編碼器、具有編碼器的電機(jī)、和伺服系統(tǒng)相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本發(fā)明包含在2013年11月5日向日本專利局提交的日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng)JP2013-229833中公開(kāi)的內(nèi)容相關(guān)的主題，該日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用被并入到本文。技術(shù)領(lǐng)域本文公開(kāi)的實(shí)施方式涉及編碼器、具有編碼器的電機(jī)、伺服系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
JP2012-103032A公開(kāi)了一種反射型編碼器，該編碼器包括將光源夾在其之間地沿轉(zhuǎn)盤的圓周方向分隔設(shè)置的增量受光元件組、以及相對(duì)于光源設(shè)置在轉(zhuǎn)盤的半徑方向上的外側(cè)和內(nèi)側(cè)中的至少一者上的絕對(duì)受光元件組。近年來(lái)，伴隨著伺服系統(tǒng)向高性能化的發(fā)展，在反射型編碼器中期望進(jìn)一步提高檢測(cè)精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的一個(gè)方面可被總結(jié)為一種編碼器，包括：具有多個(gè)光學(xué)效應(yīng)部的軌道，所述光學(xué)效應(yīng)部設(shè)置為具有沿著測(cè)量方向的絕對(duì)圖案；點(diǎn)光源，所述點(diǎn)光源被配置成向所述軌道射出擴(kuò)散光；和受光陣列，所述受光陣列具有沿著測(cè)量方向設(shè)置的多個(gè)受光元件，并且所述受光元件被配置成接收在所述軌道上反射的光或透射的光，所述受光元件位于與所述光學(xué)效應(yīng)部之間的區(qū)域相對(duì)應(yīng)的并且在所述軌道反射的光或透射的光不會(huì)到達(dá)的區(qū)域內(nèi)。本發(fā)明的另一方面可被總結(jié)為一種具有編碼器的電機(jī)，包括：可動(dòng)部件相對(duì)于定子移動(dòng)的線性電機(jī)、或者轉(zhuǎn)子相對(duì)于定子旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)型電機(jī)；以及被構(gòu)成為檢測(cè)所述可動(dòng)部件或所述轉(zhuǎn)子的位置和速度中的至少一者的編碼器。本發(fā)明的另一方面可被總結(jié)為一種伺服系統(tǒng)，包括：可動(dòng)部件相對(duì)于定子移動(dòng)的線性電機(jī)、或者轉(zhuǎn)子相對(duì)于定子移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)型電機(jī)；被構(gòu)成為檢測(cè)所述可動(dòng)部件或所述轉(zhuǎn)子的位置和速度中的至少一者的編碼器；以及控制器，所述控制器被構(gòu)成為根據(jù)由所述編碼器檢測(cè)的結(jié)果控制所述線性電機(jī)或所述旋轉(zhuǎn)型電機(jī)。附圖說(shuō)明圖1是用于對(duì)根據(jù)實(shí)施方式的伺服系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖2是用于對(duì)根據(jù)該實(shí)施方式的編碼器進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖3是用于對(duì)根據(jù)該實(shí)施方式的圓盤進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖4是用于對(duì)根據(jù)該實(shí)施方式的軌道進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖5是用于對(duì)根據(jù)該實(shí)施方式的光學(xué)模塊和受光陣列進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖6是用于對(duì)光源寬度、光學(xué)效應(yīng)部寬度、受光元件寬度、受光面上的光量之間的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖7是用于對(duì)光源寬度、光學(xué)效應(yīng)部寬度、受光面上的光量、檢測(cè)信號(hào)的振幅之間的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖8是用于對(duì)根據(jù)變型例的光學(xué)模塊及受光陣列進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；圖9是用于對(duì)根據(jù)另一變型例的光學(xué)模塊及受光陣列進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖；以及圖10是對(duì)根據(jù)又一變型例的光學(xué)模塊及受光陣列進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。具體實(shí)施方式以下參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，下面所說(shuō)明的根據(jù)實(shí)施方式的編碼器可應(yīng)用于諸如旋轉(zhuǎn)型和直線型等各種各樣的編碼器。在下面，為了使編碼器容易理解，使用旋轉(zhuǎn)型編碼器作為示例進(jìn)行說(shuō)明。在應(yīng)用另一編碼器類型的情況下，可以通過(guò)將諸如將被測(cè)量對(duì)象從旋轉(zhuǎn)型圓盤改變?yōu)榫€性標(biāo)尺來(lái)進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兓?，因此省略其詳?xì)的說(shuō)明。<1.伺服系統(tǒng)>首先，將參照?qǐng)D1對(duì)根據(jù)該實(shí)施方式的伺服系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，伺服系統(tǒng)S包括伺服電機(jī)SM和控制器CT。伺服電機(jī)SM包括編碼器100和電機(jī)M。電機(jī)M是不包括編碼器100的動(dòng)力源的示例。電機(jī)M是轉(zhuǎn)子(未示出)相對(duì)于定子(未示出)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)型電機(jī)，其通過(guò)使固定到轉(zhuǎn)子的軸SH圍繞軸心AX旋轉(zhuǎn)來(lái)輸出旋轉(zhuǎn)力。另外，可以將電機(jī)M單獨(dú)稱作伺服電機(jī)，但是，在該實(shí)施方式中，將包括編碼器100和電機(jī)M的結(jié)構(gòu)稱作伺服電機(jī)SM。即，伺服電機(jī)SM相當(dāng)于具有編碼器的電機(jī)的一個(gè)示例。在下面，為了便于說(shuō)明，對(duì)具有編碼器的電機(jī)是以追蹤諸如位置、速度等的目標(biāo)值的方式被控制的伺服電機(jī)的情況進(jìn)行說(shuō)明，但是具有編碼器的電機(jī)不一定限于伺服電機(jī)。在例如編碼器僅用于顯示輸出的情況下，只要附接有編碼器，則具有編碼器的電機(jī)也包括用于除伺服系統(tǒng)以外的系統(tǒng)使用的電機(jī)。此外，電機(jī)M只要是例如編碼器100能夠檢測(cè)其位置數(shù)據(jù)，則不特別地限定。另外，電機(jī)M不限于使用電作為動(dòng)力源的電動(dòng)式電機(jī)，其也可以是例如油壓式電機(jī)、氣動(dòng)式電機(jī)、蒸汽式電機(jī)等使用其他的動(dòng)力源的電機(jī)。但是，為了便于下面的說(shuō)明，對(duì)電機(jī)M是電動(dòng)式電機(jī)的情況進(jìn)行說(shuō)明。編碼器100連接到電機(jī)M的軸SH的旋轉(zhuǎn)力輸出側(cè)的相反側(cè)，但是，被連接側(cè)不一定限于該相反側(cè)。編碼器100也可以連接到軸SH的旋轉(zhuǎn)力輸出側(cè)。編碼器100通過(guò)檢測(cè)軸SH(轉(zhuǎn)子)的位置來(lái)檢測(cè)電機(jī)M的位置(也稱作旋轉(zhuǎn)角度)，并輸出表示電機(jī)M的位置的位置數(shù)據(jù)。編碼器100可以除檢測(cè)電機(jī)M的位置或者取代檢測(cè)電機(jī)M的位置，檢測(cè)電機(jī)M的速度(也稱作旋轉(zhuǎn)速度、角速度等)以及電機(jī)M的加速度(也稱作旋轉(zhuǎn)加速度、角加速度等)中的至少一者。在這種情況下，可以通過(guò)例如求出位置相對(duì)于時(shí)間的一階微分或二階微分、或者在預(yù)定的時(shí)間段對(duì)檢測(cè)信號(hào)(例如，下述的增量信號(hào))進(jìn)行計(jì)數(shù)，來(lái)檢測(cè)電機(jī)M的速度和加速度。為了便于說(shuō)明，下面對(duì)由編碼器100檢測(cè)的物理量作為位置的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。控制器CT獲取從編碼器100輸出的位置數(shù)據(jù)，并根據(jù)所獲得的位置數(shù)據(jù)來(lái)控制電機(jī)M的旋轉(zhuǎn)。因此，在使用電動(dòng)式電機(jī)作為電機(jī)M的本實(shí)施方式中，控制器CT通過(guò)根據(jù)位置數(shù)據(jù)控制施加于電機(jī)M的電流或電壓，來(lái)控制電機(jī)M的旋轉(zhuǎn)。另外，控制器CT還可以通過(guò)從上位控制器(未示出)獲取上位控制信號(hào)，并且以從電機(jī)M的軸SH輸出能夠?qū)崿F(xiàn)該上位控制信號(hào)所表示的位置等的旋轉(zhuǎn)力的方式，來(lái)控制電機(jī)M。此外，在電機(jī)M是油壓式電機(jī)、氣動(dòng)式電機(jī)、或蒸汽式電機(jī)等使用其他的動(dòng)力源的情況下，控制器CT可以通過(guò)控制該動(dòng)力源的供給來(lái)控制電機(jī)M的旋轉(zhuǎn)。<2.編碼器>接下來(lái)，說(shuō)明根據(jù)本實(shí)施方式的編碼器100。如圖2所示，編碼器100包括圓盤110、光學(xué)模塊120、以及位置數(shù)據(jù)生成部130。在此，為了便于說(shuō)明編碼器100的結(jié)構(gòu)，如下定義諸如上和下等的方向，并適當(dāng)?shù)厥褂?。在圖2中，將圓盤110面向光學(xué)模塊120的方向、即沿Z軸的正方向稱作“上”方向，將沿Z軸的負(fù)方向稱作“下”方向。此外，該方向根據(jù)編碼器100的安裝方式而變化，并且不限制編碼器100的各部件的位置關(guān)系。(2-1.圓盤)如圖3所示圓盤110形成為圓板狀，并且被配置成圓盤中心O與軸心AX大致重合。圓盤110被連接到電機(jī)M的軸SH，并通過(guò)軸SH的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中，將圓板狀的圓盤110作為測(cè)量電機(jī)M的旋轉(zhuǎn)的測(cè)量對(duì)象的示例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，例如，也可以使用諸如軸SH的端面等其他的部件作為測(cè)量對(duì)象。另外，雖然在圖2所示的示例中圓盤110被直接連接到軸SH，但是圓盤110也可以經(jīng)由諸如轂等連接部件而連接至軸SH。如圖3所示，圓盤110包括多個(gè)軌道SA1、SA2、SI。雖然圓盤110隨著電機(jī)M的驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，但是光學(xué)模塊120面向圓盤110的一部分的同時(shí)被固定地配置。因此，軌道SA1、SA2、SI以及光學(xué)模塊120隨著電機(jī)M被驅(qū)動(dòng)，在測(cè)量方向(圖3所示的箭頭C的方向；在下文適當(dāng)?shù)胤Q作“測(cè)量方向C”)上相對(duì)于彼此移動(dòng)。在此，“測(cè)量方向”是由光學(xué)模塊120以光學(xué)方式測(cè)量在圓盤110上形成各軌道時(shí)的測(cè)量方向。在如本實(shí)施方式那樣測(cè)量對(duì)象是圓盤110的旋轉(zhuǎn)型編碼器中，測(cè)量方向與以圓盤110的中心軸作為中心的圓周方向一致，但是，例如，在測(cè)量對(duì)象是線性標(biāo)尺并且可動(dòng)部件相對(duì)于定子移動(dòng)的直線型編碼器中，測(cè)量方向是沿著線性標(biāo)尺的方向。此外，“中心軸”是圓盤110的旋轉(zhuǎn)軸心，并且在圓盤110和軸SH被同軸彼此連接的情況下與軸SH的軸心AX一致。(2-2.光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu))光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括軌道SA1、SA2、SI以及光學(xué)模塊120。各軌道在圓盤110的上表面上被形成作為以圓盤中心O為中心的圓環(huán)狀配置的軌道。各軌道包括在軌道的整個(gè)圓周上沿測(cè)量方向C設(shè)置的多個(gè)光學(xué)效應(yīng)部(opticaleffecters)(圖4中的斜線陰影部分)。在本實(shí)施方式中，各光學(xué)效應(yīng)部被設(shè)置成反射從光源121照射的光。光學(xué)效應(yīng)部被設(shè)置成反射或透射光。在本實(shí)施方式中，光學(xué)效應(yīng)部被設(shè)置成反射光。光學(xué)效應(yīng)部可稱作“狹縫(反射狹縫或透射狹縫)”，這是因?yàn)樵诠鈱W(xué)效應(yīng)部上反射或透射的光沿著預(yù)定方向行進(jìn)而不阻礙光路。此外，多個(gè)光學(xué)效應(yīng)部可以整體上是光柵。(2-2-1.圓盤)圓盤110由反射光的材料例如金屬形成。然后，對(duì)在圓盤110的表面上不反射光的部分涂覆并配置反射率低的材料(例如，氧化鉻等)，由此在沒(méi)有配置該反射率低的材料的部分上形成光學(xué)效應(yīng)部。此外，也可以通過(guò)噴濺將在不反射光的部分轉(zhuǎn)換為粗糙面從而減少反射。由此，可以在該部分上形成光學(xué)效應(yīng)部。此外，圓盤110的材料、制造方法等不特別地限定。例如，圓盤110可以使用諸如玻璃或透明樹(shù)脂等透射光的材料來(lái)形成。在這種情況下，可以在圓盤110的表面上通過(guò)例如噴鍍配置反射光的材料(例如，鋁等)，從而可以形成光學(xué)效應(yīng)部。在圓盤110的上表面上沿寬度方向(圖3中所示的箭頭R的方向，在下面適當(dāng)?shù)胤Q作“寬度方向R”)設(shè)置了三個(gè)軌道。此外，“寬度方向”是圓盤110的徑向，即與測(cè)量方向C大致垂直的方向，沿該寬度方向R的各軌道的長(zhǎng)度相當(dāng)于各軌道的寬度。三個(gè)軌道沿寬度方向R從內(nèi)側(cè)向外側(cè)按照SA1、SI、SA2的順序同心配置。為了對(duì)各軌道進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，圖4示出了圓盤110的面對(duì)光學(xué)模塊120的區(qū)域附近的局部放大圖。如圖4所示，設(shè)置用于軌道SA1、SA2的多個(gè)光學(xué)效應(yīng)部以在測(cè)量方向C上具有絕對(duì)圖案的方式，沿著圓盤110的整個(gè)圓周配置。此外，“絕對(duì)圖案”是指下述的光學(xué)模塊120的受光陣列相互面對(duì)的角度內(nèi)的各光學(xué)效應(yīng)部的位置或比例在圓盤110的一轉(zhuǎn)內(nèi)被明白地確定的圖案。即，例如，如果在圖4所示的絕對(duì)圖案的示例的情況下電機(jī)M在某一角度位置，由相互面對(duì)的受光陣列的多個(gè)受光元件各自的檢測(cè)或未檢測(cè)產(chǎn)生的位圖案的組合明白地表示角度位置的絕對(duì)位置。此外，“絕對(duì)位置”是指圓盤110的一轉(zhuǎn)內(nèi)的相對(duì)于原點(diǎn)的角度位置。原點(diǎn)被設(shè)定在圓盤110的一轉(zhuǎn)內(nèi)的適當(dāng)?shù)慕嵌任恢?，以該原點(diǎn)為基準(zhǔn)形成絕對(duì)圖案。此外，根據(jù)該圖案的示例，可以生成通過(guò)受光陣列的受光元件的數(shù)量的位以一維方式表示電機(jī)M的絕對(duì)位置的圖案。但是，絕對(duì)圖案不限于該示例。例如，絕對(duì)圖案可以是通過(guò)受光元件的數(shù)量的位以多維方式表示的圖案。另外，除了可以是預(yù)定的位圖案以外，絕對(duì)圖案也可以是以由受光元件接收的諸如相位或光量等的物理量明白地表示絕對(duì)位置的方式變化的圖案、絕對(duì)圖案的代碼序列進(jìn)行了調(diào)制的圖案、或者其他的各種圖案。此外，在本實(shí)施方式中，相同的絕對(duì)圖案在測(cè)量方向C上偏移例如一位的二分之一的長(zhǎng)度，而形成為兩個(gè)軌道SA1、SA2。該偏移量相當(dāng)于例如軌道SI的光學(xué)效應(yīng)部的間距P的一半。如果軌道SA1、SA2沒(méi)有設(shè)置成偏移，則存在如下的可能性。即，當(dāng)如本實(shí)施方式那樣通過(guò)一維絕對(duì)圖案表示絕對(duì)位置時(shí)，由于受光陣列PA1、PA2的受光元件在光學(xué)效應(yīng)部的端部附近彼此相對(duì)地設(shè)置，因此在位圖案的變化的區(qū)域中絕對(duì)位置的檢測(cè)精度有可能下降。在本實(shí)施方式中，由于使軌道SA1、SA2偏移，例如，當(dāng)基于軌道SA1的絕對(duì)位置相當(dāng)于位圖案的變化時(shí)，使用來(lái)自軌道SA2的檢測(cè)信號(hào)來(lái)計(jì)算絕對(duì)位置，或者進(jìn)行相反的動(dòng)作，因此，能夠提高絕對(duì)位置的檢測(cè)精度。此外，在這種結(jié)構(gòu)的情況下，需要使兩個(gè)受光陣列PA1、PA2中的受光量均一。但是，在本實(shí)施方式中，將兩個(gè)受光陣列PA1、PA2距離光源121等距離地設(shè)置，從而能夠?qū)崿F(xiàn)上述的結(jié)構(gòu)。此外，也可以取代使軌道SA1和SA2的各絕對(duì)圖案偏移，例如，使與各軌道SA1和SA2相對(duì)應(yīng)的受光陣列PA1和PA2偏移，而不使絕對(duì)圖案偏移。另一方面，對(duì)軌道SI設(shè)置的多個(gè)光學(xué)效應(yīng)部以在測(cè)量方向C上具有增量圖案的方式，沿圓盤10的整個(gè)圓周配置。如圖4所示，“增量圖案”是以預(yù)定的間距有規(guī)律地重復(fù)的圖案。在此，“間距”是指具有增量圖案的軌道SI中的各光學(xué)效應(yīng)部的配置間隔。如圖4所示，軌道SI的間距是P。與將絕對(duì)位置表示作為與由多個(gè)受光元件進(jìn)行的檢測(cè)或未檢測(cè)相對(duì)應(yīng)的位的絕對(duì)圖案不同，增量圖案通過(guò)由至少一個(gè)或多個(gè)受光元件的檢測(cè)信號(hào)之和來(lái)表示每個(gè)間距或一個(gè)間距內(nèi)的電機(jī)M的位置。因此，增量圖案不表示電機(jī)M的絕對(duì)位置，而是與絕對(duì)圖案相比其能夠以非常高的精度表示位置。在本實(shí)施方式中，軌道SA1和軌道SA2的光學(xué)效應(yīng)部在測(cè)量方向C上的最小長(zhǎng)度與軌道SI的光學(xué)效應(yīng)部的間距P相同。因此，基于軌道SA1和軌道SA2的絕對(duì)信號(hào)的分辨率與軌道SI的光學(xué)效應(yīng)部的數(shù)量一致。然而，最小長(zhǎng)度不限于該示例，軌道SI的光學(xué)效應(yīng)部的數(shù)量?jī)?yōu)選設(shè)定成等于或大于絕對(duì)信號(hào)的分辨率。(2-2-2.光學(xué)模塊)如圖2和5所示，光學(xué)模塊120被形成作為與圓盤110平行的一個(gè)基板BA。因此，能夠使編碼器100薄型化或者能夠使光學(xué)模塊120的制造變得容易。因此，光學(xué)模塊120伴隨著圓盤110的旋轉(zhuǎn)，相對(duì)于軌道SA1、SA2、SI在測(cè)量方向C上相對(duì)移動(dòng)。此外，光學(xué)模塊120不一定必須被構(gòu)成為一個(gè)基板BA，各部件可以被構(gòu)成為多個(gè)基板。在這種情況下，這些基板可以被集中地配置。此外，光學(xué)模塊120也可以不是基板的形式。如圖2和圖5所示，光學(xué)模塊120在基板SA的面向圓盤110的表面上包括光源121以及多個(gè)受光陣列PA1、PA2、PIL和PIR。如圖3所示，光源121被配置在基板BA的面向圓盤110的表面上的面向軌道SI的位置上。并且，光源121向圓盤110的面向基板BA的表面上的通過(guò)面向光學(xué)模塊120的位置的三個(gè)軌道SA1、SA2、SI射出光。光源121不特別地限定，只要能夠?qū)φ丈鋮^(qū)域照射光即可，例如，可以使用發(fā)光二極管(LED)。光源121被特別地構(gòu)成作為沒(méi)有配置有光學(xué)透鏡的點(diǎn)光源，并且從發(fā)光部射出擴(kuò)散光。此外，在“點(diǎn)光源”的情況下，光源不需要是嚴(yán)格的點(diǎn)?？梢詮挠邢薜纳涑雒姘l(fā)出光，只要光源被認(rèn)為從設(shè)計(jì)的角度和工作原理上能夠從大致點(diǎn)狀的位置發(fā)出擴(kuò)散光的光源即可。另外，“擴(kuò)散光”不局限于從點(diǎn)光源朝向全方位射出的光，而包括朝向有限的一定的方位擴(kuò)散的同時(shí)射出的光。即，在此所述的擴(kuò)散光包括比平行光具有更大的擴(kuò)散性的光。通過(guò)使用上述點(diǎn)光源，光源121能夠向圓盤110的面向基板BA的表面上的通過(guò)面向光學(xué)模塊120的位置的三個(gè)軌道SA1、SA2、SI大致均等地照射光。另外，在本實(shí)施方式中，由于光不被光學(xué)元件聚集和擴(kuò)散，因此難以產(chǎn)生由光學(xué)元件引起的誤差，從而能夠提高光朝向軌道的直進(jìn)性。多個(gè)受光陣列圍繞光源121配置，并且包括多個(gè)受光元件(圖5的點(diǎn)陰影部分)，各受光元件分別接收由與其相對(duì)應(yīng)的軌道的光學(xué)效應(yīng)部反射的光。如圖5所示，多個(gè)受光元件沿著測(cè)量方向C設(shè)置。從光源121射出的光是擴(kuò)散光。因此，投影到光學(xué)模塊120上的軌道的圖像是被放大與光學(xué)路徑長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的預(yù)定放大率ε的圖像。即，如圖4和圖5所示，當(dāng)假設(shè)軌道SA1、SA2、SI各自在寬度方向R上的長(zhǎng)度為WSA1、WSA2、WSI，且反射光投影在光學(xué)模塊120上的形狀在寬度方向R上的長(zhǎng)度為WPA1、WPA2、WPI時(shí)，則WPA1、WPA2、WPI為WSA1、WSA2、WSI的ε倍。在本實(shí)施方式中，作為示例，如圖5所示，各受光陣列的受光元件在寬度方向R上的長(zhǎng)度被設(shè)定成與光學(xué)效應(yīng)部的投影到光學(xué)模塊120上的各形狀大致相同。但是，受光元件在寬度方向R上的長(zhǎng)度不一定限于該示例。同樣地，光學(xué)模塊120中的測(cè)量方向C的形狀也是圓盤110中的測(cè)量方向C投影到光學(xué)模塊120上的形狀，即受放大率ε影響的形狀。為了使理解更加容易，如圖2所示，將光源121的位置上的測(cè)量方向C作為示例進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。圓盤110中的測(cè)量方向C具有以軸心AX為中心的圓形。相對(duì)于此，投影到光學(xué)模塊120上的測(cè)量方向C的中心位于與光學(xué)中心Op分離距離εL的位置上，光學(xué)中心Op位于配置有光源121的圓盤110的面內(nèi)。距離εL是軸心AX與光學(xué)中心Op之間的距離L以放大率s放大后的距離。該位置在圖2中被概念性地示作測(cè)量中心Os。因此，光學(xué)模塊120中的測(cè)量方向C位于將測(cè)量中心Os作為中心、將距離εL作為半徑的線上，測(cè)量中心Os從光學(xué)中心Op在光學(xué)中心Op和軸心AX所在的線上在軸心AX方向上分離距離εL。在圖4和圖5中，圓盤110和光學(xué)模塊120中的測(cè)量方向C的對(duì)應(yīng)關(guān)系使用圓弧狀的線Lcd和Lcp表示。圖4中所示的線Lcd表示圓盤110上沿著測(cè)量方向C的線，而圖5中所示的線Lcp表示基板BA上沿著測(cè)量方向C的線(線Lcd被投影到光學(xué)模塊120上的線)。如圖2所示，當(dāng)假設(shè)光學(xué)模塊120與圓盤110之間的間距長(zhǎng)度為G并且光源121從基板BA的突出量為△d時(shí)，放大率ε由下面的(式1)表示。ε＝(2G－△d)/(G-△d)(式1)例如，可以使用光電二極管作為各受光元件。但是，受光元件不限于光電二極管。即，只要受光元件能夠接收從光源121射出的光并將所接收的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，則不特別地限定。在本實(shí)施方式中，受光陣列與三個(gè)軌道SA1、SA2、SI相對(duì)應(yīng)地配置。受光陣列PAl被構(gòu)成為接收被軌道SAl反射的光，受光陣列PA2被構(gòu)成為接收被軌道SA2反射的光。另外，受光陣列PIL、PIR被構(gòu)成為接收被軌道SI反射的光。受光陣列PIL、PIR在中間被分割，但是它們相應(yīng)于同一軌道。以這種方式，與一個(gè)軌道相對(duì)應(yīng)的受光陣列不限于一個(gè)，而可以是多個(gè)。光源121、受光陣列PA1、PA2、以及受光陣列PIL、PIR被配置成圖5所示的位置關(guān)系。與絕對(duì)圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PAl、PA2在寬度方向R上夾著光源121配置。在該示例中，受光陣列PA1被配置在內(nèi)周側(cè)，受光陣列PA2被配置在外周側(cè)。在本實(shí)施方式中，光源121和受光陣列PA1之間的距離與光源121和受光陣列PA2之間的距離大致相等。于是，對(duì)受光陣列PAl和PA2設(shè)置的多個(gè)受光元件分別沿著測(cè)量方向C(沿著線Lcp)以固定的間距設(shè)置。受光陣列PAl和PA2接收從各軌道SAl、SA2反射的光，由此生成具有與受光元件的數(shù)量相對(duì)應(yīng)的位圖案的絕對(duì)信號(hào)。與增量圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PIL和PIR在測(cè)量方向C上夾著光源121配置。具體而言，受光陣列PIL、PIR將與包含光源121的Y軸平行的線作為對(duì)稱軸從而線對(duì)稱地配置。各受光陣列PA1和PA2具有相對(duì)于該對(duì)稱軸、線對(duì)稱的形狀。光源121被配置于在測(cè)量方向C上被配置作為一個(gè)軌道的受光陣列PIL、PIR之間。在本實(shí)施方式中，由于一維的圖案被例示作為絕對(duì)圖案，因此與其相對(duì)應(yīng)的受光陣列PA1和PA2包括以接收被相對(duì)應(yīng)的軌道SAl和SA2的各光學(xué)效應(yīng)部反射的光的方式沿著測(cè)量方向C(沿著線Lcp)設(shè)置的多個(gè)受光元件(在本實(shí)施方式中，例如，九個(gè)受光元件)。在這些多個(gè)受光元件中，如上所述，將各受光或非受光的信號(hào)作為位處理，并表示九位的絕對(duì)位置。因此，多個(gè)受光元件分別接收的受光信號(hào)在位置數(shù)據(jù)生成部130中被相互獨(dú)立地處理，被加密(編碼)成串行位圖案的絕對(duì)位置根據(jù)這些受光信號(hào)的組合而被解碼。將受光陣列PAl、PA2的受光信號(hào)稱作“絕對(duì)信號(hào)”。此外，當(dāng)使用與本實(shí)施方式不同的絕對(duì)圖案時(shí)，受光陣列PA1和PA2成為與該圖案相對(duì)應(yīng)的構(gòu)造。受光陣列PIL和PIR包括以接收被相對(duì)應(yīng)的軌道SI的光學(xué)效應(yīng)部反射的光的方式沿著測(cè)量方向C(沿著線Lcp)設(shè)置的多個(gè)受光元件。在本實(shí)施方式中，在軌道SI的增量圖案的一個(gè)間距(被投影的圖像中的一個(gè)間距，即，ε×Pl)中，設(shè)置有總共四個(gè)受光元件的組(在圖5中由“組”表示)，并且沿著測(cè)量方向C進(jìn)一步設(shè)置有多個(gè)四個(gè)受光元件的組。于是，在增量圖案中，針對(duì)每一間距反復(fù)地形成光學(xué)效應(yīng)部。因此，當(dāng)圓盤110旋轉(zhuǎn)時(shí)，各受光元件在一個(gè)間距中生成一個(gè)周期(按照電角，稱作360°)的周期信號(hào)。并且，由于在對(duì)應(yīng)于一個(gè)間距的一組中配置有四個(gè)受光元件，一組內(nèi)的彼此相鄰的受光元件檢測(cè)彼此具有90°相位差的周期信號(hào)。將這些受光信號(hào)分別稱作A相信號(hào)、B相信號(hào)(與A相信號(hào)的相位差是90°)、反向的A相信號(hào)(與A相信號(hào)的相位差是180°)、反向的B相信號(hào)(與B相信號(hào)的相位差是180°)。由于增量圖案表示一個(gè)間距中的位置，因此一組中的各相位的信號(hào)和與其相對(duì)應(yīng)的另一組中的各相位的信號(hào)具有以相同的方式變化的值。因此，同一相位的信號(hào)在多個(gè)組中被累加。因此，將由圖5所示的受光陣列PI的大量的受光元件檢測(cè)偏移90°相位的四個(gè)信號(hào)。因此，從受光陣列PIL、PIR生成偏移90°相位的四個(gè)信號(hào)。將所述四個(gè)信號(hào)稱作“增量信號(hào)”。在本實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)于增量圖案的一個(gè)間距的一組中包含有四個(gè)受光元件，受光陣列PIL和PIR分別具有相同結(jié)構(gòu)的組。將該結(jié)構(gòu)作為示例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，例如，一組中可以包含兩個(gè)受光元件，一組中的受光元件的數(shù)量不特別地限定。另外，受光陣列PIL和PIR可以被構(gòu)成為獲取不同相位的受光信號(hào)。(2-3.位置數(shù)據(jù)生成部)位置數(shù)據(jù)生成部130在對(duì)電機(jī)M的絕對(duì)位置進(jìn)行測(cè)量的時(shí)刻，從光學(xué)模塊120獲取分別包括表示絕對(duì)位置的位圖案的兩個(gè)絕對(duì)信號(hào)、以及包括偏移90°相位的四個(gè)信號(hào)的增量信號(hào)。然后，位置數(shù)據(jù)生成部130基于所獲取的信號(hào)，計(jì)算這些信號(hào)所表示的電機(jī)M的絕對(duì)位置，并將表示計(jì)算出的絕對(duì)位置的位置數(shù)據(jù)輸出到控制器CT。對(duì)于使用位置數(shù)據(jù)生成部130生成位置數(shù)據(jù)的方法，能夠使用各種方法，而不特別地限定。在此，作為示例，描述了根據(jù)增量信號(hào)和絕對(duì)信號(hào)來(lái)計(jì)算絕對(duì)位置、然后生成位置數(shù)據(jù)的情況。位置數(shù)據(jù)生成部130將來(lái)自受光陣列PAl和PA2的各絕對(duì)信號(hào)二進(jìn)制化，并將二進(jìn)制化后的信號(hào)轉(zhuǎn)換成表示絕對(duì)位置的位數(shù)據(jù)。然后，位置數(shù)據(jù)生成部130基于預(yù)先確定的位數(shù)據(jù)與絕對(duì)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，來(lái)確定絕對(duì)位置。另一方面，位置數(shù)據(jù)生成部130將來(lái)自受光陣列PIL和PIR的具有四個(gè)相位的增量信號(hào)中的、180°相位差的增量信號(hào)進(jìn)行相減。通過(guò)以這種方式對(duì)相位差是180°的任何信號(hào)進(jìn)行相減，能夠?qū)⒁粋€(gè)間距內(nèi)的光學(xué)效應(yīng)部的制造誤差或測(cè)量誤差抵消。在此將如上所述相減得到的信號(hào)稱作“第一增量信號(hào)”和“第二增量信號(hào)”。該第一增量信號(hào)和第二增量信號(hào)在電角上相互具有90°相位差(簡(jiǎn)稱作“A相信號(hào)”和“B相信號(hào)”)。因此，位置數(shù)據(jù)生成部130根據(jù)這兩個(gè)信號(hào)來(lái)確定一個(gè)間距內(nèi)的位置。該一個(gè)間距內(nèi)的位置的確定方法不特別地限定。例如，當(dāng)作為周期信號(hào)的增量信號(hào)是正弦信號(hào)時(shí)，作為上述的確定方法的示例，具有通過(guò)對(duì)A相和B相這兩個(gè)正弦信號(hào)的相除結(jié)果進(jìn)行反正切運(yùn)算來(lái)計(jì)算電角的方法。另外，作為上述的確定方法的一個(gè)示例，還具有使用跟蹤電路來(lái)將兩個(gè)正弦信號(hào)轉(zhuǎn)換成電角的方法?；蛘撸鳛樯鲜龅拇_定方法的一個(gè)示例，還具有在預(yù)先準(zhǔn)備的表格中確定映射到A相和B相信號(hào)的值的電角的方法。此時(shí)，優(yōu)選地，位置數(shù)據(jù)生成部130針對(duì)各檢測(cè)信號(hào)對(duì)A相和B相的兩個(gè)正弦信號(hào)進(jìn)行模擬向數(shù)字的轉(zhuǎn)換。位置數(shù)據(jù)生成部130將基于絕對(duì)信號(hào)確定的絕對(duì)位置和通過(guò)增量信號(hào)確定的一個(gè)間距內(nèi)的位置重疊。由此，能夠以比基于絕對(duì)信號(hào)的絕對(duì)位置更高的分辨率來(lái)計(jì)算絕對(duì)位置。位置數(shù)據(jù)生成部130將如此計(jì)算出的絕對(duì)位置增倍從而進(jìn)一步提高分辨率，然后將絕對(duì)位置作為表示高精度的絕對(duì)位置的位置數(shù)據(jù)向控制器CT輸出。(2－4.光源寬度與受光元件寬度之間的關(guān)系)在本實(shí)施方式中，光源121的射出面的在測(cè)量方向上的寬度(以下，簡(jiǎn)單稱作“光源寬度”)與受光陣列PA1、PA2的各受光元件的在測(cè)量方向上的寬度x(以下，簡(jiǎn)單稱作“受光元件寬度x”)被設(shè)定成具有預(yù)定的關(guān)系，對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。圖6是表示光源寬度軌道SA1和SA2的各光學(xué)效應(yīng)部的在測(cè)量方向上的最小寬度y(以下，簡(jiǎn)單稱作“光學(xué)效應(yīng)部寬度y”)、受光元件寬度x、以及受光面上的光量之間的關(guān)系的圖。在圖6中，為了便于說(shuō)明，被光學(xué)效應(yīng)部反射的光以透過(guò)方式表示。另外，軌道SA1、SA2的各光學(xué)效應(yīng)部實(shí)際上被構(gòu)成為在每個(gè)最小寬度y(與軌道SI的間距P相等)上存在或者不存在，由此在測(cè)量方向上形成為預(yù)定的位圖案。在此，為了便于說(shuō)明，光學(xué)效應(yīng)部寬度y以它們以間隔y彼此相鄰的方式表示。通常，光源121為具有有限的發(fā)光面積的光源，而不是完全的理想的點(diǎn)光源。因此，如圖6所示，被從光源121射出并被圓盤110的軌道SA1和軌道SA2反射的光的受光面上的受光量在邊界部(測(cè)量方向的兩端部)減少，并且相對(duì)于所有的光學(xué)效應(yīng)部具有梯形的分布。在此，將受光面上的光量最大的區(qū)域定義為亮區(qū)域LA，將與光學(xué)效應(yīng)部之間的區(qū)域相對(duì)應(yīng)地設(shè)置并且被軌道SA1、SA2反射的光不能到達(dá)的區(qū)域定義為暗區(qū)域DA。將亮區(qū)域LA和暗區(qū)域DA的測(cè)量方向C上的寬度分別定義為WLA、WDA。亮區(qū)域LA的寬度WLA可如下表示。如圖6所示，三角形acd(以下，簡(jiǎn)單記載為“△acd”，同樣適用于其他的三角形)和△afh彼此相似。由此，y：fh＝u：u+v，并且fh＝{y×(u+v)}/u。另一方面，△dba和△dgh彼此相似。由此，因此，在此，u是光源121的發(fā)光面與軌道SA1或軌道SA2的反射面(圓盤110的表面)之間的間隔，v是軌道SA1或軌道SA2的反射面與受光陣列PA1或受光陣列PA2的受光面之間的間隔。另一方面，暗區(qū)域DA的寬度WDA可如下表示。如圖6所示，△bdi和△bgj彼此相似。因此，y：gj＝u：u+v，gj＝{y×(u+v)}/u。另一方面，如上所述，△dba和△dgh彼此相似，因此，因此，即，亮區(qū)域LA的寬度WLA與暗區(qū)域DA的寬度WDA相等。在此，在本實(shí)施方式中，受光陣列PA1或受光陣列PA2的受光元件落在暗區(qū)域DA內(nèi)，因此受光元件寬度x在暗區(qū)域DA的寬度WDA內(nèi)。另一方面，編碼器100包括用于使受光元件落在暗區(qū)域DA內(nèi)的裝置。具體而言，光源寬度和受光元件寬度x可被設(shè)定成受光陣列PA1或受光陣列PA2的受光元件落在暗區(qū)域DA內(nèi)。即，當(dāng)u≠v時(shí)，光源寬度和受光元件寬度x可被設(shè)定成滿足的關(guān)系式。如果針對(duì)光源寬度整理該式，則各受光元件的間距P1具有光學(xué)效應(yīng)部的間距2y以放大率ε(在圖6所示的例子中，ε＝(u+v)/u)被放大得到的距離。由此，隨著軌道SA1和SA2移動(dòng)，受光元件將能夠落在亮區(qū)域LA和暗區(qū)域DA兩者中。其結(jié)果，能夠在亮區(qū)域LA中使檢測(cè)信號(hào)的輸出最大，能夠在暗區(qū)域DA中使檢測(cè)信號(hào)的輸出最小。如此，能夠增大檢測(cè)信號(hào)的振幅，從而提高檢測(cè)精度。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，光學(xué)模塊120與圓盤110之間的間距長(zhǎng)度為G，光源121從基板BA的突出量為△d，因此u＝G－△d、v＝G。相反，如果△d小到可以忽視，則u＝v(＝G)。上述的關(guān)系式可以為或者－x。另外，在這種情況下，當(dāng)受光元件寬度x和光學(xué)效應(yīng)部寬度y彼此相等時(shí)，上述的關(guān)系式為或者＜3.本實(shí)施方式所產(chǎn)生的效果的示例＞在本實(shí)施方式中，如上所述，由于光源寬度和受光元件寬度x被設(shè)定成受光陣列PA1或受光陣列PA2的受光元件落在暗區(qū)域DA內(nèi)，因此能夠增大受光陣列PA1或受光陣列PA2的檢測(cè)信號(hào)的振幅，從而提高檢測(cè)精度。使用圖7對(duì)檢測(cè)精度的提高效果的示例進(jìn)行說(shuō)明。圖7是表示光源寬度光學(xué)效應(yīng)部寬度y、受光面上的光量、以及檢測(cè)信號(hào)的振幅之間的關(guān)系的圖。在此，為了便于說(shuō)明，對(duì)u和v彼此相等、且受光元件寬度x和光學(xué)效應(yīng)部寬度y彼此相等的情況進(jìn)行說(shuō)明。如圖7的左側(cè)所示的關(guān)系，當(dāng)光源寬度至少為光學(xué)效應(yīng)部寬度y的2倍時(shí)，受光陣列PA1或受光陣列PA2的受光面上的光量分布為三角形。當(dāng)光源寬度小于光學(xué)效應(yīng)部寬度y的2倍時(shí)，光量分布為梯形。隨著光源寬度減小，梯形的光量分布的平坦區(qū)域的寬度(相當(dāng)于上述的亮區(qū)域LA)增大，并且位于平坦區(qū)域的兩側(cè)的傾斜區(qū)域的寬度減小。如圖7的中央所示的關(guān)系，當(dāng)光源寬度與光學(xué)效應(yīng)部寬度y相等時(shí)，光量分布的平坦區(qū)域和兩個(gè)傾斜區(qū)域的寬度分別為y。如圖7的右側(cè)所示的關(guān)系，當(dāng)光源寬度進(jìn)一步減小時(shí)，光量分布的平坦區(qū)域的寬度進(jìn)一步增大，并且傾斜區(qū)域的寬度進(jìn)一步減小。在此，各受光元件所輸出的檢測(cè)信號(hào)的振幅為通過(guò)對(duì)光量分布在與受光元件所在的區(qū)域相對(duì)應(yīng)的區(qū)間中進(jìn)行積分得到的值。即，如果將光量分布的最大值(光量分布的最高點(diǎn)的高度)定義為L(zhǎng)max，則檢測(cè)信號(hào)的振幅的最大值由Lmax與受光元件寬度x之積表示。因此，當(dāng)受光元件寬度x為y時(shí)，當(dāng)光量分布的平坦區(qū)域的寬度不小于y時(shí)，平坦區(qū)域不小于積分區(qū)間，因此檢測(cè)信號(hào)的振幅達(dá)到由Lmax×x表示的最大值。但是，當(dāng)平坦區(qū)域的寬度小于x時(shí)，平坦區(qū)域小于積分區(qū)間，因此檢測(cè)信號(hào)的振幅不會(huì)達(dá)到最大值。當(dāng)檢測(cè)信號(hào)的振幅沒(méi)有達(dá)到最大值時(shí)，當(dāng)將振幅與閾值相比較并通過(guò)二進(jìn)制化來(lái)生成絕對(duì)位置信號(hào)時(shí)，例如，當(dāng)產(chǎn)生閾值變化或者光量分布的變化時(shí)，有可能無(wú)法準(zhǔn)確地二進(jìn)制化，因此有可能引起檢測(cè)精度的下降。在本實(shí)施方式中，光源寬度和受光元件寬度x被設(shè)定成滿足上述的關(guān)系式。在該示例中，關(guān)系式為即，由于光源寬度不大于光學(xué)效應(yīng)部寬度y，因此，如圖7的中央和右側(cè)所示的關(guān)系，能夠使光量分布的平坦區(qū)域的寬度不小于y。由此，檢測(cè)信號(hào)的振幅能夠達(dá)到由Lmax×x表示的最大值，因此能夠提高檢測(cè)精度。如圖7所示，當(dāng)光源寬度與光學(xué)效應(yīng)部寬度y相等時(shí)，光量分布的平坦區(qū)域和兩個(gè)傾斜區(qū)域的寬度分別為y。隨著光源寬度減小，光量分布中的平坦區(qū)域的比例增大，檢測(cè)信號(hào)的波形接近于矩形。在圖7的右側(cè)，作為光源寬度比光學(xué)效應(yīng)部寬度y小的情況的示例，示出了光源寬度等于光學(xué)效應(yīng)部寬度y的一半的情況。在這種情況下，光量分布的平坦區(qū)域的寬度為3/2×y，兩個(gè)傾斜區(qū)域的寬度為y/2。如此，檢測(cè)信號(hào)的波形接近矩形。由此，當(dāng)將振幅與閾值比較并通過(guò)二進(jìn)制化生成絕對(duì)位置信號(hào)時(shí)，例如，能夠減小產(chǎn)生閾值的變化或者光量分布的變化時(shí)檢測(cè)位置的波動(dòng)范圍。因此，能夠進(jìn)一步提高檢測(cè)精度。＜4.變型例＞參照附圖對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明。然而，權(quán)利要求書(shū)中記載的技術(shù)思想的范圍不限于本文說(shuō)明的實(shí)施方式。對(duì)于本實(shí)施方式所屬的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言顯而易見(jiàn)的是，在本技術(shù)思想的范圍內(nèi)能夠構(gòu)想和實(shí)施各種變型或替換或它們的組合。因此，進(jìn)行了這些變型或替換或它們的組合之后的技術(shù)當(dāng)然也落在本技術(shù)思想的范圍內(nèi)。(4－1.增量受光陣列的非分割配置)在上述的實(shí)施方式中，描述了與增量圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PI在測(cè)量方向上在分割的受光陣列之間夾著光源121地分割地配置的情況。但是，例如，如圖8所示，受光陣列PI也可以被配置作為一個(gè)受光陣列，而不被分割。在該示例中，受光陣列PI被配置在光源121的相對(duì)于中心軸的相反側(cè)(外周側(cè))。受光陣列PI被構(gòu)成為接收被具有間距P的增量圖案的軌道SI反射的光。受光陣列PA1和受光陣列PA2與上述的實(shí)施方式相同。在該情況下，雖然未示出，但是，在圓盤110上，三個(gè)軌道從寬度方向R的內(nèi)側(cè)向外側(cè)按照SA1、SA2、和SI的順序配置。在采取這種結(jié)構(gòu)的情況下，除了與上述的實(shí)施方式相同的效果以外，還能夠提高對(duì)圓盤110的偏心的魯棒性。即，由圓盤110的偏心引起的檢測(cè)誤差通常傾向于依賴于軌道的半徑。軌道的半徑越小，誤差越大。軌道的半徑越大，誤差越小。因此，當(dāng)要提高對(duì)增量信號(hào)的偏心的魯棒時(shí)，如本變型例所示，受光陣列PI可以采取配置在光源121的相對(duì)于中心軸的相反側(cè)的結(jié)構(gòu)。由此，在圓盤110上，軌道SI被設(shè)置在外周側(cè)，并且能夠增大該軌道SI的半徑。其結(jié)果，能夠減小由輸出增量信號(hào)的受光陣列PI的偏心引起的檢測(cè)誤差，并且能夠提高對(duì)偏心的魯棒性。另外，能夠?qū)④壍繱I的間距確保得很大。在上述的變型例中，將受光陣列PI配置在光源121的相對(duì)于中心軸的相反側(cè)的情況作為示例進(jìn)行了說(shuō)明。但是，受光陣列PI也可以配置在光源121的中心軸側(cè)(內(nèi)周側(cè))。另外，受光陣列PI也可以配置在受光陣列PA1和受光陣列PA2之間。但是，為了實(shí)現(xiàn)提高對(duì)上述的偏心的魯棒性的效果，優(yōu)選采取上述的變型例的結(jié)構(gòu)。(4－2.僅配置一個(gè)絕對(duì)受光陣列)在上述的實(shí)施方式中，編碼器100被構(gòu)成為具有包括絕對(duì)圖案的兩個(gè)軌道SA1和SA2，并且具有適于接收被這些軌道SA1和SA2反射的光的兩個(gè)受光陣列PA1和PA2，但是不限于此。例如，如圖9所示，光學(xué)模塊120也可以被配置成僅具有一個(gè)與絕對(duì)圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PA。在該示例中，受光陣列PA被配置在光源121的中心軸側(cè)(內(nèi)周側(cè))，但是其也可以被配置在光源121的相對(duì)于中心軸的相反側(cè)(外周側(cè))。受光陣列PA具有與圖5所示的受光陣列PA1相同的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，雖然未示出，但是，在圓盤110上，兩個(gè)軌道從寬度方向R的內(nèi)側(cè)向外側(cè)按照SA和SI的順序配置。軌道SA具有與圖4所示的軌道SA2相同的結(jié)構(gòu)。在采取這種結(jié)構(gòu)的情況下，除了與上述的實(shí)施方式相同的效果以外，還能夠減小受光陣列的數(shù)量，因此能夠?qū)⒐鈱W(xué)模塊120小型化。但是，如上所述，為了防止在位圖案的變化區(qū)域中絕對(duì)位置的檢測(cè)精度下降，與絕對(duì)圖案相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)受光陣列優(yōu)選被構(gòu)成為如上述的實(shí)施方式那樣配置。(4－3.增量受光陣列的非分割配置、以及僅配置一個(gè)絕對(duì)受光陣列)在上述的實(shí)施方式中，對(duì)與增量圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PI分割地配置并且設(shè)置兩個(gè)絕對(duì)受光陣列PA1和PA2的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是不限于此。例如，如圖10所示，受光陣列PI也可以被配置作為一個(gè)受光陣列而不被分割，并且也可以僅設(shè)置一個(gè)與絕對(duì)圖案相對(duì)應(yīng)的受光陣列PA。在該示例中，受光陣列PI被配置在光源121的相對(duì)于中心軸的相反側(cè)(外周側(cè))，受光陣列PA被配置在光源121的中心軸側(cè)(內(nèi)周側(cè))。在這種情況下，雖然未示出，但是，在圓盤110上，兩個(gè)軌道從寬度方向R的內(nèi)側(cè)向外側(cè)按照SA和SI的順序配置。在采取這種結(jié)構(gòu)的情況下，除了與上述的實(shí)施方式相同的效果以外，還獲得與上述的變型例4－1和變型例4－2相同的效果。在上述的變型例中，描述了受光陣列PI被配置在光源121的外周側(cè)、受光陣列PA被配置在光源121的內(nèi)周側(cè)的情況。但是，受光陣列PI也可以配置在光源121的內(nèi)周側(cè)，受光陣列PA也可以配置在光源121的外周側(cè)。但是，為了獲得提高對(duì)上述的偏心的魯棒性的效果，優(yōu)選采取上述的變型例的結(jié)構(gòu)。(4－4.透射型編碼器)在上面的說(shuō)明中，作為示例，描述了光源和受光陣列被配置在與圓盤110的軌道相同側(cè)的所謂的反射型編碼器作為編碼器的情況，但是不限于此。即，編碼器可以是光源和受光陣列夾著圓盤110地配置在相反側(cè)的所謂的透射型編碼器。在這種情況下，圓盤110可以形成為使軌道SA1、SA2、SI的各光學(xué)效應(yīng)部用作透射狹縫，或者將光學(xué)效應(yīng)部以外的部分通過(guò)濺射而用作粗糙面或涂覆透射率低的材料。在本變型例中，光源121和受光陣列PA1、PA2、PIL、PIR被設(shè)置為將圓盤110夾在它們之間相對(duì)地配置。但是，本變型例中的光學(xué)模塊120包括以這種方式形成作為獨(dú)立的元件的光源和受光陣列。即使是在使用這種透射型編碼器的情況中，也能夠獲得與上述的實(shí)施方式相同的效果。(4－5.其他)此外，在上述實(shí)施方式中，描述了各受光陣列PAl和PA2具有九個(gè)受光元件、絕對(duì)信號(hào)表示九位的絕對(duì)位置的情況。但是，受光元件的數(shù)量可以不是九個(gè)，絕對(duì)信號(hào)的位數(shù)也不限于九。另外，受光陣列PIL和PIR的受光元件的數(shù)量也不特別地限于上述的實(shí)施方式的數(shù)量。另外，在上述實(shí)施方式中，描述了編碼器100直接連接到電機(jī)M的情況。但是，編碼器100例如可以通過(guò)減速器或旋轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)換器等其他的機(jī)構(gòu)連接到電機(jī)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解的是，根據(jù)設(shè)計(jì)需要和其他的因素，可進(jìn)行各種變型、組合、子組合以及替換，只要它們?cè)谒綑?quán)利要求或其等效物的范圍內(nèi)即可。