測量力的測量元件、測量體和測量裝置以及這種測量體的應(yīng)用的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種由對稱型32的壓電晶體制成的測量元件，用于測量垂直作用于x-y平面上的力Fz，其中，力Fz導(dǎo)致在測量元件的接受力的表面(5，5′)上發(fā)生電荷集聚。在實(shí)際應(yīng)用中需要進(jìn)行測量，在測量時，正交于力Fz的橫向力Fxy在測量體(2)上是可預(yù)期的，橫向力在測量元件上產(chǎn)生誤差信號。根據(jù)本發(fā)明，測量元件由至少四個、優(yōu)選八個相同類型的測量元件區(qū)段(7)構(gòu)成，所述測量元件區(qū)段具有直的側(cè)面(8，8′)，其中，所述區(qū)段(7)在所述x-y平面中相互接近地并排設(shè)置，并在所述側(cè)面(8，8′)上通過狹窄的間隙(9)彼此間隔開，其中，所述區(qū)段一起構(gòu)成圓盤或有孔圓盤(10)的形狀，以減少由橫向力Fxy在測量元件上引起的干擾信號。此外，晶體方向(11)在所有區(qū)段(7)的x-y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。
【專利說明】測量力的測量元件、測量體和測量裝置以及這種測量體的 應(yīng)用

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種由對稱型為32的晶體、特別是石英制成并在x-y平面內(nèi)設(shè)計為 平的壓電測量元件，該壓電測量元件用于安裝在測量體中以測量垂直于x-y平面作用的力 Fz。這樣的力Fz導(dǎo)致在測量元件的接受力的表面上發(fā)生電荷集聚（Ladungsansammlung)， 該表面配有電極。在此，本發(fā)明僅涉及這樣一種測量元件，在測量時可以預(yù)期有正交于力Fz 的橫向力Fxy作用在測量體上，該橫向力Fxy在測量元件上產(chǎn)生誤差信號。

【背景技術(shù)】
[0002] 壓力傳感器或力傳感器被應(yīng)用于各種用途。這種傳感器經(jīng)常會同時面臨各種不同 的力，尤其是來自所有三個笛卡爾方向x、y、z的力、剪力和力矩。例如，在制造過程中，特別 是在銑削、刨削等過程中需要測量切削力，在這些過程中，在耗費(fèi)力的情況下會沿x-y方向 執(zhí)行平移運(yùn)動。根據(jù)應(yīng)用情況應(yīng)測量多個這樣的力。在此，特別感興趣的通常是沿z、x和 y方向的力以及沿Z方向的力矩Mz，在此，待加工的工件表面沿X-y方向延伸，并且其表面 法線沿z方向延伸。
[0003] 在這種測量中，在任何情況下都必須獨(dú)立于其他的力或力矩來檢測各個分力。為 此目的，傳感器包括具有多個單獨(dú)的測量元件的測量體，這些測量元件分別檢測分量。測 量元件通常構(gòu)造為圓盤或有孔圓盤，并由壓電材料構(gòu)成。一定數(shù)量的正電荷和負(fù)電荷相對 于沿某一方向的作用力成比例地發(fā)送到測量元件的兩個相對置的表面上。測量元件的各 表面上的電極收集這些電荷，并最后通過專門的絕緣導(dǎo)線將這些電荷輸送到電荷變換器或 放大器。測量元件必須在預(yù)張緊的情況下安裝在傳感器或測量體中，由此也可以測量負(fù)力 (negativeKrtfte)并由此確保始終與電極相接觸。
[0004] 為了能夠同時測量多個分力或力矩，可以使用不同類型的壓電板或壓阻板。因此 已知的是：在多分量傳感器中不同的板彼此堆疊，在此，每個板只能檢測一個分力或一個分 力矩，并且對與其他所有的力或力矩的影響是相對不敏感的。這些板通常是圓盤形的或有 孔圓盤形的。有孔圓盤形的板的優(yōu)點(diǎn)是可以在中心安裝裝配螺栓。
[0005] 但是已經(jīng)證實(shí)：特別是在由對稱型32的晶體制成并能夠測量垂直于板表面的力 Fz的壓電測量元件中，當(dāng)出現(xiàn)相對于Fz正交地產(chǎn)生影響并由分量Fx和Fy組成的橫向力 Fxy時，將會發(fā)生串?dāng)_。由于有一定數(shù)量的電荷被發(fā)送到與電極處于電接觸下的表面上，因 此這些Fz測量元件在出現(xiàn)這種橫向力Fxy時會產(chǎn)生干擾信號。
[0006] 由于干擾信號疊加在基于力Fz而單獨(dú)形成的信號上，因此這樣形成的干擾信號 會使所得到的測量信號出現(xiàn)誤差。這種干擾信號絕對能夠達(dá)到不應(yīng)被測量元件檢測到的分 量Fxy的額定值的5%至10%。由此將形成系統(tǒng)性的測量誤差。特別是當(dāng)橫向力Fxy比法 向力（Normalkraft)Fz大許多倍時，例如在銑削、刨削的情況下，在測量Fz時，由串?dāng)_所形 成的干擾信號相比于由Fz引起并應(yīng)該由測量元件測量其值的信號而言可能會非常大。
[0007] 由橫向力Fxy在Fz方向上產(chǎn)生的干擾信號只在上述由對稱型32的壓電晶體切割 制成的測量元件中出現(xiàn)。晶體板最后通過對晶體的切割形成，該切割垂直于結(jié)晶學(xué)的X軸 線進(jìn)行。由此將形成具有縱向效應(yīng)的晶體板，其能夠特別良好地用于力的測量，因此它們被 優(yōu)選使用在上述應(yīng)用中。遺憾的是，在這種測量元件中會出現(xiàn)上述的串?dāng)_，并在上述應(yīng)用中 產(chǎn)生與該串?dāng)_相關(guān)的干擾信號。
[0008] 對于其他具有另外的結(jié)晶學(xué)方向的測量元件，當(dāng)在測量元件上出現(xiàn)正交于力Fz 的橫向力Fxy時會顯示出另外的特性，因此不屬于本發(fā)明的范圍。
[0009] 其他的測量元件例如包括其他的壓電材料，并由其他的點(diǎn)群構(gòu)成，測量元件由非 晶體材料制成，例如由壓阻材料或壓電陶瓷制成。其他的測量元件還包括所有下述類型的 測量元件：這些測量元件為了另外的應(yīng)用而被切割為用于確定垂直于板的方向發(fā)生的力， 例如用以確定加速度或力矩或剪力。這些其他的測量元件都不屬于本發(fā)明的范圍。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 本發(fā)明的目的是提供一種前述類型的測量元件，其降低了位于測量元件上的橫向 力Fxy的串?dāng)_，而沒有因此明顯損失負(fù)荷能力。相應(yīng)地提出一種測量體、一種測量裝置和對 這種測量體的應(yīng)用，其中各自明顯降低了串?dāng)_。此外還闡明了如何以較小的費(fèi)用低成本地 制造這種測量元件。
[0011] 本發(fā)明的目的通過獨(dú)立權(quán)利要求的特征來實(shí)現(xiàn)。
[0012] 本發(fā)明的基本思想在于，根據(jù)本發(fā)明的測量元件由至少四個、優(yōu)選八個相同類型 的測量元件區(qū)段構(gòu)成，這些測量元件區(qū)段具有直的側(cè)面，在此，這些區(qū)段彼此靠近地并排設(shè) 置在x-y平面上，并通過在側(cè)面上的狹窄間隙彼此間隔開，在此，它們一起構(gòu)成圓盤或有孔 圓盤的形狀。此外根據(jù)本發(fā)明，例如分別平行于晶體的結(jié)晶學(xué)的Y軸線延伸的晶體方向應(yīng) 該在所有區(qū)段的x-y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。
[0013] 在此，概念"相同類型的"應(yīng)理解為提供相同的測量元件區(qū)段，且相應(yīng)地由相同的 材料制成，并且特別是具有相同的形狀、尺寸和對垂直于x-y平面的力作用具有相同的敏 感性。通過根據(jù)本發(fā)明的裝置，可以減少在測量元件上由橫向力Fxy所引起的干擾信號。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 下面參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。其中：
[0015] 圖1示意性示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的測量元件的俯視圖；
[0016] 圖2示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的具有四個區(qū)段的測量元件的俯視圖；
[0017] 圖3示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的具有八個區(qū)段的測量元件的俯視圖；
[0018] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的測量體的示意圖；
[0019] 圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的被并排設(shè)置的測量元件對的示意圖；
[0020] 圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的測量裝置的示意圖；
[0021] 圖7示出了作為Fz檢測到的由橫向力Fxy引起的干擾信號的振幅，其與Fxy的作 用方向a與晶體方向（Kristallausrichtung)的一致性有關(guān)，其中，
[0022] a)對應(yīng)于如圖1的完整的石英圓盤；
[0023] b)對應(yīng)于如圖2所示的具有4個區(qū)段的測量元件；
[0024] c)對應(yīng)于如圖3所示的具有8個區(qū)段并具有交錯的晶體方向的測量元件。

【具體實(shí)施方式】
[0025] 下面參照附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。相同的附圖標(biāo)記分別表示相同的構(gòu)件/實(shí) 際情況。
[0026] 圖1示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一件式測量元件4,例如圓盤10形式的壓電測量元件 4,在此為具有中央留空3的有孔圓盤10的形式。測量元件4通過其不可視的下表面5完全 平面地（volltBchig)位于電極6上。未示出的第二電極6'位于測量元件圓盤4的上表面 5'上。圓盤10沿方向x、y延伸，為此將法線標(biāo)示為z。測量元件4的晶體方向11可以在 x_y平面的內(nèi)部沿任意方向取向。晶體方向11關(guān)系到對晶體的切割，并表示例如晶體結(jié)構(gòu) 的方向Y或Z。在圖1中，晶體方向沿著7方向取向并以線條示出。將測量元件4設(shè)計為， 沿z方向作用于圓盤10上的力Fz產(chǎn)生相應(yīng)的測量信號，該測量信號可由位于相應(yīng)的未示 出的導(dǎo)線上的兩個電極6、6'接收。
[0027] 已經(jīng)證實(shí)：相對于力Fz垂直延伸的橫向力Fxy會不必要地產(chǎn)生一定數(shù)量的電荷量 子（Ladungsquanten)，這些電荷量子集聚在電極6、6'上并導(dǎo)致誤差信號（Fehlsingal)。 該誤差信號在正弦形式中關(guān)于晶體結(jié)構(gòu)11的取向和x_y平面中的方向a的一致性而改變 其振幅，其中，橫向力Fxy從方向a引入。圖7a示出了與入射角（Einfallswinkel)和晶 體方向11的一致性相關(guān)的干擾信號Fxy的振幅。如果晶體結(jié)構(gòu)11例如沿y方向延伸，橫 向力Fxy沿x方向延伸，則誤差信號最大。當(dāng)晶體方向11和橫向力作用Fxy彼此平行取向 時，誤差信號相應(yīng)地為零。
[0028] 圖2示出根據(jù)本發(fā)明的測量元件4的設(shè)計方案，該測量元件同樣位于電極6上和 未示出的電極6'之下,未示出的電極位于測量元件4的可見表面5'上。如同圖1所示的 測量元件一樣，該測量元件4也是由對稱型32的晶體、特別是石英制成的壓電測量元件。 其在x-y平面中被設(shè)計為平的，以便安裝到測量體中，用以測量垂直作用于x-y平面上的力 Fz〇
[0029] 與圖1中的測量元件不同，該測量元件4被分割成四個相同類型的測量元件區(qū)段 7。這些測量元件區(qū)段例如可以這樣構(gòu)成：通過經(jīng)過中心彼此正交切割的方式，將根據(jù)圖1 的有孔圓盤鋸開兩次。以小線條示出的圓盤10或其區(qū)段7的晶體結(jié)構(gòu)11的取向在此也全 部指向相同的方向。它們同樣全部沿y方向彼此平行地延伸。
[0030] 測量元件區(qū)段7位于X-y平面中并具有直的側(cè)面8、8 '，測量元件區(qū)段被設(shè)置為在 側(cè)面上通過狹窄的間隙9間隔開地靠近相鄰的區(qū)段7。間隙9的寬度例如可以與鋸開圓盤 10時所使用的鋸片的寬度相符。區(qū)段7在其設(shè)置于電極6、6'之間時與間隙9 一起構(gòu)成帶 有或沒有中間留空3的圓盤或有孔圓盤10的形狀。
[0031] 在應(yīng)用中，力Fz垂直作用于測量元件4或區(qū)段7的電極6、6'上。壓電測量元件 4在表面5、5'上產(chǎn)生正或負(fù)的電荷量子，并將電荷量子繼續(xù)輸送到與表面5、5'電接觸的 電極6、6'上，該電極用于集聚電荷。最后為了進(jìn)行分析，電極將電荷轉(zhuǎn)移到與電極電接觸 的未示出的導(dǎo)線上。
[0032] 已經(jīng)證實(shí)：替代如圖1所示的一件式，當(dāng)測量元件4如圖2所示地分成四個區(qū)段7 時，最大干擾信號的振幅大約減半。圖7b示出了由根據(jù)圖2的具有四個區(qū)段7的測量元件 中的干擾力Fxy所引起的相應(yīng)干擾信號的振幅。
[0033] 當(dāng)然，為了使測量元件的負(fù)荷能力不明顯地降低，在分段時應(yīng)該注意不要使測量 元件圓盤10的總面積減少得太多。通常，區(qū)段7之間的間隙9不應(yīng)超過圓盤或有孔圓盤10 的總面積的20%，優(yōu)選不超過10%。區(qū)段7在其作為理論上的圓盤10的設(shè)置中不允許發(fā) 生接觸，否則將再次出現(xiàn)誤差。相應(yīng)地，區(qū)段7覆蓋有孔圓盤面積10的至少80%，優(yōu)選至少 90%。
[0034] 圖3示出了如圖2所示的根據(jù)本發(fā)明的測量元件，但該測量元件被分割成八個區(qū) 段7。圖2中的所有區(qū)段7的晶體方向11在x-y平面中都沿相同的方向取向，即沿y方向 彼此平行，而在圖3中根據(jù)本發(fā)明，相鄰的區(qū)段7的晶體方向11沿x-y平面的交錯的方向 彼此正交地取向。
[0035] 橫向力Fxy導(dǎo)致區(qū)段7上的誤差信號，該誤差信號又部分地被另一區(qū)段7抵消。在 如圖3所示的設(shè)置中，區(qū)段7同樣可以通過鋸開完整的、一件式的圓盤10形成，然后例如取 出每第二個區(qū)段7,轉(zhuǎn)動90度并沿轉(zhuǎn)動方向再次放置到再下一個位置。
[0036] 如圖所示，電極6、6'可以構(gòu)造為連續(xù)的圓盤或有孔圓盤。在此，它們在區(qū)段7的 兩側(cè)連續(xù)地覆蓋至少圓盤或有孔圓盤10的表面。
[0037] 圖7c)示出了通過干擾力Fxy在如圖3所示的具有八個區(qū)段7的測量元件中引起 的干擾信號的振幅，其與干擾力Fxy的入射方向有關(guān)，在此，區(qū)段7具有不同的晶體方向。干 擾信號的振幅在此大約是如圖1所示的原始干擾信號的八分之一。
[0038] 但在此始終需要注意的是：測量元件4的所有區(qū)段7是相同類型的。相同類型意 味著它們由一樣的材料制成，并對關(guān)于Z方向的力作用具有相同的敏感性。它們的形狀和 尺寸也是一樣的。根據(jù)各區(qū)段在鋸開圓盤之前的原始位置，它們的不同之處僅在于其與在 測量元件4中的設(shè)置相關(guān)的晶體方向11。晶體方向11例如可以平行于側(cè)面8或8'取向， 或者相對于側(cè)面8或8'橫向取向。
[0039] 如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明的測量元件4在預(yù)緊力的作用下被安裝到測量體2中。
[0040] 為此，優(yōu)選分別使用兩個根據(jù)本發(fā)明的測量元件4、4. 1，這兩個測量元 件通過它們的接受力的表面5、5.1'彼此重疊地設(shè)置。為此，它們的偏振方向 (Polarisationsrichtungen)通常相反地取向。因此，測量元件4、4. 1具有設(shè)置在它們之間 的、共有的電極6,該電極與測量信號導(dǎo)線13電連接。該測量信號導(dǎo)線將分力Fz的信號傳 導(dǎo)至放大器、變換器和/或分析裝置。
[0041] 測量體2特別是可以包括其他的測量元件12,該測量元件可以確定其他的分力和 /或分力矩。在圖4中，特別是設(shè)有用于確定沿x方向的力Fx和沿y方向的力Fy的測量 元件對，以及用于確定沿z方向的力矩的測量元件對Mz。在預(yù)緊力的作用下配置測量體2， 為清楚起見，這在圖中未示出。所有的測量元件4、4. 1、12均被設(shè)計為圓盤或有孔圓盤10， 它們具有相同的外徑并在需要時具有相同的內(nèi)徑。通過沿z方向的預(yù)緊力，它們利用其表 面5. 1、5. 1'、5、5'固定地貼靠在與其毗鄰的電極6、6'上。這種狀況為清楚起見也在圖 4中未示出。測量體2中的電極6'全部彼此電連接以及與地電連接。
[0042] 在此需要注意的是：只有設(shè)置用于測量沿z方向的分力的測量元件4、4. 1被分割 成多個區(qū)段7,而對用于測量力Fx、Fy或力矩Mz的其他測量元件12并不分割。在所述其 他的部件中，測量信號的串?dāng)_出現(xiàn)得并不強(qiáng)烈，以至于不必對由此產(chǎn)生的誤差進(jìn)行校正。
[0043] 在將兩個測量元件4、4. 1設(shè)置為塔形（Turm)時，根據(jù)本發(fā)明應(yīng)當(dāng)注意的是：每兩 個在電極6上相對置的區(qū)段7、7. 1關(guān)于其晶體結(jié)構(gòu)11彼此正交地取向，如圖5所示。兩個 測量元件4、4.1是相同的，它們只是彼此轉(zhuǎn)動90°地設(shè)置。已經(jīng)證實(shí)：由串?dāng)_導(dǎo)致的測量 誤差在這種方式下是最小的，因?yàn)榭梢杂纱耸垢鱾€誤差最有效地抵消。
[0044] 根據(jù)本發(fā)明，測量電極6也可由多個彼此電分離的子電極（Teilelektroden)6a、 6b、6c和6d構(gòu)成，如圖6所示。這些子電極分別只精確地覆蓋一個測量元件區(qū)段7. 1 (不可 見）的一個接受力的表面5. 1 (不可見），在此，所有的子電極6曰、613、6(3、6(1被彼此電分離地 進(jìn)一步引導(dǎo)，以實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的處理。特別是這些信號分別在測量信號放大器15中放大成各 個力Fzi，在此，i代表1、2、3和4,并隨后才組合在一起，以最終獲得信號Fz。
[0045] 附圖標(biāo)記列表
[0046] 1測量裝置
[0047] 2測量體
[0048] 3中央的圓形留空
[0049] 4, 4. 1測量元件，圓盤
[0050] 5,5' ;5. 1 ;5. 1'測量元件的接受力的表面
[0051] 6,6' ；6.1;6.2;6.3;6.4電極
[0052] 7,7. 1測量元件區(qū)段
[0053] 8,8'區(qū)段的側(cè)面
[0054] 9間隙，中間空間
[0055] 10圓盤或有孔圓盤
[0056] 11晶體方向
[0057] 12用于檢測力Fx、Fy或力矩Mz的其他的測量元件
[0058] 13導(dǎo)線，測量導(dǎo)線
[0059] 14,14'測量體的導(dǎo)入力的表面
[0060] 15測量信號放大器
[0061] X橫向于力導(dǎo)入方向Fz的坐標(biāo)
[0062] y橫向于力導(dǎo)入方向Fz的坐標(biāo)
[0063] z平行于力導(dǎo)入方向Fz的坐標(biāo)
[0064]X壓電晶體的結(jié)晶學(xué)的X軸線
[0065]Fxy位于x-y平面中并導(dǎo)致干擾力的力F[0066] Fz應(yīng)該測量的沿方向z的力F。
【權(quán)利要求】
1. 一種測量元件，由對稱型32的壓電晶體制成，特別是由石英制成，所述測量元件在 x_y平面中被設(shè)計為平的，以安裝在測量體（2)中用于測量垂直于所述x-y平面作用的力 Fz，其中，力Fz導(dǎo)致在所述測量元件的接受力的表面（5, 5')上發(fā)生電荷集聚，所述表面配 置有電極出，6')，其中，在測量時，在所述測量體（2)上正交于所述力Fz的橫向力Fxy是 可預(yù)期的，所述橫向力在所述測量元件上產(chǎn)生誤差信號，其特征在于，所述測量元件由至少 四個、優(yōu)選為八個相同類型的測量元件區(qū)段（7)構(gòu)成，所述測量元件區(qū)段具有直的側(cè)面（8， 8')，其中，所述區(qū)段（7)在所述x-y平面中相互接近地并排設(shè)置，并在所述側(cè)面（8,8') 處通過狹窄的間隙（9)彼此間隔開，其中，所述區(qū)段一起構(gòu)成圓盤或有孔圓盤（10)的形狀， 以減少由橫向力Fxy在所述測量元件上引起的干擾信號，其中，晶體方向（11)在所有區(qū)段 (7)的x-y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量元件，其特征在于，所述區(qū)段（7)覆蓋所述圓盤或有孔圓 盤（10)的面積的至少80%，優(yōu)選為至少90%。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測量元件，其特征在于，所述相同類型的測量元件區(qū)段 (7)關(guān)于其材料質(zhì)地、形狀、尺寸和敏感性是彼此相同的。
4. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測量元件，其特征在于，所有并排設(shè)置的測量元 件區(qū)段（7)的偏振方向沿相同的方向取向。
5. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測量元件，其特征在于，相鄰的區(qū)段（7)的晶體 方向（11)在x-y平面中以交錯的方向彼此正交地取向。
6. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測量元件，其特征在于，所有測量元件區(qū)段（7) 被彼此并聯(lián)地電連接，以累計所有測量元件區(qū)段（7)的子信號。
7. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測量元件，其特征在于，在所述區(qū)段（7)兩側(cè)的 兩個電極（6,6')至少連續(xù)地覆蓋所述圓盤或有孔圓盤（10)的表面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的測量元件，其特征在于，所述測量元件（7)的 一個或兩個電極（6,6')由多個彼此電分離的子電極（6a，6b，…）構(gòu)成，所述子電極分別 只精確地覆蓋一個測量元件區(qū)段（7)的一個接受力的表面（5,5')，其中，所有的子電極 (6a，6b，…）被彼此電分離地進(jìn)一步引導(dǎo)，以實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的處理，并隨后將局部力信號累計 成Fz。
9. 一種測量體，包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的兩個測量元件（4,4.1)，其特 征在于，所述測量元件通過其接受力的表面（5'，5.1')彼此重疊地設(shè)置，并具有設(shè)置在 所述測量元件之間的共有的電極（6)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的測量體，其特征在于，不同的測量元件（4,4.1)的相鄰的區(qū) 段（7,7. 1)的晶體方向（11，11. 1)彼此正交地取向。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9或10中任一項(xiàng)所述的測量體，包括其他的測量元件（12)，用于檢 測力Fx和/或Fy和/或力矩Mz。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量體，其特征在于，用于Fx、Fy或Mz的所有其他的測量 元件（12)是構(gòu)成為一件式的圓盤或有孔圓盤（10)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的測量體，其特征在于，所述測量體（2)的導(dǎo)入 力的表面（14，14')平行于所述測量元件（4)的接受壓力或力的表面（5,5')。
14. 一種測量裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的測量體（2)，所述測 量體具有如權(quán)利要求6所述的分離的子電極，以及所述測量裝置包括多個測量信號放大器 (15)，其特征在于，被電分離地引導(dǎo)的各個子電極（6a，6a'，6b，6b'，--?）連接到自己的測 量信號放大器（15)上，以轉(zhuǎn)換測量信號。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的測量裝置，其特征在于，所有測量信號放大器（15)的輸出 端彼此電連接，以使它們的輸出信號相加。
16. 根據(jù)前述權(quán)利要求9至15中任一項(xiàng)所述的測量體（2)在工具中、特別是在銑削工 具或刨削工具中的應(yīng)用，用于確定正交于加工方向出現(xiàn)的力。
【文檔編號】G01L1/16GK104395720SQ201380032957
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2013年6月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月20日
【發(fā)明者】丹尼斯·科勒 申請人:基斯特勒控股公司