一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，可對(duì)少量弱反應(yīng)下的微弱相變速率進(jìn)行測(cè)量，也可對(duì)快速相變的速率進(jìn)行測(cè)量分析。本實(shí)用新型包括真空加熱室，真空加熱室連接有氣源裝置，真空加熱室內(nèi)設(shè)有樣品加熱臺(tái)，樣品加熱臺(tái)連接加熱控溫機(jī)構(gòu)，真空加熱室頂部設(shè)有供紅外熱像儀測(cè)量的玻璃窗口，玻璃窗口外面設(shè)有高分辨率高速紅外熱像儀。本實(shí)用新型可測(cè)出整個(gè)轉(zhuǎn)變過(guò)程中的相變速率的變化，并實(shí)現(xiàn)相轉(zhuǎn)變過(guò)程的實(shí)時(shí)觀測(cè)。
【專利說(shuō)明】-種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及相變材料的測(cè)量，具體涉及采用高分辨率高速紅外熱像儀122測(cè) 量固-固相變、相變速率的方法，實(shí)現(xiàn)相轉(zhuǎn)變過(guò)程的實(shí)時(shí)觀測(cè)。

【背景技術(shù)】
[0002] 物質(zhì)從一種相轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N相的過(guò)程稱為相變。近年來(lái)，相變材料在儲(chǔ)能領(lǐng)域的 應(yīng)用成為研究熱點(diǎn)，但相變材料的相變速率的測(cè)量還沒有國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。相變速率是相 變材料的重要?jiǎng)恿W(xué)參數(shù)，因此其測(cè)量有著重要意義，尤其是對(duì)能量存儲(chǔ)和釋放的速度有 要求的情況下更為重要。對(duì)于固-固相變材料，一般的測(cè)試方法有：激光超聲波測(cè)量法、氣 體體積測(cè)量法。
[0003] 日本專利JPA2010223635提供的測(cè)量裝置，采用激光超聲波測(cè)量法，激光超聲波 測(cè)量法易損傷樣品，使測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生較大誤差，設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，技術(shù)實(shí)現(xiàn)難度大，測(cè)量結(jié)果 易受環(huán)境影響，不易實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量。
[0004] 文獻(xiàn)：中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào)2003(13)3:695-698所述的儲(chǔ)氫材料相變速率測(cè)量裝 置，采用氫體積測(cè)量法，但該類裝置得到的更多是起始及最終兩種狀態(tài)下的結(jié)果，對(duì)于實(shí)時(shí) 觀測(cè)及中間反應(yīng)速率變化的觀測(cè)不易，且對(duì)于吸放氫量少的樣品會(huì)產(chǎn)生較大誤差。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 針對(duì)上述缺陷或改進(jìn)需求，本實(shí)用新型提出一種提固-固相變材料的相變速率測(cè) 量裝置與測(cè)量方法，不但可對(duì)少量弱反應(yīng)下的微弱相變速率進(jìn)行測(cè)量，也可對(duì)快速相變的 速率進(jìn)行測(cè)量分析。
[0006] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置， 其技術(shù)方案如下：
[0007] -種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，包括真空加熱室，真空加熱室提供樣 品加熱所需的真空環(huán)境，及樣品與氣體反應(yīng)的場(chǎng)所；真空加熱室連接有氣源裝置，真空加熱 室上設(shè)有進(jìn)氣孔，氣源裝置經(jīng)過(guò)氣體流量控制機(jī)構(gòu)連接進(jìn)氣孔，真空加熱室上設(shè)有真空接 口與水電接口，真空加熱室內(nèi)設(shè)有樣品加熱臺(tái)，樣品加熱臺(tái)內(nèi)設(shè)有加熱器，樣品加熱臺(tái)內(nèi)的 加熱器連接加熱控溫機(jī)構(gòu)，加熱控溫機(jī)構(gòu)用于控制樣品的加熱溫度，并將樣品加熱臺(tái)的溫 度傳輸?shù)接?jì)算機(jī)處理模塊存儲(chǔ)；
[0008] 真空加熱室頂部設(shè)有供紅外熱像儀測(cè)量的光學(xué)玻璃窗口，玻璃窗口位于樣品加熱 臺(tái)正面，玻璃窗口外面設(shè)有高分辨率高速紅外熱像儀，高分辨率高速紅外熱像儀用于連續(xù) 高速拍攝樣品的紅外熱成像圖；
[0009] 高分辨率高速紅外熱像儀垂直于樣品加熱臺(tái)前方，高分辨率高速紅外熱像儀連接 計(jì)算機(jī)處理模塊；計(jì)算機(jī)處理模塊用于顯示和處理樣品的紅外熱圖像，并存儲(chǔ)處理結(jié)果。 [0010] 進(jìn)一步，在一些實(shí)施例中，所述真空加熱室為雙層水冷結(jié)構(gòu)，真空加熱室的室壁內(nèi) 設(shè)有循環(huán)水管，真空加熱室室壁上設(shè)有循環(huán)水入口與循環(huán)水出口，循環(huán)水管兩端分別連接 循環(huán)水入口與循環(huán)水出口。
[0011] 進(jìn)一步，在一些實(shí)施例中，所述樣品加熱臺(tái)底部及側(cè)面設(shè)有冷卻水管，樣品加熱臺(tái) 底部及側(cè)面的冷卻水管經(jīng)過(guò)水電接口連接外接冷卻水管。
[0012] 進(jìn)一步，在一些實(shí)施例中，所述樣品加熱臺(tái)內(nèi)的加熱器經(jīng)過(guò)水電接口通過(guò)熱電偶 連接加熱控溫機(jī)構(gòu)。
[0013] 進(jìn)一步，在一些實(shí)施例中，所述樣品加熱臺(tái)內(nèi)的加熱器上設(shè)有樣品，樣品由基底與 楔形薄膜組成，基底表面設(shè)有剖面為直角三角形的楔形薄膜，經(jīng)過(guò)相變后楔形薄膜樣品的 表面材料變化為相轉(zhuǎn)化層；
[0014] 進(jìn)一步，在一些實(shí)施例中，所述計(jì)算機(jī)處理模塊連接氣體流量控制機(jī)構(gòu)與加熱控 溫機(jī)構(gòu)，計(jì)算機(jī)處理模塊控制氣體流量控制機(jī)構(gòu)與加熱控溫機(jī)構(gòu)的工作狀態(tài)。
[0015] 總體而言，通過(guò)本實(shí)用新型所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠取得下 列效果：本實(shí)用新型所述裝置采用高分辨率高速紅外熱像儀巧妙結(jié)合楔形薄膜結(jié)構(gòu)測(cè)量相 變速率的方法，同時(shí)可測(cè)出整個(gè)轉(zhuǎn)變過(guò)程中的相變速率的變化，并實(shí)現(xiàn)相轉(zhuǎn)變過(guò)程的實(shí)時(shí) 觀測(cè)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016] 圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖2a是初始tQ時(shí)間的熱成像示意圖；
[0018] 圖2b是相變過(guò)程中的熱成像示意圖。
[0019] 附圖標(biāo)記如下：
[0020] 真空加熱室100、氣源裝置101、氣體流量控制機(jī)構(gòu)102、循環(huán)水入口 103、循環(huán)水出 口 104、真空接口 105、水電接口 106、進(jìn)氣孔107、循環(huán)水管108、外接冷卻水管109、樣品加 熱臺(tái)120、玻璃窗口 121、高分辨率高速紅外熱像儀122、計(jì)算機(jī)處理模塊123、加熱控溫機(jī)構(gòu) 124、基底201、楔形薄膜202、相轉(zhuǎn)化層203。

【具體實(shí)施方式】
[0021] 以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0022] 本實(shí)用新型的固-固相變材料的相變速率測(cè)量裝置主要由高分辨率高速紅外熱 像儀122、計(jì)算機(jī)處理模塊123、加熱控溫機(jī)構(gòu)124、真空加熱室100、氣體流量控制機(jī)構(gòu)102、 氣源裝置101等組成。
[0023] 本實(shí)用新型包括真空加熱室100,真空加熱室100連接有氣源裝置101，真空加熱 室100為雙層水冷結(jié)構(gòu)，真空加熱室100的室壁內(nèi)設(shè)有循環(huán)水管108,真空加熱室100上設(shè) 有循環(huán)水入口 103與循環(huán)水出口 104,水通過(guò)循環(huán)水入口 103進(jìn)入螺旋狀循環(huán)水管108,循 環(huán)后從循環(huán)水出口 104排出，真空加熱室100上設(shè)有進(jìn)氣孔107,氣源裝置101經(jīng)過(guò)氣體流 量控制機(jī)構(gòu)102連接進(jìn)氣孔107,通過(guò)進(jìn)氣孔107給真空加熱室100注入1?5Bar氣壓的 反應(yīng)氣體（H 2, 02，N2等)，真空加熱室100上設(shè)有真空接口 105與水電接口 106,真空加熱室 100通過(guò)真空接口 105抽真空，真空加熱室100內(nèi)設(shè)有樣品加熱臺(tái)120,樣品加熱臺(tái)120底 部及側(cè)面設(shè)有冷卻水管，樣品加熱臺(tái)120底部及側(cè)面的冷卻水管經(jīng)過(guò)水電接口 106連接外 接冷卻水管109,樣品加熱臺(tái)120內(nèi)設(shè)有均熱板，樣品加熱臺(tái)120內(nèi)的均熱板經(jīng)過(guò)水電接口 106通過(guò)熱電偶連接加熱控溫機(jī)構(gòu)124,樣品加熱臺(tái)120內(nèi)的均熱板上設(shè)有樣品，樣品由基 底201與楔形薄膜202組成，基底201設(shè)有剖面為直角三角形的楔形薄膜202,經(jīng)過(guò)相變后 樣品(楔形薄膜202與基底201)的表面材料變化為相轉(zhuǎn)化層203。
[0024] 真空加熱室100頂部設(shè)有玻璃窗口 121，玻璃窗口 121采用光學(xué)玻璃，既是光學(xué)玻 璃窗口。玻璃窗口 121位于樣品加熱臺(tái)120正面，玻璃窗口 121外面設(shè)有高分辨率高速紅 外熱像儀122,高分辨率高速紅外熱像儀122垂直于樣品加熱臺(tái)120前方，高分辨率高速紅 外熱像儀122連接計(jì)算機(jī)處理模塊123,高分辨率高速紅外熱像儀122的數(shù)據(jù)傳入計(jì)算機(jī)處 理模塊123進(jìn)行處理。
[0025] 計(jì)算機(jī)處理模塊123連接氣體流量控制機(jī)構(gòu)102與加熱控溫機(jī)構(gòu)124,計(jì)算機(jī)處理 模塊123控制氣體流量控制機(jī)構(gòu)102與加熱控溫機(jī)構(gòu)124的工作狀態(tài)。
[0026] 樣品由楔形薄膜202與基底201組成，基底201長(zhǎng)度為L(zhǎng)，原始楔形薄膜202剖面 為直角三角形，楔形薄膜202底邊長(zhǎng)度為L(zhǎng)，楔形薄膜202高度為h，相轉(zhuǎn)化層203厚度為4。
[0027] 工作原理：本實(shí)用新型限于固固相變材料的相變速率測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)兩種固-固轉(zhuǎn) 變情況下的相變速率測(cè)量。一是通入反應(yīng)氣體同時(shí)加熱情況下產(chǎn)生的新相的相轉(zhuǎn)變速率測(cè) 量；二是單純通過(guò)溫度變化產(chǎn)生的相變情況下的測(cè)量。兩種情況下都需要先將真空加熱室 100通過(guò)真空接口 105與外部的真空機(jī)組連接，將樣品（楔形薄膜202與基底201)放置在 樣品加熱臺(tái)120上；先對(duì)真空加熱室100抽真空，然后加熱控溫機(jī)構(gòu)124對(duì)樣品（楔形薄膜 202與基底201)進(jìn)行加熱，等加熱到設(shè)定的溫度且穩(wěn)定后(設(shè)此時(shí)樣品為A相)，開啟高分辨 率高速紅外熱像儀122進(jìn)行連續(xù)拍照。下面分述兩種情況下的工作原理：
[0028] -、通入反應(yīng)氣體同時(shí)加熱情況下產(chǎn)生的新相的相轉(zhuǎn)變速率測(cè)量。在前述共通步 驟完成條件下，對(duì)真空加熱室100通入一定氣壓的反應(yīng)氣體，通過(guò)氣體流量控制機(jī)構(gòu)102 (調(diào)節(jié)真空閥門）開啟維持氣壓平衡。反應(yīng)氣體在一定溫度下會(huì)與樣品(楔形薄膜202與 基底201)的表面進(jìn)行反應(yīng)，因反應(yīng)后樣品的表面材料發(fā)生相變(設(shè)轉(zhuǎn)化為B相)，由于不同 相的材料的紅外特性不同，因此高分辨率高速紅外熱像儀122所拍攝的圖片會(huì)隨著反應(yīng)的 進(jìn)行呈現(xiàn)明暗變化，樣品的熱像圖變化示意圖如附圖2a、附圖2b所示。當(dāng)高分辨率高速 紅外熱像儀122的圖片明暗對(duì)比不再發(fā)生變化時(shí)，說(shuō)明樣品的相變過(guò)程已經(jīng)完成。由發(fā)生 變化后時(shí)間t時(shí)已變化的長(zhǎng)度Q，樣品的總長(zhǎng)度L，楔形薄膜202最厚處的厚度h，由相似 三角形性質(zhì)定理，即可計(jì)算出樣品的A相轉(zhuǎn)變?yōu)锽相的相轉(zhuǎn)化層203 (相界面處）的厚度 ( h{ = h )，進(jìn)而算出相變速率vzh/t。
[0029] 然后停止供氣，對(duì)樣品加熱臺(tái)120通冷動(dòng)水進(jìn)行冷卻，同時(shí)抽真空，樣品中的氣體 逸出，B相轉(zhuǎn)變?yōu)锳相，按同樣的方法，可算出樣品B相轉(zhuǎn)變?yōu)锳相的相變速率。
[0030] 二、單純通過(guò)溫度變化產(chǎn)生的相變情況下的測(cè)量。此種情況下，相變?cè)谙噢D(zhuǎn)變溫度 點(diǎn)開始轉(zhuǎn)變，利用不同相的材料的紅外特性不同得到一系列明暗變化的紅外圖，進(jìn)而利用 和前述情況一樣的處理手段可得到相轉(zhuǎn)變速率。
[0031] 如附圖2a、附圖2b所示，樣品厚度h為nm級(jí)或μ m級(jí)，且從一側(cè)到另一側(cè)逐漸增 厚，其制作方法可參考專利ZL201120123187. 6。
[0032] 本實(shí)用新型的主要裝置作用：
[0033] 高分辨率高速紅外熱像儀122,用于連續(xù)高速拍攝樣品的紅外熱成像圖；
[0034] 計(jì)算機(jī)處理模塊123,用于顯示和處理樣品的紅外熱圖像，并存儲(chǔ)處理結(jié)果；
[0035] 加熱控溫機(jī)構(gòu)124,用于控制樣品的加熱溫度，并將樣品加熱臺(tái)120的溫度傳輸?shù)?計(jì)算機(jī)處理模塊123存儲(chǔ)；
[0036] 樣品加熱臺(tái)120的上部為一可放置樣品的均熱板，底部及側(cè)面為水冷結(jié)構(gòu)，冷卻 水由水電接口 106與外接冷卻水管109與外部水源連接；
[0037] 真空加熱室100,提供樣品加熱所需的真空環(huán)境，及樣品與氣體反應(yīng)的場(chǎng)所；
[0038] 真空加熱室100為雙層水冷結(jié)構(gòu)，真空加熱室100室壁上設(shè)有循環(huán)水入口 103、循 環(huán)水出口 104,可有效防止室壁過(guò)熱；
[0039] 真空加熱室100頂部設(shè)有供紅外熱像儀測(cè)量的光學(xué)玻璃窗口 121 ;
[0040] 真空加熱室100室壁設(shè)有真空接口 105,可與真空機(jī)組快速連接；
[0041] 氣體流量控制機(jī)構(gòu)102與氣源裝置101及計(jì)算機(jī)處理模塊123連接，控制氣體進(jìn) 入真空加熱室100的速度，從而控制樣品在一定溫度下與氣體反應(yīng)的速度；
[0042] 氣源裝置101，存儲(chǔ)反應(yīng)氣體。
[0043] 基底201長(zhǎng)度為L(zhǎng)，原始楔形薄膜202剖面為直角三角形，楔形薄膜202底邊長(zhǎng)度 為L(zhǎng)，楔形薄膜202高度為h，發(fā)生變化后時(shí)間t時(shí)已變化的長(zhǎng)度Q (相轉(zhuǎn)化層203長(zhǎng)度)， 相轉(zhuǎn)化層203厚度為h。參見附圖2b所示，X為基底201表面的薄膜與相轉(zhuǎn)化層分界線，X 界線處到端部的長(zhǎng)度U為相轉(zhuǎn)化層203長(zhǎng)度，它為發(fā)生變化后時(shí)間t時(shí)已變化的長(zhǎng)度。
[0044] 本實(shí)用新型的測(cè)量方法如下：
[0045] 1-1、先將真空加熱室100通過(guò)真空接口 105與外部的真空機(jī)組連接，將樣品放置 在樣品加熱臺(tái)120上，并關(guān)閉真空加熱室100的室門；
[0046] 1-2、開始抽真空，真空加熱室100內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)l(T3Pa時(shí)，向真空加熱室100的室壁內(nèi) 循環(huán)水管108通冷卻水，啟動(dòng)冷卻循環(huán)水，在計(jì)算機(jī)處理模塊123設(shè)定好需加熱的溫度并開 始加熱；
[0047] 1-3、等加熱到設(shè)定的溫度且穩(wěn)定后（設(shè)此時(shí)樣品為A相)，開啟高分辨率高速紅外 熱像儀122進(jìn)行拍照（拍照間隔1?3s即可）；在單純依靠溫度實(shí)現(xiàn)固-固轉(zhuǎn)變的情況下， 測(cè)量方法跳過(guò)步驟1-4?1-6,轉(zhuǎn)到步驟1-7 ;
[0048] 1-4、然后通過(guò)計(jì)算機(jī)處理模塊123設(shè)置需通入真空加熱室100的反應(yīng)氣體的量， 并開啟氣源裝置101并開始計(jì)時(shí)，氣體即經(jīng)氣體流量控制機(jī)構(gòu)102向真空加熱室100輸送 氣體，氣體開始與樣品表面反應(yīng)，表面材料發(fā)生相變(設(shè)轉(zhuǎn)化為B相)，熱成像圖的明暗程度 發(fā)生變化，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理模塊123顯示出來(lái)；
[0049] 1-5、反應(yīng)結(jié)束后，停止計(jì)時(shí)，關(guān)閉氣源裝置101，停止加熱并對(duì)樣品加熱臺(tái)120通 外接冷卻水管109的冷卻水，樣品冷卻，樣品中的氣體逸出，B相轉(zhuǎn)變?yōu)锳相，熱成像圖的明 暗程度發(fā)生變化，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理模塊123顯示出來(lái)；
[0050] 1-6、變化停止后，停止真空機(jī)組，取出樣品；
[0051] 1-7、由計(jì)算機(jī)處理模塊123計(jì)算樣品的A相轉(zhuǎn)變?yōu)锽相的相變速率，及B相轉(zhuǎn)變 為A相的相變速率，完成測(cè)量。
[0052] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的部分實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本 實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，包括真空加熱室（100)，所述真空加熱室 (100)連接有氣源裝置（101)，其特征在于，所述真空加熱室（100)上設(shè)有進(jìn)氣孔（107)，所 述氣源裝置（101)經(jīng)過(guò)氣體流量控制機(jī)構(gòu)（102)連接進(jìn)氣孔（107)，所述真空加熱室（100) 上設(shè)有真空接口（ 105 )與水電接口（ 106 )，所述真空加熱室（100 )內(nèi)設(shè)有樣品加熱臺(tái)（120 )， 所述樣品加熱臺(tái)（120)內(nèi)設(shè)有加熱器，所述樣品加熱臺(tái)（120)內(nèi)的加熱器連接加熱控溫機(jī) 構(gòu)（124)，所述加熱控溫機(jī)構(gòu)（124)用于控制樣品的加熱溫度，并將樣品加熱臺(tái)（120)的溫 度傳輸?shù)接?jì)算機(jī)處理模塊（123)存儲(chǔ)； 所述真空加熱室（100)頂部設(shè)有供紅外熱像儀測(cè)量的玻璃窗口（ 121 )，所述玻璃窗口 (121) 位于樣品加熱臺(tái)（120)正面，所述玻璃窗口（ 121)外面設(shè)有高分辨率高速紅外熱像儀 (122) ，所述高分辨率高速紅外熱像儀（122)用于連續(xù)高速拍攝樣品的紅外熱成像圖； 所述高分辨率高速紅外熱像儀（122)垂直于樣品加熱臺(tái)（120)前方，所述高分辨率高 速紅外熱像儀（122)連接計(jì)算機(jī)處理模塊（123)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，其特征在于，所述 真空加熱室（100)為雙層水冷結(jié)構(gòu)，所述真空加熱室（100)的室壁內(nèi)設(shè)有循環(huán)水管（108)， 所述真空加熱室（100)室壁上設(shè)有循環(huán)水入口（103)與循環(huán)水出口（104)，所述循環(huán)水管 (108)兩端分別連接循環(huán)水入口（ 103)與循環(huán)水出口（ 104)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，其特征在于，所述 樣品加熱臺(tái)（120)底部及側(cè)面設(shè)有冷卻水管，所述樣品加熱臺(tái)（120)底部及側(cè)面的冷卻水 管經(jīng)過(guò)水電接口（ 106)連接外接冷卻水管（109)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，其特征在于，所 述樣品加熱臺(tái)（120)內(nèi)的加熱器經(jīng)過(guò)水電接口（106)通過(guò)熱電偶連接加熱控溫機(jī)構(gòu)（124)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，其特征在于，所述 樣品加熱臺(tái)（120)內(nèi)的加熱器上設(shè)有樣品，所述樣品由基底（201)與楔形薄膜（202)組成， 所述基底（201)表面設(shè)有剖面為直角三角形的楔形薄膜（202)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)材料的固-固相變速率測(cè)量裝置，其特征在于，所述 計(jì)算機(jī)處理模塊（123)連接氣體流量控制機(jī)構(gòu)（102)與加熱控溫機(jī)構(gòu)（124)。
【文檔編號(hào)】G01N25/02GK203838089SQ201320891641
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】譚卓鵬, 周濟(jì), 沈劍山, 鄧金雁 申請(qǐng)人:康達(dá)新能源設(shè)備股份有限公司