功能元件、電子設備及移動體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種功能元件、電子設備及移動體，其能夠準確地對物理量進行檢測。本發(fā)明所涉及的功能元件(100)包括：可動體(20)，其能夠沿著第一軸而進行位移；固定部(30)，其通過連結部(40)而對可動體(20)進行支承；可動電極部(8)，其從可動體(20)起延伸；固定電極部(71)，其以與可動電極部(8)對置的方式而配置；延伸部(61)，其從固定部(30)起延伸，并具備與可動電極部(8)的側面對置的對置部(61a)，對置部(61a)與可動電極部(8)之間的距離(L1)小于固定電極部(71)與可動電極部(8)之間的距離(L2)。
【專利說明】功能元件、電子設備及移動體

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種功能元件、電子設備及移動體。

【背景技術】
[0002]近年來，開發(fā)了一種如下的物理量傳感器(功能元件)，其利用例如硅MEMS (MicroElectro Mechanical Systems:微電子機械系統(tǒng))技術，來對加速度等物理量進行檢測。
[0003]例如，在專利文獻I中記載了一種物理量傳感器，包括:可動體，其被設置于基板的上方；可動電極部，其從可動體起延伸；第一固定電極部，其被設置于可動電極部的一側；第二固定電極部，其被設置于可動電極部的另一側，所述物理量傳感器分別對可動電極部與第一固定電極部之間的靜電電容，和可動電極部與第二固定電極部之間的靜電電容進行測量，并根據(jù)上述測量結果而對物理量(加速度)進行檢測。
[0004]然而，在專利文獻I的物理量傳感器中，例如在施加了過度的加速度的情況下，存在可動電極部與固定電極部碰撞，從而導致可動電極部和固定電極部產(chǎn)生破損的可能性。并且，在專利文獻I的物理量傳感器中，由于可動電極部的電位與固定電極部的電位不同，因此存在當可動電極部進行了位移時，可動電極部貼在固定電極部上的可能性。
[0005]專利文獻1:日本特開2012-98208號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種能夠準確地對物理量進行檢測的功能元件。此外，本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種包括上述功能元件的電子設備及移動體。
[0007]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，其能夠作為以下的方式或應用例來實現(xiàn)。
[0008]應用例I
[0009]本應用例所涉及的功能元件包括:可動體，其能夠沿著第一軸而進行位移；固定部，其通過連結部而對所述可動體進行支承；可動電極部，其從所述可動體起延伸；固定電極部，其以與所述可動電極部對置的方式而配置；延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述可動電極部的側面對置的對置部，所述對置部與所述可動電極部之間的距離小于所述固定電極部與所述可動電極部之間的距離。
[0010]在這種功能元件中，在因過度的加速度而在可動體上作用有一 X軸方向上的力的情況下，在可動電極部(第二可動電極指)與固定電極部碰撞之前，可動電極部(第一可動電極指)將與對置部碰撞。因此，在這種功能元件中，能夠抑制可動電極部及固定電極部產(chǎn)生破損的情況。
[0011]并且，在這種功能元件中，由于延伸部從固定部起延伸，因此對置部能夠具有與可動電極部相等的電位。因此，能夠減少在可動電極部與對置部碰撞時，可動電極部貼在對置部上的情況。
[0012]并且，在功能元件中，能夠降低例如在對硅基板進行蝕刻，從而形成了可動體、可動電極部及延伸部之后，可動電極部貼在對置部上的情況。
[0013]由此，這種功能元件能夠準確地對物理量(加速度)進行檢測，從而能夠確保可靠性。
[0014]應用例2
[0015]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，即，所述可動電極部沿著所述第一軸而被設置有多個，所述對置部與和所述對置部對置的所述可動電極部之間的距離小于所述固定電極部與其他所述可動電極部之間的距離。
[0016]在這種功能元件中，能夠準確地對物理量進行檢測。
[0017]應用例3
[0018]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可動電極部沿著所述第一軸而被設置有多個，與所述對置部對置的所述可動電極部的寬度大于其他所述可動電極部的寬度。
[0019]在這種功能元件中，與對置部對置的可動電極部與其他可動電極部相比，能夠具有較高的剛性。因此，在這種功能元件中，能夠降低在與對置部對置的可動電極部與對置部碰撞時，與對置部對置的可動電極部產(chǎn)生破損的情況。
[0020]應用例4
[0021]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，在所述延伸部的所述對置部以及所述可動電極部的與所述對置部對置的部分中的至少一方上，設置有突起部。
[0022]在這種功能元件中，與未設置有突起部的方式相比，能夠減小可動電極部與對置部的接觸面積。由此，能夠減少可動電極部貼在對置部上的情況。
[0023]應用例5
[0024]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述延伸部具備:第一部分，其從所述固定部起沿著與所述第一軸交叉的第二軸而延伸；第二部分，其從所述第一部分起在所述第一軸的方向上延伸，并在端部上具備所述對置部。
[0025]這種物理量傳感器能夠準確地對物理量進行檢測。
[0026]應用例6
[0027]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述固定部、所述延伸部、所述連結部、所述可動電極部以及所述可動體被設置為一體。
[0028]在這種功能元件中，例如通過對一張硅基板進行加工，便能夠一體地形成固定部、延伸部、連結部、可動電極部以及可動體。
[0029]應用例7
[0030]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述延伸部具備與所述可動電極部的頂端面對置的部分。
[0031]在這種物理量傳感器中，在因過度的加速度而在可動體上作用有與第一軸交叉的方向上的力的情況下，例如，在可動體與固定電極部碰撞之前，可動電極部能夠與第一對置部碰撞。因此，在這種物理量傳感器中，能夠減少可動體及固定電極部產(chǎn)生破損的情況。
[0032]應用例8
[0033]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述連結部包括以所述第一軸為界而被配置于一側的第一連結部和被配置于另一側的第二連結部，所述可動體以在所述第一連結部與所述第二連結部之間延伸的方式而設置。
[0034]在這種功能元件中，能夠增大可動體的質(zhì)量。其結果為，能夠增大在施加有加速度的情況下，作用于可動體上的力。即，在這種功能元件中，能夠利用兩個梁之間的空間，來增大可動體的質(zhì)量。
[0035]并且，在這種功能元件中，例如在對硅基板進行干式蝕刻而形成連結部時，能夠實現(xiàn)蝕刻速度的均勻化。其結果為，能夠高精度地形成連結部，從而能夠將功能元件形成為所需的特性(按照設計的特性)。
[0036]應用例9
[0037]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可動體的延伸出的部分的端部與所述固定部的端部之間的距離小于所述固定電極部與所述可動電極部之間的距離。
[0038]在這種物理量傳感器中，在可動電極部(第二可動電極指)與固定電極部碰撞前，可動體將與固定部碰撞。因此，在這種功能元件中，能夠減少可動電極部及固定電極部產(chǎn)生破損的情況。
[0039]應用例10
[0040]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可動電極部具備第一可動電極部和第二可動電極部，所述第一可動電極部沿著與所述第一軸交叉的第二軸而從所述可動體的一端起延伸，所述第二可動電極部從所述一端的相反側的另一端起延伸，所述功能元件具備:作為所述延伸部的第一延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述第一可動電極部的側面對置的第一對置部；作為所述延伸部的第二延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述第二可動電極部的側面對置的第二對置部。
[0041]在這種功能元件中，能夠減少可動體進行旋轉的情況。
[0042]應用例11
[0043]在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述固定部具備第一固定部及第二固定部，所述可動體通過所述連結部而被所述第一固定部及所述第二固定部支承，所述可動電極部具備第一可動電極部和第二可動電極部，所述第一可動電極部沿著與所述第一軸交叉的第二軸而從所述可動體的一端起延伸，所述第二可動電極部從所述一端的相反側的另一端起延伸，所述功能元件具備:作為所述延伸部的第一延伸部，其從所述第一固定部起延伸，并具備與所述第一可動電極部的側面對置的第一對置部；作為所述延伸部的第三延伸部，其從所述第二固定部起向與所述第一延伸部相反的方向延伸，并具備與所述第二可動電極部的側面對置的第三對置部。
[0044]在這種物理量傳感器中，能夠減少可動體進行旋轉的情況。
[0045]應用例12
[0046]本應用例所涉及的電子設備包括應用例I至11中任一例所述的功能元件。
[0047]由于這種電子設備包括應用例所涉及的功能元件，因此能夠準確地對物理量進行檢測。
[0048]應用例13
[0049]本應用例所涉及的移動體包括應用例I至11中任一例所述的功能元件。
[0050]由于這種移動體包括應用例所涉及的功能元件，因此能夠準確地對物理量進行檢測。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0051]圖1為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0052]圖2為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0053]圖3為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0054]圖4為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0055]圖5為模式化地表示第一實施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0056]圖6為模式化地表不第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0057]圖7為模式化地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0058]圖8為模式化地表示第二實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0059]圖9為模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0060]圖10為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0061]圖11為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0062]圖12為模式化地表示第三實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
[0063]圖13為模式化地表示第四實施方式所涉及的移動體的立體圖。

【具體實施方式】
[0064]以下，使用附圖來對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。另外，以下所說明的實施方式并非對權利要求書中所記載的本發(fā)明的內(nèi)容進行不當限定的方式。此外，以下所說明的結構未必都是本發(fā)明的必要結構要件。
[0065]1.第一實施方式
[0066]1.1功能元件
[0067]首先，參照附圖來對第一實施方式所涉及的功能元件進行說明。圖1為，模式化地表不第一實施方式所涉及的功能兀件100的俯視圖。圖2為，模式化地表不第一實施方式所涉及的功能元件100的沿圖1中的I1-1I線的剖視圖。
[0068]另外，為了便于說明，在圖1中，以透視蓋體90的方式來進行圖示。此外，在圖1中，作為相互正交的三個軸，圖示了 X軸(第一軸)、Y軸(第二軸)以及Z軸。以下，X軸、Y軸及Z軸的原點為可動體20的中心(例如，平面上的可動體20的中心)0。此外，以下，將沿著第一軸的第一方向設為一 X軸方向，將沿著與第一軸交叉的第二軸的第二方向設為+Y軸,將與第一方向為相反方向的第三方向設為+X軸方向，將與第二方向為相反方向的第四方向設為一 Y軸方向。
[0069]如圖1及圖2所示，功能元件100包括:基板10、可動體20、具有第一固定部30及第二固定部32的固定部3、連結部40、44、具有第一可動電極部6及第二可動電極部7的可動電極部8、延伸部61、62、63、64、固定電極部71、72、73、74、配線81、82、83、襯墊84、85、86以及蓋體90。以下，對功能元件100為物理量傳感器的情況進行說明。具體而言，對功能元件100為對水平方向(沿X軸的方向(X軸方向))上的加速度進行檢測的加速度傳感器(靜電電容型MEMS加速度傳感器)的示例進行說明。
[0070]基板10的材質(zhì)例如為玻璃、硅。在基板10的上表面(朝向+Z軸方向的表面)12上形成有凹部14。在凹部14的上方，隔著間隙而設置有可動體20、連結部40、44以及可動電極部8。通過凹部14，從而可動體20能夠在不與基板20接觸的情況下，在預定的方向上可動。凹部14的平面形狀(從Z軸方向觀察時的形狀)只要不與可動體20、連結部40、44以及可動電極部8重疊，則并不被特別限制。在基板10的上表面12上，形成有槽部16、17、18。在槽部16、17、18中設置有配線81、82、83及襯墊84、85、86。
[0071]另外，雖然在圖2所示的示例中，凹部14及槽部16、17、18的側面(對凹部14及槽部16、17、18進行規(guī)定的基部10的表面)相對于上表面12而垂直，但是凹部14及槽部16、17、18的側面也可以相對于上表面12而傾斜。
[0072]可動體20、固定部30、32、連結部40、44、可動電極部8以及延伸部61?64被一體地形成?？蓜芋w20、固定部30、32、連結部40、44、可動電極部8以及延伸部61?64的材質(zhì)為，例如通過摻雜磷或硼等雜質(zhì)而被賦予了導電性的硅。可動體20、固定部30、32、連結部40、44、可動電極部8以及延伸部61?64被相互電連接，從而能夠具有相等的電位。
[0073]可動體20能夠在X軸方向(+X軸方向及一X軸方向)上(沿X軸)進行位移。具體而言，可動體20根據(jù)X軸方向上的加速度，而在使連結部40、44進行彈性變形的同時在X軸方向上進行位移。隨著這種位移，可動電極部8與固定電極部71?74之間的間隙的大小將發(fā)生變化。即，隨著這種位移，可動電極部8與固定電極部71?74之間的靜電電容的大小將發(fā)生變化。功能元件100根據(jù)這些靜電電容，而對X軸方向上的加速度進行檢測。在圖1所示的示例中，可動體20的平面形狀為具有沿X軸的長邊的長方形。
[0074]固定部30、32被接合并固定于基板10上。固定部30、32通過連結部40、44 (經(jīng)由連結部40、44)而對可動體20進行支承。第一固定部30在俯視觀察時(從Z軸方向觀察時)位于可動體20的一 X軸方向。第二固定部32在俯視觀察時(從Z軸方向觀察時)位于可動體20的+X軸方向。S卩，固定部30、32及可動體20在+X軸方向上以第一固定部30、可動體20、第二固定部32的順序排列。固定部30、32經(jīng)由連結部40、44而對可動體20進行支承。固定部30、32從平面觀察時跨越凹部14的外緣15而被設置。在圖示的示例中，固定部30、32的平面形狀為矩形。
[0075]連結部40對可動體20與第一固定部30進行連結。連結部44對可動體20與第二固定部32進行連結。連結部40、44被構成為，具有預定的彈性常數(shù)，并能夠使可動體20在X軸方向上進行位移。在圖示的示例中，連結部40由第一連結部(梁)41及第二連結部(梁)42構成，所述第一連結部(梁)41及第二連結部(梁)42呈在Y軸方向上往復的同時在X軸方向上延伸的形狀。梁41以X軸為界而被配置于一側，梁42以X軸為界而被配置于另一側。連結部44由第一連結部(梁)45及第二連結部(梁)46構成，所述第一連結部(梁)45及第二連結部(梁)46呈在Y軸上往復的同時在X軸方向上延伸的形狀。梁45以X軸為界而被配置于一側，梁46以X軸為界而被配置于另一側。
[0076]第一可動電極部6沿著X軸而被配置有多個。第一可動電極部6從可動體20起向+Y軸方向延伸。即，第一可動電極部6沿著Y軸從可動體20的一端起延伸。第一可動電極部6具有可動電極指51、52、56?？蓜与姌O指51、52、56在+X軸方向上以第一可動電極指51、第二可動電極指52、第六可動電極指56的順序排列。第一可動電極指51為，從可動體20起向+Y軸方向延伸的可動電極指中的最靠一 X方向側的可動電極指。第六可動電極指56為，從可動體20起向+Y軸方向延伸的可動電極指中的最靠+X軸方向側的可動電極指。雖然在圖示的示例中，第二可動電極指52被設置有三個，但其數(shù)量并不被特別限定。
[0077]第二可動電極部7沿著X軸而被設置有多個。第二可動電極部7從可動體20起向一 Y軸方向延伸。即，第二可動電極部7沿著Y軸從可動體20的一端的相反側的另一端起延伸。第二可動電極部7具有可動電極指53、54、55?？蓜与姌O指53、54、55在+X軸方向上以第五可動電極指55、第四可動電極指54、第三可動電極指53的順序排列。第五可動電極指55為，從可動體20起向一 Y軸方向延伸的可動電極指中的最靠一 X方向側的可動電極指。第三可動電極指53為，從可動體20起向一 Y軸方向延伸的可動電極指中的最靠+X軸方向側的可動電極指。雖然在圖示的示例中，第四可動電極指54被設置有三個，但其數(shù)量并不被特別限定。
[0078]可動電極指51?56的寬度(X軸方向上的大小)例如相互等同?？蓜与姌O指51、53、55、56的長度(Y軸方向上的大小)例如大于可動電極指52、54的長度。在圖不的不例中，可動電極指51?56的平面形狀為具有沿著Y軸的長邊的長方形。
[0079]第三可動電極指53可以被設置為，關于可動體20的中心(例如，平面上的可動體20的中心)O而與第一可動電極指51點對稱。第四可動電極指54可以被設置為，關于中心O而與第二可動電極指52點對稱。第五可動電極指55可以被設置為，關于穿過中心O的X軸而與第一可動電極指51線對稱。第六可動電極指56可以被設置為，關于穿過中心O的X軸而與第三可動電極指53線對稱。
[0080]第一延伸部61從固定部3起延伸，并具備與可動電極部8的側面對置的第一對置部61a。具體而言，第一延伸部61從第一固定部30起延伸。第一延伸部61具有第一對置部61a。第一對置部61a位于第一可動電極指51的一 X軸方向側，并與第一可動電極指51的側面對置。在圖示的示例中，第一延伸部61具有第一部分61b和第二部分61c，所述第一部分61b從第一固定部30起向+Y軸方向延伸(沿著Y軸而延伸)，所述第二部分61c從第一部分61b起向+X軸方向延伸(在X軸的方向上延伸)。第二部分61c在端部上具備第一對置部61a。
[0081]第二延伸部62從第一固定部30起延伸。第二延伸部62具有第二對置部62a。第二對置部62a位于第五可動電極指55的一 X軸方向側，并與第五可動電極指55的側面對置。第二對置部62a可以被設置為，關于X軸而與第一對置部61a線對稱。在圖不的不例中，第二延伸部62具有第三部分62b和第四部分62c，所述第三部分62b從第一固定部30起向一 Y軸方向延伸，所述第四部分62c從第三部分62b起向+X軸方向延伸。第四部分62c在端部上具備第二對置部62a。
[0082]第三延伸部63從第二固定部32起延伸。第三延伸部63具有第三對置部63a。第三對置部63a位于第三可動電極指53的+X軸方向側，并與第三可動電極指53的側面對置。第三對置部63a可以被設置為，關于中心O而與第一對置部61a點對稱。在圖不的不例中，第三延伸部63具有第五部分63b和第六部分63c，所述第五部分63b從第二固定部32起向一 Y軸方向延伸,所述第六部分63c從第五部分63b起向一 X軸方向延伸。第六部分63c在端部上具備第三對置部63a。
[0083]第四延伸部64從第二固定部32起延伸。第四延伸部64具有第四對置部64a。第四對置部64a位于第六可動電極指56的+X軸方向側，并與第六可動電極指56的側面對置。第四對置部64a可以被設置為，關于X軸而與第三對置部63a線對稱。在圖示的示例中，第四延伸部64具有第七部分64b和第八部分64c，所述第七部分64b從第二固定部32起向+Y軸方向延伸，所述第八部分64c從第七部分64b起向一 X軸方向延伸。第八部分64c在端部上具備第四對置部64a。
[0084]在俯視觀察時，第一延伸部61及第一可動電極指51以包圍連結部40的梁的方式而設置。同樣地，第三延伸部63及第三可動電極指53以包圍連結部44的梁46的方式而設置。第二延伸部62及第五可動電極指55以包圍連結部40的梁42的方式而設置。第四延伸部64及第六可動電極指56以包圍第二連結部44的梁45的方式而設置。
[0085]在俯視觀察時，第一延伸部61被設置于連結部40的梁41與第二配線82之間。同樣地，第三延伸部63被設置于連結部44的梁46與第二配線82之間。第四延伸部64被設置于連結部44的梁45與第二配線82之間。
[0086]在第一延伸部61的第一對置部61a以及第一可動電極指51的(可動電極部8的)與第一對置部6Ia對置的部分中的至少一方上，設置有突起部65。在圖示的示例中，第一對置部61a具有兩個突起部65。突起部65的平面形狀例如為半圓形狀。在圖示的示例中，突起部65在俯視觀察時跨越凹部14的外緣15而設置。第一延伸部61的突起部65為，在俯視觀察時，從第二部分61c的矩形的部分起向第一可動電極指51側突出的部分。同樣地，對置部62a、63a、64a各自具有兩個突起部65。
[0087]第一對置部61a的突起部65與第一可動電極指51 (與第一對置部61a對置的可動電極部8)之間的距離LI小于第一固定電極部71與第二可動電極指52 (其他可動電極部8)之間的距離L2。同樣地，第三對置部63a的突起部65與第三可動電極指53之間的距離L3小于第二固定電極部72與第四可動電極指54之間的距離L4。第二對置部62a的突起部65與第五可動電極指55之間的距離L5小于第三固定電極部73與第四可動電極指54之間的距離L6。第四對置部64a的突起部65與第六可動電極指56之間的距離L7小于第四固定電極部74與第二可動電極指52之間的距離L8。
[0088]第一對置部61a的突起部65與第一可動電極指51之間的距離LI還小于第六可動電極指56與第一固定電極部71之間的距離。同樣地，距離L3小于第五可動電極指55與第二固定電極部72之間的距離。距離L5小于第三可動電極指53與第三固定電極部73之間的距離。距離L7小于第一可動電極指51與第四固定電極部74之間的距離。
[0089]固定電極部71?74被接合并固定于基板10上。具體而言，固定電極部71?74的一側端部作為固定端而被接合于基板10的上表面上，另一側端部作為自由端而向可動體20側延伸。在圖示的示例中，固定電極部71?74的平面形狀為具有沿著Y軸的長邊的長方形。固定電極部71?74的材質(zhì)例如為，通過摻雜磷或硼等雜質(zhì)而被賦予了導電性的硅。
[0090]固定電極部71?74以與可動電極部8對置的方式而配置。具體而言，第一固定電極部71位于第二可動電極指52的一 X軸方向側，并以與第二可動電極指52對置的方式而配置。并且，第一固定電極部71位于第六可動電極指56的一 X軸方向側，并以與第六可動電極指56對置的方式而配置。第一固定電極部71與可動電極指52、56相對應地被設置有多個。多個第一固定電極部71經(jīng)由接觸部80及第一配線81而被相互電連接。
[0091]第二固定電極部72位于第四可動電極指54的+X軸方向側，并以與第四可動電極指54對置的方式而配置。并且，第二固定電極部72位于第五可動電極指55的+X軸方向偵牝并以與第五可動電極指55對置的方式而配置。第二固定電極指72與可動電極指54、55相對應地而被設置有多個。多個第二固定電極部72經(jīng)由接觸部80及第一配線81而被相互電連接。第二固定電極部72可以被設置為，關于中心O而與第一固定電極部71點對稱。
[0092]第三固定電極部73位于第四可動電極指54的一 X軸方向側，并以與第四可動電極指54對置的方式而配置。并且，第三固定電極部73位于第三可動電極指53的一 X軸方向側，并以與第三可動電極指53對置的方式而配置。第三固定電極指73與可動電極指53、54相對應地而被設置有多個。多個第三固定電極部73經(jīng)由接觸部80及第二配線82而被相互電連接。第三固定電極部73可以被設置為，關于X軸而與第一固定電極部71線對稱。
[0093]第四固定電極部74位于第二可動電極指52的+X軸方向側，并以與第二可動電極指52對置的方式而配置。并且，第四固定電極部74位于第一可動電極指51的+X軸方向側，并以與第一可動電極指51對置的方式而配置。第四固定電極指74與可動電極指51、52相對應地而被設置有多個。多個第四固定電極部74經(jīng)由接觸部80及第二配線82而被相互電連接。第四固定電極部74可以被設置為，關于X軸而與第二固定電極部72線對稱。
[0094]第一配線81被設置于基板10上。具體而言，第一配線81被設置在形成于基板10的上表面12上的第一槽部16中。在圖示的示例中，第一配線81以在俯視觀察時包圍凹部14的方式設置。第一配線81經(jīng)由接觸部80而被連接于固定電極部71、72。S卩，固定電極部71、72被相互電連接。
[0095]第二配線82被設置于基板10上。具體而言，第二配線82被設置在形成于基板10的上表面12上的第二槽部17中。在圖示的示例中，第二配線82以在俯視觀察時包圍凹部14的方式而設置。第二配線82經(jīng)由接觸部80而被連接于固定電極部73、74。S卩，固定電極部73、74被相互電連接。
[0096]第三配線83被設置于基板10上。具體而言，第三配線83被設置在形成于基板10的上表面12上的第三槽部18中。第三配線83經(jīng)由接觸部80而被連接于第一固定部30。
[0097]襯墊84、85、86被設置于基板10上。具體而言，襯墊84、85、86分別被設置于槽部16、17、18中，并分別被連接于配線81、82、83。襯墊84、85、86被設置在，在俯視觀察時不與蓋體90重疊的位置處。在圖示的示例中，襯墊84、85、86在Y軸方向上排列。
[0098]配線81、82、83、襯墊84、85、86以及接觸部80 (以下也稱為“配線81等”)的材質(zhì)例如為，ITOdndium Tin Oxide:銦錫氧化物)、招、金、鉬、鈦、鶴、鉻。當配線81等的材質(zhì)為ITO等透明電極材料時，在基板10為透明的情況下，能夠容易地從基板10的下表面(上表面12的相反側的面)側對存在于配線81等上的異物進行目視確認。
[0099]另外，雖然未圖示，但配線81、82、83的材質(zhì)也可以為，通過摻雜磷或硼等雜質(zhì)而被賦予了導電性的硅。在這種情況下，配線81、82、83也可以被接合于基部10的上表面12上。
[0100]如圖2所示，蓋體90被設置于基板10上?；?0及蓋體90構成了封裝件?；?0及蓋體90形成腔室92。在腔室92中，收納有可動體20、固定部30、32、連結部40、44、可動電極部8、延伸部61?64以及固定電極部71?74(以下也稱為“可動體20等”)。圖2所示的第三配線83與蓋體90之間的空隙(第三槽部18內(nèi)的空隙)2可以通過粘結部件(未圖示)等而被填埋，在這種情況下，腔室92可以在惰性氣體(例如氮氣)氣氛下被密封。蓋體90的材質(zhì)例如為硅、玻璃。
[0101]在功能元件100中，通過使用襯墊84、86，從而能夠對第二可動電極指52與第一固定電極部71之間的靜電電容、第四可動電極指54與第二固定電極部72之間的靜電電容、第五可動電極指55與第二固定電極部72之間的靜電電容、以及第六可動電極指56與第一固定電極部71之間的靜電電容進行測量。并且，在功能元件100中，通過使用襯墊85、86，從而能夠對第一可動電極指51與第四固定電極部74之間的靜電電容、第二可動電極指52與第四固定電極部74之間的靜電電容、第三可動電極指53與第三固定電極部73之間的靜電電容、以及第四可動電極指54與第三固定電極部73之間的靜電電容進行測量。
[0102]如上所述，在功能元件100中，能夠分別對可動電極指52、54、55、56與固定電極部71、72之間的靜電電容，及可動電極指51、52、53、54與固定電極部73、74之間的靜電電容進行測量，并根據(jù)這些測量結果(利用所謂的差動檢測方式)而對加速度進行檢測。
[0103]另外，雖然在上文中，對功能元件100為對X軸方向上的加速度進行檢測的加速度傳感器(物理量傳感器)的情況進行了說明，但本發(fā)明所涉及的功能元件也可以為對Y軸方向上的加速度進行檢測的加速度傳感器，還可以為對鉛直方向(Z軸方向)上的加速度進行檢測的加速度傳感器。此外，本發(fā)明所涉及的功能元件不限定于加速度傳感器，例如，也可以為對角速度進行檢測的陀螺傳感器。此外，功能元件100只要為將可動電極部與固定電極部設成梳齒狀的元件，貝1J也可以為MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微電子機械系統(tǒng))振子等的物理量傳感器以外的元件。
[0104]此外，雖然在上文中，對第一對置部61a具有突起部65的示例進行了說明，但第一可動電極指51的與第一對置部61a對置的部分也可以具有突起部65。同樣地，可動電極指53、55、56的與對置部63a、62a、64a對置的部分也可以具有突起部65。
[0105]功能元件100例如具有以下的特征。
[0106]所述功能元件100包括:可動體20，其能夠沿著X軸進行位移；固定部3，其通過連結部40而對可動體20進行支承；可動電極部8(可動電極指51、52)，其從可動體20起延伸；固定電極部71，其以與可動電極部8(第二可動電極指52)對置的方式而配置；延伸部61，其從固定部3起延伸，并具備與可動電極部8 (第一可動電極指51)的側面對置的對置部61a，對置部61a與可動電極部8 (第一可動電極指51)之間的距離LI小于固定電極部71與可動電極部8 (第二可動電極指52)之間的距離L2。即，可動電極部8沿著X軸而被設置有多個，對置部61a與和所述對置部61a對置的可動電極部8(第一可動電極指51)之間的距離LI小于固定電極部71與其他可動電極部8 (第二可動電極指52)之間的距離L2，因此，在功能元件100中，在因過度的加速度而在可動體20上作用有一 X軸方向上的力的情況下，在第二可動電極指52與第一固定電極部71碰撞之前，第一可動電極指51將與第一對置部61a碰撞。因此,在功能兀件100中，能夠抑制第二可動電極指52及第一固定電極部71產(chǎn)生破損的情況。
[0107]并且，在功能元件100中，由于延伸部61從固定部30起延伸，因此對置部61a能夠具有與可動電極部8相等的電位。由此，能夠抑制在第一可動電極指51與對置部61a碰撞時，第一可動電極指51貼在對置部61a上的情況。
[0108]并且，在功能元件100中，能夠抑制例如在對硅基板進行蝕刻，從而形成可動體20、第一可動電極指51及延伸部61時，第一可動電極指51貼在對置部61a上的情況。在對置部不與可動電極指為相等電位的情況下，由于靜電力與對置部和可動電極部之間的間隙G的倒數(shù)的平方(1/G)2成比例，因此，可動電極部有時會貼在第一對置部上。
[0109]通過上述方式，功能元件100能夠準確地對物理量(加速度)進行檢測，從而能夠確保可靠性。
[0110]在功能元件100中，在第一延伸部61的第一對置部61a及可動電極部8 (第一可動電極指51)的與第一對置部61a對置的部分中的至少一方上，設置有突起部65。因此，在功能元件100中，在因過度的加速度而在可動體20上作用有一 X軸方向上的力的情況下，第一可動電極指51能夠與突起部65碰撞。因此，在功能元件100中，與不具有突起部65的方式相比，能夠減小第一可動電極指51與第一對置部61a的接觸面積。由此，能夠更加可靠地抑制第一可動電極指51貼在第一對置部61a上的情況。
[0111]同樣地，在對置部62a、63a、64a上分別設置有突起部65。因此，能夠更加可靠地抑制可動電極指53、55、56分別貼在對置部63a、62a、64a上的情況。
[0112]在功能元件100中，固定部3、延伸部61、62、63、64、連結部40、44、可動電極部8以及可動體20被設置為一體。由此，在功能元件100中，例如通過對一張硅基板進行加工，便能夠一體地形成固定部3、延伸部61、62、63、64、連結部40、44、可動電極部8以及可動體20。
[0113]在功能元件100中，第一延伸部61及第一可動電極指51以包圍連結部40的梁41的方式而設置。因此，能夠抑制例如由于配線81、82而在連結部40上作用有不必要的靜電力的情況。連結部40、44為會對功能元件100的靈敏度具有較大影響的部分，當在連結部上作用有不必要的靜電力時，有時會使功能元件的靈敏度降低。
[0114]同樣地，延伸部63、62、64及可動電極指53、55、56分別以包圍梁46、42、45的方式而設置。因此，能夠抑制在連結部40、44上作用有不必要的靜電力的情況。
[0115]在功能元件100中，第三對置部63a與第三可動電極指53之間的距離L3小于第二固定電極部72與第四可動電極指54之間的距離L4。因此，在功能元件100中，在因過度的加速度而在可動體20上作用有+X軸方向上的力的情況下，在第四可動電極指54與第二固定電極部72碰撞之前，第三可動電極指53將與第三對置部63a碰撞。因此，在功能元件100中，能夠抑制第四可動電極指54及第二固定電極部72產(chǎn)生破損的情況。
[0116]并且，在功能元件100中，第三延伸部63能夠與上述的第一可動電極指51及第一對置部61a同樣地，抑制第三可動電極指53貼在第三對置部63a上的情況。
[0117]并且，在功能元件100中，能夠通過對置部61a、63a，來抑制可動體20進行旋轉(具體而言，以穿過中心O的Z軸為中心而逆時針地進行旋轉)的情況。例如，在固定部具有突起部，在可動電極部與固定電極部碰撞前，可動體與固定部的突起部碰撞的方式中，難以通過突起部來抑制可動體的旋轉。即，在功能元件100中，對置部61a、63a與從可動體起相互向相反方向延伸的可動電極指51、53對置，從而能夠增大對置部61a、63a之間的Y軸方向上的距離。因此，在功能元件100中，與上述的方式(可動體與固定部的突起部碰撞的方式)相比，能夠抑制可動體20的旋轉。其結果為，在功能元件100中，能夠更加準確地對加速度進行檢測。
[0118]在功能元件100中，第二對置部62a與第五可動電極指55之間的距離L5小于第三固定電極部73與第四可動電極指54之間的距離L6。并且，第四對置部64a與第六可動電極指56之間的距離L7小于第四固定電極部74與第二可動電極指52之間的距離L8。因此，在功能元件100中，與上述內(nèi)容同樣地，能夠抑制可動體20進行旋轉(具體而言，以穿過中心O的Z軸為中心順時針地進行旋轉)的情況。
[0119]在功能元件100中，可動電極部8具備第一可動電極部6和第二可動電極部7，所述第一可動電極部6沿著與X軸交叉的Y軸而從可動體20的一端起延伸，所述第二可動電極部7從與所述一端的相反側的另一端起延伸，并且，在功能元件100中，具備第一延伸部61和第二延伸部62,所述第一延伸部61從第一固定部30起延伸，并具備與第一可動電極部6 (第一可動電極指51)的側面對置的第一對置部61a，所述第二延伸部62從所述第一固定部30起延伸，并具備與第二可動電極部7 (第五可動電極指55)的側面對置的第二對置部62a。因此，在功能元件100中，能夠抑制可動體20進行旋轉的情況。
[0120]在功能元件100中，固定部3具備第一固定部30及第二固定部32，可動體20通過連結部40、44而被第一固定部30及第二固定部32支承，可動電極部8具備第一可動電極部6和第二可動電極部7，所述第一可動電極部6沿著與X軸交叉的Y軸而從可動體20的一端起延伸，所述第二可動電極部7從所述一端的相反側的另一端起延伸，并且，在功能元件100中，具備第一延伸部61和第三延伸部63，所述第一延伸部61從第一固定部30起延伸，并具備與第一可動電極部6 (第一可動電極指51)的側面對置的第一對置部61a，所述第三延伸部63從第二固定部32起向與第一延伸部61相反的方向延伸，并具備與第二可動電極部7 (第三可動電極指53)的側面對置的第三對置部63a。因此，在功能元件100中，能夠抑制可動體20進行旋轉的情況。
[0121]1.2.功能元件的制造方法
[0122]接下來，參照附圖對第一實施方式所涉及的功能元件的制造方法進行說明。圖3至圖5為，模式化地表示第一實施方式所涉及的功能元件100的制造工序的剖視圖，并與圖2相對應。
[0123]如圖3所示，例如對玻璃基板進行圖案形成(具體而言，通過光刻及蝕刻來進行圖案形成)，從而形成凹部14及槽部16、17、18。通過本工序，能夠獲得形成有凹部14及槽部16、17、18 的基板 10。
[0124]然后，分別在槽部16、17、18中形成配線81、82、83。然后，在配線81、82、83上形成接觸部80。然后，以與配線81、82、83連接的方式而分別形成襯墊84、85、86。接觸部80、配線 81、82、83 以及襯墊 84、85、86 例如通過由派射法或 CVD(Chemical Vapor Deposit1n:化學氣相沉積)法實施的成膜以及圖案形成而被形成。另外，形成接觸部80的工序和形成襯墊84、85、86的工序的順序可以為任意順序。
[0125]另外，優(yōu)選為，接觸部80被形成為，與基板10的上表面12相比向上方突出。由此，能夠使接觸部80與后文敘述的硅基板102可靠地接觸。
[0126]如圖4所示，例如將硅基板102接合于基部10上。基部10與硅基板102的接合例如通過陽極接合來實施。由此，能夠牢固地將基板10和硅基板102接合在一起。
[0127]如圖5所示，例如通過研磨機對硅基板102進行研磨而使之薄膜化之后，以預定的形狀進行圖案形成，從而一體地形成可動體20、固定部30、32、連結部40、44、可動電極部8以及延伸部61?64。并且，在本工序中，形成固定電極部71?74。本工序中的圖案形成的蝕刻可以通過博世(Bosch)法來實施。
[0128]如圖2所示，將蓋體90接合于基板10上，從而將可動體20等收納在由基板10及蓋體90形成的腔室92中?；?0與蓋體90的接合例如通過陽極接合來實施。由此，可以牢固地將基板10與蓋體90接合在一起。通過在惰性氣體的氣氛下實施本工序，從而能夠將惰性氣體填充于腔室92中。
[0129]通過以上的工序，從而能夠制造出功能元件100。
[0130]1.3功能元件的改變例
[0131]1.3.1第一改變例
[0132]接下來，參照附圖對第一實施方式的第一改變例所涉及的功能元件進行說明。圖6為，模式化地表示第一實施方式的改變例所涉及的功能元件200的俯視圖。
[0133]另外，為了便于說明，在圖6中，以透視蓋體90的方式進行圖示。此外，在圖6中，作為相互正交的三個軸而圖示了 X軸、Y軸及Z軸。
[0134]以下，在第一實施方式的第一改變例所涉及的功能元件200中，對具有與第一實施方式所涉及的功能元件100的結構部件相同功能的部件標注相同的符號，并省略其詳細說明。上述情況在下文所示的第一實施方式的第二改變例所涉及的功能元件300中也是相同的。
[0135]在功能元件100中，如圖1所示，可動電極指51?56的寬度(X軸方向上的大小)互為相等。與此相對，在功能元件200中，如圖6所示，可動電極指51、53、55、56的寬度W1、W3、W5、W6大于可動電極指52、54的寬度W2、W4。
[0136]在功能元件200中，由于寬度W1、W3、W5、W6大于寬度W2、W4，因此，可動電極指51、53、55、56與可動電極指52、54相比，能夠具有較高的剛性。因此，在功能元件100中，能夠抑制在可動電極指51、53、55、56分別與對置部61a、63a、62a、64a碰撞時，可動電極指51、53、55、56產(chǎn)生破損的情況。
[0137]1.3.2第二改變例
[0138]接下來，參照附圖對第一實施方式的第二改變例所涉及的功能元件進行說明。圖7為，模式化地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的功能元件300的俯視圖。
[0139]另外，為了便于說明，在圖7中，以省略槽部16、17、18、配線81、82、83及襯墊84、85、86的方式進行圖示。此外，在圖7中，以透視蓋體90的方式進行圖示。此外，在圖7中，作為相互正交的三個軸而圖示了 X軸、Y軸及Z軸。上述情況在下文所示的圖8及圖9中也是相同的。
[0140]在功能元件100中，如圖1所示，可動體20的平面形狀為長方形。與此相對，在功能元件300中，如圖7所示，可動體20具有凸部21、22。
[0141]可動體20的第一凸部21位于連結部40的梁41、42之間。即，可動體20以在梁41與梁42之間延伸的方式而設置。在圖示的示例中，第一凸部21的平面形狀為矩形。在俯視觀察時，第一凸部21從可動體20的具有長方形形狀的部分(連接有可動電極指51?56的部分)起向一 X軸方向延伸。
[0142]此處，連結部40的梁41由在Y軸方向上延伸的第一梁部4和在X軸方向上延伸的第二梁部5構成。在圖示的示例中，第一梁部4的平面形狀為具有沿著Y軸的長邊的長方形。第二梁部5的平面形狀為具有沿著X軸的長邊的長方形。相鄰的第一梁部4之間的距離為D。同樣地，梁42、45、46由第一梁部4及第二梁部5構成。
[0143]優(yōu)選為，可動體20的第一凸部21與梁41之間的距離Dl和相鄰的第一梁部4之間的距離D相等。并且，優(yōu)選為，距離Dl和第一延伸部61的第二部分61c與梁41之間的距離D2相等。同樣地，優(yōu)選為，第一凸部21與梁42之間的距離D3與距離D相等。并且，優(yōu)選為，距離D3和第三延伸部63的第六部分63c與梁42之間的距離D4相等。
[0144]可動體的第一凸部(延伸出的部分)21與第一固定部30的端部之間的距離La小于第一固定電極部71與第二可動電極指52之間的距離L2。并且，距離La小于第三固定電極部73與第四可動電極指54之間的距離L6。
[0145]可動體20的第二凸部22位于連結部44的兩個梁45、46之間。在圖示的示例中，第二凸部22的平面形狀為矩形。在俯視觀察時，第二凸部22從可動體20的具有長方形形狀的部分(連接有可動電極指51?56的部分)起向+X軸方向延伸。
[0146]優(yōu)選為，可動體20的第二凸部22與梁45之間的距離D5與相鄰的第一梁部4之間的距離D相等。并且，優(yōu)選為，距離D5和第四延伸部64的第八部分64c與梁45之間的距離D6相等。同樣地，優(yōu)選為，第二凸部22與梁46之間的距離D7與距離D相等。并且，優(yōu)選為，距離D7和第二延伸部62的第四部分62c與梁46之間的距離D8相等。
[0147]可動體20的第二凸部(延伸出的部分)22與第二固定部32之間的距離L β小于第二固定電極部72與第四可動電極指54之間的距離L4。并且，距離Li3小于第四固定電極部74與第二可動電極指52之間的距離L8。
[0148]另外，第一凸部21與第一固定部30之間的距離La及第二凸部22與第二固定部32之間的距離LP例如也可以小于距離LI?L8。
[0149]在功能元件300中，由于可動體20具有凸部21、22，從而與功能元件100相比，能夠增大可動體20的質(zhì)量。其結果為，能夠增大在施加有加速度的情況下，作用于可動體20上的力。如此，在所述功能元件300中，能夠利用梁41、42間的空間及梁45、46間的空間，來增大可動體20的質(zhì)量。例如，在固定部具有突起部，在可動電極部與固定電極部碰撞之前，可動體與固定部的突起部碰撞的這種方式中，固定部的突起部將成為障礙，從而存在無法利用連結部的兩個梁之間的空間來增大可動體的質(zhì)量的情況。
[0150]在功能元件300中，距離01、03、05、07與距離0、02、04、06相等。因此，對硅基板102 (參照圖4)進行干式蝕刻而形成連結部40、44時，能夠實現(xiàn)蝕刻速度的均勻化。其結果為，能夠高精度地形成連結部40、44，從而能夠將功能元件300形成所需的特性(按照設計的特性)由此提高靈敏度。例如，在距離01、03、05、07與距離0、02、04、06不同這種方式中，存在由于微負載效應而導致用于形成連結部的蝕刻速度出現(xiàn)偏差的情況。
[0151]在功能元件300中，距離La、小于距離L2、L4、L6、L8。因此，在可動電極指52、54與固定電極部71?74碰撞之前，可動體20將與固定部30、32碰撞。因此，在功能元件300中，能夠抑制可動電極指52、54及固定電極部71?74產(chǎn)生破損的情況。
[0152]2.第二實施方式
[0153]2.1功能元件
[0154]接下來，參照附圖對第二實施方式所涉及的功能元件進行說明。圖8為，模式化地表示第二實施方式所涉及的功能元件400的俯視圖。
[0155]以下，在第二實施方式所涉及的功能元件400中，對具有與第一實施方式所涉及的功能元件100的結構部件相同功能的部件標注相同的符號，并省略其詳細說明。
[0156]在功能元件400中，如圖8所示，第一對置部61a位于第一可動電極指51的+Y軸方向側并與第一可動電極指51對置。S卩，第一對置部61a具有第一部分161和第二部分261，所述第一部分161位于第一可動電極指51的一 X軸方向側并與第一可動電極指51對置，所述第二部分261位于第一可動電極指51的+Y軸方向側并與第一可動電極指51對置。即，第一延伸部61具備與可動電極部8的頂端面對置的部分。在圖示的示例中，第一部分161具有兩個突起部65。第二部分261具有一個突起部65。第二部分261的突起部65與第一可動電極指51之間的距離Tl小于可動體20與固定電極部71、74之間的距離H1。
[0157]同樣地，第二對置部62a具有第三部分162和第四部分262，所述第三部分162位于第五可動電極指55的一 X軸方向側并與第五可動電極指55對置，所述第四部分262位于第五可動電極指55的一 Y軸方向側并與第五可動電極指55對置。第四部分262的突起部65與第五可動電極指55之間的距離T3小于可動體20與固定電極部72、73之間的距離H2。
[0158]第三對置部63a具有第五部分163和第六部分263，所述第五部分163位于第三可動電極指53的+X軸方向側并與第三可動電極指53對置，所述第六部分263位于第三可動電極指53的一 Y軸方向側并與第三可動電極指53對置。第六部分263的突起部65與第三可動電極指53之間的距離T2小于可動體20與固定電極部72、73之間的距離H2。
[0159]第四對置部64a具有第七部分164和第八部分264，所述第七部分164位于第六可動電極指56的+X軸方向側并與第六可動電極指56對置，所述第八部分264位于第六可動電極指56的+Y軸方向側并與第六可動電極指56對置。第八部分264的突起部65與第六可動電極指56之間的距離T4小于可動體20與固定電極部71、74之間的距離H1。
[0160]在功能元件400中，在因過度的加速度而在可動體20上作用有+Y軸方向上的力的情況下，在可動體20與固定電極部71、74碰撞之前，第一可動電極指51將與第一對置部61a的第二部分261碰撞，并且，第六可動電極指56將與第四對置部64a的第八部分264碰撞。因此，在功能元件400中，能夠抑制可動體20及固定電極部71、74產(chǎn)生破損的情況。
[0161]并且，在功能元件400中，在因過度的加速度而在可動體20上作用有一 Y軸方向上的力的情況下，在可動體20與固定電極部72、73碰撞之前，第三可動電極指53將與第三對置部63a的第六部分263碰撞,并且,第五可動電極指55將與第二對置部62a的第四部分262碰撞。因此，在功能元件400中，能夠抑制可動體20及固定電極部72、73產(chǎn)生破損的情況。
[0162]2.2功能元件的制造方法
[0163]接下來，對第二實施方式的功能元件的制造方法進行說明。第二實施方式的功能元件的制造方法與第一實施方式的功能元件的制造方法基本相同。因此，省略其說明。
[0164]2.3功能元件的改變例
[0165]接下來，參照附圖對第二實施方式的改變例所涉及的功能元件進行說明。圖9為，模式化地表示第二實施方式的改變例所涉及的功能元件500的俯視圖。
[0166]以下，在第二實施方式的改變例所涉及的功能元件500中，對具有與第一實施方式所涉及的功能元件100、第二實施方式所涉及的功能元件400的結構部件相同功能的部件標注相同的符號，并省略其詳細說明。
[0167]在功能元件400中，如圖8所示，在對置部61a、62a、63a、64a的部分261、262、263、264上分別設置有一個突起部65。與此相對，在功能元件500中，如圖9所示，在對置部61a、62a、63a、64a的部分261、262、263、264上，分別設置有多個突起部65。在圖示的示例中，部分261、262、263、264分別具有兩個突起部65。
[0168]在功能元件500中，第一可動電極指51的頂端部59的寬度(X軸方向上的大小)Wa大于第一可動電極指51的根部(第一可動電極指51與可動體20的邊界)的寬度WB。由此，能夠增大第一可動電極指51與第一對置部61a的第二部分261對置的面積，從而能夠增加突起部65的數(shù)量。
[0169]同樣地，在功能元件500中，可動電極指53、55、56的頂端部59的寬度Wa大于可動電極指53、55、56的根部(可動電極指53、55、56與可動體20的邊界)的寬度WB。
[0170]在功能元件500中，與功能元件400相比，能夠增加對置部61a、62a、63a、64a的部分261、262、263、264所具有的突起部65的數(shù)量。由此，能夠減小在部分261、262、263、264的突起部65分別與可動電極指51、55、53、56碰撞時，施加在每個突起部65上的沖擊。其結果為，能夠抑制突起部65及可動電極指51、53、55、56產(chǎn)生破損的情況。
[0171]3.第三實施方式
[0172]接下來，參照附圖對第三實施方式所涉及的電子設備進行說明。第三實施方式所涉及的電子設備包含本發(fā)明所涉及的功能元件。以下，對包含作為本發(fā)明所涉及的功能元件的功能元件100的電子設備進行說明。
[0173]圖10為，模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的便攜型(或筆記本型)的個人計算機1100的立體圖。
[0174]如圖10所示，個人計算機1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部1108的顯示單元1106構成，顯示單元1106以能夠經(jīng)由鉸鏈結構部而相對于主體部1104進行旋轉的方式被支承。
[0175]在這種個人計算機1100中內(nèi)置有功能元件100。
[0176]圖11為，模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的便攜式電話(也包括PHS (Personal Handy-phone System:個人移動電話系統(tǒng)))1200的立體圖。
[0177]如圖11所示，便攜式電話1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。
[0178]在這種便攜式電話1200中內(nèi)置有功能元件100。
[0179]圖12為，模式化地表示作為第三實施方式所涉及的電子設備的數(shù)碼照相機1300的立體圖。另外，圖12中，還簡單地圖示了與外部設備之間的連接。
[0180]此處，通常的照相機通過被攝物體的光圖像而對銀鹽感光膠片進行感光，與此相對，數(shù)碼照相機1300通過CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合裝置)等攝像元件而對被攝物體的光圖像進行光電轉換，從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0181]在數(shù)碼照相機1300的殼體(主體)1302的背面上設置有顯示部1310，并且成為根據(jù)由CXD產(chǎn)生的攝像信號來進行顯示的結構，顯示部1310作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。
[0182]此外，殼體1302的正面?zhèn)?圖中的背面?zhèn)?設置有包括光學鏡片(攝像光學系統(tǒng))及CXD等在內(nèi)的受光單元1304。
[0183]當攝像者對被顯示于顯示部1310上的被攝物體圖像進行確認，并按下快門按鈕1306時，該時間點的CXD的攝像信號將被傳送并存儲于存儲器1308中。
[0184]此外，在所述數(shù)碼相機1300中，在殼體1302的側面上設置有影像信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，根據(jù)需要而在影像信號輸出端子1312上連接有視頻監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機1440。并且，成為如下的結構，即，通過預定的操作，從而使被存儲于存儲器1308中的攝像信號被輸出至視頻監(jiān)視器1430或個人計算機1440。
[0185]在這種數(shù)碼照相機1300中內(nèi)置有功能元件100。
[0186]由于以上這種電子設備1100、1200、1300包含功能元件100，因此能夠準確地對物理量進行檢測。
[0187]另外，具備功能元件100的電子設備除了能夠應用于圖10所示的個人計算機(便攜式個人計算機)、圖11所示的便攜式電話、圖12所示的數(shù)碼照相機之外，還能夠應用于如下裝置中，例如，噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、各種導航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、電子計算器、電子游戲設備、頭戴式顯示器、文字處理機、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠鏡、POS (point of sale:銷售點)終端、醫(yī)療設備(例如、電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測儀、各種測量設備、計量儀器類(例如、車輛、航空器、火箭、船舶的計量儀器類)、機器人或人體等的姿態(tài)控制、飛行模擬器等。
[0188]4.第四實施方式
[0189]接下來，參照附圖對第四實施方式所涉及的移動體進行說明。第四實施方式所涉及的移動體包含本發(fā)明所涉及的物理量傳感器。以下，對包含作為本發(fā)明所涉及的物理量傳感器的功能元件100的移動體進行說明。
[0190]圖13為，模式化地表示作為第四實施方式所涉及的移動體的汽車1500的立體圖。
[0191]在汽車1500中內(nèi)置有功能元件100。具體而言，如圖13所示，在汽車1500的車身1502上搭載有電子控制單元(EQhElectronic Control Unit) 1504,所述電子控制單元1504內(nèi)置對汽車1500的加速度進行檢測的功能元件100并對發(fā)動機的輸出進行控制。此外，功能元件100除此以外，還能夠廣泛地應用于車身姿態(tài)控制單元、防抱死制動系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)中。
[0192]由于汽車1500包含功能元件100，因此能夠準確地對物理量進行檢測。
[0193]上述實施方式及改變例僅為一個示例，并非被限定于此。例如，也可以適當?shù)亟M合各個實施方式及各個改變例。
[0194]本發(fā)明包括與實施方式中所說明的結構實質(zhì)上相同的結構(例如，功能、方法及結果相同的結構，或目的及效果相同的結構)。此外，本發(fā)明包括對實施方式中所說明的結構的非本質(zhì)部分進行了替換的結構。此外，本發(fā)明還包括能夠實現(xiàn)與實施方式中所說明的結構相同的作用效果的結構，或能夠達到相同目的結構。此外，本發(fā)明還包括在實施方式中所說明的結構上附加了公知技術的結構。
[0195]符號說明
[0196] 2…空隙；4…第一梁部；5…第二梁部；6…第一可動電極部；7…第二可動電極部；8…可動電極部；10...基板；12…上表面；14...凹部；15...夕卜緣；16...第一槽部；17…第二槽部；18…第三槽部；20…可動體；21…第一凸部；22…第二凸部；30…第一固定部；32…第二固定部;40…第一連結部;41、42…梁；44…第二連結部；45、46…梁；51…第一可動電極指；52…第二可動電極指；53…第三可動電極指；54…第四可動電極指；55…第五可動電極指；56…第六可動電極指；61…第一延伸部；61a…第一對置部；61b…第一部分；61c…第二部分；62…第二延伸部；62a…第二對置部；62b…第三部分；62c…第四部分；63…第三延伸部；63a…第三對置部；63b…第五部分；63c…第六部分；64…第四延伸部；64a…第四對置部；64b…第七部分；64c…第八部分；65…突起部；71…第一固定電極部；72…第二固定電極部；73…第三固定電極部；74…第四固定電極部；80…接觸部；81…第一配線；82...第二配線;83…第三配線;84…襯墊;85…襯墊;86…襯墊;90…蓋體;92…腔室;100…功能兀件;102…娃基板;161…第一部分；162…第三部分；163…第五部分；164…第七部分；200…功能元件；261…第二部分；262…第四部分；263…第六部分；264…第八部分；300、400、500…功能元件；1100…個人計算機;1102…鍵盤;1104…主體部;1106…顯示單元；1108…顯示部;1200…便攜式電話;1202…操作按鈕;1204…聽筒;1206…話筒;1208…顯示部；1300…數(shù)碼照相機；1302…殼體；1304…受光單元；1306…快門按鈕;1308…存儲器；1310…顯示部；1312…影像信號輸出端子；1314…輸出輸入端子；1430…視頻監(jiān)視器；1440…個人計算機;1500…汽車;1502…車身；1504…電子控制單元。
【權利要求】
1.一種功能元件,包括: 可動體，其能夠沿著第一軸而進行位移； 固定部，其通過連結部而對所述可動體進行支承； 可動電極部，其從所述可動體起延伸； 固定電極部，其以與所述可動電極部對置的方式而配置； 延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述可動電極部的側面對置的對置部，所述對置部與所述可動電極部之間的距離小于所述固定電極部與所述可動電極部之間的距離。
2.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述可動電極部沿著所述第一軸而被設置有多個， 所述對置部與和所述對置部對置的所述可動電極部之間的距離小于所述固定電極部與其他所述可動電極部之間的距離。
3.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述可動電極部沿著所述第一軸而被設置有多個， 與所述對置部對置的所述可動電極部的寬度大于其他所述可動電極部的寬度。
4.如權利要求1所述的功能元件，其中， 在所述延伸部的所述對置部以及所述可動電極部的與所述對置部對置的部分中的至少一方上，設置有突起部。
5.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述延伸部具備: 第一部分，其從所述固定部起沿著與所述第一軸交叉的第二軸而延伸； 第二部分，其從所述第一部分起在所述第一軸的方向上延伸，并在端部上具備所述對置部。
6.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述固定部、所述延伸部、所述連結部、所述可動電極部以及所述可動體被設置為一體。
7.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述延伸部具備與所述可動電極部的頂端面對置的部分。
8.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述連結部包括以所述第一軸為界而被配置于一側的第一連結部和被配置于另一側的第二連結部， 所述可動體以在所述第一連結部與所述第二連結部之間延伸的方式而設置。
9.如權利要求8所述的功能元件，其中， 所述可動體的延伸出的部分的端部與所述固定部的端部之間的距離小于所述固定電極部與所述可動電極部之間的距離。
10.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述可動電極部具備第一可動電極部和第二可動電極部，所述第一可動電極部沿著與所述第一軸交叉的第二軸而從所述可動體的一端起延伸，所述第二可動電極部從所述一端的相反側的另一端起延伸， 所述功能元件具備: 作為所述延伸部的第一延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述第一可動電極部的側面對置的第一對置部； 作為所述延伸部的第二延伸部，其從所述固定部起延伸，并具備與所述第二可動電極部的側面對置的第二對置部。
11.如權利要求1所述的功能元件，其中， 所述固定部具備第一固定部及第二固定部， 所述可動體通過所述連結部而被所述第一固定部及所述第二固定部支承， 所述可動電極部具備第一可動電極部和第二可動電極部，所述第一可動電極部沿著與所述第一軸交叉的第二軸而從所述可動體的一端起延伸，所述第二可動電極部從所述一端的相反側的另一端起延伸， 所述功能元件具備: 作為所述延伸部的第一延伸部，其從所述第一固定部起延伸，并具備與所述第一可動電極部的側面對置的第一對置部； 作為所述延伸部的第三延伸部，其從所述第二固定部起向與所述第一延伸部相反的方向延伸，并具備與所述第二可動電極部的側面對置的第三對置部。
12.如權利要求2所述的功能元件，其中， 所述可動電極部沿著所述第一軸而被配置有多個， 與所述對置部對置的所述可動電極部的寬度大于其他所述可動電極部的寬度。
13.如權利要求2所述的功能元件，其中， 在所述延伸部的所述對置部以及所述可動電極部的與所述對置部對置的部分中的至少一方上，設置有突起部。
14.如權利要求3所述的功能元件，其中， 在所述延伸部的所述對置部以及所述可動電極部的與所述對置部對置的部分中的至少一方上，設置有突起部。
15.如權利要求2所述的功能元件，其中， 所述延伸部具備: 第一部分，其從所述固定部起沿著與所述第一軸交叉的第二軸而延伸； 第二部分，其從所述第一部分起在所述第一軸的方向上延伸，并在端部上具備所述對置部。
16.如權利要求3所述的功能元件，其中， 所述延伸部具備: 第一部分，其從所述固定部起沿著與所述第一軸交叉的第二軸而延伸； 第二部分，其從所述第一部分起在所述第一軸的方向上延伸，并在端部上具備所述對置部。
17.如權利要求4所述的功能元件，其中， 所述延伸部具備: 第一部分，其從所述固定起沿著與所述第一軸交叉的第二軸而延伸； 第二部分，其從所述第一部分起在所述第一軸的方向上延伸，并在端部上具備所述對置部。
18.一種電子設備，其包括權利要求1所述的功能元件。
19.一種移動體,其包括權利要求1所述的功能元件。
【文檔編號】G01P15/125GK104297523SQ201410340387
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月16日 優(yōu)先權日:2013年7月17日
【發(fā)明者】田中悟 申請人:精工愛普生株式會社