一種擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置，包括固定在石英管圓弧端的兩個進(jìn)氣口，其中一個進(jìn)氣口通過接頭與閥門連接，閥門與進(jìn)氣管連接；另一個進(jìn)氣口通過接頭與壓力表連接；其優(yōu)點(diǎn)在于其結(jié)構(gòu)簡單、方便易行、操作簡單，從而直觀、徹底的檢測密封性是否符合密封要求。不符合要求的石英件生產(chǎn)廠家繼續(xù)修磨密封面，然后再次檢測，直到密封合格，給實(shí)際使用帶來了極大的保證，避免浪費(fèi)大量的時間和工藝成本。
【專利說明】一種擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種密封性檢測裝置，具體涉及一種擴(kuò)散爐石英管和石英門之間的密封性檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]如圖1所示，在半導(dǎo)體領(lǐng)域閉管擴(kuò)散爐設(shè)備中，石英管I 一般為圓形，一端平口，另一端有圓弧封頭；石英門組成包括石英門8，其外部焊接石英門移動連接附件11，另一面焊接石英門隔熱包9(用于阻擋應(yīng)用中熱量對石英門的輻射)。石英管在設(shè)備上一般臥式安裝，石英門在關(guān)門機(jī)構(gòu)上安裝。使用時，將關(guān)門機(jī)構(gòu)動作，通過石英門的移動安裝附件，帶動石英門實(shí)現(xiàn)動作，平穩(wěn)的將石英門關(guān)閉到石英管口上，并通過關(guān)門機(jī)構(gòu)形成一定的關(guān)閉力量，讓石英門和石英管口密封。
[0003]石英門和石英管口直接緊密接觸進(jìn)行密封。傳統(tǒng)方式只是單獨(dú)要求石英管口端面磨砂處理,要求管口平整；石英門密封面10處磨砂處理，如圖2所示，要求整個密封面區(qū)域平面度要高。
[0004]采用對石英管口和石英門單獨(dú)進(jìn)行技術(shù)要求的方式，一般認(rèn)為分別滿足技術(shù)要求，即認(rèn)為石英管口和石英門的密封效果良好，不進(jìn)行實(shí)際密封的性能檢測。而實(shí)際情況是大多數(shù)匹配的密封面都有微漏，造成實(shí)際應(yīng)用中被忽視，而在其它環(huán)節(jié)找原因，浪費(fèi)大量的時間和工藝成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、方便易行、操作簡單、可以直觀而徹底地檢測密封性是否符合密封要求的擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置。
[0006]本實(shí)用新型所述擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置，包括固定在石英管圓弧端的兩個進(jìn)氣口，其中一個進(jìn)氣口通過接頭與閥門連接，閥門與進(jìn)氣管連接；另一個進(jìn)氣口通過接頭與壓力表連接。
[0007]使用時，將石英管口和石英門密封面良好接觸，進(jìn)氣管接氣源，打開閥門，氣體從進(jìn)氣管口進(jìn)入石英管內(nèi)，當(dāng)壓力表數(shù)值達(dá)到微正壓停止充氣，等待一會兒，如果壓力表指針沒有變化即密封性能優(yōu)良；否則密封性能不良，有泄漏。
[0008]本實(shí)用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置，結(jié)構(gòu)簡單、方便易行、操作簡單，從而直觀、徹底的檢測密封性是否符合密封要求。不符合要求的石英件生產(chǎn)廠家繼續(xù)修磨密封面，然后再次檢測，直到密封合格，給實(shí)際使用帶來了極大的保證，避免浪費(fèi)大量的時間和工藝成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖。[0010]圖2為圖1中石英門組成的結(jié)構(gòu)圖。
[0011]圖中各件號說明:
[0012]1-石英管；2_進(jìn)氣口 A;3-接頭；4_氣壓表；5_進(jìn)氣口 B ;6_閥門；7_進(jìn)氣管；8-石英門；9_石英門隔熱包；10-石英門密封面；11-石英門移動連接附件。
【具體實(shí)施方式】
[0013]結(jié)合圖1對本實(shí)用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0014]實(shí)施例一。
[0015]本實(shí)用新型所述石英管和石英門密封性檢測裝置，包括:焊接在石英管I圓弧端的進(jìn)氣口 A2和進(jìn)氣口 B5。
[0016]其中，進(jìn)氣口 B5通過接頭3與閥門6連接，閥門6與進(jìn)氣管7連接，進(jìn)氣管7外接氣源。
[0017]進(jìn)氣口 A2通過接頭3與壓力表4連接。
[0018]進(jìn)行檢測時，可選擇以下兩種方式進(jìn)行:
[0019]1、用氣體檢測密封性能方法
[0020](I)將石英管I圓弧封頭進(jìn)氣口 A2和進(jìn)氣口 B5上，按照圖1所示安裝上壓力表
4、閥門6和進(jìn)氣管7 ;
[0021](2)將石英門8安放在特定的支架(圖中未示)上，讓石英門8自由平放，石英門密封面10在上；
[0022](3)石英管I立式平放到石英門8上，豎立安穩(wěn)的放置在石英門密封面10上，使石英管I端面和石英門密封面10良好接觸；
[0023](4)不需要外力施壓，靠石英管I的自重既可以保證密封的正壓力；
[0024](5)上述過程完成后，通過進(jìn)氣管7通入氣體，打開閥門6，當(dāng)壓力表4的數(shù)值達(dá)到50-200Pa后(即微正壓即可，不能將石英管頂起而漏氣)停止充氣；
[0025](6)關(guān)閉閥門6，等待5分鐘，如果壓力表4的指針沒有變化即密封性能優(yōu)良，滿足要求；如果壓力表4的指針變小，則密封性能不良，有泄漏，重新修整密封面，然后再次測量。
[0026]2、用水檢測密封性能方法
[0027](I)將石英管8圓弧封頭進(jìn)氣口 A2和進(jìn)氣口 B5上，按照圖1所示安裝上壓力表4及閥門6 (也可以不安裝壓力表4和閥門6，成為進(jìn)氣口裸露開口狀都不影響)；
[0028](2)將石英門8安放在特定的支架(圖中未示)上，讓石英門8自由平放，石英門密封面10在上；
[0029](3)石英管I立式平放到石英門8上，豎立安穩(wěn)的放置在石英門密封面10上，使石英管I端面和石英門密封面10良好接觸；
[0030](4)不需要外力施壓，靠石英管I的自重既可以保證密封的正壓力；
[0031 ] (5)上述過程完成后，通過閥門6的口向石英管I內(nèi)注入2-5升水，水量依據(jù)石英管I直徑選擇，不精確，可以更多些；
[0032](6)等待5分鐘，如果石英門密封面10處沒有水滲出即密封性能優(yōu)良，滿足要求；如果石英門密封面10處有水滲出則密封性能不良，有泄漏，重新修整密封面，然后再次測量。
【權(quán)利要求】
1.一種擴(kuò)散爐石英管和石英門密封性檢測裝置，其特征在于包括固定在石英管圓弧端的兩個進(jìn)氣口，其中一個進(jìn)氣口通過接頭與閥門連接，閥門與進(jìn)氣管連接；另一個進(jìn)氣口通過接頭與壓力表連接。
【文檔編號】G01M3/28GK203705136SQ201320803680
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月10日
【發(fā)明者】張海林, 崔慧敏 申請人:青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司