欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

并行測試系統(tǒng)及其測試方法

文檔序號:6232591閱讀:267來源:國知局
并行測試系統(tǒng)及其測試方法
【專利摘要】一種并行測試系統(tǒng),包括:殼體,圍閉形成容置空間,并在殼體上間隔設(shè)置晶圓承載平臺升降旋鈕、晶圓承載平臺左右移動旋鈕、晶圓承載平臺前后移動旋鈕;晶圓承載盤,設(shè)置在容置空間內(nèi);鎖固部件,進一步包括:定位銷,分別穿設(shè)在殼體之臨近晶圓承載平臺左右移動旋鈕的第一通孔和臨近晶圓承載平臺前后移動旋鈕的第二通孔內(nèi);鎖固環(huán),具有間隔設(shè)置的鎖固孔,且固定設(shè)置在第一通孔和第二通孔垂直下方的支撐板上。本發(fā)明通過在所述并行測試系統(tǒng)中設(shè)置鎖固部件,在所述晶圓承載盤升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷插入所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi),可防止所述晶圓承載盤再次移動,以避免所述探針卡損壞。
【專利說明】并行測試系統(tǒng)及其測試方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件之測試【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種并行測試系統(tǒng)及其測試方法。

【背景技術(shù)】
[0002]請參閱圖4,圖4所示為現(xiàn)有并行測試系統(tǒng)之結(jié)構(gòu)示意圖。所述現(xiàn)有并行測試系統(tǒng)2為手動測試機臺,所述并行測試系統(tǒng)2之探針卡21通過探針卡支架22固定設(shè)置在晶圓承載盤23的上方。在進行扎針或者電性測試過程中,測試工程師會通過外部控制鍵(未圖示)所執(zhí)行之操作將所述晶圓承載盤23升高至鄰近所述探針卡21處。
[0003]但是,因所述并行測試系統(tǒng)2為手動測試機臺,其晶圓承載盤23的橫向、縱向移動旋鈕(未圖示)均面向測試工程師,在手動測試的過程中,很容易的出現(xiàn)身體與移動旋鈕的碰觸,導(dǎo)致所述晶圓承載盤23發(fā)生移動,進而造成所述探針卡的損毀,帶來巨大的經(jīng)濟損失。
[0004]尋求一種可在扎針或電性測試的過程中,有效避免所述晶圓承載盤移動的裝置和方法已成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題之一。
[0005]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本案設(shè)計人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗,積極研究改良,于是有了本發(fā)明一種并行測試系統(tǒng)及其測試方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中,傳統(tǒng)的并行測試系統(tǒng)在手動測試的過程中,很容易的出現(xiàn)身體與移動旋鈕的碰觸,導(dǎo)致所述晶圓承載盤發(fā)生移動,進而造成所述探針卡的損毀,帶來巨大的經(jīng)濟損失等缺陷提供一種并行測試系統(tǒng)。
[0007]本發(fā)明之又一目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中,傳統(tǒng)的并行測試系統(tǒng)在手動測試的過程中,很容易的出現(xiàn)身體與移動旋鈕的碰觸,導(dǎo)致所述晶圓承載盤發(fā)生移動,進而造成所述探針卡的損毀,帶來巨大的經(jīng)濟損失等缺陷提供一種并行測試系統(tǒng)的測試方法。
[0008]為了解決上述問題,本發(fā)明提供一種并行測試系統(tǒng),所述并行測試系統(tǒng)包括:殼體,圍閉形成容置空間,并在所述殼體上間隔設(shè)置晶圓承載平臺升降旋鈕、晶圓承載平臺左右移動旋鈕、晶圓承載平臺前后移動旋鈕;晶圓承載盤,設(shè)置在所述殼體圍閉的容置空間內(nèi),并通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕、晶圓承載平臺左右移動旋鈕、晶圓承載平臺前后移動旋鈕實現(xiàn)待測試晶圓的位置調(diào)整;鎖固部件,進一步包括:定位銷,所述定位銷分別穿設(shè)在所述殼體之臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕的第一通孔和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕的第二通孔內(nèi);鎖固環(huán),所述鎖固環(huán)具有間隔設(shè)置的鎖固孔,且所述鎖固環(huán)固定設(shè)置在所述殼體之第一通孔和第二通孔垂直下方的支撐板上,所述定位銷與所述鎖固孔相匹配。
[0009]可選地,所述定位銷與所述鎖固孔相匹配,即為所述定位銷穿設(shè)在所述鎖固孔內(nèi)時,所述定位銷與所述鎖固孔不會發(fā)生相對移動。
[0010]為實現(xiàn)本發(fā)明之又一目的,本發(fā)明提供一種并行測試系統(tǒng)的測試方法,所述并行測試系統(tǒng)的測試方法包括:
[0011]執(zhí)行步驟S1:將所述鎖固部件之定位銷插入臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕的第一通孔和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕的第二通孔內(nèi),且所述定位銷位于所述殼體內(nèi)的一端未穿設(shè)在所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi);
[0012]執(zhí)行步驟S2:通過所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕和所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕調(diào)整所述待測試晶圓之前后、左右位置,隨后通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕進行晶圓承載盤之高度調(diào)整,在所述調(diào)整過程中,所述第一通孔和第二通孔垂直下方的支撐板隨著所述晶圓承載盤同步運動;
[0013]執(zhí)行步驟S3:當所述晶圓承載盤升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷插入所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi),防止所述晶圓承載盤再次移動,避免所述探針卡損壞。
[0014]綜上所述,本發(fā)明通過在所述并行測試系統(tǒng)中設(shè)置鎖固部件,在所述晶圓承載盤升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷插入所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi),可防止所述晶圓承載盤再次移動,以避免所述探針卡損壞。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖2(a)?圖2(b)所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的鎖固部件結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖3所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的截面圖;
[0018]圖4所示為現(xiàn)有并行測試系統(tǒng)之結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0019]為詳細說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達成目的及功效,下面將結(jié)合實施例并配合附圖予以詳細說明。
[0020]請參閱圖1?圖3,圖1所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2(a)?圖2(b)所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的鎖固部件結(jié)構(gòu)示意圖。圖3所示為本發(fā)明并行測試系統(tǒng)的截面圖。所述并行測試系統(tǒng)1,包括:殼體10,所述殼體10圍閉形成容置空間101,并在所述殼體10上間隔設(shè)置晶圓承載平臺升降旋鈕102、晶圓承載平臺左右移動旋鈕103、晶圓承載平臺前后移動旋鈕104 ;晶圓承載盤11,所述晶圓承載盤11設(shè)置在所述殼體10圍閉的容置空間101內(nèi),并通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕102、晶圓承載平臺左右移動旋鈕103、晶圓承載平臺前后移動旋鈕104實現(xiàn)待測試晶圓(未圖示)的位置調(diào)整;鎖固部件12,所述鎖固部件12進一步包括:定位銷121,所述定位銷121分別穿設(shè)在所述殼體10之臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕103的第一通孔105和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕104的第二通孔106內(nèi);鎖固環(huán)122,所述鎖固環(huán)122具有間隔設(shè)置的鎖固孔123,且所述鎖固環(huán)122固定設(shè)置在所述殼體10之第一通孔105和第二通孔106垂直下方的支撐板(未圖示)上,所述定位銷121與所述鎖固孔123相匹配。
[0021]為更直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案,凸顯本發(fā)明之有益效果,現(xiàn)結(jié)合具體的實施方式對本發(fā)明的工作原理進行闡述。在【具體實施方式】中,所涉及的定位銷122之外徑,以及所述鎖固環(huán)122之鎖固孔123的數(shù)量和直徑等均為列舉,不應(yīng)視為對本發(fā)明之技術(shù)方案的限制。更具體地,所述定位銷121與所述鎖固孔123相匹配,即為所述定位銷121穿設(shè)在所述鎖固孔123內(nèi)時,所述定位銷121與所述鎖固孔123不會發(fā)生相對移動。作為本領(lǐng)域技術(shù)人員,容易理解地,任何具有所述鎖固功能之元器件均可應(yīng)用于本方案,屬于本發(fā)明權(quán)利主張的范圍,在此不予贅述。
[0022]在扎針或?qū)Υ郎y試晶圓進行電性測試時,所述并行測試系統(tǒng)I之測試方法,包括:
[0023]執(zhí)行步驟S1:將所述鎖固部件12之定位銷121插入臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕103的第一通孔105和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕104的第二通孔106內(nèi),且所述定位銷12位于所述殼體10內(nèi)的一端未穿設(shè)在所述鎖固環(huán)122之鎖固孔123內(nèi);
[0024]執(zhí)行步驟S2:通過所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕103和所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕104調(diào)整所述待測試晶圓之前后、左右位置,隨后通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕102進行晶圓承載盤11之高度調(diào)整,在所述調(diào)整過程中,所述第一通孔105和第二通孔106垂直下方的支撐板隨著所述晶圓承載盤11同步運動;
[0025]執(zhí)行步驟S3:當所述晶圓承載盤11升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷121插入所述鎖固環(huán)122之鎖固孔123內(nèi),防止所述晶圓承載盤11再次移動,避免所述探針卡損壞。
[0026]明顯地,本發(fā)明通過在所述并行測試系統(tǒng)中設(shè)置鎖固部件12,在所述晶圓承載盤
11升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷121插入所述鎖固環(huán)122之鎖固孔123內(nèi),可防止所述晶圓承載盤11再次移動,以避免所述探針卡損壞。
[0027]綜上所述,本發(fā)明通過在所述并行測試系統(tǒng)中設(shè)置鎖固部件,在所述晶圓承載盤升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷插入所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi),可防止所述晶圓承載盤再次移動,以避免所述探針卡損壞。
[0028]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解,在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,可以對本發(fā)明進行各種修改和變型。因而,如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護范圍內(nèi)時,認為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種并行測試系統(tǒng),其特征在于,所述并行測試系統(tǒng)包括: 殼體,圍閉形成容置空間,并在所述殼體上間隔設(shè)置晶圓承載平臺升降旋鈕、晶圓承載平臺左右移動旋鈕、晶圓承載平臺前后移動旋鈕; 晶圓承載盤,設(shè)置在所述殼體圍閉的容置空間內(nèi),并通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕、晶圓承載平臺左右移動旋鈕、晶圓承載平臺前后移動旋鈕實現(xiàn)待測試晶圓的位置調(diào)整; 鎖固部件,進一步包括:定位銷,所述定位銷分別穿設(shè)在所述殼體之臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕的第一通孔和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕的第二通孔內(nèi);鎖固環(huán),所述鎖固環(huán)具有間隔設(shè)置的鎖固孔,且所述鎖固環(huán)固定設(shè)置在所述殼體之第一通孔和第二通孔垂直下方的支撐板上,所述定位銷與所述鎖固孔相匹配。
2.如權(quán)利要求1所述的并行測試系統(tǒng),其特征在于,所述定位銷與所述鎖固孔相匹配,即為所述定位銷穿設(shè)在所述鎖固孔內(nèi)時,所述定位銷與所述鎖固孔不會發(fā)生相對移動。
3.—種如權(quán)利要求1所述的并行測試系統(tǒng)的測試方法,其特征在于,所述測試方法包括: 執(zhí)行步驟S1:將所述鎖固部件之定位銷插入臨近所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕的第一通孔和臨近所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕的第二通孔內(nèi),且所述定位銷位于所述殼體內(nèi)的一端未穿設(shè)在所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi); 執(zhí)行步驟S2:通過所述晶圓承載平臺左右移動旋鈕和所述晶圓承載平臺前后移動旋鈕調(diào)整所述待測試晶圓之前后、左右位置,隨后通過所述晶圓承載平臺升降旋鈕進行晶圓承載盤之高度調(diào)整,在所述調(diào)整過程中,所述第一通孔和第二通孔垂直下方的支撐板隨著所述晶圓承載盤同步運動; 執(zhí)行步驟S3:當所述晶圓承載盤升高至扎針高度或電性測試高度時,所述定位銷插入所述鎖固環(huán)之鎖固孔內(nèi),防止所述晶圓承載盤再次移動,避免所述探針卡損壞。
【文檔編號】G01R31/26GK104076267SQ201410307559
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月30日
【發(fā)明者】吳奇?zhèn)? 尹彬鋒, 王炯 申請人:上海華力微電子有限公司
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
北流市| 来凤县| 东乌| 益阳市| 凤山县| 梁平县| 潜山县| 酉阳| 太湖县| 丘北县| 中宁县| 房山区| 通江县| 香河县| 英德市| 定远县| 平谷区| 鄄城县| 沙田区| 绵阳市| 集贤县| 合作市| 广汉市| 柯坪县| 延津县| 南川市| 玛多县| 什邡市| 蓝山县| 灵川县| 新余市| 嘉义市| 沐川县| 丰镇市| 孝义市| 来宾市| 澄迈县| 岳阳县| 渝中区| 岢岚县| 卓尼县|