本發(fā)明涉及一種表壓式壓力傳感器，特別是一種帶有大氣壓自動補償?shù)膬?nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器。它可廣泛應(yīng)用于海洋環(huán)境（如：潮汐觀測、海嘯預(yù)警、海洋科學(xué)觀察、艦船安全及自動化）及在有酸堿強腐蝕介質(zhì)、易燃易爆介質(zhì)、陰暗潮濕、相對于大氣低溫介質(zhì)等場所的液位、壓力測量和控制。

背景技術(shù)：
現(xiàn)有多種（硅藍(lán)寶石、擴散硅、陶瓷應(yīng)變片、金屬應(yīng)變片、電容等等）表壓式壓力傳感器，其外殼和正壓端都可以做到耐腐蝕和嚴(yán)格的防護性。但是上述表壓傳感器中外連電路板連接座上的大氣壓參考端完全對大氣開放的，易結(jié)露和腐蝕。這是因為在平衡大氣壓的同時，空氣必然在傳感器內(nèi)、外進行交換，所以在氣溫變化，被測介質(zhì)溫度變化或大氣壓變化時，會造成傳感器內(nèi)部結(jié)露；大氣壓參考端形成液柱，作用于傳感器背面，造成不確定的負(fù)壓產(chǎn)生，容易使量程誤差無規(guī)律變化。特別是投入式液位傳感器，在導(dǎo)大氣的空心電纜大于或等于量程時，會與整個量程相比較，影響測量的準(zhǔn)確性。當(dāng)液體侵入、灰塵侵入、有害氣體（諸如HF、HCl、鹽霧、易燃易爆物質(zhì)）侵入時，輕者，傳感器信號變的極不穩(wěn)定，失效，損壞，重者，則易造成惡性事故。因此，對現(xiàn)有表壓傳感器進行大氣參考壓端的結(jié)構(gòu)改進和防護十分必要。據(jù)相關(guān)專利文獻報導(dǎo)，具有代表性的表壓傳感器方面的專利主要為：申請公布號為CN102356307A的“具有真空電介質(zhì)的電容性表壓傳感器”。它記載的是將電容的一個極板，制作在絕緣體上，如陶瓷體。將此載有金屬電極板的絕緣體，用一薄金屬環(huán)支撐焊接在壓力作用下能發(fā)生彈性形變的測量電極上，兩電極形成的平行腔體抽成真空，構(gòu)成真空電容，用真空來保護電容的一個電極。并特別強調(diào)支撐被封入真空的電極的薄金屬環(huán)片，必須比用于測量的能在壓力作用下發(fā)生形變的金屬電極要薄、要軟。這樣，這個薄金屬環(huán)片，在大氣壓變化時，整個傳感器變化最大不會小于|±6%|（相對于1個大氣壓）。他們用的是真空保護傳感器的電容電極，不能防止水氣和塵埃進入傳感器的參考壓端，即傳感器的背面。大氣壓對傳感器有很大影響，嚴(yán)重降低傳感器測量精度。授權(quán)公告號為DN203337312U的“具有防水通氣結(jié)構(gòu)的表壓傳感器”。其公開的結(jié)構(gòu)特點是：在傳感器外殼上開多個毛細(xì)孔。在傳感器與環(huán)境相比處于低溫——結(jié)露情況下，外部水氣在傳感器殼上結(jié)露時（從外邊結(jié)露時），利用水滴具有表面張力的特點，利用在毛細(xì)孔處形成的水珠向內(nèi)表面張力，不讓水向傳感器里邊流，其前題是在理想的隔離傳感器與外界環(huán)境的條件下。但是，如果此傳感器用于火箭燃料倉上，火箭豎起后，環(huán)境比較潮濕時，傳感器里邊已充滿潮氣，再加注液氧等低溫燃料，那么傳感器從里結(jié)露結(jié)冰，里邊水氣已凝結(jié)產(chǎn)生負(fù)壓，外部潮氣、空氣必然補充，繼續(xù)結(jié)露結(jié)冰！一般科普知識讓我們知道，1份水完全變成氣，要擴張到1200倍。反之，如果當(dāng)時空氣濕度為50%RH，那么要進入殼體內(nèi)的潮濕空氣可以進入好多。只要有一點水凝結(jié)，傳感器就足以失效。如果傳感器不能正常使用，那么火箭也就危險了！因此，現(xiàn)有的大氣參考壓端開放的表壓傳感器受其結(jié)構(gòu)的限制，根本無法達到理想的技術(shù)效果。現(xiàn)有的大氣壓參考端開放的表壓式壓力傳感器，其大氣壓參考端的開放問題，是人們一直想解決而難以克服的老大難問題。這樣的傳感器精度再高，也不能在有水氣或相對于大氣低溫介質(zhì)、腐蝕性氣氛、大量塵埃等場所很好地實現(xiàn)正常使用。以常見的硅藍(lán)寶石表壓式、擴散硅表壓式等壓力傳感器為例，如果不考慮造價、結(jié)構(gòu)復(fù)雜程度、外觀大小，現(xiàn)有的表壓傳感器，在大氣參考壓端也可以像正壓測量端那樣，帶有感壓金屬膜片，內(nèi)部也真空充填隔離介質(zhì)，一般充硅油。但是，結(jié)構(gòu)和工藝復(fù)雜，體積太大，價格高到幾倍至幾十倍，且限制使用場合。因此，人們主要采用以下解決措施：解決方法一：傳感器引入了細(xì)導(dǎo)壓管，將細(xì)導(dǎo)壓管一端膠接在傳感器力敏元件背面，細(xì)導(dǎo)壓管另一端膠接在大氣引入口上（如圖3所示），圖3是現(xiàn)有技術(shù)引入細(xì)導(dǎo)壓管的擴散硅表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。其中傳感器外連電路板連接座1上設(shè)置帶有大氣引入口的大氣參考壓端，擴散硅力敏元件13利用感壓金屬膜片16、用硅油、高真空充灌的導(dǎo)壓隔離介質(zhì)15封裝在擴散硅力敏元件殼體17內(nèi)，擴散硅力敏元件殼體17與帶有大氣參考壓端的外連電路板連接座1及帶有引壓口的力敏元件轉(zhuǎn)接座分別封接在一起。采用封口密封膠10將帶有細(xì)導(dǎo)壓管的高彈性橡膠制作的密封塞18的兩端分別與外連電路板連接座1的大氣引入口和擴散硅力敏元件殼體17的導(dǎo)壓腔膠接密封，形成開放式導(dǎo)壓腔。連接擴散硅力敏元件13的傳感引線11穿過擴散硅力敏元件殼體17的引線孔，并引出外連電路板連接座1端。該壓力傳感器主要利用密封塞18的細(xì)導(dǎo)壓管對流緩慢的特點，延緩水氣和有害物質(zhì)的侵入。但對于水氣含量高，溫度變化大時，一般使用不超過1個月，也就失效了。特殊情況下，如在有HF、HCl、H2SO4、鹽霧等介質(zhì)存在的場合是非常容易損壞的；開放式導(dǎo)壓腔的大氣參考壓端沒有進行電的絕緣隔離，除短路外，還對于有易燃、易爆介質(zhì)存在時，極易產(chǎn)生爆燃事故。本申請人曾針對上述存在的問題，先后設(shè)計出授權(quán)公告號為CN1172169C的“硅藍(lán)寶石力敏傳感器及其制備方法”，授權(quán)公告號為CN102221429B的“高溫壓力與溫度的復(fù)合傳感器及制備方法”等專利，在一定程度上提高了液位、壓力傳感器用于惡劣條件下測量的可靠性。其中以硅藍(lán)寶石和擴散硅壓力傳感器為例，硅藍(lán)寶石傳感器用于測量的受壓端，在為了獲得高精度的情況下，不再加隔離膜片和充隔離液。即使沒有充隔離液、加隔離膜片，因其與介質(zhì)接觸的是鈦-鈀合金和藍(lán)寶石材料，故能耐海水等腐蝕。但是，導(dǎo)壓腔開放的大氣壓參考端，硅應(yīng)變電阻和傳感引線的焊點都暴露在空氣中，鹽霧侵入及有害介質(zhì)侵入，就會造成短路，使傳感器損壞；擴散硅的硅杯上的應(yīng)變電阻，是在n型基底上擴散的p型電阻，靠p-n結(jié)與基底隔離，p-n結(jié)具有電流單向?qū)ㄐ?；硅杯背面由于力學(xué)要求和工藝關(guān)系不能在加工完硅杯后再氧化和涂膜，即硅杯背面無絕緣層。因此，水氣及具有腐蝕性介質(zhì)侵入，仍會造成傳感器對地短路。同時，對于各種表壓傳感器由于結(jié)露，導(dǎo)大氣腔內(nèi)積液后，液位顯示變小，隨積液增加，液位顯示趨0。也容易造成在大氣參考壓腔內(nèi)有引線焊點和電子元件時，會產(chǎn)生短路。也就是說，其它表壓傳感器，同樣存在著與硅藍(lán)寶石和擴散硅傳感器相類似問題。方法二：在傳感器大氣參考壓端大氣引入口處，用透氣不透水的分子篩式塞子塞住（如圖4所示），圖4是現(xiàn)有技術(shù)引入透氣不透水分子篩塞擴散硅表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。其中在傳感器外連電路板連接座1上的有大氣引入口的大氣參考壓端，封裝透氣不透水分子篩塞19。擴散硅力敏元件13利用感壓金屬膜片16、用硅油、高真空充灌的導(dǎo)壓隔離介質(zhì)15封裝在擴散硅力敏元件殼體17內(nèi)，擴散硅力敏元件殼體17與帶有大氣參考壓端的外連電路板連接座1及帶有引壓口的擴散硅力敏元件轉(zhuǎn)接座14分別封接在一起。連接擴散硅力敏元件13的傳感引線11穿過擴散硅力敏元件殼體17的引線孔，并引出外連電路板連接座1端。采用封口密封膠10將外連電路板連接座1的傳感引線11引出端及擴散硅力敏元件殼體17的傳感引線11的引線孔分別膠接密封，形成所謂“封閉”的導(dǎo)壓腔。但是，該表壓式壓力傳感器導(dǎo)壓腔的大氣參考壓端引入的篩塞19極易被灰塵堵塞失效。在有灰塵和結(jié)露聯(lián)合作用下，失效更快。對于有HF、HCl、H2SO4、H2及有機氣體，由于分子太小，或可與空氣分子大小相比較，塞子雖然不透水，但上述氣體可以通過，一樣對傳感器造成侵害。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，解決了現(xiàn)有大氣參考壓端開放的傳感器存在的一直無法克服的對傳感器造成侵害、影響其正常使用的老大難問題，其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計合理，制造容易，操作安全可靠，既可以隔離傳感器與外界環(huán)境，又能自動平衡大氣壓力，有效地防止結(jié)露和腐蝕等對傳感器造成的侵害，提高傳感器的穩(wěn)定性、防護等級和防爆等級，確保傳感器正常使用，延長其使用壽命。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：該內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器，包括與大氣參考壓端連通的力敏元件殼體，分別與力敏元件殼體相互封接在一起的外連電路板連接座和力敏元件轉(zhuǎn)接座，以及連接力敏元件的穿過引線孔，并引出外連電路板連接座端的傳感引線，其技術(shù)要點是：所述力敏元件殼體的上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；力敏元件的傳感引線位于力敏元件殼體的引線孔的引出端采用封口密封膠進行膠接密封，同時采用封口密封膠密封傳感引線的引出外連電路板連接座端，并使大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜分隔的腔體下部，與力敏元件殼體的下部裝有力敏元件的導(dǎo)壓腔體相互連通，形成封閉的導(dǎo)壓腔，大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜分隔的腔體上部，連通相互封接在一起的外連電路板連接座和力敏元件殼體的與大氣參考壓端連通的腔體。內(nèi)置在力敏元件殼體上部的所述大氣壓自動補償平衡腔室，包括薄膜型隔離膜和與帶有大氣壓引入孔的大氣參考壓端連通的壓帽，由夾膜密封墊片夾持固定的薄膜型隔離膜利用潤滑密封墊和壓帽壓封在力敏元件殼體上部的腔體內(nèi)，該腔體被薄膜型隔離膜分隔相互獨立的上、下兩部。所述力敏元件采用硅藍(lán)寶石力敏元件，帶平衡腔室的硅藍(lán)寶石力敏元件殼體上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；硅藍(lán)寶石力敏元件利用作為力敏元件座的硅藍(lán)寶石力敏元件轉(zhuǎn)接座密封在帶平衡腔室的硅藍(lán)寶石力敏元件殼體的下部腔體內(nèi)。所述力敏元件采用擴散硅力敏元件，帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體上部與外連電路板連接座之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室；擴散硅力敏元件利用感壓金屬膜片、導(dǎo)壓隔離介質(zhì)封裝在帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體的下部腔體內(nèi)，并在底部以作為膜片保護罩的擴散硅力敏元件轉(zhuǎn)接座進行密封。其作用原理是：在表壓傳感器的大氣參考壓端內(nèi)置大氣壓自動補償平衡腔室，利用其密封在平衡腔室內(nèi)的薄膜型隔離膜，封閉一定體積的干燥空氣，讓外界氣溫變化，被測介質(zhì)溫度變化或大氣壓變化等影響不到傳感器。這樣形成的與大氣參考壓端連通的封閉的導(dǎo)壓腔，主要影響是當(dāng)溫度的變化時，能使封閉的導(dǎo)壓腔內(nèi)的空氣體積隨著發(fā)生變化；另一個是大氣壓的變化，引起封閉的導(dǎo)壓腔內(nèi)的空氣壓力變化，導(dǎo)致空氣體積變化。由溫度變化引起封閉的導(dǎo)壓腔內(nèi)空氣變化情況，完全符合氣態(tài)方程：……⑴式中：、分別為變化前后的空氣壓強；、為變化前后的空氣體積；、為變化前后的絕對溫度。如果所選用薄膜足夠?。?0μm以下厚度），表面積足夠大，質(zhì)量足夠小，可把、看成完全相等，那么只有溫度變化到引起了變化到。⑴式簡化到了……⑵這就是本發(fā)明的理論根據(jù)。其中，與是人為設(shè)定，為已知。檢驗證明：本發(fā)明的理論計算和實際檢測，非常吻合。本發(fā)明具有的優(yōu)點及積極效果是：由于本發(fā)明是在硅藍(lán)寶石表壓式或擴散硅表壓式壓力傳感器的大氣參考壓端，設(shè)置帶有薄膜型隔離膜的大氣壓自動補償平衡腔室，在封閉的導(dǎo)壓腔內(nèi)密封一定容積的干燥空氣，利用被薄膜型隔離膜分隔相互獨立的兩個腔體，分別與封閉的導(dǎo)壓腔及外界大氣接觸，能自動平衡大氣壓，所以其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計合理，制造容易，操作安全可靠，既可以隔離傳感器與外界環(huán)境，又能自動平衡大氣壓力。主要體現(xiàn)在：1、封閉的導(dǎo)壓腔將表壓傳感器大氣參考壓端與大氣及外部環(huán)境徹底隔離開來，阻止了鹽霧水氣和有害物質(zhì)進入傳感器，有效地防止結(jié)露和腐蝕等對傳感器造成的侵害。即使在薄膜型隔離膜通過大氣壓引入孔與外界大氣接觸的外側(cè)結(jié)露，產(chǎn)生的附加誤差很小故不影響傳感器的量程精度；2、由于徹底密封了傳感器大氣參考壓端，安全有了保證，這不僅能提高傳感器的穩(wěn)定性，而且提高傳感器防護等級和防爆等級，從而確保傳感器正常使用，延長其使用壽命，性價比也大大提高；3、對于現(xiàn)有的壓力傳感器，原先不能長期測量諸如海水、各種酸堿、有爆燃可能的介質(zhì)。有了本發(fā)明后，對于強酸、強堿、海水、燃油及其它易燃易爆介質(zhì)，都可以做到安全可靠測量、長期使用。4、使傳感器適應(yīng)更加廣泛的領(lǐng)域。如：可以用于艦船壓水倉、海洋探測、海嘯預(yù)警、水文監(jiān)測、水壩漏水監(jiān)測以及化工、自來水、軍工、科學(xué)試驗等方面。試驗表明，與ABB（阿西布朗勃法瑞）集團、FOXBRO（?？怂共_）公司等著名公司的同類產(chǎn)品相比，這些產(chǎn)品大氣參考壓端都是開放的。即使測量自來水，也明確要求用戶不能在有結(jié)露環(huán)境使用，必須將帶有大氣壓開口端的傳感器接線盒置于結(jié)露區(qū)外。對比試驗，一般采用透氣不透水分子篩式塞的壓力傳感器用于測自來水，也只保一年壽命。若在100%濕度下，實驗箱內(nèi)氣壓變化（人為變化±6%）每天10000次，則一周即報廢；試驗表明，采用本發(fā)明的帶薄膜隔離膜的同級別傳感器，三十周的同等試驗，性能無任何變化。而本發(fā)明大氣壓自動補償腔室的大氣參考壓端與封閉的導(dǎo)壓腔是“不通氣的”，被隔離導(dǎo)壓腔的腔室內(nèi)可以做到無“水”，故封閉的導(dǎo)壓腔內(nèi)無論多低溫度，無露可結(jié)。因此，本發(fā)明解決了現(xiàn)有傳感器大氣參考壓端開放存在的一直無法克服的對傳感器造成侵害、影響其正常使用的老大難問題。附圖說明以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。圖1是本發(fā)明Ⅰ型結(jié)構(gòu)的一種示意圖；圖2是本發(fā)明Ⅱ型結(jié)構(gòu)的一種示意圖；圖3是現(xiàn)有技術(shù)引入細(xì)導(dǎo)壓管的擴散硅表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是現(xiàn)有技術(shù)引入透氣不透水分子篩塞擴散硅表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。圖中序號說明：1外連電路板連接座、2薄膜型隔離膜、3大氣壓引入孔、4壓帽、5潤滑密封墊、6夾膜密封墊片、7帶平衡腔室的硅藍(lán)寶石力敏元件殼體、8硅藍(lán)寶石力敏元件、9硅藍(lán)寶石力敏元件轉(zhuǎn)接座、10封口密封膠、11傳感引線、12帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體、13擴散硅力敏元件、14擴散硅力敏元件轉(zhuǎn)接座、15導(dǎo)壓隔離介質(zhì)、16感壓金屬膜片、17擴散硅力敏元件殼體、18帶有細(xì)導(dǎo)壓管的密封塞、19透氣不透水分子篩塞。具體實施方式根據(jù)圖1～4詳細(xì)說明本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)。該內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型表壓傳感器根據(jù)設(shè)計要求和使用需要，可制成Ⅰ型硅藍(lán)寶石表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)（圖1所示，高精度硅藍(lán)寶石的精度可達到±0.05%F.S），Ⅱ型擴散硅表壓式壓力傳感器結(jié)構(gòu)（圖2所示）。它包括與大氣參考壓端連通的力敏元件殼體，分別與力敏元件殼體相互封接在一起的外連電路板連接座1和力敏元件轉(zhuǎn)接座，以及連接力敏元件的穿過引線孔，并引出外連電路板連接座1端的傳感引線11等件。對于表壓壓力傳感器，大氣參考壓端容空氣體積可以很小，因此，可以采用內(nèi)置平衡腔室的薄膜隔離型結(jié)構(gòu)，以利于外觀簡捷和降低成本，性能不受影響。其中力敏元件殼體的上部與外連電路板連接座1之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜2的大氣壓自動補償平衡腔室。內(nèi)置在力敏元件殼體上部的大氣壓自動補償平衡腔室，包括薄膜型隔離膜2和與帶有大氣壓引入孔3的大氣參考壓端連通的壓帽4，由夾膜密封墊片6夾持固定的薄膜型隔離膜2利用潤滑密封墊5和壓帽4壓封在力敏元件殼體上部的腔體內(nèi)，該腔體被薄膜型隔離膜2分隔相互獨立的上、下兩部。力敏元件的傳感引線11位于力敏元件殼體的引線孔的引出端采用封口密封膠10進行膠接密封，同時采用封口密封膠10密封傳感引線11的引出外連電路板連接座1端，并使大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜2分隔的腔體下部，與力敏元件殼體的下部裝有力敏元件的導(dǎo)壓腔體相互連通，形成封閉的導(dǎo)壓腔。傳感引線11入儀表殼處再一次進行膠密封，以保證大氣壓平衡端的可靠性。大氣壓自動補償平衡腔室被薄膜型隔離膜2分隔的腔體上部，連通相互封接在一起的外連電路板連接座1和力敏元件殼體的與大氣參考壓端連通的腔體。由薄膜型隔離膜2密封一定體積的干燥空氣，利用薄膜型隔離膜2將大氣壓變化量，通過所密封的干燥空氣，傳遞到傳感器上，來自動平衡大氣壓。對薄膜型隔離膜2的設(shè)計，應(yīng)根據(jù)實際使用條件，如氣溫變化情況，大氣壓變化情況，事先預(yù)置出傳感器大氣壓自動補償平衡腔室的形狀、薄膜型隔離膜2的密封預(yù)置形狀，讓被密封在表壓傳感器大氣參考壓端的空氣體積盡可能小。使薄膜型隔離膜2有效地保護了傳感器大氣參考壓端的同時，又不影響傳感器的使用和傳感器的精度。當(dāng)制成硅藍(lán)寶石表壓式壓力傳感器的Ⅰ型結(jié)構(gòu)時，力敏元件采用本申請人制成的專利技術(shù)成熟的硅藍(lán)寶石力敏元件8。帶平衡腔室的硅藍(lán)寶石力敏元件殼體7上部與外連電路板連接座1之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜2的大氣壓自動補償平衡腔室。硅藍(lán)寶石力敏元件8利用作為力敏元件座的硅藍(lán)寶石力敏元件轉(zhuǎn)接座9密封在帶平衡腔室的硅藍(lán)寶石力敏元件殼體7的下部腔體內(nèi)。當(dāng)制成擴散硅表壓式壓力傳感器的Ⅱ型結(jié)構(gòu)時，力敏元件采用本申請人制成的專利技術(shù)成熟的擴散硅力敏元件13。帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體12上部與外連電路板連接座1之間連通大氣參考壓端的空腔中，內(nèi)置帶有薄膜型隔離膜2的大氣壓自動補償平衡腔室。擴散硅力敏元件13利用感壓金屬膜片16、導(dǎo)壓隔離介質(zhì)15封裝在帶平衡腔室的擴散硅力敏元件殼體12的下部腔體內(nèi)，并在底部以作為膜片保護罩的擴散硅力敏元件轉(zhuǎn)接座14進行密封。由于大氣壓自動補償腔室密封了少量的干燥空氣，同大氣及環(huán)境接觸的是一層極薄的薄膜型隔離膜2，所以這層隔離膜處于等壓狀態(tài)，使無論什么樣的氣氛也不可能擴散進傳感器的大氣參考壓端的隔離膜里側(cè)去。這層隔離膜所用的材料是防腐蝕的，如：聚全氟乙丙烯等，在-196℃～205℃范圍內(nèi)，幾乎沒有什么化學(xué)物質(zhì)能腐蝕它。這層隔離膜很輕，即質(zhì)量很小，這是因為事先被拉伸，最厚處30μm～20μm，經(jīng)拉伸，最薄處為10μm。聚全氟乙丙烯密度在2.3g/cm3左右。Ф40mm有效直徑的30μm的一塊膜片質(zhì)量只有0.087g左右。這個Ф40mm直徑的膜片，經(jīng)拉伸后，表面積可增加到原來的3倍，表面積約為37.68cm2。那么膜片的平均質(zhì)量為2.3mg/cm2，大氣壓為1000g/cm2,左右，變化±1%時，為10g/cm2。10g/cm2對于2.3mg/cm2產(chǎn)生的誤差為±0.023%，即萬分之二左右。如果大氣壓變化±6%時，影響不到萬分之四。這種誤差對大氣壓變化而言，對于50kPa以上的表壓傳感器，影響傳感器精度的可能就更小了。壓帽4上的大氣引入孔3，使大氣作用到薄膜型隔離膜2上來平衡大氣壓。薄膜型隔離膜2是事先在專用夾具上，用夾膜密封墊片6、潤滑密封墊5及壓帽4壓封，進行加氣壓拉伸。亦可將隔離膜置于專用胎具中，在硅油中加溫，拉伸成口袋形。完后將制成的膜移置到腔室中。這樣，有效的增加了隔離膜的表面積，使隔離膜更軟、單位面積對應(yīng)質(zhì)量更輕，更有效的實現(xiàn)無附加壓力影響隔離，直徑更小。使機械配件成本降低。大氣壓自動補償腔室設(shè)計好后，加工裝配妥當(dāng)，容積就已確定了。對于用戶所處地區(qū)大氣壓變化情況和實際使用場地溫度、被測介質(zhì)溫度最大變化值，來進行估算設(shè)計值是否正確。