一種半導(dǎo)體紅外單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)甄別裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置，該裝置包括：扇出單元，將一路門控觸發(fā)信號(hào)變成兩路信號(hào)，輸出至二可編程延時(shí)單元；可編程延時(shí)單元對(duì)輸入信號(hào)延時(shí)后分別送入高速比較器和D觸發(fā)器；高速比較器基于雪崩二極管的雪崩信號(hào)輸出數(shù)字電平信號(hào)；D觸發(fā)器基于數(shù)字電平信號(hào)得到輸出信號(hào)；脈沖寬度整形單元根據(jù)輸出信號(hào)輸出脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)。本發(fā)明還公開(kāi)了一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別方法。本發(fā)明消除了雪崩信號(hào)幅度變化和噪聲引起的探測(cè)信號(hào)時(shí)間抖動(dòng)，提高了探測(cè)器在高頻工作條件下的時(shí)間分辨率和微弱雪崩信號(hào)的甄別能力，大大減小了高速門控條件下探測(cè)信號(hào)時(shí)間抖動(dòng)引起的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)概率和探測(cè)器的后脈沖概率。
【專利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體紅外單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)甄別裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于弱光檢測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其適用于紅外單光子探測(cè)器微弱雪崩信號(hào)甄別處理。
【背景技術(shù)】
[0002]單光子探測(cè)器是目前弱光信號(hào)檢測(cè)中最靈敏的裝置之一，廣泛應(yīng)用于光譜測(cè)量、光學(xué)傳感、生物檢測(cè)、量子信息等各個(gè)領(lǐng)域。目前能有效工作在紅外波段的單光子探測(cè)器主要有兩種——超導(dǎo)探測(cè)器和基于銦鎵砷/銦磷(InGaAs/InP)雪崩二極管(APD)的半導(dǎo)體探測(cè)器。超導(dǎo)探測(cè)器必須工作在超低溫環(huán)境下，體積龐大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，雖然噪聲很低，但僅適合于實(shí)驗(yàn)室研究；而半導(dǎo)體探測(cè)器可以工作在室溫或半導(dǎo)體制冷條件下，體積小，功耗低，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以滿足科研和工程應(yīng)用的需求。
[0003]基于InGaAs/InP雪崩二極管的半導(dǎo)體探測(cè)器一般工作于蓋革模式，即加載在APD兩端的反向偏置電壓高于其雪崩擊穿電壓。在蓋革模式下，單個(gè)光子產(chǎn)生的光生載流子被放大IO5?IO8量級(jí)，足以被甄別器檢測(cè)到。為了減小探測(cè)器的噪聲，通常讓APD工作在低溫環(huán)境和門控模式下。在脈沖光測(cè)量系統(tǒng)中，光子的到達(dá)時(shí)間是可以提前確定的。在光子到達(dá)的很短時(shí)間內(nèi)，給AH)兩端加載門控脈沖，此時(shí)APD兩端電壓高于雪崩擊穿電壓；其他時(shí)間AH)兩端電壓低于雪崩擊穿電壓。這樣只在很短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行雪崩探測(cè)，可以有效地降低噪聲引起的暗計(jì)數(shù)。但由于InGaAs/InP界面處的晶體結(jié)構(gòu)缺陷，每次發(fā)生雪崩以后，半導(dǎo)體載流子有一定的概率被俘獲，在下一次門控信號(hào)開(kāi)啟時(shí)形成虛假的脈沖輸出，稱為后脈沖效應(yīng)。
[0004]現(xiàn)有的雪崩信號(hào)甄別方法為直接電平比較，即在高速比較器的一端輸入雪崩信號(hào)，另一端輸入可調(diào)的閾值電平，比較器輸出數(shù)字電平經(jīng)過(guò)脈寬整形后得到探測(cè)信號(hào)輸出。由于APD雪崩過(guò)程的隨機(jī)性，以及Aro結(jié)電容效應(yīng)引起的微分干擾信號(hào)和器件熱噪聲的影響，雪崩信號(hào)的幅度和形狀都具有不確定性，因此高速比較器輸出的數(shù)字電平會(huì)形成時(shí)間抖動(dòng)(jitter)。針對(duì)該問(wèn)題，有些文獻(xiàn)和專利提出了一些改進(jìn)的甄別方法，如恒比甄別器(CFD)或者采用組合邏輯方法。但由于每次雪崩信號(hào)的幅度和形狀都處于變化之中，甄別輸出的時(shí)間抖動(dòng)難以克服，當(dāng)探測(cè)器的門控重復(fù)頻率上升到百M(fèi)Hz以上時(shí)，探測(cè)信號(hào)輸出的時(shí)間抖動(dòng)會(huì)引起計(jì)數(shù)錯(cuò)誤。另外，為了提高探測(cè)效率，準(zhǔn)確甄別出微分干擾信號(hào)和器件熱噪聲中的雪崩信號(hào)，就不得不增大雪崩信號(hào)幅度，但這樣又會(huì)導(dǎo)致后脈沖概率隨之增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)單光子探測(cè)器現(xiàn)有甄別技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種新的雪崩信號(hào)甄別裝置和方法，本發(fā)明能夠克服探測(cè)器輸出信號(hào)的時(shí)間抖動(dòng)，減小微分干擾信號(hào)和器件熱噪聲的影響，降低探測(cè)器的后脈沖概率。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提出一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置，該裝置包括:高速比較器，D觸發(fā)器，脈沖寬度整形單元，第一可編程延時(shí)單元，第二可編程延時(shí)單元和扇出單元，其中:
[0007]所述扇出單元與所述第一可編程延時(shí)單元和第二可編程延時(shí)單元連接，用于將一路單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)變成兩路完全相同的信號(hào)輸出，一路信號(hào)輸入所述第一可編程延時(shí)單元，另一路信號(hào)輸入所述第二可編程延時(shí)單元；
[0008]所述第一可編程延時(shí)單元與所述高速比較器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述高速比較器中，以作為所述高速比較器的鎖存控制信號(hào)；
[0009]所述第二可編程延時(shí)單元與所述D觸發(fā)器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述D觸發(fā)器中，以作為所述D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)；
[0010]所述高速比較器與所述D觸發(fā)器和所述第一可編程延時(shí)單元連接，用于基于雪崩二極管的雪崩信號(hào)和鎖存控制信號(hào)輸出數(shù)字電平信號(hào)，并將所述數(shù)字電平信號(hào)送入所述D觸發(fā)器，作為所述D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào)；
[0011]所述D觸發(fā)器與所述高速比較器、所述第二可編程延時(shí)單元和所述脈沖寬度整形單元連接，用于基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入所述脈沖寬度整形單元；
[0012]所述脈沖寬度整形單元與所述D觸發(fā)器連接，用于根據(jù)所述D觸發(fā)器的輸出信號(hào)輸出脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提出本發(fā)明提出的一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別方法，該方法包括以下步驟:
[0014]步驟SI，單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)扇出單元，得到兩路信號(hào)，兩路信號(hào)分別通過(guò)兩路可編程延時(shí)單元進(jìn)行延時(shí)控制；
[0015]步驟S2，將其中一路延時(shí)信號(hào)送入高速比較器，作為高速比較器的鎖存控制信號(hào)；將另外一路延時(shí)信號(hào)送入D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)；
[0016]步驟S3，將雪崩二極管雪崩信號(hào)輸入至所述高速比較器，所述高速比較器在所述鎖存控制信號(hào)的控制下，輸出數(shù)字電平信號(hào)至所述D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào)；
[0017]步驟S4，所述D觸發(fā)器基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入脈沖寬度整形單元，產(chǎn)生脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)。
[0018]本發(fā)明消除了雪崩信號(hào)幅度變化和噪聲引起的探測(cè)信號(hào)時(shí)間抖動(dòng)問(wèn)題，提高了探測(cè)器在高頻工作條件下的時(shí)間分辨率，極大地減小了高速門控條件下的探測(cè)信號(hào)時(shí)間抖動(dòng)引起的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)概率；同時(shí)本發(fā)明在雪崩信號(hào)幅度最大的位置進(jìn)行甄別采樣，能夠減小噪聲和電容效應(yīng)的影響，提高微弱雪崩信號(hào)的甄別能力，有效降低單光子探測(cè)器的后脈沖概率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本發(fā)明提出的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置電路圖；
[0021]圖3為本發(fā)明提出的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別方法流程圖；
[0022]圖4為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別時(shí)序圖。【具體實(shí)施方式】
[0023]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0024]在脈沖光測(cè)量系統(tǒng)中，光子的發(fā)送時(shí)刻和傳輸路徑是確定的，光子到達(dá)探測(cè)器的時(shí)刻隨之確定，所以Aro雪崩信號(hào)出現(xiàn)的時(shí)間位置也就明確了?；谏鲜隹紤]，本發(fā)明通過(guò)對(duì)甄別器進(jìn)行同步控制，讓甄別器的輸出信號(hào)在Aro雪崩信號(hào)幅度最大的時(shí)刻進(jìn)行采樣，也就是說(shuō)，甄別器輸出的信號(hào)僅由采樣時(shí)刻確定，這樣就克服了輸出信號(hào)的時(shí)間抖動(dòng)問(wèn)題，同時(shí)避免了其他時(shí)間范圍內(nèi)微分干擾信號(hào)和器件熱噪聲對(duì)甄別的影響，提高了微弱雪崩信號(hào)的甄別能力，有效地降低了探測(cè)器的后脈沖概率。
[0025]圖1所示是單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述裝置包括:高速比較器，D觸發(fā)器，脈沖寬度整形單元，第一可編程延時(shí)單元，第二可編程延時(shí)單元和扇出單元，其中:
[0026]所述扇出單元與所述第一可編程延時(shí)單元和第二可編程延時(shí)單元連接，用于將一路單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)B變成兩路完全相同的信號(hào)輸出，一路信號(hào)輸入所述第一可編程延時(shí)單元，另一路信號(hào)輸入所述第二可編程延時(shí)單元；
[0027]所述第一可編程延時(shí)單元與所述高速比較器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述高速比較器中，以作為所述高速比較器的鎖存控制信號(hào)；
[0028]所述第二可編程延時(shí)單元與所述D觸發(fā)器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述D觸發(fā)器中，以作為所述D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)；
[0029]所述高速比較器與所述D觸發(fā)器和所述第一可編程延時(shí)單元連接，用于基于雪崩二極管(APD)的雪崩信號(hào)A和鎖存控制信號(hào)輸出數(shù)字電平信號(hào)，并將所述數(shù)字電平信號(hào)送入所述D觸發(fā)器，作為所述D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào)；
[0030]所述D觸發(fā)器與所述高速比較器、所述第二可編程延時(shí)單元和所述脈沖寬度整形單元連接，用于基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入所述脈沖寬度整形單元；
[0031]所述脈沖寬度整形單元與所述D觸發(fā)器連接，用于根據(jù)所述D觸發(fā)器的輸出信號(hào)輸出脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)C。
[0032]所述第一可編程延時(shí)單元控制的延時(shí)可調(diào)，以使高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)在所述雪崩信號(hào)幅度最高的位置鎖存；
[0033]所述第二可編程延時(shí)單元控制的延時(shí)可調(diào)，以使剛被鎖存并且穩(wěn)定下來(lái)的高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)正好被D觸發(fā)器采樣。
[0034]圖2為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置電路圖，如圖2所示，在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述甄別裝置主要由以下幾部分構(gòu)成:高速比較器ADCMP572，兩片1:4扇出芯片NB6L14，兩片雙通道延時(shí)芯片SY89297，兩片D觸發(fā)器SY55852，電平轉(zhuǎn)換芯片MC100EPT23。在該實(shí)施例中，APD雪崩信號(hào)從高速比較器ADCMP572輸入，其數(shù)字信號(hào)輸出端和D觸發(fā)器SY55852的數(shù)據(jù)端相連；同步時(shí)鐘信號(hào)由NB6L14輸入，輸出兩路信號(hào)分別接入延時(shí)芯片SY55852的兩個(gè)通道，延時(shí)芯片的兩路輸出分別接高速比較器的鎖存控制端和D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)端；另外的一片D觸發(fā)器和延時(shí)芯片通過(guò)復(fù)位反饋構(gòu)成輸出脈沖寬度可調(diào)的脈沖整形電路。
[0035]圖3為本發(fā)明提出的單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別方法流程圖，如圖3所示，所述方法包括以下步驟:
[0036]步驟SI，單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)B經(jīng)過(guò)扇出單元，得到兩路信號(hào)，兩路信號(hào)分別通過(guò)兩路可編程延時(shí)單元進(jìn)行延時(shí)控制；
[0037]步驟S2，將其中一路延時(shí)信號(hào)送入高速比較器，作為高速比較器的鎖存控制信號(hào)；將另外一路延時(shí)信號(hào)送入D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)；
[0038]步驟S3，將雪崩二極管(APD)雪崩信號(hào)A輸入至所述高速比較器，所述高速比較器在所述鎖存控制信號(hào)的控制下，輸出數(shù)字電平信號(hào)至所述D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào);
[0039]步驟S4，所述D觸發(fā)器基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入脈沖寬度整形單元，產(chǎn)生脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)C。
[0040]單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)的甄別時(shí)序如圖4所示，圖4中，通過(guò)細(xì)致調(diào)節(jié)門控觸發(fā)信號(hào)到高速比較器的延時(shí)，使得高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)正好在Aro雪崩信號(hào)幅度最高的位置鎖存，然后細(xì)致調(diào)節(jié)門控觸發(fā)信號(hào)到D觸發(fā)器的延時(shí)，使得剛被鎖存并且穩(wěn)定下來(lái)的高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)正好被D觸發(fā)器所采樣。由于高速比較器和D觸發(fā)器同步工作且工作在合適的延時(shí)上，輸出信號(hào)避開(kāi)了其他時(shí)刻噪聲和干擾，提高了微弱信號(hào)的甄別能力，減小了輸出抖動(dòng)。最后，整形單元將D觸發(fā)器輸出的信號(hào)處理為固定寬度的脈沖輸出，用于進(jìn)一步的處理。
[0041]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別裝置，其特征在于，該裝置包括:高速比較器，D觸發(fā)器，脈沖寬度整形單元，第一可編程延時(shí)單元，第二可編程延時(shí)單元和扇出單元，其中: 所述扇出單元與所述第一可編程延時(shí)單元和第二可編程延時(shí)單元連接，用于將一路單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)變成兩路完全相同的信號(hào)輸出，一路信號(hào)輸入所述第一可編程延時(shí)單元，另一路信號(hào)輸入所述第二可編程延時(shí)單元； 所述第一可編程延時(shí)單元與所述高速比較器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述高速比較器中，以作為所述高速比較器的鎖存控制信號(hào)； 所述第二可編程延時(shí)單元與所述D觸發(fā)器連接，用于對(duì)其輸入信號(hào)進(jìn)行延時(shí)控制，并將延時(shí)后的信號(hào)送入所述D觸發(fā)器中，以作為所述D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)； 所述高速比較器與所述D觸發(fā)器和所述第一可編程延時(shí)單元連接，用于基于雪崩二極管的雪崩信號(hào)和鎖存控制信號(hào)輸出數(shù)字電平信號(hào)，并將所述數(shù)字電平信號(hào)送入所述D觸發(fā)器，作為所述D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào)； 所述D觸發(fā)器與所述高速比較器、所述第二可編程延時(shí)單元和所述脈沖寬度整形單元連接，用于基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入所述脈沖寬度整形單元； 所述脈沖寬度整形單元與所述D觸發(fā)器連接，用于根據(jù)所述D觸發(fā)器的輸出信號(hào)輸出脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一可編程延時(shí)單元控制的延時(shí)可調(diào)，以使高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)在所述雪崩信號(hào)幅度最高的位置鎖存。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二可編程延時(shí)單元控制的延時(shí)可調(diào)，以使剛被鎖存并且穩(wěn)定下來(lái)的高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)正好被D觸發(fā)器采樣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述扇出單元由兩片1:4扇出芯片組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述可編程延時(shí)單元為雙通道延時(shí)芯片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述脈沖寬度整形單元由D觸發(fā)器和延時(shí)芯片通過(guò)復(fù)位反饋構(gòu)成。
7.一種單光子探測(cè)器雪崩信號(hào)同步甄別方法，其特征在于，該方法包括以下步驟: 步驟SI，單光子探測(cè)器門控觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)扇出單元，得到兩路信號(hào)，兩路信號(hào)分別通過(guò)兩路可編程延時(shí)單元進(jìn)行延時(shí)控制； 步驟S2，將其中一路延時(shí)信號(hào)送入高速比較器，作為高速比較器的鎖存控制信號(hào)；將另外一路延時(shí)信號(hào)送入D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的時(shí)鐘信號(hào)； 步驟S3，將雪崩二極管雪崩信號(hào)輸入至所述高速比較器，所述高速比較器在所述鎖存控制信號(hào)的控制下，輸出數(shù)字電平信號(hào)至所述D觸發(fā)器，作為D觸發(fā)器的數(shù)據(jù)信號(hào)； 步驟S4，所述D觸發(fā)器基于所述高速比較器輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)和所述第二可編程延時(shí)單元輸出的時(shí)鐘信號(hào)，采樣幅度高于閾值的有效雪崩信號(hào)得到輸出信號(hào)，并將所述輸出信號(hào)送入脈沖寬度整形單元，產(chǎn)生脈沖寬度可控的單光子探測(cè)信號(hào)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述門控觸發(fā)信號(hào)到高速比較器的延時(shí)可調(diào)，以使高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)在所述雪崩信號(hào)幅度最高的位置鎖存。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述門控觸發(fā)信號(hào)到D觸發(fā)器的延時(shí)可調(diào)，以使剛被鎖 存并且穩(wěn)定下來(lái)的高速比較器的輸出數(shù)字電平信號(hào)正好被D觸發(fā)器采樣。
【文檔編號(hào)】G01J11/00GK103759840SQ201410025243
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月20日
【發(fā)明者】何德勇, 王雙, 陳巍, 銀振強(qiáng), 周政, 韓正甫, 郭光燦 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)