大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置和方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置和方法，包含數(shù)控機(jī)箱、主控計(jì)算機(jī)、測(cè)量龍門架、動(dòng)態(tài)干涉儀、干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)、工作平臺(tái)、氣浮導(dǎo)軌。動(dòng)態(tài)干涉儀安裝在干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)上，干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)安裝于測(cè)量龍門架的橫梁上，測(cè)量龍門架置于氣浮導(dǎo)軌上，測(cè)量龍門架和干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)通過(guò)電纜與數(shù)控機(jī)箱連接，主控計(jì)算機(jī)與數(shù)控機(jī)箱、動(dòng)態(tài)干涉儀通過(guò)信號(hào)線連接，主控計(jì)算機(jī)安裝有測(cè)量主控軟件、動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件及全局波面擬合評(píng)價(jià)軟件。該裝置可以對(duì)子孔徑數(shù)據(jù)全局波面擬合獲得大口徑被測(cè)面的中低頻面形，降低了干涉測(cè)量對(duì)環(huán)境的敏感性，降低了對(duì)測(cè)量系統(tǒng)幾何精度的要求，設(shè)備集成度高，檢測(cè)效率高，可擴(kuò)展至車間環(huán)境下測(cè)量。
【專利說(shuō)明】大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置和方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置和方法，屬于光學(xué)檢測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]大口徑光學(xué)元件在航天、軍事等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛，這給大口徑光學(xué)元件的加工和檢測(cè)效率及質(zhì)量都提出了巨大挑戰(zhàn)?，F(xiàn)有的高精度大口徑光學(xué)元件的檢測(cè)方法有兩種，一種是采用大口徑干涉儀直接測(cè)量，一種是小口徑干涉儀拼接測(cè)量，前者成本過(guò)高，而且不具有在車間環(huán)境下測(cè)量的可能，因此后者成為了提高高精度檢測(cè)效率的首選。即便如此，不同于隔振、恒溫、恒濕的實(shí)驗(yàn)室條件，車間環(huán)境下的檢測(cè)也存在諸多難點(diǎn)，比如在有震動(dòng)的車間條件下干涉儀測(cè)量失效等。
[0003]現(xiàn)階段運(yùn)用較多的多孔徑重疊掃描拼接法，需要測(cè)量若干個(gè)具有重疊區(qū)的子孔徑，這些子孔徑必須覆蓋被測(cè)面全部面形，重疊區(qū)的大小、子孔徑的定位誤差等因素都會(huì)影響拼接精度，這對(duì)拼接系統(tǒng)的幾何精度提出了較高要求，而且覆蓋全部被測(cè)面形的密集采樣除了采樣時(shí)間長(zhǎng)所帶來(lái)的測(cè)量不確定性風(fēng)險(xiǎn)外，給后續(xù)拼接計(jì)算也增加了大數(shù)據(jù)量計(jì)算的負(fù)擔(dān)。實(shí)際應(yīng)用中，特別是在加工現(xiàn)場(chǎng)工藝的分析和改進(jìn)中，大尺寸光學(xué)平面測(cè)量很多只需關(guān)注中低頻信息即可。本發(fā)明是針對(duì)加工車間等條件下大口徑光學(xué)元件中低頻面形的快速檢測(cè)這一關(guān)鍵技術(shù)展開研究。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明是針對(duì)加工車間條件下大口徑光學(xué)元件中低頻面形的快速檢測(cè)要求，提出了一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形的快速檢測(cè)裝置和方法。該裝置相比傳統(tǒng)測(cè)量裝置而言，可擴(kuò)展至車間條件下測(cè)量，采樣孔徑之間無(wú)需重疊，因而減少了采樣孔徑，降低了對(duì)測(cè)量系統(tǒng)幾何精度的要求，操作簡(jiǎn)便集成度高，有效提高了檢測(cè)效率，是高效率檢測(cè)大口徑光學(xué)元件中低頻面形的檢測(cè)裝置。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置，包含數(shù)控機(jī)箱、主控計(jì)算機(jī)、測(cè)量龍門架、動(dòng)態(tài)干涉儀、干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)、工作平臺(tái)、氣浮導(dǎo)軌，動(dòng)態(tài)干涉儀安裝在所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)上，所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)安裝于所述測(cè)量龍門架的橫梁上，測(cè)量龍門架置于氣浮導(dǎo)軌上，被測(cè)件放置于所述的工作平臺(tái)上，所述測(cè)量龍門架和所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)通過(guò)電纜與所述數(shù)控機(jī)箱連接，所述主控計(jì)算機(jī)與所述數(shù)控機(jī)箱通過(guò)信號(hào)線連接，所述主控計(jì)算機(jī)與所述動(dòng)態(tài)干涉儀通過(guò)信號(hào)線連接。所述主控計(jì)算機(jī)安裝有測(cè)量主控軟件、動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件和全局波面擬合評(píng)價(jià)軟件。
[0006]所述測(cè)量龍門架的橫梁上安裝橫向位移滑座，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)精密滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱連接。
[0007]所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)安裝于橫向位移滑座上，所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)包括外框架，安裝底板，安裝面板，Z向精密滾珠絲杠，Z向驅(qū)動(dòng)電機(jī)，第一微調(diào)絲杠及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)1、第二微調(diào)絲杠及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)II，動(dòng)態(tài)干涉儀固定在安裝面板上，第一微調(diào)絲杠和第二微調(diào)絲杠成對(duì)角線固定于安裝面板和安裝底板之間，另兩個(gè)角通過(guò)螺栓固定連接，安裝底板固定于Z向精密滾珠絲杠上，Z向精密滾珠絲杠安裝于外框架上，各驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱連接。
[0008]所述的工作平臺(tái)的臺(tái)面安裝于閉式靜壓導(dǎo)軌上，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直線電機(jī)與數(shù)控機(jī)箱通過(guò)電纜連接，臺(tái)面上標(biāo)記有初始零位。
[0009]所述主控計(jì)算機(jī)上安裝的主控軟件控制所述測(cè)量龍門架和工作平臺(tái)Y向移動(dòng)，控制橫向位移滑座X向移動(dòng)，控制干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)的Z向精密滾珠絲杠、第一微調(diào)絲杠、第二微調(diào)絲杠運(yùn)動(dòng)；所述主控計(jì)算機(jī)上安裝的動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件可以配合動(dòng)態(tài)干涉儀進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；所述主控計(jì)算機(jī)上安裝的全局波面擬合評(píng)價(jià)軟件可以將采集數(shù)據(jù)恢復(fù)出整體被測(cè)面形。
[0010]一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)方法，采用上述大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置進(jìn)行測(cè)量，具體實(shí)施步驟為:
1)初始化參數(shù)設(shè)定:將被測(cè)件放置于工作平臺(tái)初始零位，在所述主控計(jì)算機(jī)的測(cè)量主控軟件中，輸入被測(cè)件尺寸，則軟件給出非重疊的子孔徑數(shù)目、位置等信息；選擇測(cè)量過(guò)程中Y向移動(dòng)測(cè)量龍門架或者工作平臺(tái)；
2)所述主控計(jì)算機(jī)發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量前校準(zhǔn)模式:移動(dòng)橫向位移滑座，調(diào)整所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)使動(dòng)態(tài)干涉儀出射光垂直入射至被測(cè)表面中心孔徑，并且使動(dòng)態(tài)干涉儀參考鏡至被測(cè)件距離盡量短；所述動(dòng)態(tài)干涉儀對(duì)被測(cè)件中心孔徑進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)量，待結(jié)果符合穩(wěn)定性要求之后進(jìn)入下一步；
3)所述主控計(jì)算機(jī)發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量模式:所述主控計(jì)算機(jī)控制所述測(cè)量龍門架或者工作平臺(tái)和橫向位移滑座根據(jù)測(cè)量子孔徑位置運(yùn)動(dòng)，每當(dāng)運(yùn)動(dòng)至一個(gè)子孔徑時(shí)，觸發(fā)所述主控計(jì)算機(jī)上動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件采集該子孔徑面形數(shù)據(jù)，記錄完成后，所述動(dòng)態(tài)干涉儀自動(dòng)移至下一個(gè)子孔徑，測(cè)量方案中每個(gè)子孔徑都采集到數(shù)據(jù)后，反饋至所述主控計(jì)算機(jī)結(jié)束測(cè)量；
4)所述主控計(jì)算機(jī)發(fā)出指令，進(jìn)入全局波面擬合評(píng)價(jià)模式:所述主控計(jì)算機(jī)根據(jù)選擇的濾波方式對(duì)采集數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，根據(jù)測(cè)量子孔徑位置及面形數(shù)據(jù)擬合恢復(fù)出被測(cè)面中低頻面形。
[0011]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比較，具有如下突出實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著優(yōu)點(diǎn):
本發(fā)明采用干涉測(cè)量全局?jǐn)M合技術(shù)，拓展了測(cè)量范圍；采用干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)，可以遠(yuǎn)程調(diào)整干涉儀位姿；采用動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量，降低了對(duì)測(cè)量環(huán)境的要求；采用全局波面擬合方法，降低了對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的幾何精度要求，同時(shí)減少了采集子孔徑數(shù)目，提高了檢測(cè)效率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是本發(fā)明大口徑光學(xué)元件表面面形檢測(cè)裝置示意圖。
[0013]圖2是本發(fā)明測(cè)量龍門架橫梁示意圖。
[0014]圖3是本發(fā)明干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)示意圖。
[0015]圖4是本發(fā)明工作平臺(tái)示意圖。
[0016]圖5是本發(fā)明大口徑光學(xué)元件表面面形檢測(cè)方法流程圖。
[0017]圖6是被測(cè)面子孔徑分布示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0019]參見圖1，一種大口徑光學(xué)元件表面面形檢測(cè)裝置，包含數(shù)控機(jī)箱104、主控計(jì)算機(jī)105、測(cè)量龍門架106、動(dòng)態(tài)干涉儀107、干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108、工作平臺(tái)102、氣浮導(dǎo)軌103，動(dòng)態(tài)干涉儀107安裝在所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108上，所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108安裝于所述測(cè)量龍門架106的橫梁上，測(cè)量龍門架106置于氣浮導(dǎo)軌103上，被測(cè)件101放置于所述的工作平臺(tái)102上，所述測(cè)量龍門架106和所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108通過(guò)電纜與所述數(shù)控機(jī)箱104連接，所述主控計(jì)算機(jī)105與所述數(shù)控機(jī)箱104通過(guò)信號(hào)線連接，所述主控計(jì)算機(jī)105與所述動(dòng)態(tài)干涉儀107通過(guò)信號(hào)線連接。所述主控計(jì)算機(jī)105安裝有測(cè)量主控軟件、動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件及全局波面擬合評(píng)價(jià)軟件。
[0020]本實(shí)施例中動(dòng)態(tài)干涉儀選用ZYGO DynaFiz動(dòng)態(tài)干涉儀，被測(cè)件采用300 X 500mm2的矩形光學(xué)平板。
[0021]如圖2，所述測(cè)量龍門架106的橫梁上安裝橫向位移滑座203，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)201驅(qū)動(dòng)精密滾珠絲杠202實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)201通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱104連接。
[0022]如圖3，所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108安裝于橫向位移滑座203上，所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108包括外框架301，安裝底板309，安裝面板310，Z向精密滾珠絲杠308，Z向驅(qū)動(dòng)電機(jī)304，第一微調(diào)絲杠302及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)I 303、第二微調(diào)絲杠307及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)II 306，動(dòng)態(tài)干涉儀305固定在安裝面板310上，第一微調(diào)絲杠302和第二微調(diào)絲杠307成對(duì)角線固定于安裝面板310和安裝底板309之間，另兩個(gè)角通過(guò)螺栓固定連接,安裝底板309固定于Z向精密滾珠絲杠308上，Z向精密滾珠絲杠308安裝于外框架301上，各驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱104連接。
[0023]如圖4，所述的工作平臺(tái)102的臺(tái)面403安裝于閉式靜壓導(dǎo)軌402上，采用直線電機(jī)401驅(qū)動(dòng)，直線電機(jī)401與數(shù)控機(jī)箱104通過(guò)電纜連接，臺(tái)面403上標(biāo)記有初始零位。
[0024]所述主控計(jì)算機(jī)105上安裝的主控軟件控制所述測(cè)量龍門架106和工作平臺(tái)102Y向移動(dòng)，控制橫向位移滑座203X向移動(dòng)，控制干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108的Z向精密滾珠絲杠306、微調(diào)絲杠I 301和微調(diào)絲杠2 302運(yùn)動(dòng)；所述主控計(jì)算機(jī)105上安裝的動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件可以配合動(dòng)態(tài)干涉儀107進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；所述主控計(jì)算機(jī)105上安裝的全局波面擬合評(píng)價(jià)軟件可以將采集數(shù)據(jù)恢復(fù)出整體被測(cè)面形。
[0025]如圖5，一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)方法，采用上述測(cè)量裝置，具體實(shí)施步驟為:
1)初始化參數(shù)設(shè)定:將被測(cè)件101放置于工作平臺(tái)初始零位，在所述主控計(jì)算機(jī)105的測(cè)量主控軟件中，輸入被測(cè)件101尺寸，則軟件給出非重疊的子孔徑數(shù)目、位置等信息，如圖6所示；選擇測(cè)量過(guò)程中Y向移動(dòng)測(cè)量龍門架106或者工作平臺(tái)102 ；
2)所述主控計(jì)算機(jī)105發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量前校準(zhǔn)模式:移動(dòng)橫向位移滑座203，調(diào)整所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)108使動(dòng)態(tài)干涉儀107出射光垂直入射至被測(cè)表面中心孔徑，并且使動(dòng)態(tài)干涉儀107參考鏡至被測(cè)件距離盡量短；所述動(dòng)態(tài)干涉儀107對(duì)被測(cè)件101中心孔徑進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)量，待結(jié)果符合穩(wěn)定性要求之后進(jìn)入下一步；
3)所述主控計(jì)算機(jī)105發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量模式:所述主控計(jì)算機(jī)105控制所述測(cè)量龍門架106或者工作平臺(tái)102和橫向位移滑座203根據(jù)測(cè)量路徑運(yùn)動(dòng)，每當(dāng)運(yùn)動(dòng)至一個(gè)子孔徑時(shí)，觸發(fā)所述主控計(jì)算機(jī)105上動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件采集該子孔徑面形數(shù)據(jù)，記錄完成后，所述動(dòng)態(tài)干涉儀107自動(dòng)移至下一個(gè)子孔徑，測(cè)量方案中每個(gè)子孔徑都采集到數(shù)據(jù)后，反饋至所述主控計(jì)算機(jī)105結(jié)束測(cè)量；
4)所述主控計(jì)算機(jī)105發(fā)出指令，進(jìn)入全局波面擬合評(píng)價(jià)模式:所述主控計(jì)算機(jī)105根據(jù)選擇的濾波方式對(duì)采集數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，根據(jù)測(cè)量子孔徑位置及面形數(shù)據(jù)擬合恢復(fù)出被測(cè)面中低頻面形。
【權(quán)利要求】
1.一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置，包含數(shù)控機(jī)箱(104)、主控計(jì)算機(jī)(105)、測(cè)量龍門架(106)、動(dòng)態(tài)干涉儀(107)、干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)、工作平臺(tái)(102)、氣浮導(dǎo)軌(103)，其特征在于:所述動(dòng)態(tài)干涉儀(107)安裝在所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)上，所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)安裝于所述測(cè)量龍門架(106)的橫梁上，測(cè)量龍門架(106)置于氣浮導(dǎo)軌(103)上，被測(cè)件(101)放置于所述的工作平臺(tái)(102)上，所述測(cè)量龍門架(106)和所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)通過(guò)電纜與所述數(shù)控機(jī)箱(104)連接，所述主控計(jì)算機(jī)(105)與所述數(shù)控機(jī)箱(104)通過(guò)信號(hào)線連接，所述主控計(jì)算機(jī)(105 )與所述動(dòng)態(tài)干涉儀(107 )通過(guò)信號(hào)線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置，其特征在于:所述測(cè)量龍門架(106 )的橫梁上安裝橫向位移滑座(203 )，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)(201)驅(qū)動(dòng)精密滾珠絲杠(202 )實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(201)通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱(104 )連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置，其特征在于:所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)安裝于橫向位移滑座(203)上，所述的干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)包括外框架(301)，安裝底板(309)，安裝面板(310)，Z向精密滾珠絲杠(308)，Z向驅(qū)動(dòng)電機(jī)(304)，第一微調(diào)絲杠(302)及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)I (303)、第二微調(diào)絲杠(307)及其驅(qū)動(dòng)電機(jī)II(306)，動(dòng)態(tài)干涉儀(305)固定在安裝面板(310)上，第一微調(diào)絲杠(302)和第二微調(diào)絲杠(307)成對(duì)角線固定于安裝面板(310)和安裝底板(309)之間，另兩個(gè)角通過(guò)螺栓固定連接，安裝底板(309)固定于Z向精密滾珠絲杠(308)上，Z向精密滾珠絲杠(308)安裝于外框架(301)上，各驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)電纜和數(shù)控機(jī)箱(104 )連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)裝置，其特征在于:所述的工作平臺(tái)(102)的臺(tái)面(403)安裝于閉式靜壓導(dǎo)軌(402)上，采用直線電機(jī)(401)驅(qū)動(dòng)，直線電機(jī)(401)與數(shù)控機(jī)箱(104)通過(guò)電纜連接，臺(tái)面(403)上標(biāo)記有初始零位。
5.一種大口徑光學(xué)元件中低頻面形快速檢測(cè)方法，采用上述檢測(cè)裝置進(jìn)行測(cè)量，其特征在于，具體實(shí)施步驟為: 1)初始化參數(shù)設(shè)定:將被測(cè)件(101)放置于工作平臺(tái)(102)初始零位，在所述主控計(jì)算機(jī)(105)中輸入被測(cè)件(101)尺寸，給出非重疊的子孔徑數(shù)目、位置等信息；選擇測(cè)量過(guò)程中Y向移動(dòng)測(cè)量龍門架(106)或者工作平臺(tái)(102)； . 2)所述主控計(jì)算機(jī)(105)發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量前校準(zhǔn)模式:移動(dòng)橫向位移滑座(203)，調(diào)整所述干涉儀精調(diào)機(jī)構(gòu)(108)使動(dòng)態(tài)干涉儀(107)出射光垂直入射至被測(cè)表面中心孔徑，并且使動(dòng)態(tài)干涉儀(107)參考鏡至被測(cè)件距離盡量短；所述動(dòng)態(tài)干涉儀(107)對(duì)被測(cè)件(101)中心孔徑進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)量，待結(jié)果符合穩(wěn)定性要求之后進(jìn)入下一步； . 3)所述主控計(jì)算機(jī)(105)發(fā)出指令，進(jìn)入測(cè)量模式:所述主控計(jì)算機(jī)(105)控制所述測(cè)量龍門架(106)或者工作平臺(tái)(102)和橫向位移滑座(203)根據(jù)測(cè)量子孔徑位置運(yùn)動(dòng)，每當(dāng)運(yùn)動(dòng)至一個(gè)子孔徑時(shí)，觸發(fā)所述主控計(jì)算機(jī)(105)上動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量軟件采集該子孔徑面形數(shù)據(jù)，記錄完成后，所述動(dòng)態(tài)干涉儀(107)自動(dòng)移至下一個(gè)子孔徑，測(cè)量方案中每個(gè)子孔徑都采集到數(shù)據(jù)后，反饋至所述主控計(jì)算機(jī)(105)結(jié)束測(cè)量； . 4 )所述主控計(jì)算機(jī)(105 )發(fā)出指令，進(jìn)入全局波面擬合模式:所述主控計(jì)算機(jī)(105 )根據(jù)選擇的濾波方式對(duì)采集數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，根據(jù)測(cè)量子孔徑位置及面形數(shù)據(jù)擬合恢復(fù)出被測(cè)面中低頻面形。
【文檔編號(hào)】G01B11/24GK104330051SQ201410614996
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月5日
【發(fā)明者】武欣, 于瀛潔, 王偉榮, 張小強(qiáng), 許海峰 申請(qǐng)人:上海大學(xué)