具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀。所述的微型光譜儀包括一輸入部、一雜散光濾除構(gòu)造以及一微型繞射光柵。輸入部接收一第一光信號及一第二光信號。雜散光濾除構(gòu)造濾除第二光信號，并包括一第一過濾區(qū)段及一第二過濾區(qū)段。第一過濾區(qū)段具有一第一齒狀結(jié)構(gòu)。第二過濾區(qū)段具有一第二齒狀結(jié)構(gòu)與第一齒狀結(jié)構(gòu)安置于相對位置，第一齒狀結(jié)構(gòu)與第二齒狀結(jié)構(gòu)之間定義出一光通道以供第一光信號通過，并使第二光信號進(jìn)入第一過濾區(qū)段或第二過濾區(qū)段之中而被濾除。微型繞射光柵接收通過雜散光濾除構(gòu)造的第一光信號并將第一光信號分離成多個光譜分量。
【專利說明】具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀
[0001]本申請是申請日為2010年4月19日，申請?zhí)枮?01080064332.6，發(fā)明名稱為“具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀”的申請的分案申請。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及一種光譜儀，且特別是涉及一種具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀。【背景技術(shù)】
[0003]福射源的光度測定(photometry)通常利用光譜儀(spectrometer)來進(jìn)行量測，光譜儀需要使用狹縫結(jié)構(gòu)來控制一定量的光源進(jìn)入其中，再通過繞射光柵配合準(zhǔn)直器(collimator)與校正鏡片(correcting lens)的組合將輸出的光譜分量聚焦在一個圖像平面。圖像平面上可以放置光感測器，這樣就可以獲得各個光譜分量。然而，這種光譜儀的光感測器所檢測到的結(jié)果在某些情況下是不能用的，因為有很多雜散光會進(jìn)入到狹縫中，并到達(dá)繞射光柵，進(jìn)而影響繞射光柵的繞射結(jié)果。因此，輸入光源必須受到良好的控制，這也限制了傳統(tǒng)光譜儀的應(yīng)用層面。
[0004]圖6顯示一種傳統(tǒng)的光譜儀100的示意圖。如圖6所示，傳統(tǒng)的光譜儀100包括一光源110、一輸入部120、一準(zhǔn)直面鏡130、一平面光柵140、一聚焦面鏡150及一直線狀光感測器160。光源110輸出光信號200通過輸入部120，在自由空間里經(jīng)過準(zhǔn)直面鏡130后到達(dá)平面光柵140。平面光柵140的繞射圖案142的巨觀輪廓為一平面，這種平面光柵140比較適合傳統(tǒng)以鉆石刀刻劃繞射圖案的加工方式，但也因此無法將光柵的輪廓做成具有聚焦作用的曲面，因此當(dāng)平面光柵140將光信號分離成多個光譜分量之后，為了將這些光譜分量聚焦于直線狀光感測器160上，需要加入聚焦面鏡150才能達(dá)成。因此，整個光譜儀100的光路很長，且體積相對龐大許多。但也因為如此，傳統(tǒng)光譜儀的進(jìn)光量可以很大，雜散光對繞射結(jié)果的影響因此較小，所以傳統(tǒng)光譜儀未必需要去考慮雜散光對待測信號的影響的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的一個目的是提供一種具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀，其阻擋雜散光行進(jìn)到微型繞射光柵而影響到整個光譜儀的感測結(jié)果。
[0006]為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀，其包括一輸入部、一雜散光濾除構(gòu)造以及一微型繞射光柵。輸入部接收一第一光信號及一第二光信號。雜散光濾除構(gòu)造濾除第二光信號，并包括一第一過濾區(qū)段及一第二過濾區(qū)段。第一過濾區(qū)段具有一第一齒狀結(jié)構(gòu)。第二過濾區(qū)段具有一第二齒狀結(jié)構(gòu)與第一齒狀結(jié)構(gòu)安置于相對位置，第一齒狀結(jié)構(gòu)與第二齒狀結(jié)構(gòu)之間定義出一光通道以供第一光信號通過，并使第二光信號進(jìn)入第一過濾區(qū)段或第二過濾區(qū)段之中而被濾除。微型繞射光柵接收通過雜散光濾除構(gòu)造的第一光信號并將第一光信號分離成多個光譜分量?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0007]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0008]圖1顯示依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀的俯視圖；
[0009]圖2顯示依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的微型光譜儀的側(cè)視圖；
[0010]圖3顯示本發(fā)明的另一種光譜儀的立體示意圖；
[0011]圖4顯示雜散光濾除構(gòu)造的濾除原理的示意圖；
[0012]圖5顯示平滑側(cè)壁的反射結(jié)果的示意圖；
[0013]圖6顯示一種傳統(tǒng)的光譜儀的示意圖。
[0014]附圖標(biāo)號
[0015]C:光譜分量
[0016]H:高度
[0017]RC:羅蘭圓
[0018]S1:第一光信號
[0019]S2:第二光信號
[0020]10:輸入部
[0021]20:雜散光濾除構(gòu)造
[0022]21:第一平滑側(cè)壁
[0023]22:第一過濾區(qū)段
[0024]22T:第一齒狀結(jié)構(gòu)
[0025]22H、24H:定位孔
[0026]23:第二平滑側(cè)壁
[0027]24:第二過濾區(qū)段
[0028]24T:第二齒狀結(jié)構(gòu)
[0029]26:光通道
[0030]30、30’:微型繞射光柵
[0031]32:繞射圖案
[0032]40:光感測器
[0033]50:波導(dǎo)裝置
[0034]52:第一波導(dǎo)片
[0035]54:第二波導(dǎo)片
[0036]60:發(fā)光裝置
[0037]70:試樣
[0038]80:殼體
[0039]80R:定位柱
[0040]100:光譜儀
[0041]110:光源[0042]120:輸入部
[0043]130:準(zhǔn)直面鏡
[0044]140:平面光柵
[0045]142:繞射圖案
[0046]150:聚焦面鏡
[0047]160:直線狀光感測器
[0048]200:光信號
【具體實施方式】
[0049]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0050]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。
[0051]圖1顯示依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀的俯視圖。圖2顯示依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的微型光譜儀的側(cè)視圖。如圖1與圖2所示，本發(fā)明的微型光譜儀包括一輸入部10、一雜散光濾除構(gòu)造20以及一微型繞射光柵30。當(dāng)然，光譜儀可以更包括一光感測器40、一殼體80及一發(fā)光裝置60。輸入部10、雜散光濾除構(gòu)造20、微型繞射光柵30及光感測器40是安裝于殼體80中。微型繞射光柵30的繞射圖案32的巨觀輪廓包括圖1所示的一反射曲面，而非如傳統(tǒng)的圖6所示的平面，反射曲面的作用是將經(jīng)過微型繞射光柵30的光線聚焦到前方的光感測器40上。發(fā)光裝置60亦可固定至殼體80。由于繞射光柵30可以利用微機(jī)電制造工藝(MEMS)、半導(dǎo)體制造工藝、光刻電鑄模造(LIGA)或其他制造工藝所制造出來的超薄微小零件，故可以被稱為是微型繞射光柵，因此本發(fā)明的光譜儀可以被稱為是微型光譜儀。
[0052]輸入部10譬如包括狹縫結(jié)構(gòu)，并接收一第一光信號SI及一第二光信號S2，其中SI是從一適當(dāng)?shù)念A(yù)設(shè)角度的范圍內(nèi)進(jìn)入本發(fā)明的微型光譜儀之中而可以直接抵達(dá)微型繞射光柵30的待測的光信號(如圖1所示)，S2則是從上述適當(dāng)?shù)念A(yù)設(shè)角度的范圍之外進(jìn)入光譜儀之中、若不濾除將會經(jīng)過幾度反射或其他無法預(yù)測的光學(xué)路徑之后才會以無法預(yù)測的角度抵達(dá)微型繞射光柵30的光信號(如圖1)，其本身本來可能也是待測光信號的一部分，但經(jīng)過上述路徑之后已成不可使用的雜散光。雜散光濾除構(gòu)造20可以設(shè)置于輸入部10與微型繞射光柵30之間，可以濾除第二光信號S2，并包括一第一過濾區(qū)段22及一第二過濾區(qū)段24。
[0053]第一過濾區(qū)段22具有薄片狀結(jié)構(gòu)，并具有一第一齒狀結(jié)構(gòu)22T。第二過濾區(qū)段24具有薄片狀結(jié)構(gòu)，并具有一第二齒狀結(jié)構(gòu)24T，第二齒狀結(jié)構(gòu)24T與第一齒狀結(jié)構(gòu)22T置于相對位置。第一齒狀結(jié)構(gòu)22T與第二齒狀結(jié)構(gòu)24T之間定義出一光通道26以供上述以適當(dāng)預(yù)設(shè)角度從輸入部10進(jìn)入的第一光信號SI通過而到達(dá)微型繞射光柵30。第一及第二過濾區(qū)段22、24包括很多尖銳的齒狀結(jié)構(gòu)，齒狀結(jié)構(gòu)是用來阻擋第二光信號S2(即雜散光)，并將其導(dǎo)引至齒狀結(jié)構(gòu)之間的凹槽內(nèi)，以防止第二光信號S2經(jīng)過各種不可預(yù)測的路徑之后行進(jìn)到微型繞射光柵30。第一過濾區(qū)段22及第二過濾區(qū)段24位于同一平面上。
[0054]微型繞射光柵30接收通過雜散光濾除構(gòu)造20的第一光信號SI并將第一光信號SI分離成多個光譜分量C。
[0055]為了獲得這些光譜分量C以便作處理，可利用光感測器40來接收此等光譜分量C。通過后續(xù)的處理后，可以將這些光譜分量C轉(zhuǎn)成數(shù)字信號。于本實施例中，可以聚焦在上述光感測器40的此等光譜分量C的數(shù)量大于2。
[0056]為了方便安裝雜散光濾除構(gòu)造20，殼體80具有多個定位柱80R，第一過濾區(qū)段22及第二過濾區(qū)段24具有多個定位孔22H、24H。定位柱80R分別插至定位孔22H、24H中，使得定位孔22H、24H分別包圍定位柱80R，達(dá)成定位的效果。值得注意的是，第一過濾區(qū)段22及第二過濾區(qū)段24可以是一體成型的構(gòu)造。
[0057]發(fā)光裝置60發(fā)出一光源經(jīng)過一試樣70后產(chǎn)生第一光信號SI及第二光信號S2,試樣譬如是試紙或其他待測物。
[0058]此外，微型光譜儀可以更包括一波導(dǎo)裝置50，其包括一第一波導(dǎo)片52及一第二波導(dǎo)片54，兩者彼此面對以與輸入部10、雜散光濾除構(gòu)造20及微型繞射光柵30共同定義出光通道26，使第一光信號SI可以在光通道26中反射行進(jìn)。由于微型光譜儀的進(jìn)光量很少，一般會使用波導(dǎo)裝置50來減少光損，并配合雜散光濾除構(gòu)造20以濾除雜散光。
[0059]所謂的微型光譜儀，其中的微型繞射光柵30是由微機(jī)電制造工藝(MEMS)或半導(dǎo)體制造工藝所制造出來。微型繞射光柵30的繞射圖案32的高度一般約有數(shù)十微米至數(shù)百微米，因此，第一過濾區(qū)段22及第二過濾區(qū)段24 —般也會采用在數(shù)十微米至數(shù)百微米的厚度，以形成一個數(shù)十微米至數(shù)百微米高度的光通道26。這種微型光譜儀的進(jìn)光量很少，不像已知的傳統(tǒng)光譜儀的進(jìn)光量很大的情況。在進(jìn)光量很大的情況下，雜散光對繞射結(jié)果的影響較小，因此傳統(tǒng)的光譜儀并不太需要去考慮這個問題。在進(jìn)光量很少的情況下，雜散光的濾除就顯得相當(dāng)重要。因為本案發(fā)明人實際在研發(fā)此產(chǎn)品時，發(fā)現(xiàn)了這個問題，故提出具有高效能的雜散光濾除構(gòu)造來解決此問題，經(jīng)過驗證也得到相當(dāng)好的成果。
[0060]圖3以已知的羅蘭圓(Rowland circle)的理論來解說本發(fā)明的微型光譜儀的所以可以聚焦于一直線的感測器的示意圖。如圖3所示,依據(jù)羅蘭圓(Rowland circle)的理論，入射光通過狹縫結(jié)構(gòu)10后，被雜散光濾除構(gòu)造20濾除不必要的成分，最后到達(dá)微型繞射光柵30’。微型繞射光柵30’產(chǎn)生繞射并聚焦成像于羅蘭圓RC上。因此，一個與羅蘭圓RC有交叉的光感測器40可以接收至少兩個光譜成分。由于適用于羅蘭圓的微型繞射光柵30’的繞射圖案具有固定的節(jié)距(Pitch)，所以僅能將光譜成分聚焦成像于一直線的兩點上。改變節(jié)距可以改變羅蘭圓的大小，所以將繞射圖案設(shè)計成具有非固定的節(jié)距，即可將至少三個光譜成分聚焦于一直線上，也就是達(dá)成圖1的效果。
[0061]因此，圖1的光感測器40可具有多個感光單元42，譬如是兩個、三個或三個以上，此等感光單元42排列成一直線。
[0062]值得再度提起的是，雜散光信號除了包括噪聲以外，亦可以包括入射角度不對的所要量測的光信號。在沒有裝設(shè)雜散光濾除構(gòu)造20的情況下，這種入射角度不對的光信號在通過輸入部10以后，就會被殼體80經(jīng)過幾次反射后到達(dá)微型繞射光柵30，因此會干擾到繞射結(jié)果。此外，也可以在微型繞射光柵30與光感測器40之間加裝雜散光濾除構(gòu)造20。
[0063]圖4顯示雜散光濾除構(gòu)造的濾除原理的示意圖。前述的預(yù)設(shè)角度為2 Θ，其與第一過濾區(qū)段22的第一齒狀結(jié)構(gòu)22T及第二過濾區(qū)段24的第二齒狀結(jié)構(gòu)24T相關(guān)，其中角度Θ為第一光訊號SI與輸入部10的光軸之間的夾角，角度Θ是被第一齒狀結(jié)構(gòu)22T所定義，角度2 Θ - Θ是被第二齒狀結(jié)構(gòu)24T所定義。第二光信號S2的進(jìn)入角度大于角度2 Θ，而第一光信號SI的進(jìn)入角度小于角度2 Θ。第一光信號SI不會進(jìn)入過濾區(qū)段中，故不會被過濾區(qū)段消耗。第二光信號S2會進(jìn)入過濾區(qū)段的其中一個三角形凹口中而在里面來回反射而耗弱。如此一來，原本會造成雜散光信號的第二光信號S2皆可由過濾區(qū)段而消弭，進(jìn)而使所欲得到的光譜分量更為清楚分明。
[0064]圖5顯示平滑側(cè)壁的反射結(jié)果的示意圖。為了證明雜散光濾除構(gòu)造的功效， 申請人:特別提供第一平滑側(cè)壁21及第二平滑側(cè)壁23來取代圖4的第一過濾區(qū)段22及第二過濾區(qū)段24。第一平滑側(cè)壁21及第二平滑側(cè)壁23不具有齒狀結(jié)構(gòu)，因此，第二光信號S2會被平滑側(cè)壁21及23反射，而逐漸往微型繞射光柵30的方向移動。因而干擾到光譜儀的量測結(jié)果。
[0065]在本發(fā)明的微型光譜儀里，繞射光柵是一個可以利用微機(jī)電制造工藝(MEMS)或半導(dǎo)體制造工藝制造出來的超薄微小零件。一般而言一個微型繞射光柵的繞射圖案的高度大約只有數(shù)十微米到數(shù)百微米之間，為了讓待測的光源不會在自由空間里散開，以致超薄的微型繞射光柵僅僅接收到照射到上述數(shù)十微米到數(shù)百微米高度的繞射圖案的光線，通常會以一種反射率較好的材質(zhì)做成波導(dǎo)片將微型繞射光柵上下夾住，形成一個光信號波導(dǎo)，使得光源信號從輸入部進(jìn)入微型光譜儀之后，借著波導(dǎo)的作用，絕大部分的光(包括雜散光)都可抵達(dá)微型繞射光柵。盡管如此，微型光譜儀的進(jìn)光量比起傳統(tǒng)的大型光譜儀仍然很少，在進(jìn)光量很少的情況下，雜散光的濾除就顯得相當(dāng)重要。
[0066]此外，前述的預(yù)設(shè)角度是依據(jù)光柵的尺寸及光路而定。于一較佳實施例中，前述的預(yù)設(shè)角度可為4度(左右各2度)，相較于傳統(tǒng)光譜儀大約10度(左右各5度)的預(yù)設(shè)角度，本發(fā)明的預(yù)設(shè)角度明顯小很多。因此，雜散光的濾除顯得更加重要。
[0067]通過本發(fā)明的光譜儀，可以濾除不必要的雜散光成分，避免其干擾到光譜成分而影響光感測器的判讀結(jié)果。雜散光濾除構(gòu)造的厚度可以是相當(dāng)薄，且其材質(zhì)可以是金屬、塑膠或半導(dǎo)體材料等。發(fā)明人根據(jù)圖1的架構(gòu)實施時，特別比較有裝設(shè)雜散光濾除構(gòu)造跟沒有裝設(shè)雜散光濾除構(gòu)造的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)有裝設(shè)雜散光濾除構(gòu)造的光譜儀可以獲得較佳的判讀結(jié)果。因此，本案的光譜儀，確有其效能的大幅增進(jìn)。
[0068]相較于譬如照相機(jī)或光學(xué)筆的傳統(tǒng)光學(xué)裝置的立體錐狀雜散光過濾構(gòu)造，本案的平面狀雜散光過濾構(gòu)造特別適合于微型光譜儀。
[0069]在較佳實施例的詳細(xì)說明中所提出的具體實施例僅方便說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，而非將本發(fā)明狹義地限制于上述實施例，在不超出本發(fā)明的精神及權(quán)利要求的情況，所做的種種變化實施，皆屬于本發(fā)明的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種具有雜散光濾除構(gòu)造的微型光譜儀，其特征在于，所述的微型光譜儀包括: 一輸入部，其接收一從一預(yù)設(shè)角度的范圍內(nèi)進(jìn)入所述微型光譜儀內(nèi)部的第一光信號及一從所述預(yù)設(shè)角度的范圍外進(jìn)入所述微型光譜儀內(nèi)部的第二光信號； 一雜散光濾除構(gòu)造，其濾除所述第二光信號，所述雜散光濾除構(gòu)造包括: 一第一過濾區(qū)段，具有一第一齒狀結(jié)構(gòu)；及 一第二過濾區(qū)段，具有一第二齒狀結(jié)構(gòu)與所述第一齒狀結(jié)構(gòu)安置于相對位置，所述第一齒狀結(jié)構(gòu)與所述第二齒狀結(jié)構(gòu)之間定義出一光通道以供所述第一光信號通過，并使所述第二光信號進(jìn)入所述第一過濾區(qū)段或所述第二過濾區(qū)段之中而被濾除；以及 一微型繞射光柵，接收通過所述雜散光濾除構(gòu)造的所述第一光信號并將所述第一光信號分離成多個光譜分量； 其中所述雜散光濾除構(gòu)造配置于所述輸入部與所述微型繞射光柵之間。
2.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述的微型光譜儀還包括: 一光感測器， 其接收所述的多個光譜分量。
3.如權(quán)利要求2所述的微型光譜儀，其特征在于，可以聚焦在光感測器上的所述的多個光譜分量的數(shù)量大于2。
4.如權(quán)利要求2所述的微型光譜儀，其特征在于，所述光感測器具有多個感光單元，所述的多個感光單元排列成一直線。
5.如權(quán)利要求2所述的微型光譜儀，其特征在于，所述的微型光譜儀還包括: 一殼體，其中所述輸入部、所述雜散光濾除構(gòu)造、所述微型繞射光柵及所述光感測器是安裝于所述殼體中。
6.如權(quán)利要求5所述的微型光譜儀，其特征在于，所述殼體具有多個定位柱，所述第一過濾區(qū)段及所述第二過濾區(qū)段具有多個定位孔，所述的多個定位孔分別包圍所述的多個定位柱。
7.如權(quán)利要求2所述的微型光譜儀，其特征在于，所述的微型光譜儀還包括一發(fā)光裝置，其發(fā)出一光源經(jīng)過一試樣后產(chǎn)生所述第一光信號及所述第二光信號。
8.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述第一過濾區(qū)段及所述第二過濾區(qū)段位于同一平面上。
9.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述預(yù)設(shè)角度實質(zhì)上等于4度。
10.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述第一過濾區(qū)段及所述第二過濾區(qū)段是一體成型。
11.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述微型繞射光柵具有一繞射圖案，所述繞射圖案的巨觀輪廓包括一曲面。
12.如權(quán)利要求1所述的微型光譜儀，其特征在于，所述的微型光譜儀還包括一波導(dǎo)裝置，所述波導(dǎo)裝置包括一第一波導(dǎo)片及一第二波導(dǎo)片，兩者彼此面對以與所述輸入部、所述雜散光濾除構(gòu)造及所述微型繞射光柵共同定義出所述光通道，使所述第一光信號可以在所述光通道反射行進(jìn)。
13.—種光譜儀,其特征在于,包含: 一輸入部，用以接收一從一預(yù)設(shè)角度之范圍內(nèi)進(jìn)入所述光譜儀內(nèi)部的第一光訊號及一從所述預(yù)設(shè)角度之范圍外進(jìn)入所述光譜儀內(nèi)部的第二光訊號；一雜散光濾除構(gòu)造，包含具有至少一第一齒狀結(jié)構(gòu)的一第一過濾區(qū)段，上述第一齒狀結(jié)構(gòu)用以濾除所述第二光訊號； 一微型繞射光柵，接收通過所述雜散光濾除構(gòu)造的所述第一光訊號并將所述第一光訊號分離成復(fù)數(shù)個光譜分量；以及 一光傳感器，接收被所述微型繞射光柵所分離的光； 其中所述雜散光濾除構(gòu)造配置于所述輸入部與所述微型繞射光柵之間。
14.如權(quán)利要求13所述的光譜儀，其特征在于，所述第二光訊號進(jìn)入上述第一過濾區(qū)段之中經(jīng)過多次反射而被濾除。
15.—種光譜儀，其特征在于，包含: 一輸入部； 一微型繞射光柵，接收通過所述輸入部的一第一光訊號，并將所述第一光訊號分離成復(fù)數(shù)個光譜分量； 一雜散光濾除構(gòu)造，包括具有至少一第一齒狀結(jié)構(gòu)的一第一過濾區(qū)段，上述第一齒狀結(jié)構(gòu)用以濾除所述光譜分量中超出一預(yù)設(shè)角度之外的光，并使所述光譜分量中落于所述預(yù)設(shè)角度之內(nèi)的光通過；以及 一光傳感器，接收通過 所述雜散光濾除構(gòu)造的光； 其中所述雜散光濾除構(gòu)造配置于所述微型繞射光柵與所述光傳感器之間。
16.如權(quán)利要求15所述的光譜儀，其特征在于，所述光譜分量中超出所述預(yù)設(shè)角度之外的光進(jìn)入所述第一過濾區(qū)段之中經(jīng)過多次反射而被濾除。
【文檔編號】G01J3/02GK103759826SQ201410035882
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2010年4月19日 優(yōu)先權(quán)日:2010年4月19日
【發(fā)明者】柯正浩 申請人:臺灣超微光學(xué)股份有限公司