技術(shù)特征：
1.一種SF6氣體泄漏的點(diǎn)陣激光誘導(dǎo)等離子體光譜檢測方法，其特征在于，所述方法通過SF6氣體泄漏的點(diǎn)陣激光誘導(dǎo)等離子體光譜檢測系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，所述系統(tǒng)包括嵌入式系統(tǒng)主機(jī)、高能量脈沖激光器、擴(kuò)束鏡、聚焦透鏡陣列、分束鏡、光電探測器陣列、驅(qū)動放大輸出電路、聲光可調(diào)濾波器、AOTF驅(qū)動控制器和透鏡；嵌入式系統(tǒng)主機(jī)連接并控制高能量脈沖激光器；高能量脈沖激光器發(fā)出的脈沖激光通過擴(kuò)束鏡形成平行激光束，進(jìn)入聚焦透鏡陣列后，平行激光束射向分束鏡，穿過分束鏡后，聚焦到監(jiān)測區(qū)域；由激光誘導(dǎo)產(chǎn)生的激光誘導(dǎo)等離子體光譜信號經(jīng)分束鏡的高反膜反射后，經(jīng)過透鏡，再經(jīng)聲光可調(diào)濾波器到達(dá)光電探測器陣列；聲光可調(diào)濾波器通過AOTF驅(qū)動控制器連接嵌入式系統(tǒng)主機(jī)的I/0口；位于光電探測器陣列旁的驅(qū)動放大輸出電路連接嵌入式系統(tǒng)主機(jī)的相應(yīng)I/0口；所述方法包括以下步驟：(1)嵌入式系統(tǒng)主機(jī)發(fā)出指令，啟動高能量脈沖激光器；高能量脈沖激光器發(fā)出一納秒級波長λ1為1064nm的高能量脈沖激光，經(jīng)擴(kuò)束鏡后形成一定直徑的平行激光束；(2)平行激光束經(jīng)過聚焦透鏡陣列，再穿過分束鏡后，聚焦到監(jiān)測區(qū)域，形成N2個(gè)脈沖激光聚焦點(diǎn)，這N2個(gè)點(diǎn)均勻分布在監(jiān)測區(qū)域的同一個(gè)平面內(nèi)；(3)N2個(gè)脈沖激光聚焦點(diǎn)處由激光誘導(dǎo)產(chǎn)生的光譜范圍為Δλ，波長為400nm至760nm的LIBS信號經(jīng)分束鏡的高反膜反射后，再經(jīng)透鏡聚焦至光電探測器陣列；(4)嵌入式系統(tǒng)主機(jī)發(fā)出指令啟動高能量脈沖激光器后，經(jīng)過一個(gè)微秒級的微小延時(shí)后，發(fā)出指令至AOTF驅(qū)動控制器，選擇對應(yīng)于SF6氣體組成中硫原 子的某一發(fā)射波長λ2；同時(shí)發(fā)出指令至驅(qū)動放大輸出電路，對光電探測器陣列進(jìn)行供電，使其工作并接收對應(yīng)于波長λ2的LIBS信號，通過信號放大、模數(shù)轉(zhuǎn)換之后，由驅(qū)動放大輸出電路輸出至嵌入式系統(tǒng)主機(jī)；(5)收到對應(yīng)于λ2的N2個(gè)點(diǎn)的激光誘導(dǎo)等離子體光譜信號強(qiáng)度后，嵌入式系統(tǒng)主機(jī)將其儲存以供后續(xù)分析，并同時(shí)發(fā)出指令至驅(qū)動放大輸出電路，對光電探測器陣列進(jìn)行斷電，使其停止工作；(6)重復(fù)以上步驟(1)至(5)，在步驟(4)與(5)中的λ2變?yōu)閷?yīng)于SF6氣體組成中氟原子的某一發(fā)射波長λ3；(7)嵌入式系統(tǒng)主機(jī)內(nèi)的分析軟件對N2個(gè)點(diǎn)的對應(yīng)λ2與λ3的LIBS信號強(qiáng)度進(jìn)行平均運(yùn)算得到I2與I3，分別反映了監(jiān)測區(qū)域聚焦平面的硫元素與氟元素的濃度；通過設(shè)定閾值，即可斷定SF6電力設(shè)備是否有SF6氣體泄漏；除此之外，通過對N2個(gè)點(diǎn)的編號，對N2個(gè)點(diǎn)的對應(yīng)λ2與λ3的激光誘導(dǎo)等離子體光譜信號強(qiáng)度的比較，還可粗略得出SF6氣體在聚焦平面的濃度分布。