壓力檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種壓力檢測裝置，其可減輕調(diào)整磁傳感器時的負(fù)擔(dān)，該壓力檢測裝置(1)包括：可根據(jù)第1空間(S1)內(nèi)的壓力而變形的隔膜(5)；可根據(jù)隔膜(5)的變形而移動的移動部件(7)；與移動部件(7)一同移動的磁體(13)；和磁傳感器(12)。磁傳感器(12)包括可檢測磁體的磁束朝向的巨磁阻元件?？衫玫?調(diào)整機構(gòu)調(diào)整磁體(13)和磁傳感器(12)在移動部件(7)的移動方向上的相對位置，并可利用第2調(diào)整機構(gòu)調(diào)整磁體(13)和磁傳感器(12)在移動部件(7)的移動方向和與連結(jié)磁體(13)各極的方向交差的方向上的相對位置。
【專利說明】壓力檢測裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種壓力檢測裝置，尤其涉及一種通過利用磁傳感器對因壓力變化而移動的磁體的磁場進行檢測，而進行壓力檢測的壓力檢測裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有如下所述的壓力檢測裝置，其在由隔膜(Diaphragm)隔開的空間內(nèi)連通作為壓力檢測對象的流體，使隔膜在壓力變化下產(chǎn)生變形，并根據(jù)該變形量檢測壓力(請參考例如專利文獻I)。該壓力檢測裝置包括，作為磁傳感器的霍爾1C、固定在與該霍爾IC對置的位置處的永磁體、相對于霍爾IC安裝在永磁體相反側(cè)的盤(plate)。該盤是將I片鐵板和兩片樹脂板層疊而成。使鐵板相對于各樹脂板的位置不同，而準(zhǔn)備3種盤，通過選擇安裝任一種的盤，來改變霍爾IC與鐵板的距離。對于該裝置，在進行調(diào)整以使多個制品具有一定的輸出特性時，根據(jù)各制品的輸出特性而改變盤的種類，或調(diào)整霍爾IC與鐵板的距離，或不安裝盤。
[0003][現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0004][專利文獻]
[0005]專利文獻1:日本專利公報第5027191號公報
[0006]然而，在上述壓力檢測裝置中，為了使霍爾IC的輸出特性一定，就必須要有多種盤，使盤與壓力檢測裝置彼此分開，因盤丟失或損傷，造成管理負(fù)擔(dān)的問題。另外，為了調(diào)整霍爾IC和鐵板的距離，除了需要卸下已安裝的盤的作業(yè)外，還需要保管卸下的盤等作業(yè)，以及安裝另一盤的作業(yè)，存在調(diào)整中作業(yè)性差的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明有鑒于上述情形，其目的在于提供一種壓力檢測裝置，其能夠減輕對磁傳感器進行調(diào)整時的負(fù)擔(dān)。
[0008]本發(fā)明的壓力檢測裝置，其特征在于，包括:箱體，具有能夠使流體流入流出的連通部；隔膜，隔開該箱體而形成第I空間和第2空間，能夠根據(jù)與所述連通部連通的第I空間內(nèi)的壓力而變形；移動部件，配置于所述第2空間，能夠根據(jù)所述隔膜的變形而移動；施力部件，能夠變形地支撐所述隔膜；磁體，與所述移動部件一同移動；和磁傳感器，配置于所述第2空間，檢測來自所述磁體的磁場，所述磁體被磁化為在與所述移動部件的移動方向交差的方向上成為異極，所述壓力檢測裝置具有第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)，所述第I調(diào)整機構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第I方向上的相對位置，所述第I方向是沿著所述移動部件的移動方向的方向，所述第2調(diào)整機構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第2方向上的相對位置，所述第2方向是與所述移動部件的移動方向交差且與連結(jié)所述磁體的各極的方向交差的方向，所述磁傳感器包括能夠檢測磁束的朝向的巨磁阻元件。
[0009]根據(jù)上述壓力檢測裝置，由于使用檢測磁束朝向的巨磁阻元件作為磁傳感器，因此能夠不受磁體磁場強弱的影響，準(zhǔn)確地檢測磁體位置。由此，不必如現(xiàn)有的裝置那樣準(zhǔn)備多種盤，既能夠利用各調(diào)整機構(gòu)調(diào)整磁傳感器和磁體的相對位置，并且不需要更換盤的作業(yè)等，能夠減輕調(diào)整的負(fù)擔(dān)。另外，由于能夠利用第2調(diào)整機構(gòu)在移動部件的移動方向和與連結(jié)磁體各極的方向交差的方向上調(diào)整磁體和磁傳感器的相對位置，因此能夠調(diào)整輸出電壓相對于所檢測的壓力的變化特性(單位壓力下的輸出電壓)。由此，能夠使多個制品的輸出特性恒定。
[0010]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選具有保持所述磁體的保持部件，所述第I調(diào)整機構(gòu)包括:柱狀部，與所述移動部件相連設(shè)置，在外周形成有外螺紋；和螺紋部件，支撐所述保持部件，并且形成有與所述柱狀部咬合的內(nèi)螺紋，通過使所述柱狀部與所述螺紋部件相對轉(zhuǎn)動，使該螺紋部件在所述柱狀部的軸線方向上移動，從而能夠調(diào)整所述保持部件和所述磁體在所述第I方向上的位置。
[0011]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機構(gòu)包含相對于所述柱狀部能夠轉(zhuǎn)動地支撐所述保持部件的所述螺紋部件而構(gòu)成，利用所述保持部件的該轉(zhuǎn)動，來調(diào)整所述磁體在所述第2方向上相對于所述磁傳感器的位置。此時，通過由螺紋部件能夠旋轉(zhuǎn)地支撐保持部件而構(gòu)成第2調(diào)整機構(gòu)，由此，也能夠以簡單的結(jié)構(gòu)調(diào)整磁體的位置。
[0012]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述保持部件具有貫通部，所述柱狀部能夠相對轉(zhuǎn)動地插通該貫通部，所述螺紋部件具有插通并卡止于所述貫通部的卡止片，通過該卡止片與所述保持部件卡止，限制所述保持部件相對于所述螺紋部件向所述移動部件的移動方向的移動。此時，由于螺紋部件具有卡止保持部件的卡止片，因此，能夠使保持部件和磁體與螺紋部件一體地向柱狀部的延伸方向(軸線方向)移動，容易進行基于第I調(diào)整機構(gòu)的位置調(diào)整。另外，能夠?qū)⑦@兩個部件作為一個部件來處理，而容易將其安裝于柱狀部。
[0013]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機構(gòu)具有突出部，該突出部形成于所述保持部件，并向與所述移動部件的移動方向交差的方向突出。此時，通過對突出部作用力，能夠容易地使保持部件旋轉(zhuǎn)，容易進行基于第2調(diào)整機構(gòu)的位置調(diào)整。
[0014]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述保持部件的第2殼體，所述第2殼體具有能夠轉(zhuǎn)動地引導(dǎo)所述螺紋部件的筒狀的引導(dǎo)部和使所述保持部件露出到所述第2殼體的外部的開口部。此時，利用引導(dǎo)部引導(dǎo)螺紋部件旋轉(zhuǎn)，因而在該旋轉(zhuǎn)作用下平順地進行第I調(diào)整機構(gòu)的位置調(diào)整。另外，能夠經(jīng)開口部從第2殼體外部容易地進行操作來轉(zhuǎn)動保持部件。
[0015]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選在利用所述第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)進行了調(diào)整后，利用粘接劑以不能相對轉(zhuǎn)動且不能相對移動的方式固定所述柱狀部、保持部件和螺紋部件。此時，能夠防止在利用各調(diào)整機構(gòu)完成調(diào)整后，輸出特性發(fā)生不希望的變化。
[0016]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述施力部件由設(shè)置于所述第I空間的板簧構(gòu)成。此時，由于不必將用于支撐隔膜的彈簧設(shè)置在第2空間，因此能夠緩和在第2空間中對保持部件及螺紋部件安裝位置的限制等，能夠有效利用第2空間，并且能夠容易地利用各調(diào)整機構(gòu)進行調(diào)整作業(yè)。
[0017]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機構(gòu)具有對搭載有所述磁傳感器的基板加以支撐的支撐部件，通過使該支撐部件在與所述磁體對置的平面內(nèi)移動，來調(diào)整所述磁體與所述磁傳感器的相對位置。此時，能夠通過移動支撐部件而利用第2調(diào)整機構(gòu)調(diào)整磁體和磁傳感器的相對位置，能夠調(diào)整壓力和輸出電壓的變化特性。由此，例如通過將支撐部件設(shè)置于箱體，能夠提高第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)的獨立性，簡化基于各調(diào)整機構(gòu)的調(diào)整。
[0018]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機構(gòu)具有與所述支撐部件相連設(shè)置的第I螺紋和與該第I螺紋咬合的第2螺紋，通過旋轉(zhuǎn)該第2螺紋并移動所述第I螺紋，來調(diào)整所述支撐部件的位置。此時，由于第2調(diào)整機構(gòu)使用第I螺紋和第2螺紋的螺合結(jié)構(gòu)來調(diào)整支撐部件的位置，因此能夠容易地對支撐部件的位置進行微調(diào)。
[0019]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選在所述支撐部件的側(cè)部設(shè)置有彈簧部件，利用該彈簧部件，所述支撐部件被向與所述磁體對置的平面內(nèi)的移動方向施力。此時，由于利用彈簧部件對支撐部件施加力，因此能夠防止第I螺紋和第2螺紋的晃動，能夠?qū)⒅尾考呔榷ㄎ挥谡{(diào)整后的位置。
[0020]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述施力部件具有:設(shè)置于所述第I空間，并向所述第2空間側(cè)對所述隔膜施力的第I施力體；和設(shè)置于所述第2空間，經(jīng)由所述移動部件向所述第I空間側(cè)對所述隔膜施力的第2施力體。此時，由于設(shè)置第I施力體和第2施力體這兩個施力體，因此，能夠測定第I空間中的正壓和負(fù)壓兩方。能夠通過變更施力體，來匹配想要測定的壓力。
[0021]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述磁體保持于所述移動部件，所述第I移動機構(gòu)具有形成于所述箱體的內(nèi)螺紋部和形成有與該內(nèi)螺紋部咬合的外螺紋部的螺紋體，利用該螺紋體和所述移動部件夾持著所述第2施力體。此時，能夠利用螺紋體的旋轉(zhuǎn)操作容易地對保持于移動部件的磁體位置進行調(diào)整。
[0022]在上述壓力檢測裝置中，優(yōu)選所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述移動部件的第2殼體，所述第2殼體具有使所述螺紋體露出于該第2殼體的外部的開口部。此時，能夠經(jīng)開口部從第2殼體外部容易地進行操作來轉(zhuǎn)動螺紋體。
[0023][發(fā)明效果]
[0024]根據(jù)本發(fā)明，能夠減輕在對磁傳感器輸出變化特性進行調(diào)整時的負(fù)擔(dān)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1是第I實施方式的壓力檢測裝置的分解立體圖。
[0026]圖2是上述第I實施方式的壓力檢測裝置的剖視圖。
[0027]圖3是組裝上述第I實施方式的壓力檢測裝置后的狀態(tài)的立體圖。
[0028]圖4是上述第I實施方式的壓力檢測裝置中下殼體的立體圖。
[0029]圖5A、圖5B是說明磁傳感器和磁體的位置關(guān)系的圖，圖5C、圖是表不磁傳感器的輸出與第I空間的壓力的關(guān)系的圖表。
[0030]圖6是第2實施方式的壓力檢測裝置的分解立體圖。
[0031]圖7是上述第2實施方式的壓力檢測裝置的剖視圖。
[0032]圖8是組裝上述第2實施方式的壓力檢測裝置后的狀態(tài)的立體圖。
[0033]圖9是上述第2實施方式的壓力檢測裝置中下殼體的立體圖。
[0034]符號說明:
[0035]1:壓力檢測裝置，
[0036]2:箱體，
[0037]3:上殼體(第I殼體)，
[0038]34:連通部，
[0039]4:下殼體(第2殼體)，
[0040]45:引導(dǎo)部，
[0041]5:隔膜(diaphragm),
[0042]6:施力部件，
[0043]7:移動部件，
[0044]71:柱狀部，
[0045]8:保持部件，
[0046]81:貫通部，
[0047]83:突出部，
[0048]9:螺紋部件，
[0049]93:卡止片，
[0050]12:磁傳感器，
[0051]13:磁體，
[0052]Ml:第 I 開口部，
[0053]S1:第 I 空間，
[0054]S2:第 2 空間，
[0055]Ia:壓力檢測裝置，
[0056]120:箱體，
[0057]130:上殼體(第I殼體)，
[0058]139:連通部，
[0059]140:下殼體(第2殼體)，
[0060]148:內(nèi)螺紋部，
[0061]148a:開口部，
[0062]150:隔膜，
[0063]160:施力部件，
[0064]161:第I螺旋彈簧(第I施力體)，
[0065]162:第2螺旋彈簧(第2施力體)，
[0066]170:移動部件，
[0067]190:螺紋體，
[0068]191:外螺紋部，
[0069]202:磁傳感器，
[0070]210:支撐部件，
[0071]213:第 I 螺紋，
[0072]215:第 2 螺紋，
[0073]230:磁體，
[0074]Sla:第 I 空間，
[0075]S2a:第 2 空間。

【具體實施方式】
[0076]下表面結(jié)合附圖詳細說明本發(fā)明的【具體實施方式】。本實施方式的壓力檢測裝置是，例如在洗衣機等中，對隨水位變化的空氣收集器(airtrap)壓力進行檢測時所使用的壓力檢測裝置。而且，本實施方式的壓力檢測裝置的用途不限定于此，可應(yīng)用于任何裝置的壓力檢測。
[0077]圖1是本實施方式的壓力檢測裝置I的分解立體圖。圖2是本實施方式的壓力檢測裝置I的剖視圖。圖3是表示本實施方式的壓力檢測裝置I的外觀的立體圖。以下，為了便于說明，分別稱圖1中所示上下方向和左右方向為“壓力檢測裝置I的上下方向”和“壓力檢測裝置I的左右方向”。另外，稱圖1中所示紙面向外側(cè)為“壓力檢測裝置I的前側(cè)”，稱圖1中所示紙面向里側(cè)為“壓力檢測裝置I的后側(cè)”。
[0078]如圖1?圖3所示，本實施方式的壓力檢測裝置I具有構(gòu)成箱體2的上殼體(第I殼體)3和下殼體(第2殼體)4，箱體2內(nèi)部由隔膜5隔開，形成第I空間SI和第2空間S2 (參照圖2)。上殼體3和下殼體4夾著隔膜5和施力部件6的各外周側(cè),通過使下殼體4的卡合凸部41與上殼體3的卡合孔31卡合而使其形成為一體。在隔膜5的下表面?zhèn)劝惭b有移動部件7，在移動部件7的柱狀部71安裝有保持部件8和螺紋部件9。另外，在下殼體4中保持有基板10。而且，上殼體3、下殼體4、移動部件7、保持部件8和螺紋部件9例如是通過成型絕緣性的樹脂材料制成的。
[0079]上殼體3為向下方側(cè)開口的蓋形，在內(nèi)部形成第I空間SI。上殼體3的頂壁部32形成俯視圓形，并形成有從其周圍向下方側(cè)延伸的側(cè)壁部33。側(cè)壁部33形成圓筒形，其周向隔規(guī)定間隔形成多個上述卡合孔31。在側(cè)壁部33內(nèi)周的上部位置形成有下側(cè)開放的周槽33a (請參考圖2)。在周槽33a的相鄰位置處形成有向下方突出，并與施力部件6的上表面接觸突出部33b。另外，在側(cè)壁部33的外周面，相連設(shè)置有向外側(cè)(右側(cè))延伸的管狀的連通部34，連通部34與第I空間SI連通。對連通部34連接未圖示的配管，使來自外部的作為測定對象的空氣(氣體)通過。因而，檢測壓力空氣經(jīng)連通部34流入或流出第I空間SI。
[0080]下殼體4為向上方側(cè)開口的容器形狀，在內(nèi)部形成第2空間S2。下殼體4的周壁部42形成為大致圓筒形。在周壁部42的上端向上方突出形成環(huán)形的筋42a，筋42a插入上殼體3的周槽33a內(nèi)(請參考圖2)。在周壁部42的筋42a的下部內(nèi)面?zhèn)刃纬捎休d置隔膜5和施力部件6的、由臺階部構(gòu)成的載置部42b。在周壁部42的外周面，且與上殼體3的卡合孔31對應(yīng)的位置處形成有多個上述卡合凸部41。卡合凸部41卡合在其下部區(qū)域的外周緣與卡合孔31的下部內(nèi)周緣接觸的狀態(tài)下，由此，限制上殼體3相對于下殼體4上升，并限制兩者在周向發(fā)生相對轉(zhuǎn)動。
[0081]圖4是從上方觀察下殼體4的簡要立體圖。如圖4所示，周壁部42內(nèi)周面形成為沿著圓筒的形狀。在周壁部42的下端側(cè)形成底壁部43，底壁部43在上表面?zhèn)染哂卸喾N臺階。在底壁部43的左側(cè)，且與周壁部42之間形成方形的第I開口部Ml。另外，在底壁部43的右側(cè)，且與周壁部42之間形成方形的第2開口部M2。從下殼體4的下側(cè)觀察，第I開口部Ml使位于第2空間S2內(nèi)的保持部件8露出于外部(請參考圖2)。在第2開口部M2的前后兩側(cè)分別形成有沿上下方向延伸的保持槽44。在保持槽44內(nèi)部插入并保持基板10的端部。而且，周壁部42的內(nèi)周面并非完全的圓筒面，可以是在呈圓筒形的面上形成若干凹陷等而成的形狀。
[0082]在底壁部43的俯視中央位置形成有沿上下方向延伸圓筒形的引導(dǎo)部45。在引導(dǎo)部45內(nèi)部插入螺紋部件9，以順暢地引導(dǎo)螺紋部件9的上下移動和轉(zhuǎn)動。在引導(dǎo)部45的前后兩側(cè)分別相連設(shè)置有沿上下方向延伸的棱柱部46，在各棱柱部46上形成有引導(dǎo)槽46a。在引導(dǎo)槽46a內(nèi)部插入移動部件7的后述的引導(dǎo)凸部72d。
[0083]隔膜5例如由橡膠等彈性材料成形。如圖2所示，隔膜5具有與移動部件7上表面彼此面接觸的圓盤形的基部51。在該基部51的上表面中央位置處，向上方突出設(shè)置有突出部51a，該突出部51a的形狀為，在上端具有形成有錐面的法蘭部51b。另外，在基部51上表面且圍繞突出部51a的位置處突出設(shè)置有圓環(huán)形筋51c。圓環(huán)形筋51c的高度略小于法蘭部51b的下端。由此，可利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端從上下方向夾住并保持施力部件6的第I部分61。在基部51的下表面形成有多個卡合突部51d，各卡合突部51d可與移動部件7的后述卡合孔72c嵌合。
[0084]隔膜5在其外周具有周緣部52，利用上殼體3的突出部33b和下殼體4的載置部42b夾持該周緣部52，使其固定于箱體2。周緣部52和基部51之間，由厚度小于基部51的薄壁部53相連。在圖2的剖視圖中，薄壁部53向第2空間S2側(cè)以凸形狀突出，呈U字形折回的形狀，而在其下部區(qū)域形成折回部53a。薄壁部53可利用基部51的上下運動，使折回部53a的位置在上下方向上移位而變形。設(shè)定薄壁部53的厚度和硬度，以使得不會因上述變形而產(chǎn)生反作用力。
[0085]施力部件6由俯視外形呈圓形的板簧構(gòu)成，其配置在第I空間SI。施力部件6具有形成其中央?yún)^(qū)域的第I部分61。在第I部分61的面內(nèi)中央位置形成有使隔膜5的突出部51a通過的圓孔61a。在使突出部51a貫通于圓孔61a內(nèi)時,第一部分61承載于圓環(huán)形筋51c上端，而利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端夾住第I部分61。而且，在本實施方式中，使承載并支撐第I部分61的突出部為圓環(huán)形筋51c，但只要是能夠支撐第I部分61的形狀，其并不限于圓環(huán)形。例如，也可以在突出部51a周圍設(shè)置呈圓形或多邊形的多個突出部。
[0086]施力部件6具有形成其外周側(cè)區(qū)域的圓環(huán)形的第2部分62。第2部分62與隔膜5的周緣部52 —同被上殼體3的突出部33b和下殼體4的載置部42b夾持，而與箱體2固定。在第2部分62和第I部分61之間相連設(shè)置有可彈性形變的變形部63。在第I部分61的周向每90°間隔的4處位置形成變形部63，并且僅各個朝向不同，而平面形狀相同。俯視時，變形部63從第I部分61的外緣向第2部分62的內(nèi)緣蜿蜒延伸。變形部63可從圖2所示狀態(tài)，使第I部分61向上方和下方的任一方向移位而發(fā)生彈性形變，與該移位量成比例，對第I部分61施加與移位方向相反方向的力。另外，變形部63被配置為,在使第I部分61支撐于圓環(huán)形筋51c上而與隔膜5固定，并且第2部分62與箱體2固定的狀態(tài)下，與隔膜5的基部51分離。
[0087]移動部件7具有與基部51的下表面和薄壁部53面接觸的移動體72。移動體72具有俯視呈圓形的本體板72a，和連接于該本體板72a的外周，向下方延伸的垂下部72b。在本體板72a相連設(shè)置有從下表面中央位置向下方延伸的柱狀部71，在柱狀部71的外周面形成有外螺紋71a。在本體板72a表面內(nèi)，于4個位置形成有卡合孔72c，該卡合孔72c在使卡合突部51d插入的狀態(tài)下與之卡合，由此使移動體72與基部51的下表面固定。在俯視時，卡合孔72c和卡合突部51d與第I部分61相比位于外側(cè)。垂下部72b位于與下殼體4的周壁部42的內(nèi)周面隔有間隙的位置，在該間隙中配置薄壁部53。在垂下部72b相連設(shè)置有向內(nèi)方突出的一對引導(dǎo)凸部72d(僅在圖1中示出)。引導(dǎo)凸部72d插入引導(dǎo)槽46a(請參考圖4)內(nèi)，限制移動體72周向轉(zhuǎn)動，并可在引導(dǎo)槽46a內(nèi)上下方向自由滑動。
[0088]保持部件8具有貫通部81，該貫通部81具有內(nèi)部插通柱狀部71的貫通孔81a。貫通孔81a的內(nèi)徑尺寸設(shè)定為不與柱狀部71的外表面接觸，并且貫通孔81a可使柱狀部71和保持部件8繞柱狀部71的軸線相對轉(zhuǎn)動。在貫通部81右側(cè)形成有下方開口的保持凹部82 (請參考圖2)。在保持凹部82中收容保持有后述的磁體13。在貫通部81左側(cè)連接形成有呈臂形的一對突出部83。各突出部83的突出方向向左，向著與移動部件7移動的上下方向交差的方向延伸。
[0089]螺紋部件9具有在內(nèi)周面形成內(nèi)螺紋91a的圓筒形的螺合本體91 (請參考圖2)。內(nèi)螺紋91a與柱狀部71的外螺紋71a咬合，使螺合本體91繞柱狀部71的軸線旋轉(zhuǎn)，由此可使螺合本體91沿該軸線方向(上下方向)移動。螺合本體91的外徑尺寸設(shè)定為略小于引導(dǎo)部45的內(nèi)徑尺寸。由此，可利用引導(dǎo)部45的內(nèi)周面引導(dǎo)螺合本體91旋轉(zhuǎn)，并引導(dǎo)螺合本體91上下移動。在螺合本體91底部形成有六角孔91b，可在該六角孔91b中插入六角扳手等工具對螺合本體91進行旋轉(zhuǎn)操作。在螺合本體91上部形成有支撐保持部件8的支撐部92。支撐部92形成為從螺合本體91上部向外突出的法蘭形，在使貫通部81的下表面接觸的狀態(tài)下，從下方支撐保持部件8。
[0090]在螺合本體91上部向上方突出形成一對卡止片93。各卡止片93插入到保持部件8的貫通孔81a中，通過該插通限制保持部件8相對于螺紋部件9向前后和左右方向移動。各卡止片93前端形成為鉤形，可在插通保持部件8的貫通孔81a的狀態(tài)下與貫通部81的上表面卡止。在該卡止?fàn)顟B(tài)下，利用支撐部92和卡止片93從上下方向夾住保持部件8，限制保持部件8相對于螺紋部件9在上下方向移動。由此，螺紋部件9和保持部件8形成為一體化的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，它們可繞螺合本體91的軸線相對轉(zhuǎn)動。另外，在卡止片93的卡止?fàn)顟B(tài)下，利用支撐部92封閉保持凹部82的開口側(cè)，使后述的磁體13不能從保持凹部82脫落。而且，在使移動部件7和螺紋部件9結(jié)合的狀態(tài)下，螺紋部件9支撐保持部件8，使其可相對于柱狀部71轉(zhuǎn)動。該保持部件8和螺紋部件9構(gòu)成可對磁體13和磁傳感器12的相對位置進行調(diào)整的后述第2調(diào)整機構(gòu)。
[0091]基板10被固定在其上半部區(qū)域的前后兩端側(cè)插入到保持槽44內(nèi)的狀態(tài)?；?0經(jīng)線束11與未圖示的外部裝置電連接。在基板10上安裝有磁傳感器12，該磁傳感器12由作為磁阻效應(yīng)元件的一種的巨磁阻(Giant Magneto 一 Resistive:巨磁阻)元件構(gòu)成。對于巨磁阻元件，作為其基本的結(jié)構(gòu)，在晶片(未圖示)上層疊形成交換偏置層(反強磁性層)、固定層(束縛磁性層)、非磁性層和自由層(自由磁性層)。磁傳感器12設(shè)置為可檢測由保持部件8保持的磁體13的磁束方向。對磁體13進行磁化，使其在磁傳感器12側(cè)的右側(cè)為N極，在與磁傳感器12側(cè)的相反側(cè)的左側(cè)為S極，在左右方向上極性相反。在此，由磁傳感器12和磁體13構(gòu)成檢測移動部件7移動的檢測單元。
[0092]下面，對壓力檢測裝置I的組裝方法進行說明。首先，將磁體13插入(壓入)保持部件8的保持凹部82內(nèi)，將各卡止片93插通貫通孔81a而與貫通部81卡止。由此，使保持部件8和螺紋部件9成為一體，由支撐部92封閉保持凹部82而保持磁體13，使其不會從保持部件8脫落。
[0093]然后，將移動部件7與形成為一體的保持部件8和螺紋部件9結(jié)合。在該結(jié)合中，使柱狀部71的前端通過貫通孔81a內(nèi)，并使外螺紋71a與螺合本體91的內(nèi)螺紋91a咬合結(jié)合。通過將工具插入六角孔91b并繞柱狀部71軸線進行旋轉(zhuǎn)操作，可利用該螺紋結(jié)合，使保持部件8和螺紋部件9沿柱狀部71的延伸方向移動，即沿軸線方向(上下方向)移動。
[0094]另外，對移動部件7從移動體72上方覆蓋而安裝隔膜5。在該安裝中，在移動體72的卡合孔72c中插入并嵌合隔膜5的卡合突部51d。由此，以基部51和移動體72的本體板72a上下重合的方式，使移動部件7和隔膜5成為一體。
[0095]在隔膜5的上表面?zhèn)劝惭b施力部件6。在該安裝中，在第I部分61的圓孔61a內(nèi)插入突出部51a，利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端從上下方向夾住施力部件6。此時，施力部件6的第2部分62的外周下表面與周緣部52的上表面發(fā)生面接觸，變形部63離開基部51的上表面，形成非接觸。
[0096]如上所述，保持部件8 (包含所保持的磁體13)、螺紋部件9、移動部件7、隔膜5和施力部件6被組裝成一體，形成組裝的單元，從下殼體4的上方置入該單元。在該置入操作中，在引導(dǎo)部45內(nèi)插入螺合本體91，且形成在引導(dǎo)槽46a中插入移動部件7的引導(dǎo)凸部72d的狀態(tài)。另外，進行定位，使保持部件8的突出部83位于第I開口部Ml的大致正上方，將隔膜5的周緣部52搭在下殼體4的載置部42b上。在該狀態(tài)下，在使上殼體3覆蓋下殼體4的上部區(qū)域后，使卡合凸部41與上殼體3的卡合孔31卡合。由此，作為箱體2，使上殼體3和下殼體4成為一體，并利用載置部42b和上殼體3的突出部33b夾住周緣部52和施力部件6的第2部分62。在該狀態(tài)下,利用施力部件6從上方支撐隔膜5,移動部件7,與其螺紋結(jié)合的螺紋部件9和保持于螺紋部件9的保持部件8形成由隔膜5懸吊的狀態(tài)。
[0097]基板10以經(jīng)下殼體4的第2開口部M2將其前后兩端側(cè)插入到保持槽44內(nèi)的狀態(tài)被固定。作為該固定的方法，可以壓入到保持槽44，也可以使用粘接劑接合。
[0098]上述壓力檢測裝置I組裝方法僅表示一個例子，并不限定于此，對于組裝順序等可進行適當(dāng)變更。只要能夠如圖2和圖3所示，使各組成部件形成組裝后的狀態(tài)，也可以采用各種組裝方法。
[0099]如上所述對壓力檢測裝置I進行組裝，由上殼體3和隔膜5形成第I空間SI。配置在第I空間SI中的組成部件僅有施力部件6，隔膜5的基部51借助突出部51a和圓環(huán)形筋51c與施力部件6中央位置處的第I部分61固定。
[0100]在對壓力檢測裝置I進行組裝后的狀態(tài)下，在下殼體4的隔膜5下方形成第2空間S2。在第2空間S2中配置有移動部件7、與移動部件7螺紋結(jié)合的螺紋部件9、與螺紋部件9卡止的保持部件8和基板10。因此，在第2空間S2中還配置有保持于保持部件8的磁體13和安裝于基板10的磁傳感器12。
[0101]由于在下殼體4形成有第I開口部Ml和第2開口部M2，因此第2空間S2被設(shè)定為與大氣壓相等。另一方面，在上殼體3的連通部34封閉時，第I空間SI形成密閉的空間，其壓力因通過連通部34流入到第I空間SI內(nèi)的空氣而變化。在此，例如圖2所示，在施力部件6的上表面和下表面為水平的狀態(tài)時，第I空間SI的壓力與大氣壓相等。從該狀態(tài)開始，若第I空間Si成為壓力比大氣壓高的正壓，則第I空間SI的容積趨于膨脹，下推基部51的力發(fā)生作用而向下方移位。在該移位的作用下，施力部件6的各變形部63發(fā)生變形，發(fā)生使基部51上升的彈力。然后，基部51向下移位到第I空間SI的壓力與各變形部63的彈力均衡的位置。另外，在第I空間SI形成壓力比大氣壓低的負(fù)壓時，第I空間SI的容積趨于縮小，因此，提起基部51的力發(fā)生作用而向上方移位。在該移位的作用下，施力部件6的各變形部63發(fā)生變形，發(fā)生使基部51下降的彈力。然后，基部51向上方移位到第I空間SI的壓力與各變形部63的彈力均衡的位置。
[0102]在此，對于隔膜5，在基部51向上下方向移動時，薄壁部53的折回部53a的位置向上下方向移位而變形。在該變形中，隔膜5的基部51幾乎不發(fā)生變形，僅薄壁部53變形。另外，因基部51上下移動，移動部件7也以相同的移動量上下移動，以致經(jīng)由螺紋部件9支撐的保持部件8和其上所保持的磁體13也同樣地上下移動。因此，可使磁體13在上下方向上移位，且與第I空間SI的壓力變化成比例，通過如后述對該移位量進行檢測，來檢測第I空間SI的壓力。
[0103]下面，對本實施方式的壓力檢測裝置I中的第I調(diào)整機構(gòu)和基于第I調(diào)整機構(gòu)的調(diào)整方法進行說明。第I調(diào)整機構(gòu)具有上述的柱狀部71和螺紋部件9，可調(diào)整磁體13和磁傳感器12在移動部件7移動方向(上下方向)上的相對位置。在該位置調(diào)整中，首先，在第I開口部Ml中插入棒狀的夾具(未圖示)，使夾具插通一對突出部83之間來限制保持部件8旋轉(zhuǎn)。由于柱狀部71的外螺紋71a和螺紋部件9的內(nèi)螺紋91a咬合，因此，將工具插入螺紋部件9的六角孔91b進行旋轉(zhuǎn)操作，由此使螺紋部件9和保持部件8在上下方向移動。由于磁體13保持于保持部件8,因此磁體13也與保持部件8 一同在上下方向移動,從而調(diào)整磁體13相對于磁傳感器12在上下方向上的相對位置。而且，由于利用夾具限制保持部件8旋轉(zhuǎn)，因此即使對螺紋部件9進行旋轉(zhuǎn)操作，卡止片93也會在貫通孔81a中空轉(zhuǎn)，而確保保持部件8的朝向，使得磁體13左右方向與磁傳感器12對置。
[0104]下面，對本實施方式的壓力檢測裝置I中的第2調(diào)整機構(gòu)和基于第2調(diào)整機構(gòu)的調(diào)整方法進行說明。第2調(diào)整機構(gòu)具有可相對轉(zhuǎn)動的螺紋部件9和保持部件8，其可調(diào)整磁體13和磁傳感器12的相對位置，該相對位置是與移動部件7的移動方向(上下方向)交差的方向，且與連結(jié)磁體13的各極的方向(左右方向)交差的方向，即，前后方向(沿著與圖2的紙面交差的圓弧的方向)。在該位置調(diào)整中，首先，將工具插入六角孔91b，由此可限制螺紋部件9在柱狀部71周向旋轉(zhuǎn)，限制螺紋部件9和磁體13 (保持部件8)上下移動。在該狀態(tài)下，將上述夾具插入第I開口部M1，利用夾具使突出部83在前后方向移位，從而使保持部件8繞柱狀部71和螺紋部件9的卡止片93旋轉(zhuǎn)。這樣，使保持于保持部件8右端側(cè)的磁體13在前后方向移動，而調(diào)整磁體13與磁傳感器12的相對位置。
[0105]下面，結(jié)合圖5對磁傳感器12的輸出調(diào)整進行說明。圖5A和圖5B是說明磁傳感器12和磁體13的位置關(guān)系的圖，圖5A是正面圖，圖5B是圖5A的左視圖。另外，圖5C和圖是表不磁傳感器12的輸出和第I空間SI的壓力的關(guān)系的圖表。在本實施方式中，在制造時或產(chǎn)品出廠前等利用壓力檢測裝置I進行壓力檢測之前的階段，在第I空間SI和第2空間S2壓力相等的狀態(tài)下進行磁傳感器12的輸出調(diào)整。
[0106]如上所述，在組裝壓力檢測裝置I時，如圖5A和圖5B所示，配置磁體13，使其與磁傳感器12向后方及左方離開。在該磁體13和磁傳感器12的位置關(guān)系下，磁傳感器12通過檢測磁體13的磁束朝向，與磁體13的上下方向移位量成比例地增減輸出電壓。具體地，磁體13越向下方移位，磁傳感器12輸出電壓越大，磁體13越向上方移位，輸出電壓越小。如上所述，由于磁體13的上下方向移位量與第I空間SI的壓力變化成比例，因此，在圖5C和圖的圖表中，如實線所示，形成輸出電壓隨著第I空間SI中壓力上升而增大的比例關(guān)系O
[0107]可利用第I調(diào)整機構(gòu)，使磁體13從圖5A和圖5B所示狀態(tài)向上下方向移動。若向下方移動磁體13，則磁傳感器12的輸出電壓增大，因此，磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5C的圖表中實線上方的虛線所示的情形。另一方面，若向上方移動磁體13，則磁傳感器12的輸出電壓減小，因此，磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5C的圖表，實線下方的虛線所示的情形。由此，在第I空間SI和第2空間S2壓力相等的狀態(tài)下，通過利用第I調(diào)整機構(gòu)在上下方向移動磁體13可進行原點調(diào)整，將輸出電壓設(shè)定為一定值。進而，在制造多個壓力檢測裝置I時，能夠保證各壓力檢測裝置I相對于所檢測的壓力的輸出電壓為一定，可避免每個壓力檢測裝置I的輸出存在偏差。
[0108]另外,可利用第2調(diào)整結(jié)構(gòu)使磁體13從圖5A和圖5B所示狀態(tài)向前后方向移動。若向前方移動磁體13,則磁體13接近磁傳感器12,因此,磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5D的圖表中，斜率大于實線的虛線所示情形。另一方面，若向后方移動磁體13，則磁體13遠離磁傳感器12,因此,磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖的圖表中,斜率小于實線的虛線所示情形。由此，通過利用第2調(diào)整機構(gòu)在前后方向移動磁體13，可將圖的圖表的傾斜(單位壓力下的輸出電壓)調(diào)整為一定，通過對多個壓力檢測裝置I進行該調(diào)整，可避免每個壓力檢測裝置I的輸出存在偏差。
[0109]而且，在利用各調(diào)整機構(gòu)進行位置調(diào)整，完成磁傳感器12的輸出調(diào)整后，利用粘接劑固定各調(diào)整機構(gòu)中可相對移位的柱狀部71、螺紋部件9和保持部件8?？赏ㄟ^第I開口部Ml向第2空間S2內(nèi)插入未圖示的噴嘴而注入該粘接劑。
[0110]下面，對基于本實施方式的壓力檢測裝置I的第I空間SI的壓力檢測方法進行說明。如上所述，在因進出連通部34的氣體而使第I空間SI的壓力發(fā)生變化時，磁體13會與該壓力變化成比例地在上下方向移位。在磁體13發(fā)生移位時，磁傳感器12中，磁體13的磁束朝向發(fā)生變化。磁傳感器12的輸出電壓因該磁束朝向的變化而變化，根據(jù)磁傳感器12的輸出電壓變化特性，由該輸出電壓與原點調(diào)整后的時刻的輸出電壓之差求出第I空間SI的壓力值。
[0111]如上述說明，在本實施方式的壓力檢測裝置I中，由于磁傳感器12是檢測磁束朝向的巨磁阻元件，因此能夠不受磁體13的磁場強弱的影響，準(zhǔn)確地檢測磁體13的位置。由此，不需要現(xiàn)有的裝置中的多種盤，也不必進行盤管理及盤更換作業(yè)，可提高磁傳感器12輸出調(diào)整(變化特性調(diào)整)的作業(yè)性。
[0112]另外，對于第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)，由于可借助螺合結(jié)構(gòu)調(diào)整磁體13在上下方向和前后方向上的位置，因此可使調(diào)整作業(yè)簡化，并可使結(jié)構(gòu)簡化。而且，上下方向作為第I方向，其沿著移動部件7隨第I空間SI壓力變化而移動的移動方向。另外，前后方向作為第2方向，與移動部件7隨第I空間SI壓力變化而移動的移動方向(上下方向)以及磁體13的各極(N極和S極)結(jié)合的方向(左右方向)這兩者交差。
[0113]進而，保持部件8和螺紋部件9借助卡止片93卡合成一體，可將這兩個部件作為一個部件進行處理，能夠容易地將其安裝到柱狀部71。另外，可利用螺紋部件9的旋轉(zhuǎn)操作使保持部件8和螺紋部件9 一起移動。
[0114]另外，由于在保持部件8上形成突出部83，因此可通過操作突出部83，使轉(zhuǎn)動保持部件8，及對保持部件8進行旋轉(zhuǎn)限制的操作性良好。而且，由于突出部83露出于第I開口部M1，因此可容易地使用夾具等對突出部83進行操作。
[0115]進而，由于使施力部件6為板簧，并將將其配置在第I空間SI，因而可不在第2空間S2配置施力部件6，因此可使第2空間S2中有充裕的空間，可提高在對位于第2空間S2內(nèi)的各部件的布局及形狀等進行設(shè)計時的自由度。
[0116]另外，在實施本實施方式時，可以適當(dāng)?shù)嘏c其他實施方式中所示的結(jié)構(gòu)相組合。
[0117](第2實施方式)
[0118]在本實施方式中，對結(jié)構(gòu)不同于上述第I實施方式的壓力檢測裝置進行說明。圖6是本實施方式的壓力檢測裝置Ia的分解立體圖。圖7是本實施方式的壓力檢測裝置Ia的剖視圖。圖8是表示本實施方式的壓力檢測裝置Ia的外觀的立體圖。對于壓力檢測裝置Ia的描述中，上下方向、左右方向和前后方向與第I實施方式相同。
[0119]如圖6?圖8所示，本實施方式的壓力檢測裝置Ia具有構(gòu)成箱體120的上殼體(第I殼體)130和下殼體(第2殼體)140,利用隔膜150將箱體120的內(nèi)部隔開,形成第I空間Sla和第2空間S2a(圖7參照)。上殼體130和下殼體140夾住隔膜150的外周側(cè)，下殼體140的卡合凸部141與上殼體130的卡合孔131卡合而形成一體。在隔膜150的上下兩側(cè)配置有施力部件160。在隔膜150的下表面?zhèn)劝惭b有移動部件170，在移動部件170的下方隔著施力部件160(第2螺旋彈簧162)配置有螺紋體190。另外，基板200保持于下殼體140。例如通過對絕緣性的樹脂材料成型而形成上殼體130、下殼體140、移動部件170和后述蓋部件220。
[0120]上殼體130為向下方側(cè)開口的蓋形，其內(nèi)部形成第I空間Sla。上殼體130的大徑壁132形成為圓筒形，在外表面周向隔規(guī)定間隔形成多個卡合孔131。在大徑壁132上端連接形成有呈環(huán)形的第I頂壁133，從第I頂壁133內(nèi)周側(cè)豎立設(shè)置有圓筒形的中間壁134。在中間壁134上端連接形成有呈環(huán)形的第2頂壁135，并貫通第2頂壁135內(nèi)周側(cè)而相連設(shè)置圓筒形的小徑壁136。在小徑壁136上端連接形成圓形的第3頂壁137，在第3頂壁137下表面，向下方突出形成有用于對施力部件160(第I螺旋彈簧161)定位的定位突部138 (請參考圖7)。在大徑壁132、第I頂壁133和中間壁部134外周面，向外側(cè)(右側(cè))延伸地相連設(shè)置有管狀的連通部139，連通部139與第I空間Sla連通。對連通部139連接未圖示的配管，使來自外部的作為測定對象的氣體通過。因而，要檢測壓力的氣體經(jīng)連通部139流入或流出第I空間Sla。
[0121]下殼體140形成為中空形狀，在內(nèi)部形成第2空間S2a。在下殼體140的圓筒壁部142外周面，在與卡合孔131相對應(yīng)的位置處形成有多個上述卡合凸部141。使卡合凸部141在其下部區(qū)域的外周緣與卡合孔131的下部內(nèi)周緣接觸的狀態(tài)下形成卡合，由此，限制上殼體130相對于下殼體140上升，以及限制兩者在周向發(fā)生相對轉(zhuǎn)動。
[0122]在圓筒壁部142的上部外周側(cè)形成有臺階部142a，隔膜150的外周側(cè)與其嵌合，而承載于該臺階部142a。在圓筒壁部142下部形成有圖7剖視圖所示的曲柄形延伸的底壁部143。在底壁部143的下段部143a前后兩側(cè)形成有起立壁部143b。在前方的起立壁部143b上形成有孔143c，可通過該孔143c對后述第2螺紋215進行旋轉(zhuǎn)操作。在圓筒壁部142的下部右側(cè)區(qū)域形成有沿右方向延伸的延長部144。延長部144具有水平方向延伸的水平部144a，和從水平部144a的前后兩側(cè)向下方延伸的垂下部144b。
[0123]在底壁部143的下段部143a設(shè)置有支撐基板200的支撐部件210。在側(cè)面觀察時，支撐部件210具有形成為凹形的支撐本體部211。在支撐本體部211內(nèi)周側(cè)形成有收容基板200下端和前后兩端的槽211a，在支撐本體部211的前后兩側(cè)分別豎立設(shè)置有前端呈鉤形的卡止片212。在將基板收容于槽211a內(nèi)時，卡止片212的前端側(cè)與基板200的外周緣卡止，通過該卡止及收容到槽211a來安裝基板200，使其不能相對于支撐部件210移動。在支撐本體部211下表面相連設(shè)置有軸線向前后方向延伸的第I螺紋213。第I螺紋213僅保留有外螺紋下半部分的結(jié)構(gòu)。另外，在支撐本體部211后側(cè)設(shè)置有彈簧部件214。將帶狀的彈簧鋼彎曲成倒V字形而構(gòu)成彈簧部件214，并向其彎曲角度擴大的方向施加彈力。因而，在將彈簧部件214和支撐部件210置入下殼體140內(nèi)的狀態(tài)下，彈簧部件214向前方對支撐部件210施加力。
[0124]在第I螺紋213的下方設(shè)置有與第I螺紋213咬合的第2螺紋215。第2螺紋215結(jié)構(gòu)與帶有六角孔的固定螺絲相同，軸線沿前后方向延伸，在前端形成有六角孔215a。
[0125]圖9是從上方觀看下殼體140的概略立體圖。如圖7和圖9所示，在底壁部143的下段部143a形成有收容第2螺紋215的下半部區(qū)域的接受部145。接受部145的底面形成為半圓筒面形，允許所收容的第2螺紋215繞軸線旋轉(zhuǎn)。在下段部143a，在接受部145的前后兩側(cè)分別豎立設(shè)置有左右一對的卡止軸部146。在使第I螺紋213承載于第2螺紋215上部并與之咬合時，利用各卡止軸部146從左右方向夾持支撐本體部211，并使支撐本體部211上端與卡止軸部146前端卡止。由此,利用卡止軸部146限制支撐部件210在左右和上下方向上移動，并允許其在前后方向(圖9中的上下方向)移動。
[0126]在下段部143a中，在卡止軸部146左側(cè)，于前后分別相連設(shè)置有在上下方向延伸的棱柱部147，在各棱柱部147上形成有引導(dǎo)槽147a。在引導(dǎo)槽147a內(nèi)部插入移動部件170的后述引導(dǎo)片173。另外，在棱柱部147之間且在接受部145左側(cè)，形成有軸線為上下方向的內(nèi)螺紋部148。在內(nèi)螺紋部148中插入螺紋體190與之咬合，下端部形成為開口部148a，使螺紋體190露出到下殼體140外部。
[0127]如圖6?圖8所示，在下殼體140的下方設(shè)置有蓋部件220，利用該蓋部件220封閉處于圓筒壁部142下方的下段部143a的右側(cè)部分，和延長部144的下方部分。在蓋部件220前后兩端的左右兩側(cè)豎立設(shè)置有前端鉤形的卡止片221。右側(cè)的卡止片221收容于形成在垂下部144b外表面的槽144c內(nèi)，且上端與水平部144a卡止。左側(cè)的卡止片221收容于形成在起立壁部143b外表面的槽143d內(nèi)，上端與槽143d內(nèi)的突起143e卡止。通過利用上述卡止片221卡止，可在安裝蓋部件220后使其不能相對于下殼體140移動。在蓋部件220上表面設(shè)置有3根端子222，各端子222跨越圓筒壁部142的第2空間S2a和延長部144的內(nèi)部空間。
[0128]由例如橡膠等彈性材料成形隔膜150。隔膜150具有與移動部件170上表面進行面接觸的圓盤形的基部151。另外，隔膜150在其外周具有周緣部152，在圖7的剖視圖中該周緣部152形成為折角形狀，以嵌合的方式承載于圓筒壁部142的臺階部142a。在周緣部152和基部151之間連接形成有厚度小于基部151的薄壁部153。在圖7的剖視圖中，薄壁部153形成向作為第2空間S2a側(cè)的下方鼓出，并緩慢彎曲的形狀，彎曲形狀可因基部151上下運動而變化地發(fā)生變形。
[0129]施力部件160具有配置在第I空間Sla的第I螺旋彈簧(第I施力體)161，和配置在第2空間S2a的第2螺旋彈簧(第2施力體)162。第I螺旋彈簧161和第2螺旋彈簧162分別配置為被壓縮的狀態(tài)。因此，第I螺旋彈簧161對隔膜150的基部151向第2空間S2a側(cè)(下側(cè))施加力，第2螺旋彈簧162對基部151向第I空間Sla側(cè)(上側(cè))施加力。利用移動部件170和螺紋體190從上下方向夾持第2螺旋彈簧162。
[0130]在第I螺旋彈簧161上端側(cè)插入上殼體130的定位突部138 (請參考圖7)。第I螺旋彈簧161的下端側(cè)收容于與基部151上表面接合的接受部件163。接受部件163形成為，具有圓筒體163a、相連設(shè)置于該圓筒體163a下端的底體163b的容器形狀。在底體163b上表面，向上方突出形成有定位突部163c，插入到第I螺旋彈簧161的下端側(cè)。圓筒體163a和小徑壁136的內(nèi)周面相接觸，或隔著微小的間隙，可引導(dǎo)接受部件163在上下方向上移動。
[0131]移動部件170具有與基部151下表面接合，俯視為圓形的抵接部171。在抵接部171下表面向下方突出形成定位突部172，其插入第2螺旋彈簧162上端側(cè)。另外，在抵接部171下表面向下方延伸形成呈葉片狀的前后一對的引導(dǎo)片173。引導(dǎo)片173插入到引導(dǎo)槽147a內(nèi)，限制移動部件170在周向上的轉(zhuǎn)動，且可在引導(dǎo)槽147a內(nèi)沿上下方向自由滑動。在抵接部171右側(cè)的下部位置相連設(shè)置有保持磁體230的保持部174。保持部174形成與磁體230之間沒有間隙的收納室，配置在該收納室內(nèi)的磁體230的右表面卡止于爪部件174a。爪部件174a利用該卡止限制磁體230從保持部174脫落。
[0132]螺紋體190具有插入到內(nèi)螺紋部148內(nèi)部與之咬合的外螺紋部191。在外螺紋部191底部形成有六角孔191a，可在該六角孔191a中插入六角扳手等工具來對外螺紋部191做旋轉(zhuǎn)操作。在外螺紋部191的上表面向上方突出形成有定位突部192，插入到第2螺旋彈簧162的下端側(cè)。
[0133]基板200在被支撐于支撐部件210的狀態(tài)下，經(jīng)線束201與端子222電連接。在基板200上安裝有磁傳感器202，由與第I實施方式的磁傳感器12相同的巨磁阻元件構(gòu)成該磁傳感器202。另外，磁化磁體230，使磁傳感器202側(cè)的右側(cè)為N極，與磁傳感器202側(cè)相反的一側(cè)的左側(cè)為S極，在左右方向上極性彼此不同。
[0134]下面，對壓力檢測裝置Ia的組裝方法進行說明。首先，在下殼體140中安裝基板200。在該安裝中，在支撐部件210的支撐本體部211的槽211a中收容基板200的下端和前后兩端，將卡止片212卡止于基板200的外周緣。在其之前或之后，以使六角孔215a位于前方的方式在接受部145中配置第2螺紋215。然后，使支撐部件210的第I螺紋213與第2螺紋215上部咬合，而將已卡住基板200的支撐部件210配置于下殼體140的下段部143a上。此時,在各卡止軸部146前端卡住支撐本體部211上端,形成由各卡止軸部146從左右方向夾持支撐本體部211的狀態(tài)。然后，在下殼體140的下段部143a上，且在支撐部件210后側(cè)配置彈簧部件214。彈簧部件214的作用力作用于相互咬合的第I螺紋213和第2螺紋215。
[0135]在下殼體140的下表面?zhèn)劝惭b蓋部件220。在該安裝中，覆蓋下殼體140的下表面?zhèn)榷鴮⑸w部件220接近，并將右側(cè)的卡止片221收容到垂下部144b的槽144c內(nèi)，將左側(cè)的卡止片221收容到起立壁部143b的槽143d內(nèi)。接著，將右側(cè)的卡止片221上端卡止于水平部144a，將左側(cè)的卡止片221上端卡止于槽143d內(nèi)的突起143e，形成將蓋部件220安裝于下殼體140的狀態(tài)。另外，對下殼體140的內(nèi)螺紋部148旋入安裝螺紋體190，在第2螺旋彈簧162下端側(cè)插入位于第2空間S2a的定位突部192。
[0136]在此，與將各部件組裝于下殼體140單獨地，將移動部件170的爪部件174a卡止于磁體230，在保持部174中保持磁體230。然后，將抵接部171接合于隔膜150的基部151下表面，將接受部件163下表面接合于基部151上表面。
[0137]通過上述接合，使隔膜150、移動部件170和接受部件163形成為呈一體的單元，配置該單元，使其覆蓋下殼體140上方。在該配置中形成，保持于移動部件170的磁體230朝向右側(cè)，而與基板200對置，且引導(dǎo)片173插入于引導(dǎo)槽147a的狀態(tài)。另外，在第2螺旋彈簧162上端側(cè)插入移動部件170的定位突部172，隔膜150的周緣部152嵌合承載于下殼體140的臺階部142a。
[0138]而且，在第I螺旋彈簧161下端側(cè)插入定位突部163c，而將第I螺旋彈簧161配置于接受部件163內(nèi)部。從該狀態(tài)，在將上殼體130覆蓋于下殼體140的上部區(qū)域后，將卡合凸部141卡合于上殼體130的卡合孔131。由此,作為箱體120,使上殼體130和下殼體140形成一體，并利用圓筒壁部142上端和第I頂壁133下表面夾住周緣部152。在該狀態(tài)下，第I螺旋彈簧161和第2螺旋彈簧162兩者形成壓縮的狀態(tài)，利用它們的彈力的平衡來保持隔膜150在上下方向上的位置。由此，在組裝壓力檢測裝置Ia時，由上殼體130和隔膜150形成第I空間Sla，并在下殼體140的隔膜150的下方形成第2空間S2a。
[0139]而且，上述壓力檢測裝置Ia的組裝方法僅為一個例子，并不限定于此，組裝順序等也可適宜變更。如圖7所示，只要能夠使各組成部件形成組裝后的狀態(tài)，則可以采用任意的組裝方法。
[0140]在組裝壓力檢測裝置Ia后的狀態(tài)下，由于下殼體140形成有孔143c等，因此第2空間S2a設(shè)定為與大氣壓相同。另一方面,對于第I空間Sla,在封閉上殼體130的連通部139后形成封閉的空間，其壓力因經(jīng)過連通部139流入或流出第I空間Sla的空氣而變化。在此，例如，如圖7所示，在隔膜150中，當(dāng)基部151上表面比周緣部152上端略高時，則第I空間SI的壓力與大氣壓相同。在該狀態(tài)下，在第I空間Sla形成大于大氣壓的正壓時，由于第I空間Sla的容積趨向于膨脹，因而作用將基部151壓下的力，而使其向下方移位。第2螺旋彈簧162因該移位而被壓縮，產(chǎn)生使基部151上升的彈力。接著，基部151向下方移位至使第I空間Sla的壓力、各螺旋彈簧161、162的彈力平衡的位置。另外，在第I空間Sla形成小于大氣壓的負(fù)壓時，由于第I空間Sla的容積趨向于縮小，因而作用將基部151上拉的力而使其向上方移位。第I螺旋彈簧161因該移位而被壓縮，產(chǎn)生使基部151下降的彈力。接著，基部151向上方移位到使第I空間Sla的壓力、各螺旋彈簧161、162的彈力平衡的位置。
[0141]在此，與基部151接合的移動部件170因基部151上下移動而以相同的移動量上下移動，隨之，由移動部件170保持的磁體230也同樣地上下移動。因此，能夠使磁體230與第I空間Sla的壓力變化成比例地在上下方向移位，并由磁傳感器202檢測該移位量，從而檢測第I空間Sla的壓力。而且，由于基于磁傳感器202進行的壓力檢測與第I實施方式的壓力檢測相同，因此在此省略其說明。
[0142]下面，對本實施方式的壓力檢測裝置Ia中的第I調(diào)整機構(gòu)和基于第I調(diào)整機構(gòu)的調(diào)整方法進行說明。第I調(diào)整機構(gòu)具有上述螺紋體190和內(nèi)螺紋部148，其可調(diào)整移動部件170在移動方向(上下方向)上的磁體230與磁傳感器202的相對位置。在該位置調(diào)整中，通過將工具插入到螺紋體190的六角孔191a內(nèi)做旋轉(zhuǎn)操作，使螺紋體190在上下方向上移動。由于螺紋體190通過第2螺旋彈簧162與移動部件170連結(jié)，因此在螺紋體190上下移動時，第2螺旋彈簧162有一定量伸縮,并且使移動部件170在上下方向移動。由于磁體230保持于移動部件170，因此，磁體230也與移動部件170 —同在上下方向移動，而調(diào)整磁體230相對于磁傳感器202在上下方向上的相對位置。
[0143]下面，對本實施方式的壓力檢測裝置Ia中的第2調(diào)整機構(gòu)和基于第2調(diào)整機構(gòu)的調(diào)整方法進行說明。第2調(diào)整機構(gòu)包括:含上述第I螺紋213的支撐部件210和第2螺紋215。第2調(diào)整機構(gòu)可在圖7的垂直紙面方向的與磁體230對置的平面內(nèi)，與移動部件170的移動方向(上下方向)交差的方向，且在與連接磁體230各極的方向(左右方向)交差的方向(第2方向)上，即，在前后方向(圖7中垂直紙面方向)上調(diào)整磁體230和磁傳感器202的相對位置。在該位置調(diào)整中，使工具經(jīng)孔143c插入第2螺紋215的六角孔215a，并進行旋轉(zhuǎn)操作，由此使與第2螺紋215咬合的第I螺紋213在前后方向移動。由于含第I螺紋213的支撐部件210對搭載有磁傳感器202的基板200加以支撐，因此，磁傳感器202與第I螺紋213 —同在前后方向移動,而調(diào)整磁體230相對于磁傳感器202在前后方向上的相對位置。
[0144]在此，支撐部件210因彈簧部件214而被施以向前方的力，因此能夠防止因第I螺紋213和第2螺紋215的所謂游離間隙引起的晃動。由此，能使支撐部件210和磁傳感器202高精度定位于進行調(diào)整后的位置。
[0145]而且，在完成了基于各調(diào)整機構(gòu)的位置調(diào)整后，利用粘接劑將第I調(diào)整機構(gòu)的螺紋體190和內(nèi)螺紋部148，以及第2調(diào)整機構(gòu)的第I螺紋213和第2螺紋215固定，使它們不能相對轉(zhuǎn)動?？赏ㄟ^將未圖示的噴嘴經(jīng)由孔143c插入到第2空間S2a內(nèi)，而向第I螺紋213和第2螺紋215注入粘接劑。
[0146]在第2實施方式中，除如上所述對各調(diào)整機構(gòu)進行的操作以外，與在第I實施方式中結(jié)合圖5所說明的磁傳感器12的輸出調(diào)整和第I空間SI的壓力檢測方法相同，因此省略說明。
[0147]如以上說明，在本實施方式的壓力檢測裝置Ia中，利用第I調(diào)整機構(gòu)使磁體230沿移動部件170的移動方向向第I方向移動，并利用第2調(diào)整機構(gòu)使磁傳感器202向第2方向移動，因此，可使基于各調(diào)整機構(gòu)所進行的調(diào)整相互獨立，并容易進行。另外，對于第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)，由于可利用螺合結(jié)構(gòu)對磁體230和磁傳感器202在上下方向及前后方向上的相對位置進行調(diào)整，因此可容易進行調(diào)整作業(yè)，并實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡化。
[0148]另外，本實施方式可與其他實施方式中所示的結(jié)構(gòu)適宜組合而實施。
[0149]而且，本發(fā)明不限于上述實施方式，在實施時可進行各種變更。在上述實施方式中，并不限于附圖所示的大小和形狀等，可在發(fā)揮本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)適當(dāng)變更。另外，可以在不脫離本發(fā)明目的的范圍內(nèi)適當(dāng)變更而實施。
[0150]例如，在上述實施方式中，令流入第I空間SI的流體為空氣，但也可以是其他氣體，也可以是水或熱水等液體。
[0151]另外，上述磁體13、230的朝向限定為，在與移動部件7、170的移動方向交差的方向上成為異極，也可以進行變更，例如也可以設(shè)定為，相對于左右方向在偏右上或偏左上傾斜的方向上成為異極的朝向。
[0152]進而，第2調(diào)整機構(gòu)在與移動部件7、170的移動方向交差的方向，且與連接磁體13,230的各極的方向交差的第2方向上，對磁體13、230與磁傳感器12、202的相對位置進行調(diào)整即可，如各實施方式所示，當(dāng)連結(jié)磁體13、230的各極的方向為左右方向時，并不限于前后方向，也可以在向該前后方向傾斜的方向上進行調(diào)整。另外，第2方向不必須是沿直線的方向，如第I實施方式所示，也可以是沿曲線(圓弧)的方向(周向)。
[0153]另外，對于第I實施方式中的施力部件6，也可以省略變形部63，而僅在由彈簧鋼構(gòu)成的圓形板體形成圓孔61a。進而，在第I實施方式中，也可以將施力部件6配置于第2空間S2，并從下方支撐隔膜5。
[0154]另外，第I實施方式中的磁體13也可以形成為，具有沿保持部件8的轉(zhuǎn)動方向的圓筒面的形狀。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力檢測裝置，其特征在于，包括: 箱體，具有能夠使流體流入流出的連通部； 隔膜，隔開該箱體而形成第I空間和第2空間，能夠根據(jù)與所述連通部連通的第I空間內(nèi)的壓力而變形； 移動部件，配置于所述第2空間，能夠根據(jù)所述隔膜的變形而移動； 施力部件，能夠變形地支撐所述隔膜； 磁體，與所述移動部件一同移動；和 磁傳感器，配置于所述第2空間，檢測來自所述磁體的磁場， 所述磁體被磁化為在與所述移動部件的移動方向交差的方向上成為異極， 所述壓力檢測裝置具有第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)， 所述第I調(diào)整機構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第I方向上的相對位置，所述第I方向是沿著所述移動部件的移動方向的方向， 所述第2調(diào)整機構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第2方向上的相對位置，所述第2方向是與所述移動部件的移動方向交差且與連結(jié)所述磁體的各極的方向交差的方向，所述磁傳感器包括能夠檢測磁束的朝向的巨磁阻元件。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 具有保持所述磁體的保持部件， 所述第I調(diào)整機構(gòu)包括: 柱狀部，與所述移動部件相連設(shè)置，在外周形成有外螺紋；和 螺紋部件，支撐所述保持部件，并且形成有與所述柱狀部咬合的內(nèi)螺紋， 通過使所述柱狀部與所述螺紋部件相對轉(zhuǎn)動，使該螺紋部件在所述柱狀部的軸線方向上移動，從而能夠調(diào)整所述保持部件和所述磁體在所述第I方向上的位置。
3.如權(quán)利要求2所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機構(gòu)包含相對于所述柱狀部能夠轉(zhuǎn)動地支撐所述保持部件的所述螺紋部件而構(gòu)成，利用所述保持部件的該轉(zhuǎn)動，來調(diào)整所述磁體在所述第2方向上相對于所述磁傳感器的位置。
4.如權(quán)利要求2或3所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述保持部件具有貫通部，所述柱狀部能夠相對轉(zhuǎn)動地插通該貫通部， 所述螺紋部件具有插通并卡止于所述貫通部的卡止片，通過該卡止片與所述保持部件卡止，限制所述保持部件相對于所述螺紋部件向所述移動部件的移動方向的移動。
5.如權(quán)利要求2?4中任一項所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機構(gòu)具有突出部，該突出部形成于所述保持部件，并向與所述移動部件的移動方向交差的方向突出。
6.如權(quán)利要求2?5中任一項所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述保持部件的第2殼體， 所述第2殼體具有能夠轉(zhuǎn)動地引導(dǎo)所述螺紋部件的筒狀的引導(dǎo)部和使所述保持部件露出到所述第2殼體的外部的開口部。
7.如權(quán)利要求2?6中任一項所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 在利用所述第I調(diào)整機構(gòu)和第2調(diào)整機構(gòu)進行了調(diào)整后，利用粘接劑以不能相對轉(zhuǎn)動且不能相對移動的方式固定所述柱狀部、保持部件和螺紋部件。
8.如權(quán)利要求1?7中任一項所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述施力部件由設(shè)置于所述第I空間的板簧構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機構(gòu)具有對搭載有所述磁傳感器的基板加以支撐的支撐部件，通過使該支撐部件在與所述磁體對置的平面內(nèi)移動，來調(diào)整所述磁體與所述磁傳感器的相對位置。
10.如權(quán)利要求9所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機構(gòu)具有與所述支撐部件相連設(shè)置的第I螺紋和與該第I螺紋咬合的第2螺紋， 通過旋轉(zhuǎn)該第2螺紋并移動所述第I螺紋，來調(diào)整所述支撐部件的位置。
11.如權(quán)利要求9或10所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 在所述支撐部件的側(cè)部設(shè)置有彈簧部件，利用該彈簧部件，所述支撐部件被向與所述磁體對置的平面內(nèi)的移動方向施力。
12.如權(quán)利要求9?11中任一項所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述施力部件具有:設(shè)置于所述第I空間，并向所述第2空間側(cè)對所述隔膜施力的第I施力體；和設(shè)置于所述第2空間，經(jīng)由所述移動部件向所述第I空間側(cè)對所述隔膜施力的第2施力體。
13.如權(quán)利要求12所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述磁體保持于所述移動部件， 所述第I移動機構(gòu)具有形成于所述箱體的內(nèi)螺紋部和形成有與該內(nèi)螺紋部咬合的外螺紋部的螺紋體，利用該螺紋體和所述移動部件夾持著所述第2施力體。
14.如權(quán)利要求13所述的壓力檢測裝置，其特征在于: 所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述移動部件的第2殼體， 所述第2殼體具有使所述螺紋體露出于該第2殼體的外部的開口部。
【文檔編號】G01L9/14GK104344925SQ201410389715
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】二宮伸之, 漆原茂, 藤原周二 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社