工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法，在檢查對象工件從較大的工件（W1）切換為較小的工件（W2）的情況下仍可容易地進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整。該檢查裝置（30）包括：輸送臺（2），其保持并輸送工件（W1、W2）；和照相部（8、9、10、11、12、13），其對由輸送臺所輸送的工件進(jìn)行拍攝。照相部中的照相部（9、10）具有照相機(jī)（91、101）。該照相機(jī)（91、101）具有：包含拍攝透鏡（91L、101L）的第1鏡筒（91C、101C）；和安裝于第1鏡筒（91C、101C）前端的第2鏡筒（91Ca、101Ca）。第2鏡筒（91Ca、101Ca）包含兩面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的玻璃板（91L、101L）。
【專利說明】工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法
[0001] 相關(guān)申請的參照
[0002] 本專利申請享受于2013年4月12日提出的日本申請即特愿2013-84248的優(yōu)先 權(quán)。該在先申請中的全部公開內(nèi)容通過引用而成為本說明書的一部分。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003] 本發(fā)明涉及一邊輸送電子部件等工件一邊通過工件拍攝單元對工件的各面進(jìn)行 拍攝以進(jìn)行外觀檢查的工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法，尤其涉及即使在改 變了檢查對象工件的形狀的情況下、也能夠容易地調(diào)整工件拍攝單元的焦點(diǎn)的工件的外觀 檢查裝置以及工件的外觀檢查方法。

【背景技術(shù)】
[0004] 以往，如下的工件的外觀檢查裝置已眾所周知(參照專利文獻(xiàn)1):在旋轉(zhuǎn)的圓盤狀 的透明玻璃臺的上表面上載置6面體形狀的電子部件等工件，通過利用離子發(fā)生器等帶電 單元使玻璃臺的下表面帶電，由此使工件吸附于玻璃臺的上表面而輸送，通過工件拍攝單 元對工件的各面進(jìn)行拍攝以進(jìn)行外觀檢查。
[0005] 在這樣的工件的外觀檢查裝置中，在改變了工件形狀的情況下，例如使檢查對象 工件從較大形狀變化為較小形狀的情況下，需要調(diào)整工件拍攝單元的焦點(diǎn)。然而，在調(diào)整工 件拍攝單元的焦點(diǎn)的情況下，需要使工件拍攝單元的構(gòu)成部件沿著光軸移動，并且/或者 進(jìn)行高精度的調(diào)整作業(yè)。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)
[0007] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2011-133458號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是考慮到了這樣的問題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供即使在檢查對象工件 的形狀切換了的情況下也能夠容易地調(diào)整工件拍攝單元的焦點(diǎn)的工件的外觀檢查裝置以 及工件的外觀檢查方法。
[0009] 本發(fā)明是一種工件的外觀檢查裝置，其特征在于，包括：工件輸送單元，其保持并 輸送工件；和工件拍攝單元，其對由工件輸送單元所輸送的工件進(jìn)行拍攝，該工件拍攝單元 包括：包含拍攝透鏡的第1鏡筒；和第2鏡筒，該第2鏡筒包含安裝于第1鏡筒的前端且兩 面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的透明體。
[0010] 本發(fā)明的工件的外觀檢查裝置，其特征在于：第2鏡筒以螺旋擰入的方式被裝設(shè) 于第1鏡筒。
[0011] 本發(fā)明的工件的外觀檢查裝置，其特征在于：透明體由玻璃板構(gòu)成。
[0012] 本發(fā)明是一種工件的外觀檢查方法，其特征在于，包括：工件輸送工序，其中通過 工件輸送單元保持并輸送工件；和工件拍攝工序，其中通過工件拍攝單元對所輸送的工件 進(jìn)行拍攝，該工件拍攝工序包括：第1工件拍攝工序，其中通過具有包含拍攝透鏡的第1鏡 筒的工件拍攝單元對第1工件進(jìn)行拍攝；和第2工件拍攝工序，其中通過工件拍攝單元對與 第1工件形狀不同的第2工件進(jìn)行拍攝，該工件拍攝單元具備第1鏡筒和第2鏡筒，該第2 鏡筒包含安裝于第1鏡筒的前端且兩面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的透明體。
[0013] 本發(fā)明的工件的外觀檢查方法，其特征在于：第2鏡筒以螺旋擰入的方式被裝設(shè) 于第1鏡筒。
[0014] 本發(fā)明的工件的外觀檢查方法，其特征在于：透明體由玻璃板構(gòu)成。
[0015] 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即使在檢查對象工件的形狀切換了的情況下，也能夠僅通 過相對于第1鏡筒的前端安裝或者拆下第2鏡筒而容易且簡單地調(diào)整工件拍攝單元的焦 點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的基本原理的說明圖。
[0017] 圖2是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的內(nèi)表面照相部的作用例的圖。
[0018] 圖3是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的上表面照相部的作用的圖。
[0019] 圖4 (a) (b) (c)是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的內(nèi)表面照相部的 說明圖。
[0020] 圖5 (a) (b)是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的內(nèi)表面照相部的作用 的說明圖。
[0021] 圖6 (a) (b)是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的上表面照相部的作用 的說明圖。
[0022] 圖7是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的俯視圖。
[0023] 圖8 (a) (b)是表示對被載置于輸送臺上表面的工件進(jìn)行輸送的樣子的圖。
[0024] 圖9是表示圖7中的區(qū)域S1的放大圖。
[0025] 圖10是表示圖7中的區(qū)域S2的放大圖。
[0026] 圖11是表示圖7中的區(qū)域S3的放大圖。
[0027] 附圖標(biāo)記說明
[0028] 1 :線性送料器 2 :輸送臺 6 :離子發(fā)生器
[0029] 7:排列導(dǎo)向部 8:側(cè)面照相部 9:內(nèi)表面照相部
[0030] 10:上表面照相部 11:下表面照相部
[0031] 12:前表面照相部 13:后表面照相部
[0032] 30:工件的外觀檢查裝置91、101:照相機(jī)
[0033] 91A、101A :受光元件 91C、101C :第 1 鏡筒
[0034] 91Ca、101Ca :第 2 鏡筒 91G、101G:玻璃板
[0035] 91L、101L :拍攝透鏡

【具體實(shí)施方式】
[0036] 下面參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0037] 圖1至圖11是表示本發(fā)明所涉及的工件的外觀檢查裝置的實(shí)施方式的圖。
[0038] 首先，通過圖7對工件的外觀檢查裝置的概略進(jìn)行說明。
[0039] 如圖7所示，工件的外觀檢查裝置30包括：透明的玻璃制輸送臺2,其輸送6面體 形狀的電子部件等工件W ;和對由輸送臺2輸送的工件W的6面進(jìn)行拍攝的側(cè)面照相部8、 內(nèi)表面照相部9、上表面照相部10、下表面照相部11、前表面照相部12以及后表面照相部 13。
[0040] 其中，由輸送臺2構(gòu)成輸送單元，另外由側(cè)面照相部8、內(nèi)表面照相部9、上表面照 相部10、下表面照相部11、前表面照相部12與后表面照相部13構(gòu)成工件拍攝單元。
[0041] 另外，在工件拍攝單元中，內(nèi)表面照相部9由照相機(jī)91構(gòu)成，上表面照相部10由 照相機(jī)101構(gòu)成。而且，內(nèi)表面照相部9的照相機(jī)91具有：第1鏡筒91C，其包含拍攝透鏡 91L ;和第2鏡筒91Ca，其收納兩面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的透明體即玻璃板91G。進(jìn)而，上表面 照相部10的照相機(jī)101具有：第1鏡筒101C，其包含拍攝透鏡101L ;和第2鏡筒lOICa，其 收納兩面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的透明體即玻璃板101G。
[0042] 接下來，通過圖1至圖6對內(nèi)表面照相部9的照相機(jī)91與上表面照相部10的照 相機(jī)101進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0043] 首先，通過圖4 (a) (b) (c)對內(nèi)表面照相機(jī)9的照相機(jī)91進(jìn)行說明。其中，圖 4 (a)是表示內(nèi)表面照相部9的照相機(jī)91的側(cè)視圖。照相機(jī)91如上所述由第1鏡筒91C 與第2鏡筒9ICa這2個鏡筒構(gòu)成。
[0044] 在圖4 (a)中，第1鏡筒91C與第2鏡筒91Ca中心位置一致地配置在光軸91La 上。第1鏡筒91C收納有拍攝透鏡91L，在拍攝透鏡91L附近且第1鏡筒91C的內(nèi)側(cè)形成 有比第1鏡筒91C的直徑91Cd稍小的直徑91Cdl的凹部，在該凹部的內(nèi)表面形成有陰螺紋 91S。
[0045] 第2鏡筒91Ca收納有兩面平行的透明體即玻璃板91G，在玻璃板91G附近且在第 2鏡筒91Ca的外側(cè)形成有比第1鏡筒91C的凹部稍小的直徑91Cad的陽螺紋91Sa。
[0046] 將從箭頭J的方向觀察圖4 (a)的第2鏡筒91Ca的圖表示于圖4 (b)。
[0047] 當(dāng)在圖4 (a)中將第2鏡筒91Ca的陽螺紋91Sa放入第1鏡筒91C的凹部，并向 圖4 (b)的箭頭K1的方向旋轉(zhuǎn)時，在陽螺紋91Sa與陰螺紋91S的作用下第2鏡筒91Ca被 安裝于第1鏡筒91C。將該樣子表示于圖4 (c)。在圖4 (c)中，拍攝對象物位于比第2鏡 筒9ICa靠左側(cè)的位置。即，沒有玻璃板91G的狀態(tài)相當(dāng)于圖4 (a)的第1鏡筒91C，有玻璃 板91G的狀態(tài)相當(dāng)于圖4 (c)。
[0048] 當(dāng)從圖4 (c)的狀態(tài)、將第2鏡筒91Ca向圖4 (b)的箭頭K2的方向旋轉(zhuǎn)時，在陽 螺紋91Sa與陰螺紋91S的作用下，第2鏡筒91Ca從第1鏡筒91C離開。這樣，第2鏡筒 91Ca被裝卸自如地配置于第1鏡筒91C與拍攝對象物即圖8 (a)所示的工件W之間，其裝 卸方法極其簡單。因此，通過使用該機(jī)構(gòu)，能夠在短時間內(nèi)簡單地變更配置有玻璃板的狀態(tài) 與不配置玻璃板的狀態(tài)。
[0049] 將包含圖4 (a)所示的照相機(jī)91的內(nèi)表面照相部9表示于圖5 (a) (b)。圖5 (a)表示通過照相機(jī)91拍攝較大的工件W1的樣子。照相機(jī)91僅使用第1鏡筒91C。另外， 工件W1相當(dāng)于后述的圖2中的工件No. 1?No. 3。另一方面，圖5 (b)表示通過照相機(jī)91 拍攝較小的工件W2的樣子。在第1鏡筒91C上安裝有第2鏡筒91Ca。另外，工件W2相當(dāng) 于后述的圖2中的工件No. 4?No. 9。
[0050] 接下來，將上表面照相部10中的照相機(jī)101表示于圖6 (a) (b)。圖6 (a)表示 通過照相機(jī)101拍攝較大的工件W1的樣子。照相機(jī)101僅具有收納拍攝透鏡101L的第1 鏡筒101C。另外，工件W1相當(dāng)于后述的圖3中的工件No. 1?No. 4。另一方面，圖6 (b) 表示通過照相機(jī)101拍攝較小的工件W2的樣子。在第1鏡筒101C上安裝有收納了玻璃板 101G的第2鏡筒lOICa。工件W2相當(dāng)于后述的圖3中的工件No. 5?No. 9。
[0051] 在這里，從圖5 (a)向圖5 (b)的變更以及其相反的變更以及從圖6 (a)向圖6 (b)的變更以及其相反的變更，都能夠僅通過相對于第1鏡筒91C或者101C裝卸第2鏡筒 91Ca或者101Ca而執(zhí)行。因此，在工件的外觀檢查裝置30 (參照圖7)中，在切換了檢查對 象工件的情況下，也能夠通過簡單的作業(yè)迅速地對應(yīng)，所以檢查效率不會下降，也沒有對作 業(yè)者造成肉體或者心理的負(fù)擔(dān)。
[0052] 在圖4?圖6中，表示了設(shè)置有兩面平行的透明體即玻璃板91GU01G的例子，但 并不限定于此，只要是透明體即可，也可以使用由其他原材料構(gòu)成的透明體來代替玻璃板。
[0053] 另外，表示了將第2鏡筒91Ca、101Ca安裝于第1鏡筒91CU01C的機(jī)構(gòu)包括陽螺 紋與陰螺紋的例子，但并不限定于此，安裝機(jī)構(gòu)也可以使用陽螺紋和陰螺紋以外的機(jī)構(gòu)。
[0054] 接下來，對包括這種構(gòu)成的本實(shí)施方式的作用、即工件的外觀檢查方法進(jìn)行敘述。
[0055] 在圖7所示的工件的外觀檢查裝置30中，首先，工件W在稍有傾斜而下降的直線 狀線性送料器1的振動的作用下排列成一列而被向箭頭N的方向輸送。接下來，工件W在 線性送料器1的下游端，經(jīng)不振動的無振動部4被轉(zhuǎn)移到在線性送料器1下方水平設(shè)置的 透明的玻璃制輸送臺2的上表面上。然后，設(shè)置于無振動部4的位置的稍跟前位置且在輸 送臺2的正下方的離子發(fā)生器6向輸送臺2的下表面噴出正離子。因此，輸送臺2的下表 面帶正電，通過由此產(chǎn)生的靜電感應(yīng)或者電介質(zhì)極化的作用，將工件W吸附于輸送臺2的上 表面。
[0056] 所吸附的工件W通過輸送臺2的旋轉(zhuǎn)（中心軸3的周圍的箭頭X方向）而被輸送， 然后通過排列導(dǎo)向部7的作用而在輸送臺2的上表面的外邊緣部附近在設(shè)想的工件輸送圓 弧5上排成一列。然后，工件W在該排列狀態(tài)一邊被輸送一邊在側(cè)面照相部8、內(nèi)表面照相 部9、上表面照相部10、下表面照相部11、前表面照相部12和后表面照相部13通過分別相 對應(yīng)的拍攝單元拍攝各面，進(jìn)行外觀檢查。
[0057] 結(jié)束了外觀檢查的工件W與外觀檢查的結(jié)果相對應(yīng)地由排出部14從工件輸送圓 弧5上排出到未圖示的收納箱內(nèi)。
[0058] 在這里，作為立體圖在圖8(a)中示出對被載置于輸送臺2上表面的工件W進(jìn)行輸 送的樣子。工件W為6面體形狀，其各邊的長度如圖8 (a)所示，沿著由箭頭X表示的輸送 臺2的旋轉(zhuǎn)方向的長度方向的一邊為WL，沿著從輸送臺2的中心軸3 (圖7)朝向邊緣部的 半徑方向的寬度方向的一邊為Ww，從輸送臺2的上表面朝向上方的高度方向的一邊為WH。 在這里，各邊的長度WL、Ww、WH都大致為1mm?10mm左右。
[0059] 另外，將從輸送臺2上方（箭頭C的方向）觀察圖8 (a)的工件W的俯視圖表示于 圖8 (b)。在圖8 (b)中，工件W以朝向輸送臺2的外側(cè)的側(cè)面Ws成為工件輸送圓弧5的 切線的方式被載置于輸送臺2的上表面。與側(cè)面Ws相對的內(nèi)表面Wi面向輸送臺2的中心 軸3 (圖7)。而且，前表面Wf面向箭頭X所表示的輸送臺2的旋轉(zhuǎn)方向，另外后表面Wr面 向與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向。
[0060] 如圖8 (a)所示，長度WL朝向工件W的長度方向。這樣，在外觀檢查裝置30中， 通過圖7中的線性送料器1以及排列導(dǎo)向部7的作用，6面體形狀的工件W，以其長度方向 沿著輸送臺2的旋轉(zhuǎn)方向且側(cè)面Ws朝向輸送臺2的外側(cè)而成為工件輸送圓弧5的切線的 方式，被載置于輸送臺2的上表面上。
[0061] 在這里，以下表示工件W的各表面與對它們進(jìn)行拍攝的各照相部的對應(yīng)關(guān)系。首 先，在圖7的側(cè)面照相部8中，從圖8 (a)的箭頭A方向拍攝圖8 (b)的側(cè)面Ws。接下來， 在圖7的內(nèi)表面照相部9中，從圖8 (a)的箭頭B方向拍攝圖8 (b)的內(nèi)表面Wi。接下來， 在圖7的上表面照相部10中，從圖8 (a)的箭頭C方向拍攝圖8 (a)的上表面Wt。接下 來，在圖7的下表面照相部11中，從圖8 (a)的箭頭D方向拍攝圖8 (a)的下表面Wb。接 下來，在圖7的前表面照相部12中，從圖8 (a)的箭頭E方向拍攝圖8 (b)的前表面Wf。 最后，在圖7的后表面照相部13中，從圖8 (a)的fif頭F方向拍攝圖8 (b)的后表面Wr。
[0062] 但是，在工件的外觀檢查裝置30中可進(jìn)行外觀檢查的工件W橫跨多個品種。艮P， 有切換檢查對象工件的情況。此時，工件的一邊的長度、即圖8 (a)所示的長度方向的一邊 的長度WL、寬度方向的一邊的長度Ww、高度方向的一邊的長度WH，因檢查切換對象工件而 變化。這樣，作為將檢查對象工件切換成了大小不同的工件的情況下的模式圖，將圖7中的 側(cè)面照相部8以及內(nèi)表面照相部9附近的區(qū)域S1的放大圖表示于圖9。
[0063] 在圖9中，用實(shí)線表示切換前的工件W1，另外用虛線表示切換后的工件W2。S卩，對 于檢查對象工件從較大的工件W1切換為較小的工件W2的情況，同時表示雙方的工件W1、 W2〇
[0064] 另外，沿著工件W1以及W2的輸送路徑，以時間序列用[1]?[6]的編號表示工件 的位置。在這里，用[1]?[6]的編號所表示的各位置并不是輸送臺2上表面的特定位置， 僅表示按照編號順序輸送工件W1以及W2這一情況。如上所述，工件W1以及工件W2都以 側(cè)面Wls以及W2s朝向輸送臺2的外側(cè)而成為工件輸送圓弧5的切線的方式，被載置于輸 送臺2的上表面。即，在工件W1以及工件W2從位置[1]被輸送到與側(cè)面照相部8相對應(yīng) 的位置[2]時，所拍攝的側(cè)面Wls以及W2s大致處于同一平面。
[0065] 在這里，在側(cè)面照相部8中，在輸送臺2的外側(cè)配置有照相機(jī)81。照相機(jī)81在鏡 筒81C的內(nèi)部收納有拍攝透鏡81L，在工件W1以及工件W2的側(cè)面Wls以及W2s的大致中心 與光軸81La-致時(位置[2])，通過受光元件81A拍攝側(cè)面Wls以及W2s。
[0066] 此時，工件W1的所拍攝的側(cè)面Wls距拍攝透鏡81L的中心81Lc的距離Ls與工件 W2的所拍攝的側(cè)面W2s距拍攝透鏡81L的中心81Lc的距離Ls大致相同。即，在側(cè)面照相 部8的位置[2]，側(cè)面Wls以及W2s都存在于拍攝透鏡81L的同一焦點(diǎn)位置(焦點(diǎn)位置)。因 此，即使檢查對象工件從較大的工件W1切換為較小的工件W2,側(cè)面照相部8中的拍攝也不 會產(chǎn)生問題。
[0067] 接下來，工件W1以及工件W2通過輸送臺2的箭頭X方向的旋轉(zhuǎn)，從位置[3]經(jīng)位 置[4]而被輸送到與內(nèi)表面照相部9相對應(yīng)的位置[5]。在這里，在內(nèi)表面照相部9中，在 輸送臺2的內(nèi)側(cè)配置有照相機(jī)91x。照相機(jī)91在第1鏡筒91C的內(nèi)部收納有拍攝透鏡91L， 在工件W1以及工件W2的內(nèi)表面Wli以及W2i的大致中心與光軸91La-致時(位置[5])， 通過受光元件91A拍攝內(nèi)表面Wli以及W2i。
[0068] 在這里，如上所述，側(cè)面Wls以及W2s大致處于同一平面。而且，工件W2的寬度方 向的一邊的長度Ww (圖8 (a))比工件W1的寬度方向的一邊的長度小。S卩，在內(nèi)表面照相 部9中，當(dāng)檢查對象工件從較大的工件W1切換為較小的工件W2時，在切換后要拍攝的工件 W2的內(nèi)表面W2i距拍攝透鏡91L的中心91Lc距離Li2變得比在切換前已拍攝的工件W1的 內(nèi)表面Wli距拍攝透鏡91L的中心91Lc的距離Lil大。
[0069] 而且，在位置[5]，工件W1的內(nèi)表面Wli以及工件W2的內(nèi)表面W2i都需要存在于 透鏡91L的焦點(diǎn)位置。在這里，設(shè)為拍攝透鏡91L的焦點(diǎn)位置處于切換前的內(nèi)表面Wli (距 離Lil)上。在該情況下，如果將切換后要拍攝的內(nèi)表面W2i距拍攝透鏡91L的中心91Lc的 距離Li2與距離Lil的差異、即切換前的工件W1的寬度方向的一邊Ww (圖8 (a))的長度 與切換后的工件W2的寬度方向的一邊Ww (圖8 (a))的長度的差異設(shè)為ALi，則只要ALi 處于拍攝透鏡91L的景深的范圍內(nèi)，在切換后也能夠原樣使用照相機(jī)91，使焦點(diǎn)處于內(nèi)表 面W2i上(聚焦）。
[0070] 在這里，所謂景深是相對于某一照相機(jī)用拍攝透鏡的焦點(diǎn)位置即聚焦了的位置、 即使在焦點(diǎn)位置的前后也能夠以聚焦了的狀態(tài)拍攝的范圍。
[0071] 與此相對，在上述ALi脫離了拍攝透鏡91L的景深范圍的情況下，在切換后不能 原樣使用照相機(jī)91不能使焦點(diǎn)位于內(nèi)表面W2i上。由此，產(chǎn)生在切換后調(diào)整照相機(jī)91使 得距離Li2處于焦點(diǎn)位置的必要。具體地說，進(jìn)行照相機(jī)91的聚焦，或者使照相機(jī)91的位 置在光軸91 La上移動。
[0072] 然而，如上所述，圖8 (a)所示的工件W的各邊的長度WL、Ww、WH都大致為1mm? 10mm左右。另外，拍攝透鏡91L的景深即使高也不過3mm?5mm左右。因此，進(jìn)行照相機(jī) 91的聚焦和/或使照相機(jī)91的位置在光軸91La上移動成為要求極高精度的作業(yè)。即，作 業(yè)需要大量時間而使檢查效率下降，并且對作業(yè)者的肉體或者心理造成的負(fù)擔(dān)變得極大。
[0073] 在本實(shí)施方式中，在這樣的情況下，將包含玻璃板91G的第2鏡筒91Ca相對于照 相機(jī)91的收納有拍攝透鏡91L的第1鏡筒91C螺紋固定。
[0074] 通過這樣設(shè)計(jì)，能夠容易地進(jìn)行照相機(jī)91的焦點(diǎn)調(diào)整(調(diào)焦）。
[0075] 焦點(diǎn)位置根據(jù)檢查對象工件的切換而變化的部位也有其他的部位。將從箭頭Y方 向觀察圖7中的上表面照相部10以及下表面照相部11附近的區(qū)域S2的放大圖表示于圖 10。
[0076] 在圖10中，與圖9同樣地用實(shí)線表示切換前的工件W1，另外用虛線表示切換后的 工件W2。另外，與圖9同樣地沿著工件W1以及W2的輸送路徑，按時間序列用〈1>?〈8>的 編號表示工件的位置。
[0077] 如上所述，工件W1以及工件W2都是下表面Wlb以及W2b頂接于輸送臺2的上表 面。即，下表面Wlb以及W2b大致處于同一平面。工件W1以及工件W2通過輸送臺2的箭 頭X方向的旋轉(zhuǎn)而從位置〈1>經(jīng)位置〈2>輸送，被輸送到與上表面照相部10相對應(yīng)的位置 〈3>。
[0078] 在這里，在上表面照相部10中，在輸送臺2的上側(cè)配置有照相機(jī)101。照相機(jī)101 在第1鏡筒101C內(nèi)部收納有拍攝透鏡101L，在工件W1以及工件W2的上表面Wit以及W2t 的大致中心與光軸101La-致時(位置〈3>)，通過受光元件101A拍攝上表面Wit以及W2t。 在這里，如上所述,下表面Wlb以及W2b大致處于同一平面。而且，工件W2的高度方向的一 邊的長度WH (圖8 (a))比工件W1的高度方向的一邊的長度WH小。
[0079] S卩，在上表面照相部10中，當(dāng)檢查對象工件從較大的工件W1切換為較小的工件 W2時，在切換后要拍攝的工件W2的上表面W2t距拍攝透鏡101L的中心IOILc的距離Lt2 變得比在切換前已拍攝的工件W1的上表面Wit距拍攝透鏡101L的中心101Lc的距離Ltl 大。而且，在位置[3]，工件W1的上表面Wit以及工件W2的上表面W2t都需要存在于拍攝 透鏡101L的焦點(diǎn)位置。
[0080] 由此，與上述的圖9中的內(nèi)表面照相部9同樣地，當(dāng)將切換后要拍攝的上表面W2t 距拍攝透鏡101L的中心101Lc的距離Lt2與距離Ltl的差異、即切換前的工件W1的高度方 向的一邊WH (圖8 (a))的長度與切換后的工件W2的高度方向的一邊WH (圖8 (a))的長 度的差異設(shè)為Λ Lt時，只要Λ Lt處于拍攝透鏡101L的景深的范圍內(nèi)，在切換后也能夠原 樣使用照相機(jī)101，使焦點(diǎn)處于上表面W2t上。與此相對，在上述ALt脫離拍攝透鏡101L 的景深范圍的情況下，在切換后不能原樣使用照相機(jī)101不能使焦點(diǎn)處于上表面W2t上。由 此，產(chǎn)生調(diào)整照相機(jī)101的必要使得在切換后距離Lt2變?yōu)榻裹c(diǎn)位置。
[0081] 在本實(shí)施方式中，在這樣的情況下，將包含玻璃板101G的第2鏡筒lOICa相對于 照相機(jī)101的收納了拍攝透鏡101L的第1鏡筒101C螺紋固定。通過這樣設(shè)計(jì)，能夠容易 地進(jìn)行照相機(jī)101的焦點(diǎn)調(diào)整(調(diào)焦)。
[0082] 接下來，對內(nèi)表面照相部9的照相機(jī)91以及上表面照相部10的照相機(jī)101中的 焦點(diǎn)調(diào)整(調(diào)焦）進(jìn)行說明。
[0083] 首先，將焦點(diǎn)調(diào)整的基本原理表示于圖1。在圖1中，在從照相機(jī)的拍攝透鏡L(與 拍攝透鏡91L以及101L相對應(yīng)）的中心Lc向左僅離開距離P1的位置，用實(shí)線的箭頭配置 有第1物體〇bl。從第1物體〇bl的前端部Obit出來的光包括：如實(shí)線的光R11 -實(shí)線的 光R12那樣在通過拍攝透鏡L前與光軸La平行地前進(jìn)的光；和如實(shí)線的光R13 -實(shí)線的光 R14那樣在通過拍攝透鏡L后與光軸La平行地前進(jìn)的光。
[0084] 而且，在通過該兩者從拍攝透鏡L的中心Lc向右方僅離開距離Q而配置的照相機(jī) 的拍攝元件Μ之上而聚集成為前端部Imt。從第1物體Obi的其他部分發(fā)出的光也通過同 樣的路徑，所以第1物體〇bl全體在拍攝元件Μ之上作為像Im而被拍攝。
[0085] 在這里，考慮將拍攝對象從用實(shí)線箭頭表示的第1物體Obi切換成用虛線箭頭表 示的第2物體0b2的情況。為了簡單，將第2物體0b2的長度(虛線箭頭的長度）設(shè)為與第 1物體Obi的長度(實(shí)線箭頭的長度）相同。
[0086] 第2物體0b2被配置于從拍攝透鏡L的中心Lc向左僅離開距離P2的位置，如果 與第1物體〇bl相比較，則位于從拍攝透鏡L僅遠(yuǎn)P2 - Ρ1= Λ P的位置。在這里，作為不改 變拍攝第1物體〇bl時的拍攝透鏡L的中心Lc與拍攝元件Μ的距離Q地、在拍攝元件Μ之 上拍攝第2物體0b2的像的方法，在拍攝透鏡L與第2物體0b2之間配置兩面平行的透明 體即玻璃板G (與玻璃板91G以及101G相對應(yīng))。
[0087] 在將空氣的折射率n0設(shè)為1時，玻璃的折射率η為約1. 5,所以從第2物體0b2的 前端部0b2t射出的光的路徑如下所述。
[0088] 首先，在通過透鏡L前與光軸La平行前進(jìn)的虛線的光R21，在到達(dá)在切換前第1物 體〇bl的前端部Obit所處的位置之后、垂直地入射到玻璃板G的2個面Gsl以及Gs2,所以 原樣直線前進(jìn)，與第1物體〇bl的情況同樣地沿實(shí)線的光R11 -實(shí)線的光R12的路徑前進(jìn)。
[0089] 另一方面，在通過了拍攝透鏡L后與光軸La平行前進(jìn)的光，以從玻璃板G的面Gs2 射出后與第1物體〇bl的情況的路徑即實(shí)線的光R13 -致的方式，像虛線的光R230 -虛線 的光R231 -實(shí)線的光R13 -實(shí)線的光R14那樣前進(jìn)。在這里，虛線的光R230在第2物體 0b2的前端部Ob2t與玻璃板G的面Gsl之間，虛線的光R231在玻璃板G的內(nèi)部且在面Gsl 與Gs2之間。
[0090] 虛線的光R230 -虛線的光R231以及虛線的光R231 -實(shí)線的光R13分別在玻璃 板G的面Gsl以及Gs2折射。這樣一來，第2物體0b2的前端部0b2t與第1物體Obi的前 端部Obit同樣地，通過實(shí)線的光R12以及R14在拍攝元件Μ之上聚集成為前端部Imt。從 第2物體0b2的其他的部分射出的光也在同樣的路徑中通過，所以第2物體0b2全體在拍 攝元件Μ之上被拍攝成為像Im。該拍攝結(jié)果與第1物體Obi相同。
[0091] 在這里，對第2物體0b2與第1物體Obi的位置差異Λ P和玻璃板G的厚度Gt的 關(guān)系進(jìn)行考察。如上所述，玻璃的折射率η在將空氣的折射率n0設(shè)為1時為約1. 5。由此， 成為
[0092] Δ P=Gt/n0 - Gt/n
[0093] =Gt/l - Gt/1. 5
[0094] =Gt/3.................算式（1)
[0095] 例如，如果使用6mm的厚度的玻璃板，則能夠不調(diào)整照相機(jī)地(不變更Q、或使照相 機(jī)全體沿著光軸La運(yùn)動地）就在同一拍攝元件上拍攝第1物體和位于位置P2的第2物體 0b2,該位置P2與第1物體Obi的位置P1相比距透鏡L僅遠(yuǎn)2mm。
[0096] 基于圖1所示的基本原理將工件的外觀檢查裝置30的內(nèi)表面照相部9的照相機(jī) 91以及上表面照相部10的照相機(jī)101的焦點(diǎn)調(diào)整(調(diào)焦）分別表示于圖2以及圖3。
[0097] 這里，在圖2以及圖3中，將"拍攝透鏡"表述為"透鏡"，將"玻璃板"表述為"玻 璃"。另外，將"到拍攝透鏡的中心的距離"表述為"到透鏡的距離"。由此，在圖2以及圖3 的說明中，也使用這些表述。圖2表不在圖7以及圖9的內(nèi)表面照相部9中適用圖1所不 的基本原理而對圖8 (a)所示的工件W的寬度方向的一邊的長度Ww取各種值的工件的品 種No. 1?No. 9進(jìn)行了拍攝的情況。
[0098] 在這里使用的透鏡，在拍攝對象面置于基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置即最為聚焦的位置(聚焦的 位置）情況下，從拍攝對象面到透鏡的距離變?yōu)?10. 〇mm。另外，景深為3mm。
[0099] 以下對圖2進(jìn)行說明。在圖2中，左端的欄表示玻璃的有無。即，在圖1中在沒 有配置玻璃板G的狀態(tài)下拍攝的情況為"無玻璃"，在配置了玻璃板G的狀態(tài)下拍攝的情況 為"有玻璃"。該欄內(nèi)的所謂"基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置"，如上所述，為使用的透鏡的最為聚焦的位置， 在該透鏡的情況下，如"無玻璃"的欄內(nèi)所記載地那樣，Ww=4. 5mm的工件與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 相對應(yīng)。在這里，"有玻璃"的情況下玻璃的厚度為6_。由此，通過上述的算式（1)，變?yōu)?AP=2mm。即，"有玻璃"的情況下基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置從"無玻璃"的情況下的Ww=4. 5mm縮短了 2mm，變?yōu)?Ww=2. 5mm。
[0100] 在這里，在圖1所示的基本原理中，第2物體0b2比第1物體Obi向左遠(yuǎn)離拍攝透 鏡L。另外，在圖9中，內(nèi)表面照相部9中的工件W2的內(nèi)表面W2i距拍攝透鏡91L的中心 91Lc的距離Li2比工件W1的內(nèi)表面Wli距拍攝透鏡91L的中心91Lc的距離Lil大。在 圖2的左端的欄中，"有玻璃"情況下的Ww的值變得比"無玻璃"的情況下的Ww的值小，這 與圖1所示的基本原理中的位置關(guān)系以及圖9所示的該大小關(guān)系相對應(yīng)。
[0101] 圖2中左數(shù)第2欄通過Ww的值而有區(qū)別地表示出工件的品種。對各工件賦予了 No. 1?No. 9的編號。
[0102] 圖2中左數(shù)第3欄表示焦點(diǎn)處于拍攝對象面上的工件的寬度Ww。表示工件的品種 欄所記載的各工件的Ww的值，工件No. 1?No. 3成為"無玻璃"，而No. 4?No. 9成為"有 玻璃"，使得它們?nèi)季劢埂?br> [0103] 在這里，工件No. 2為"無玻璃"的情況下的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置為Ww=4. 5mm，為表示該情 況而在工件No. 2 -欄畫有陰影。同樣地，工件No. 7為"無玻璃"的情況下的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 為Ww=2. 5_，為表示該情況而在工件No. 7 -欄也畫有陰影。使用的透鏡的景深為3_，所 以焦點(diǎn)位于距基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置±1. 5mm以內(nèi)的工件上。即，在"無玻璃"且焦點(diǎn)位于基準(zhǔn)焦點(diǎn) 位置（Ww=4. 5mm)的狀態(tài)下，只要是Ww=4. 5mm±l. 5mm的范圍內(nèi)的工件就會聚焦。
[0104] 在工件No. 1情況下為Ww=5. 5_，在工件No. 3情況下為Ww=4. 0_。這些Ww的 值在Ww=4. 5_±1. 5_的范圍內(nèi)，所以工件No. 1以及No. 3與工件No. 2 -起在"無玻璃" 的狀態(tài)下聚焦。同樣，在"有玻璃"且焦點(diǎn)位于基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置（Ww=2. 5mm)的狀態(tài)下，只要 是Ww=2. 5mm±l· 5mm的范圍內(nèi)的工件，就會聚焦。在工件No. 4?No. 6的情況下分別為 Ww=3. 3謹(jǐn)、3. 2謹(jǐn)、3. 0mm，在工件No. 8以及No. 9的情況下為Ww=l. 8謹(jǐn)、1. 5謹(jǐn)。這些Ww的值 在Ww=2. 5_± 1. 5mm的范圍內(nèi)，所以工件No. 4?No. 6與工件No. 8以及No. 9與工件No. 7 一起在"有玻璃"的狀態(tài)下聚焦。
[0105] 圖2中左數(shù)第4欄中示出從拍攝對象面到透鏡的距離Li。距離Li與圖9所示的 內(nèi)表面照相部9中的工件W1的內(nèi)表面Wli以及W2的內(nèi)表面W2i分別距拍攝透鏡91L的中 心91Lc的距離Lil、Li2相對應(yīng)。"無玻璃"以及"有玻璃"的情況下的各自的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 (工件No. 2以及No. 7)中的Li，如上所述為110. 0mm。對這些欄，也畫有表示基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 的陰影。在工件No. 1的情況下，寬度Ww的值相對于與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng)的工件No. 2增 大了 1. 0mm，Li的值反而減小了 1. 0mm。這與下述情況相對應(yīng)，即：在圖9所示的內(nèi)表面照 相部9,寬度Ww大的工件W1的內(nèi)表面Wli距拍攝透鏡91L的中心91Lc的距離Lil比寬度 Ww小的工件W2的內(nèi)表面W2i距拍攝透鏡91L的中心91Lc的距離Li2小。
[0106] 在工件No. 3的情況下，由于同樣的原因，寬度Ww的值相對于與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對 應(yīng)的工件No. 2減小了 0· 5mm，Li的值反而增大了 0· 5mm。在工件No. 7處于基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 的情況下，寬度Ww比工件No. 7大的工件No. 4?No. 6的Li分別僅減小寬度Ww的差量，寬 度Ww比工件No. 7小的工件No. 8以及No. 9的Li分別僅增大寬度Ww的差量。
[0107] 在圖2中右端的欄中示出各工件的寬度Ww和與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng)的工件的寬 度Ww的差。如上所述，在"無玻璃"的情況下工件No. 2與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng)，在"有玻 璃"的情況下工件No. 7與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng)。為了表示該情況，在工件No. 2以及No. 7 的欄中畫有陰影。另外，各欄中所記載的數(shù)值皆為±0. 〇mm。
[0108] 關(guān)于工件No. 1以及No. 3記載有與工件No. 2的差，另外關(guān)于工件No. 4?No. 6與 No. 8以及No. 9記載有與工件No. 7的差。這些差都為距基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置± 1. 5mm的范圍，即 表明所有工件處于景深3_的范圍。
[0109] 如果不設(shè)置"有玻璃"的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置，要僅使用"無玻璃"的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置 Ww=4. 5mm進(jìn)行拍攝，貝U工件No. 7?No. 9脫離Ww=4. 5mm± 1. 5mm的范圍，所以變得無法進(jìn)行 拍攝。即，通過本發(fā)明，可知不進(jìn)行照相機(jī)的調(diào)整可拍攝的工件的范圍也能變大。
[0110] 圖3示出在圖7以及圖10所示的上表面照相部10中適用圖1所示的基本原理而 對圖8 (a)所示的工件W的高度方向的一邊的長度WH取各種值的工件的品種No. 1?No. 9 進(jìn)行了拍攝的情況。在這里，在拍攝對象面置位于基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置即最為聚焦的位置的情況 下，從拍攝對象面到透鏡的距離變?yōu)?10. Omm。另外，景深為3_。
[0111] 在圖3中，示出了工件的高度WH，從拍攝對象面到透鏡的距離變?yōu)長t。該Lt對應(yīng) 于圖10所示的上表面照相部10中的拍攝透鏡101L的中心101LC距工件W1的上表面Wit 的距離Ltl以及距工件W2的上表面W2t的距離Lt2。
[0112] 在圖3中，其他部分與圖2所示的部分大致相同。在圖3中，"無玻璃"的基準(zhǔn)焦點(diǎn) 位置上的WH=2. 5mm，工件No. 2與此相對應(yīng)。因此，在工件No. 2的欄中畫有陰影。另外，工 件No. 1?No. 4都在"無玻璃"的狀態(tài)下拍攝，WH相對于與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng)的工件No. 2 的差處于景深3mm的范圍內(nèi)。玻璃的厚度為6mm，在"有玻璃"的情況下基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置上的 WH比"無玻璃"的情況下短2mm，變?yōu)?· 5mm。這與工件No. 8相對應(yīng)。因此，在工件No. 8的 欄中畫有陰影。
[0113] 工件No. 5?No. 9都在"有玻璃"的狀態(tài)下拍攝，WH相對于與基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置相對應(yīng) 的工件No. 8的差處于景深3_的范圍內(nèi)。如果不設(shè)置"有玻璃"的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置而要僅使用 "無玻璃"的基準(zhǔn)焦點(diǎn)位置Ww=2. 5mm進(jìn)行拍攝，則工件No. 7?No. 9脫離Ww=2. 5mm± 1. 5mm 的范圍，所以變得無法拍攝。即，在圖3中也與圖2同樣地，根據(jù)本發(fā)明，可知不進(jìn)行照相機(jī) 的調(diào)整可拍攝的工件的范圍仍能變大。
[0114] 這樣一來，通過上表面照相部10進(jìn)行針對工件W1以及工件W2的拍攝。
[0115] 接下來，由上表面照相部10進(jìn)行的拍攝結(jié)束了的工件W1以及工件W2,如圖10所 示，通過輸送臺2的箭頭X方向的旋轉(zhuǎn)而從位置〈4>經(jīng)位置〈5>被輸送到與下表面照相部 11相對應(yīng)的位置〈6>。此時，所要拍攝的下表面Wlb以及W2b大致處于同一平面。在這里， 在下表面照相部11中，在輸送臺2的下側(cè)配置有照相機(jī)ill。照相機(jī)ill在鏡筒me的內(nèi) 部收納有拍攝透鏡111L，在工件W1以及工件W2的下表面Wlb以及W2b的大致中心與光軸 lllLa-致(位置〈6>)時，通過受光元件111A拍攝下表面Wlb以及W2b。此時，關(guān)于工件W1 以及工件W2,所拍攝的側(cè)面Wlb以及W2b距拍攝透鏡111L的中心lllLc的距離Lb大致相 同。
[0116] 即，在下表面照相部11的位置〈6>，下表面Wlb以及W2b都存在于拍攝透鏡111L 的同一焦點(diǎn)位置。即，即使檢查對象工件從較大的工件W1切換為較小的工件W2,下表面照 相部11中的拍攝也不會產(chǎn)生問題。
[0117] 另外，將圖7中的前表面照相部12以及后表面照相部13附近的區(qū)域S3的放大圖 示于圖11。在圖11中，與圖9同樣地用實(shí)線表示切換前的工件W1，另外用虛線表示切換后 的工件W2。另外，與圖9同樣地沿著工件W1以及W2的輸送路徑，按時間序列用（1)?（6) 的編號來表示工件的位置。如上所述，工件W1以及工件W2都以側(cè)面Wls以及W2s朝向輸 送臺2的外側(cè)而成為工件輸送圓弧5的切線的方式載置于輸送臺2的上表面。
[0118] 工件W1以及W2,通過輸送臺2的箭頭X方向的旋轉(zhuǎn)從位置⑴被輸送到前表面照 相部12內(nèi)，經(jīng)位置（2)到達(dá)位置（3)。而且，通過位置（1)示出的工件W1的前表面Wlf以 及工件W2的前表面W2f橫截位于位置（2)與位置（3)之間的焦點(diǎn)位置12P。
[0119] 在這里，在前表面照相部12內(nèi)，在輸送臺2的外部且從焦點(diǎn)位置12P觀察成為輸 送臺2的旋轉(zhuǎn)方向的位置配置有照相機(jī)121。照相機(jī)121在鏡筒121C的內(nèi)部收納有拍攝透 鏡121L，在工件W1以及工件W2的前表面Wlf以及W2f橫截焦點(diǎn)位置12P時，通過受光元件 121A拍攝前表面Wlf以及W2f。
[0120] 此時，關(guān)于工件W1以及工件W2,所拍攝的前表面Wlf以及W2f距拍攝透鏡121L的 中心121Lc的距離Lf大致相同。即，在前表面照相部12中，前表面Wlf以及W2f都在存在 于拍攝透鏡121L的同一焦點(diǎn)位置的狀態(tài)下被拍攝。即，即使檢查對象工件從較大的工件W1 切換為較小的工件W2,前表面照相部12中的拍攝也不會產(chǎn)生問題。
[0121] 接下來，工件W1以及W2,通過輸送臺2的箭頭X方向的旋轉(zhuǎn)而被從位置（3)輸送 到后表面照相部13內(nèi)，經(jīng)位置（4)到達(dá)位置（5)。而且，通過位置（1)示出的工件W1的后 表面Wlr以及工件W2的后表面W2r橫截位于位置（4)與位置（5)之間的焦點(diǎn)位置13P。
[0122] 在這里，在后表面照相部13內(nèi)，在輸送臺2的外部且從焦點(diǎn)位置13P觀察成為與 輸送臺2的旋轉(zhuǎn)方向相反方向的位置配置有照相機(jī)131。照相機(jī)131在鏡筒131C的內(nèi)部收 納有拍攝透鏡131L，在工件W1以及工件W2的后表面Wlr以及W2r橫截焦點(diǎn)位置13P時，通 過受光元件131A拍攝后表面Wlr以及W2r。
[0123] 此時，關(guān)于工件W1以及工件W2,所拍攝的后表面Wlr以及W2r距拍攝透鏡131L的 中心131Lc的距離Lr大致相同。即，在后表面照相部13中，后表面Wlr以及W2r都在存在 于拍攝透鏡131L的同一焦點(diǎn)位置的狀態(tài)下被拍攝。因此，即使檢查對象工件從較大的工件 W1切換為較小的工件W2,后表面照相部13中的拍攝也不會產(chǎn)生問題。
[0124] 如上所述，在本實(shí)施方式所涉及的工件的外觀檢查裝置30中，在檢查對象工件從 較大的工件W1切換為較小的工件W2時，關(guān)于對6個面中的2個面進(jìn)行拍攝的內(nèi)表面照相 部9的照相機(jī)91和上表面照相部10的照相機(jī)101，僅通過在第1鏡筒91C、101C上安裝第 2鏡筒91Ca、101Ca，就能夠容易且簡單地調(diào)整這些照相機(jī)91、101的焦點(diǎn)。因此，不會為了 調(diào)整照相機(jī)91、101的焦點(diǎn)而產(chǎn)生較大的負(fù)荷，能夠有效地進(jìn)行工件的外觀檢查。
【權(quán)利要求】
1. 一種工件的外觀檢查裝置，其特征在于，包括： 工件輸送單元，其保持并輸送工件；和 工件拍攝單元，其對由工件輸送單元輸送的工件進(jìn)行拍攝， 該工件拍攝單元包括： 包括拍攝透鏡的第1鏡筒；和第2鏡筒，其包括安裝在第1鏡筒的前端且兩面平行的焦 點(diǎn)調(diào)整用的透明體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件的外觀檢查裝置，其特征在于： 第2鏡筒以螺旋擰入的方式被裝設(shè)于第1鏡筒。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工件的外觀檢查裝置，其特征在于： 透明體由玻璃板構(gòu)成。
4. 一種工件的外觀檢查方法，其特征在于，包括： 工件輸送工序，其中通過工件輸送單元保持并輸送工件；和 工件拍攝工序，其中通過工件拍攝單元對所輸送的工件進(jìn)行拍攝， 工件拍攝工序包括： 第1工件拍攝工序，其中通過具有包括拍攝透鏡的第1鏡筒的工件拍攝單元對第1工 件進(jìn)行拍攝；和 第2工件拍攝工序，其中通過工件拍攝單元對與第1工件形狀不同的第2工件進(jìn)行拍 攝，該工件拍攝單元具有第1鏡筒和第2鏡筒，該第2鏡筒包括安裝于第1鏡筒的前端且兩 面平行的焦點(diǎn)調(diào)整用的透明體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的工件的外觀檢查方法，其特征在于： 第2鏡筒以螺旋擰入的方式被裝設(shè)于第1鏡筒。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的工件的外觀檢查方法，其特征在于： 透明體由玻璃板構(gòu)成。
【文檔編號】G01N21/89GK104101605SQ201410140938
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年4月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月12日
【發(fā)明者】茶木啟明 申請人:東京威爾斯股份有限公司