光分別射向正弦臂8上下兩側的上角隅棱鏡9和下角隅棱鏡28,兩束激光經角隅棱鏡反射后平行原光路返回,并在干涉鏡組6的偏振分光棱鏡處匯合發(fā)生干涉,接收器4對信號采集處理。正弦臂8固定在臥軸軸系13上,臥軸軸系13不轉動時,激光器2的示值不發(fā)生變化,當微動機構14的步進電機31驅動滾珠絲杠23,帶動移動平臺25和旋轉臂26,從而驅動軸系發(fā)生轉動,此時由干涉鏡組6分出兩束激光的光程差發(fā)生變化,激光器2的示值也產生變化,得到軸系轉動角度。
[0032]激光小角度測量裝置依照正弦原理工作,因此測量必須從裝置零位開始測量,裝置零位經過固定的方法可以得到,并且利用零位指示器15進行標示,零位指示器15可以采用光學自準直儀,利于其對安裝在軸系上的平面鏡11進行準直,當零位調整到位,可以安放光學自準直儀,并對平面鏡準直,并固定自準直儀。使用時,旋轉軸系到自準直儀準直平面鏡的位置即為裝置零位,零位復現(xiàn)方法簡單快捷,提高工作效率。
【權利要求】
1.一種臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:它包括軸系安裝臺(10)和干涉鏡組(6),所述的軸系安裝臺(10)上設有正弦臂(8),所述的正弦臂(8)上設有平面鏡(11),所述正弦臂(8)的下端設有微動機構(14),所述的軸系安裝臺(10)內設有臥軸軸系(13);所述的臥軸軸系(13)包括主軸(17)和軸套(19),所述的主軸(17) 一端連接工作臺(18),工作臺(18)為圓盤狀,中心加工有通孔,主軸(17)另一端連接正弦臂(8),所述軸套(19)兩側分別設有軸系端蓋(20)和固定盤(22),所述的軸系端蓋(20)和固定盤(22)均固定在軸系安裝臺(10)上;所述的干涉鏡組(6)包括偏振分光棱鏡(5)和三個反射鏡,所述的偏振分光棱鏡(5)和反射鏡A (7)依次位于光入射方向,反射鏡A (7)的上方反射方向上設有反射鏡C(30),偏振分光棱鏡(5)下方分光方向上設有反射鏡B (29),在反射鏡C (30)的光反射方向上設有上角隅棱鏡(9),所述的反射鏡B (29)的光反射方向上設有下角隅棱鏡(28),所述的上角隅棱鏡(9)和下角隅棱鏡(28)分別安裝在正弦臂(8)上下端。
2.如權利要求1所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:所述的微動機構(14)包括安裝在滾珠絲杠(23)上的移動平臺(25),所述的移動平臺(25)上設有旋轉臂(26 )和限位塊(24 ),所述的滾珠絲杠(23 )通過聯(lián)軸節(jié)(27 )連接步進電機(31)。
3.如權利要求1所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:還包括隔離罩(12)和花崗巖平臺(1),上述軸系安裝臺(10)和干涉鏡組(6)固定在隔離罩(12)內,所述的隔離罩(12)固定在花崗巖平臺(I)上,隔離罩(12)的一側固定設有零位指示器(15)。
4.如權利要求3所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:所述隔離罩(12)為兩層鋼板之間夾保溫石棉的結構。
5.如權利要求1所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:所述的軸系安裝臺(10)安裝在過渡板(21)上。
6.如權利要求1所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:所述的正弦臂(8)采用鏤空加筋的結構,材料選用合金鋼S4J32A。
7.如權利要求1所述的臥軸式激光小角度測量裝置,其特征在于:所述的主軸(17)采用加工材料為GCrl5,為階梯軸形式,所述的軸套(19)采用加工材料為40Gr,為回轉體。
【文檔編號】G01B11/26GK203572449SQ201320632745
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年10月14日 優(yōu)先權日:2013年10月14日
【發(fā)明者】劉勇, 梁雅軍, 宋金城, 霍曉飛, 賀燕 申請人:北京航天計量測試技術研究所, 中國運載火箭技術研究院
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