電子級(jí)氫氟酸取樣室的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，包括盒室，盒室內(nèi)設(shè)置取樣間，取樣間的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進(jìn)入取樣間的軟擋風(fēng)簾，取樣間上設(shè)置有進(jìn)氣管口，進(jìn)氣管口通過氣管與潔凈氣源相連接，盒室內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管以及取樣輸送管上設(shè)置的放樣閥，取樣輸送管的出口端設(shè)置在取樣間內(nèi)部，取樣輸送管的入口端與電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。上述方案中，取樣時(shí)，通過氣管向小取樣間內(nèi)通入潔凈氣體，將取樣間內(nèi)的空氣通過擋風(fēng)簾與取樣間側(cè)壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥進(jìn)行取樣，取樣時(shí)保持取樣間通潔凈空氣，防止整個(gè)取樣過程中氫氟酸受空氣污染，保證氫氟酸取樣檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
【專利說明】電子級(jí)氫氟酸取樣室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種電子級(jí)氫氟酸取樣室。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級(jí)氫氟酸主要用于電子、光伏行業(yè)中生產(chǎn)集成電路，要求非金屬元素的含量Cl ≤ 5000ppb、NO3-≤ 3000ppb、P043 -≤ 1000ppb、SO42 —≤ 5000ppb，金屬元素的含量要求低于lOppb。對(duì)于電子級(jí)的氫氟酸生產(chǎn)主要是將工業(yè)氫氟酸進(jìn)一步進(jìn)行氧化和精餾除雜，然后將精餾除雜后的產(chǎn)品輸送進(jìn)行儲(chǔ)存?，F(xiàn)有氫氟酸生產(chǎn)大多采用連續(xù)化生產(chǎn)系統(tǒng)進(jìn)行，為保證產(chǎn)品質(zhì)量，需不定期對(duì)輸送儲(chǔ)存的氫氟酸進(jìn)行取樣檢測(cè)，但是由于制得的產(chǎn)品是電子級(jí)氫氟酸，而輸送管道大多半露天設(shè)置，因此取樣時(shí)需避免空氣中的雜質(zhì)對(duì)氫氟酸的影響，避免取樣被污染，保證檢測(cè)的可靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，其可有效避免取樣時(shí)空氣中的雜質(zhì)對(duì)氫氟酸的污染，提高檢測(cè)的可靠性。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案:
[0005]一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，其特征在于:包括一可自由打開和關(guān)閉的盒室，盒室內(nèi)設(shè)置有由隔板圍成的用于電子級(jí)氫氟酸取樣的取樣間，取樣間的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進(jìn)入取樣間的軟擋風(fēng)簾，取樣間上設(shè)置有進(jìn)氣管口，進(jìn)氣管口通過氣管與潔凈氣源相連接，盒室內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管以及取樣輸送管上設(shè)置的放樣閥，取樣輸送管的出口端設(shè)置在取樣間內(nèi)部，取樣輸送管的入口端與電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。
[0006]上述方案中，在盒室內(nèi)設(shè)置一個(gè)小取樣間，在取樣時(shí)，通過氣管向小取樣間內(nèi)通入潔凈氣體，將取樣間內(nèi)的空氣通過擋風(fēng)簾與取樣間側(cè)壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥進(jìn)行取樣，取樣時(shí)保持取樣間通潔凈空氣，防止整個(gè)取樣過程中氫氟酸受空氣污染，保證氫氟酸取樣檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，由于電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)是半露天的，在取樣時(shí)，即使一陣風(fēng)吹過也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品受到嚴(yán)重污染，檢測(cè)的結(jié)果不合格，無法準(zhǔn)確得知產(chǎn)品的質(zhì)量。為此本發(fā)明采用如圖1所示的技術(shù)方案進(jìn)行實(shí)施，一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，包括一可自由打開和關(guān)閉的盒室10，盒室10內(nèi)設(shè)置有由隔板圍成的用于電子級(jí)氫氟酸取樣的取樣間11，取樣間11的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進(jìn)入取樣間11的軟擋風(fēng)簾12，取樣間11上設(shè)置有進(jìn)氣管口，進(jìn)氣管口通過氣管13與潔凈氣源相連接，盒室10內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管14以及取樣輸送管14上設(shè)置的放樣閥15，取樣輸送管14的出口端設(shè)置在取樣間11內(nèi)部，取樣輸送管14的入口端與電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。通過在盒室10內(nèi)設(shè)置一較小的取樣間11，取樣間11上開設(shè)與潔凈氣源相連接的進(jìn)氣管口，這樣在取樣時(shí)，通過通入潔凈氣體，將取樣間的內(nèi)的空氣通過擋風(fēng)簾12與取樣間11側(cè)壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥15進(jìn)行取樣，取樣時(shí)保持取樣間11通潔凈空氣，使得取樣間11內(nèi)保持正壓狀態(tài)，防止微風(fēng)吹過以及外部空氣中雜質(zhì)進(jìn)入取樣間11對(duì)取樣的氫氟酸進(jìn)行污染，保證氫氟酸檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
[0009]具體的方案為，盒室10為方形，盒室10的前側(cè)壁設(shè)置門口和用于打開、關(guān)閉門口的門15，取樣間11上的敞口位置與盒室10的門口位置相對(duì)應(yīng)設(shè)置，擋風(fēng)簾12為一塑料軟板構(gòu)成，擋風(fēng)簾12的上側(cè)邊部與取樣間11的外壁面相固接，擋風(fēng)簾12的各邊部分別延伸設(shè)置至敞口外圍與取樣間11的外側(cè)壁相貼。放樣閥15設(shè)置在取樣間11的外部,便于放樣閥15的操作，門15為透明材料構(gòu)成，便于觀察盒室10內(nèi)的情況。由于在取樣時(shí)，需先要將上一次取樣時(shí)取樣輸送管14內(nèi)殘存的氫氟酸排出，因此在取樣間11的底部設(shè)置有排污管18,排污管18上設(shè)置閥門19,殘存的氫氟酸通過排污管18排出。
[0010]總之，本發(fā)明可有效避免取樣時(shí)空氣中的雜質(zhì)對(duì)氫氟酸的污染，提高檢測(cè)的可靠性。
【權(quán)利要求】
1.一種電子級(jí)氫氟酸取樣室，其特征在于:包括一可自由打開和關(guān)閉的盒室(10)，盒室(10)內(nèi)設(shè)置有由隔板圍成的用于電子級(jí)氫氟酸取樣的取樣間(11)，取樣間(11)的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進(jìn)入取樣間(11)的軟擋風(fēng)簾(12 )，取樣間(11)上設(shè)置有進(jìn)氣管口，進(jìn)氣管口通過氣管(13)與潔凈氣源相連接，盒室(10)內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管(14)以及取樣輸送管(14)上設(shè)置的放樣閥(15)，取樣輸送管(14)的出口端設(shè)置在取樣間(11)內(nèi)部，取樣輸送管(14)的入口端與電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。
2.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)氫氟酸取樣室，其特征在于:盒室(10)為方形，盒室(10)的前側(cè)壁設(shè)置門口和用于打開、關(guān)閉門口的門(15)，取樣間(11)上的敞口位置與盒室(10)的門口位置相對(duì)應(yīng)設(shè)置，擋風(fēng)簾(12)為一塑料軟板構(gòu)成，擋風(fēng)簾(12)的上側(cè)邊部與取樣間(11)的外壁面相固接，擋風(fēng)簾(12)的各邊部分別延伸設(shè)置至敞口外圍與取樣間(11)的外側(cè)壁相貼。
3.如權(quán)利要求2所述的電子級(jí)氫氟酸取樣室，其特征在于:門(15)為透明材料構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)氫氟酸取樣室，其特征在于:取樣間(11)的底部設(shè)置有排污管(18)，排污管(18)上設(shè)置閥門(19)。
【文檔編號(hào)】G01N1/10GK103822802SQ201410079402
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月5日
【發(fā)明者】胡洪峰 申請(qǐng)人:宣城亨泰化工科技有限公司