一種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置。其包括底座，所述底座的其中一端上固定設(shè)有支撐臂，所述支撐臂上設(shè)有水平設(shè)置的軸孔，所述軸孔內(nèi)設(shè)有環(huán)形導(dǎo)向槽，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸設(shè)置在所述軸孔內(nèi)，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)有導(dǎo)向塊與所述軸孔內(nèi)的環(huán)形導(dǎo)向槽配合，所述傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸的一端連接有三爪卡盤，其另一端設(shè)有手輪；所述底座上對(duì)應(yīng)于傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸在其下方設(shè)有沿傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸軸向設(shè)置的水平導(dǎo)軌，所述水平導(dǎo)軌上依次滑動(dòng)設(shè)置有可升降的支點(diǎn)、激光器裝置，所述激光器裝置包括豎直設(shè)置并下端滑動(dòng)設(shè)置在所述水平導(dǎo)軌上的激光器導(dǎo)軌、可升降地設(shè)置在所述激光器導(dǎo)軌上的激光器。本實(shí)用新型操作方便、檢測(cè)效率高，能夠?qū)θ毕萆疃冗M(jìn)行估算。
【專利說明】—種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，具體是一種用于檢測(cè)藍(lán)寶石晶棒的檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來隨著藍(lán)寶石晶棒市場(chǎng)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，藍(lán)寶石晶棒質(zhì)量的檢測(cè)也越來越重要，準(zhǔn)確高效的晶棒缺陷的檢測(cè)對(duì)于后續(xù)加工具有重要的意義。目前，尚沒有針對(duì)藍(lán)寶石晶棒設(shè)計(jì)的檢測(cè)裝置，實(shí)際檢測(cè)中需將藍(lán)寶石晶棒橫放在檢測(cè)臺(tái)面上，一手持激光器照射晶棒端面，一手轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒，同時(shí)用眼睛觀察缺陷位置，確定缺陷位置后，需要騰出一只手對(duì)缺陷位置進(jìn)行標(biāo)記，多次改變激光器的照射位置，重復(fù)以上步驟，以此完成整根藍(lán)寶石晶棒中缺陷的檢測(cè)。檢測(cè)中，需要一只手移動(dòng)激光器，另一只手轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒，同時(shí)需要在確定缺陷位置后騰出一只手對(duì)缺陷進(jìn)行標(biāo)記，操作十分不便；此外，對(duì)于直徑4英寸及以上的藍(lán)寶石晶棒，單手難以轉(zhuǎn)動(dòng)整個(gè)晶棒，對(duì)檢測(cè)造成困難，降低了檢測(cè)效率；另外，實(shí)際檢測(cè)中經(jīng)常需要估算缺陷距晶棒表面的深度，以便對(duì)后續(xù)加工做出指導(dǎo)，傳統(tǒng)檢測(cè)方法是采用游標(biāo)卡尺進(jìn)行測(cè)量，效率低下，同時(shí)難以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，本實(shí)用新型提供了一種操作方便、檢測(cè)效率高的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，此外，本實(shí)用新型還能夠?qū)θ毕萆疃冗M(jìn)行估算。
[0004]本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:一種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其包括底座，所述底座的其中一端上固定設(shè)有支撐臂，所述支撐臂上設(shè)有水平設(shè)置的軸孔，所述軸孔內(nèi)設(shè)有環(huán)形導(dǎo)向槽，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸設(shè)置在所述軸孔內(nèi)，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)有導(dǎo)向塊與所述軸孔內(nèi)的環(huán)形導(dǎo)向槽配合，所述傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸的一端連接有三爪卡盤，其另一端設(shè)有手輪；所述底座上對(duì)應(yīng)于傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸在其下方設(shè)有沿傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸軸向設(shè)置的水平導(dǎo)軌，所述水平導(dǎo)軌上依次滑動(dòng)設(shè)置有可升降的支點(diǎn)、激光器裝置，所述激光器裝置包括豎直設(shè)置并下端滑動(dòng)設(shè)置在所述水平導(dǎo)軌上的激光器導(dǎo)軌、可升降地設(shè)置在所述激光器導(dǎo)軌上的激光器。
[0005]本實(shí)用新型中，三爪卡盤用于夾持藍(lán)寶石晶棒，通過轉(zhuǎn)動(dòng)手輪可帶動(dòng)傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸及三爪卡盤轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)晶棒轉(zhuǎn)動(dòng)。激光器裝置上的激光器可升降，便于對(duì)晶棒的不同部位進(jìn)行檢測(cè)。當(dāng)晶棒直徑較大或者晶棒較長(zhǎng)時(shí)，設(shè)置在水平導(dǎo)軌上的支點(diǎn)可升起，可對(duì)晶棒起到一定的支撐作用，防止檢測(cè)過程中晶棒滑脫，當(dāng)不需要支撐時(shí)，可將支點(diǎn)降下，移動(dòng)至一邊。所述支點(diǎn)的升降結(jié)構(gòu)形式可采用現(xiàn)有技術(shù)。
[0006]本實(shí)用新型的工作過程是:將待測(cè)晶棒夾持在三爪卡盤中央，根據(jù)需要設(shè)置支點(diǎn)，根據(jù)待測(cè)晶棒長(zhǎng)度移動(dòng)激光器導(dǎo)軌，使得激光器前端貼近晶棒端面，調(diào)節(jié)激光器高度至晶棒端面中心處，打開激光器開關(guān)，右手持記號(hào)筆，左手緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)手輪一圈，同時(shí)用眼目視晶棒，尋找缺陷并用鉛筆標(biāo)記相應(yīng)位置，移動(dòng)激光器對(duì)晶棒的其他位置進(jìn)行檢測(cè)，直至完成整根晶棒的檢測(cè)。
[0007]所述激光器導(dǎo)軌上設(shè)有刻度。通過刻度設(shè)置，可以通過激光器的坐標(biāo)準(zhǔn)確估算出缺陷的深度。
[0008]進(jìn)一步的方案是，所述激光器導(dǎo)軌上的刻度中與所述三爪卡盤的中心軸線相對(duì)應(yīng)的點(diǎn)為O點(diǎn)。
[0009]為防止三爪卡盤夾持對(duì)晶棒造成損傷，所述三爪卡盤的夾持面上設(shè)有橡膠墊。
[0010]為保證激光器定位準(zhǔn)確，所述激光器與激光器導(dǎo)軌之間設(shè)有鎖緊結(jié)構(gòu)。
[0011]為便于支點(diǎn)的升降，所述支點(diǎn)為帶有伸縮鎖定結(jié)構(gòu)的伸縮桿。
[0012]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，其采用機(jī)械夾持晶棒、通過手輪轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)晶棒轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠方便地對(duì)晶棒進(jìn)行檢測(cè)，省時(shí)省力，檢測(cè)速度快、效率高，對(duì)于2?6英寸的大尺寸藍(lán)寶石晶棒的檢測(cè)十分快速便利；另外，本實(shí)用新型中的激光器沿激光器導(dǎo)軌移動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)激光器的準(zhǔn)確定位，通過激光器導(dǎo)軌上的刻度值，根據(jù)激光器當(dāng)前的坐標(biāo)值以及待測(cè)晶棒直徑可以間接估算出當(dāng)前激光器所照射缺陷距離晶棒表面的深度，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)缺陷深度的快速估算，對(duì)于進(jìn)一步加工有重要的指導(dǎo)意義。本實(shí)用新型由于集成在一個(gè)底座上，便于移動(dòng)，方便易地檢測(cè)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中，I是支撐臂，2是傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸，3是手輪，4是底座，5是二爪卡盤，6是支點(diǎn)，7是水平導(dǎo)軌，8是激光器導(dǎo)軌，9是固定螺栓，10是激光器，11是導(dǎo)向塊。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面通過非限定性的實(shí)施例并結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明:
[0016]如附圖所不一種監(jiān)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其包括底座4,底座4為鋼板結(jié)構(gòu)，所述底座4的其中一端上固定設(shè)有支撐臂1，支撐臂I為鋼質(zhì)結(jié)構(gòu)，具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，所述支撐臂I上設(shè)有水平設(shè)置的軸孔，所述軸孔內(nèi)設(shè)有環(huán)形導(dǎo)向槽，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸2設(shè)置在所述軸孔內(nèi)，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有導(dǎo)向塊11與所述軸孔內(nèi)的環(huán)形導(dǎo)向槽配合。傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸2的一端連接有三爪卡盤5，其另一端連接有手輪3。三爪卡盤5為現(xiàn)有技術(shù)，用于夾持晶棒，其三爪與晶棒接觸的夾持面設(shè)有橡膠墊，用于防止夾持時(shí)對(duì)晶棒造成損傷。在底座4上對(duì)應(yīng)于傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸2在其正下方設(shè)有沿傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸2軸向設(shè)置的水平導(dǎo)軌7，在水平導(dǎo)軌7上依次滑動(dòng)設(shè)置有支點(diǎn)6、激光器裝置。所述支點(diǎn)6為可升降結(jié)構(gòu)，并可沿水平導(dǎo)軌移動(dòng)，其升降結(jié)構(gòu)可采用現(xiàn)有技術(shù)，例如采用類似于雨傘伸縮桿的帶有伸縮鎖定結(jié)構(gòu)的伸縮桿結(jié)構(gòu)等。支點(diǎn)6升起，可對(duì)晶棒起到支撐的作用，防止檢測(cè)過程中晶棒滑脫，不需要支撐時(shí)，可將支點(diǎn)6降下，移動(dòng)到一邊。所述激光器裝置包括豎直設(shè)置的激光器導(dǎo)軌8、激光器10。激光器導(dǎo)軌8的下端滑動(dòng)設(shè)置在水平導(dǎo)軌7上，其可根據(jù)待測(cè)晶棒的長(zhǎng)度沿水平導(dǎo)軌7進(jìn)行移動(dòng)。激光器10設(shè)置在所述激光器導(dǎo)軌8上，激光器10可沿激光器導(dǎo)軌8上下移動(dòng)，其通過鎖緊結(jié)構(gòu)與激光器導(dǎo)軌8鎖緊，本實(shí)施例所示的是其通過固定螺栓9與激光器導(dǎo)軌8鎖緊。在激光器導(dǎo)軌8上設(shè)置有刻度，其中，將與三爪卡盤中心軸線相對(duì)的點(diǎn)設(shè)置為O點(diǎn)，即待測(cè)晶棒的的中心點(diǎn)。激光器10可外接電源或者電池供電。
[0017]利用本實(shí)用新型進(jìn)行檢測(cè)的步驟是:
[0018]1.將待測(cè)晶棒夾持在三爪卡盤5中央，根據(jù)需要設(shè)置支點(diǎn)6 ；[0019]2.根據(jù)待測(cè)晶棒長(zhǎng)度移動(dòng)激光器導(dǎo)軌8，使得激光器10前端貼近晶棒端面，調(diào)節(jié)激光器10的高度至O點(diǎn)坐標(biāo)處并鎖緊，即晶棒端面中心處；
[0020]3.打開激光器10開關(guān)，右手持記號(hào)筆，左手緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)手輪3，同時(shí)用眼睛目視晶棒，尋找缺陷并用鉛筆標(biāo)記相應(yīng)位置，需要時(shí)可以根據(jù)激光器導(dǎo)軌8上的刻度提供相應(yīng)缺陷的深度；
[0021]4.往上移動(dòng)激光器I?5_，并重新鎖緊固定螺栓9，重復(fù)步驟3，繼續(xù)進(jìn)行檢測(cè)；
[0022]5.重復(fù)步驟3和步驟4，直至激光器10升至晶棒端面上沿，完成晶棒的右半部分檢測(cè)；
[0023]6.用二爪卡盤5夾持晶棒另一端面，重復(fù)步驟3、4、5，完成整根晶棒的檢測(cè)；
[0024]7.檢測(cè)完成，將檢測(cè)裝置擦拭干凈，支點(diǎn)、激光器導(dǎo)軌歸位。
[0025]本實(shí)施例中的其他部分采用已知技術(shù)，在此不再贅述。
【權(quán)利要求】
1.一種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:包括底座(4)，所述底座(4)的其中一端上固定設(shè)有支撐臂(I )，所述支撐臂(I)上設(shè)有水平設(shè)置的軸孔，所述軸孔內(nèi)設(shè)有環(huán)形導(dǎo)向槽，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸(2)設(shè)置在所述軸孔內(nèi)，傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸(2)上設(shè)有導(dǎo)向塊與所述軸孔內(nèi)的環(huán)形導(dǎo)向槽配合，所述傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸(2)的一端連接有三爪卡盤(5)，其另一端設(shè)有手輪(3);所述底座(4)上對(duì)應(yīng)于傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸(2)在其下方設(shè)有沿傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸(2)軸向設(shè)置的水平導(dǎo)軌(7)，所述水平導(dǎo)軌(7)上依次滑動(dòng)設(shè)置有可升降的支點(diǎn)(6)、激光器裝置，所述激光器裝置包括豎直設(shè)置并下端滑動(dòng)設(shè)置在所述水平導(dǎo)軌(7)上的激光器導(dǎo)軌(8)、可升降地設(shè)置在所述激光器導(dǎo)軌(8)上的激光器(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:所述激光器導(dǎo)軌(8)上設(shè)有刻度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:所述激光器導(dǎo)軌(8)上的刻度中與所述三爪卡盤(5)的中心軸線相對(duì)應(yīng)的點(diǎn)為O點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:所述三爪卡盤(5)的夾持面上設(shè)有橡膠墊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:所述激光器(10)與激光器導(dǎo)軌(8)之間設(shè)有鎖緊結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，其特征是:所述支點(diǎn)(6)為帶有伸縮鎖定結(jié)構(gòu)的伸縮桿。
【文檔編號(hào)】G01N21/952GK203658283SQ201420020808
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2014年1月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月14日
【發(fā)明者】任玉建, 寧敏, 于國(guó)建 申請(qǐng)人:山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司