玻璃基板監(jiān)測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基板檢測(cè)裝置，包括一設(shè)置于旋轉(zhuǎn)腔體中的旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)包括一底座，位于所述底座上垂直設(shè)置多個(gè)有定位結(jié)構(gòu)及支撐柱，所述支撐柱用于支撐基板，所述定位銷用于基板的固定防止基板產(chǎn)生偏移；部分所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱設(shè)置有傳感器，每個(gè)所述傳感器均與所述基板相接觸，用于檢測(cè)所述基板對(duì)所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱產(chǎn)生的壓力。在機(jī)臺(tái)帶動(dòng)玻璃基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)延展臂上設(shè)置的壓力傳感器對(duì)基板進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，如果基板一旦出現(xiàn)嚴(yán)重偏移甚至破片，壓力傳感器則會(huì)通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息通知操作人員機(jī)臺(tái)上放置的基板已產(chǎn)生異常并進(jìn)行排查，避免造成更大的損失。
【專利說(shuō)明】玻璃基板監(jiān)測(cè)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示面板制造領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃基板監(jiān)測(cè)裝置，在玻璃基板旋轉(zhuǎn)過(guò)程中實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃基板的異常情況進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

【背景技術(shù)】
[0002]如今，隨著手機(jī)、電腦的迅速發(fā)展，人們對(duì)屏幕的要求也越來(lái)越高，顯示面板行業(yè)也得到了飛速的發(fā)展。
[0003]傳統(tǒng)工藝中，制備液晶顯示器或玻璃基板等離子體顯示器等顯示器件時(shí)，使用的玻璃基板容易在保管或運(yùn)輸過(guò)程中，在其表面上容易產(chǎn)生瑕疵或污跡，進(jìn)而造成產(chǎn)品缺陷。尤其是在需要對(duì)玻璃基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作時(shí)，需要將玻璃基板放置于旋轉(zhuǎn)腔體中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板具體的:
[0004]圖1為傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)腔體中旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)上放置有玻璃基板7。該機(jī)臺(tái)包括一圓形可旋轉(zhuǎn)底座I，底座I中心設(shè)置有一光學(xué)感應(yīng)器2。同時(shí)該底座I向外延伸有四根延展臂3及多根延伸桿4 ;每個(gè)延展臂3的末端皆垂直設(shè)置有兩根固定銷5，且每根固定銷的高度皆相等；
[0005]在每根延展臂3、延伸桿4和底座上I方還設(shè)置有多根支撐柱6，支撐柱6在延展臂3、延伸桿4和底座呈均勻分布且每根支撐柱的頂面高度低于固定銷5的高度。
[0006]在運(yùn)輸過(guò)程中，利用機(jī)械手臂將玻璃基板7放置于機(jī)臺(tái)上，機(jī)臺(tái)帶動(dòng)玻璃基板7并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在傳統(tǒng)技術(shù)中，可通過(guò)在底座I上增設(shè)一光學(xué)感應(yīng)器2來(lái)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)上方是否放置有基板:如果光學(xué)感應(yīng)器2感應(yīng)到機(jī)臺(tái)上方?jīng)]有放置玻璃基板，則會(huì)通過(guò)報(bào)警裝置通知操作人員。
[0007]但是操作人員發(fā)現(xiàn)，在機(jī)臺(tái)帶動(dòng)玻璃基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，玻璃基板極易產(chǎn)生碎片的情況，而傳統(tǒng)技術(shù)中增設(shè)的光學(xué)感應(yīng)器只能監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)上方是否存在玻璃基板，無(wú)法監(jiān)測(cè)玻璃基板的破片情況，如果有破損的玻璃基板沒(méi)有被及時(shí)發(fā)現(xiàn)就進(jìn)入下一道工序時(shí)，則會(huì)給生產(chǎn)造成不利影響，進(jìn)而給生產(chǎn)造成損失。
[0008]中國(guó)專利(CN202594969U)公開(kāi)了一種改善膜層厚度不均的玻璃基板旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括擋板外框，位于擋板外框內(nèi)的旋轉(zhuǎn)大盤(pán)，位于擋板外框和旋轉(zhuǎn)大盤(pán)中心的臺(tái)板旋轉(zhuǎn)軸，固定在臺(tái)板旋轉(zhuǎn)軸上的方形臺(tái)板；所述方形臺(tái)板的尺寸略小于玻璃基板的尺寸，所述方形臺(tái)板的邊緣設(shè)有吸附孔，用于吸附玻璃基板的圖像邊緣。
[0009]但是在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，玻璃基板可能受到旋轉(zhuǎn)時(shí)離心力的作用容易產(chǎn)生偏移甚至破片，該文獻(xiàn)也并沒(méi)有提及如何來(lái)對(duì)玻璃基板的完好性進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，如果操作人員也無(wú)法及時(shí)獲悉基板的異常狀態(tài)，異常的基板就會(huì)直接進(jìn)入下一工序，進(jìn)而給工藝生產(chǎn)造成更大損失。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0010]本實(shí)用新型根據(jù)傳統(tǒng)技術(shù)無(wú)法對(duì)基板完整性進(jìn)行監(jiān)測(cè)的不足，提供了一種基板監(jiān)測(cè)裝置，通過(guò)在旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)上設(shè)置有壓力感應(yīng)器，在將玻璃基板放置在機(jī)臺(tái)上時(shí)，壓力感應(yīng)器與玻璃基板相接觸，如果玻璃基板一旦產(chǎn)生偏移或者破片，壓力感應(yīng)器無(wú)法接收到來(lái)自玻璃基板正常的接觸反饋，通過(guò)連接報(bào)警裝置通過(guò)操作人員進(jìn)行排查，避免產(chǎn)生異常的玻璃基板進(jìn)入下一工序，進(jìn)而造成更大的生產(chǎn)損失。
[0011 ] 本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0012]一種基板監(jiān)測(cè)裝置，包括一設(shè)置于旋轉(zhuǎn)腔體中的旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)包括一底座，位于所述底座上垂直設(shè)置多個(gè)有定位結(jié)構(gòu)及支撐柱，所述支撐柱用于支撐基板，所述定位結(jié)構(gòu)用于基板的固定防止基板產(chǎn)生偏移；
[0013]部分所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱設(shè)置有傳感器，每個(gè)所述傳感器均與所述基板相接觸，用于監(jiān)測(cè)所述基板對(duì)所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱產(chǎn)生的壓力。
[0014]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器在所述機(jī)臺(tái)靜止時(shí)和機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)分別設(shè)置有不同的壓力接觸感測(cè)值范圍來(lái)對(duì)基板進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
[0015]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)設(shè)置有多根延伸臂，所述定位結(jié)構(gòu)均設(shè)置于所述延伸臂末端，且該定位結(jié)構(gòu)為固定銷。
[0016]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器設(shè)置于所述固定銷上和/或支撐柱的頂部表面。
[0017]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，相鄰所述延展臂之間設(shè)置有多根延伸桿。
[0018]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述延伸桿的長(zhǎng)度小于所述延展臂的長(zhǎng)度。
[0019]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述延展臂關(guān)于所述底座中心對(duì)稱，且所述延伸桿關(guān)于所述底座中心對(duì)稱。
[0020]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂端低于所述固定銷的頂端。
[0021]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述底座中心處設(shè)置有一傳感器。
[0022]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器為壓力感應(yīng)器或非接觸式光學(xué)感應(yīng)器。
[0023]上述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，各所述傳感器均與一報(bào)警裝置相連。
[0024]本實(shí)用新型通過(guò)在旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)的延展臂之上設(shè)置有壓力感應(yīng)器來(lái)對(duì)玻璃基板進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，如果玻璃基板某一位置處產(chǎn)生異常(如偏移或碎片)，壓力感應(yīng)器會(huì)及時(shí)通過(guò)報(bào)警裝置通知操作人員進(jìn)行排查，避免異常的玻璃基板進(jìn)入到下一工序，造成更大的損失。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。
[0026]圖1為傳統(tǒng)的基板監(jiān)測(cè)裝置的示意圖；
[0027]圖2為本實(shí)用新型一種基板監(jiān)測(cè)裝置的示意圖；
[0028]圖3為本實(shí)用新型一種基板監(jiān)測(cè)裝置的局部示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0029]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的說(shuō)明:
[0030]如圖2所示為本實(shí)用新型一種基板監(jiān)測(cè)裝置的示意圖，本實(shí)用新型提供了一種基板監(jiān)測(cè)裝置，包括一設(shè)置于旋轉(zhuǎn)腔體中的旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)包括一圓形的可旋轉(zhuǎn)底座1，在該底座中心設(shè)置有一光學(xué)感應(yīng)器2，該光學(xué)感應(yīng)器2與一報(bào)警裝置相連接。
[0031]底座上I上設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)和基板支撐柱，如圖所示:底座I向外延伸有多根延展臂3及多根延伸桿4，延伸桿4的長(zhǎng)度小于延展臂3的長(zhǎng)度，且延展臂3和延伸桿4分別關(guān)于底座I的圓心中心對(duì)稱。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，優(yōu)選的，該機(jī)臺(tái)設(shè)有4根延展臂。
[0032]每根延展臂3的末端皆設(shè)置有兩根固定銷8組成定位結(jié)構(gòu)，同時(shí)在每根延展臂3、延伸桿4和底座I上方還設(shè)置有多根支撐柱6 ;由于支撐柱6的頂部高度低于固定銷8的頂面高度，在支撐柱6將基板進(jìn)行支撐的同時(shí)，固定銷8組成的定位結(jié)構(gòu)可放置基板在運(yùn)動(dòng)時(shí)滑出。
[0033]其中，部分固定銷8和/或支撐柱6設(shè)置有傳感器，每個(gè)傳感器均與機(jī)臺(tái)上方放置的基板相接觸，該傳感器為壓力感應(yīng)器或非接觸式光學(xué)感應(yīng)器，且每個(gè)傳感器均與報(bào)警裝置相連，用于監(jiān)測(cè)所述基板對(duì)定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱產(chǎn)生的壓力。如果基板一旦產(chǎn)生偏移或破損，傳感器即可接收到非正常的反饋信號(hào)，通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息提醒操作人員，避免造成更大的生產(chǎn)損失。
[0034]圖3為本實(shí)用新型一種基板監(jiān)測(cè)裝置的局部示意圖，如圖所示，延展臂3上的部分固定銷8和/或支撐柱6的頂部表面設(shè)置有傳感器9 (圖示傳感器設(shè)置在固定銷8上)，該傳感器為壓力感應(yīng)器或非接觸式光學(xué)感應(yīng)器。當(dāng)將玻璃基板7放置在機(jī)臺(tái)上方時(shí)，玻璃基板7位于支撐柱6上方，并與每個(gè)傳感器形成接觸。
[0035]在機(jī)臺(tái)工作時(shí)，底座I中心的光學(xué)感應(yīng)器可實(shí)時(shí)監(jiān)控機(jī)臺(tái)上方是否放置有玻璃基板，如果機(jī)臺(tái)上方?jīng)]有放置玻璃基板，光學(xué)感應(yīng)器通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息及時(shí)通知操作人員；如果機(jī)臺(tái)上方放置有玻璃基板，則光學(xué)感應(yīng)器不通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息；
[0036]進(jìn)一步的，當(dāng)機(jī)臺(tái)上方放置有基板時(shí)，延展臂3和延伸桿4上設(shè)置的支撐柱6將玻璃基板7承托起來(lái)；由于各支撐柱的頂部高度皆位于同一水平面上且與該水平面與地面平行，使得玻璃基板位于一水平狀態(tài)，同時(shí)由于固定銷8也很好的將基板進(jìn)行固定，避免基板滑出。
[0037]在機(jī)臺(tái)靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)，壓力感應(yīng)器會(huì)以一接觸感測(cè)值范圍SI為標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，如果傳感器接收到來(lái)自玻璃基板對(duì)傳感器施加的壓力在該范圍內(nèi)，則說(shuō)明玻璃基板沒(méi)有產(chǎn)生偏移或破片，如果傳感器接收到來(lái)自玻璃基板對(duì)傳感器施加的壓力不在該范圍內(nèi)，則說(shuō)明玻璃基板已產(chǎn)生偏移甚至有破片的情況，壓力感應(yīng)器通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信息提供相關(guān)操作人員進(jìn)行調(diào)整；
[0038]在機(jī)臺(tái)旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，玻璃基板受到力的作用可能會(huì)產(chǎn)生偏移，甚至可能會(huì)產(chǎn)生破片的情況產(chǎn)生；所以在玻璃基板旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，壓力感應(yīng)器會(huì)以另一接觸感測(cè)值范圍S2為標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行監(jiān)測(cè):如果玻璃基板7在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，也并沒(méi)有產(chǎn)生嚴(yán)重偏移或破片的情況，則玻璃基板會(huì)對(duì)壓力感應(yīng)器施加一正常的壓力反饋，即該壓力位于接觸感測(cè)值范圍S2內(nèi)，壓力感應(yīng)器接收到基板正常的壓力反饋，則不會(huì)通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出相關(guān)報(bào)警信息；
[0039]如果玻璃基板由于旋轉(zhuǎn)而引起玻璃基板產(chǎn)生不在允許范圍內(nèi)的偏移甚至破片，則產(chǎn)生異常位置處的玻璃基板不會(huì)對(duì)傳感器施加一位于接觸感測(cè)值范圍S2內(nèi)的壓力反饋，如果任何一個(gè)感應(yīng)器接收到非正常的壓力反饋，則通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)信息，及時(shí)提醒操作人員玻璃基板的異常情況，避免造成更大的損失。
[0040]同時(shí)，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，可在每根固定銷和支撐柱上皆設(shè)置一傳感器，可實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃基板的更多方位進(jìn)行監(jiān)測(cè)，進(jìn)而更好的提高監(jiān)測(cè)效果，但是隨著壓力感應(yīng)器數(shù)量的增多，不可避免增加了生產(chǎn)成本，所以可根據(jù)實(shí)際需求來(lái)選擇傳感器的數(shù)量，在保證生產(chǎn)成本的前提下盡可能提高監(jiān)測(cè)精度。同時(shí)在本發(fā)明的實(shí)際應(yīng)用中，優(yōu)選采用壓力感應(yīng)器來(lái)對(duì)基板進(jìn)行監(jiān)測(cè)，由于壓力感應(yīng)器的識(shí)別度更高，相比較非接觸式光學(xué)感應(yīng)器監(jiān)測(cè)效果更加精準(zhǔn)，進(jìn)而提高檢測(cè)的精準(zhǔn)性，同時(shí)成本也較之光學(xué)感應(yīng)器較低。
[0041]綜上所述，由于本實(shí)用新型采用了以上技術(shù)方案，通過(guò)在旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)的固定銷和/或支撐柱上設(shè)置有傳感器，該傳感器在機(jī)臺(tái)旋轉(zhuǎn)和靜止時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)玻璃基板是否產(chǎn)生非正常的偏移或破片，一旦玻璃基板出現(xiàn)異常，傳感器則及時(shí)通過(guò)報(bào)警裝置通知操作人員，操作人員獲悉玻璃基板產(chǎn)生異常后，人工將異常玻璃基板進(jìn)行排除即可，避免了生產(chǎn)造成的損失。以上對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板監(jiān)測(cè)裝置，包括一設(shè)置于旋轉(zhuǎn)腔體中的旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)包括一底座，位于所述底座上垂直設(shè)置有多個(gè)定位結(jié)構(gòu)及支撐柱，所述支撐柱用于支撐基板，所述定位結(jié)構(gòu)用于防止基板產(chǎn)生偏移； 部分所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱設(shè)置有傳感器，用于監(jiān)測(cè)所述基板對(duì)所述定位結(jié)構(gòu)和/或支撐柱產(chǎn)生的壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器在所述機(jī)臺(tái)靜止時(shí)和機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)分別設(shè)置有不同的壓力接觸感測(cè)值范圍來(lái)對(duì)基板進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)設(shè)置有多根延伸臂，所述定位結(jié)構(gòu)均設(shè)置于所述延伸臂末端，且該定位結(jié)構(gòu)包括多個(gè)定位銷。
4.如權(quán)利要求3所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器設(shè)置于所述定位銷上和/或支撐柱的頂部。
5.如權(quán)利要求1所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，相鄰所述延展臂之間設(shè)置有多根延伸桿。
6.如權(quán)利要求3所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述延伸桿的長(zhǎng)度小于所述延展臂的長(zhǎng)度。
7.如權(quán)利要求6所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂端低于所述固定銷的頂端。
8.如權(quán)利要求1所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述底座中心處設(shè)置有一傳感器。
9.如權(quán)利要求1或8所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述傳感器為壓力感應(yīng)器或非接觸式光學(xué)感應(yīng)器。
10.如權(quán)利要求9所述的基板監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，各所述傳感器均與一報(bào)警裝置相連。
【文檔編號(hào)】G01L1/00GK203833166SQ201420093928
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年3月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月3日
【發(fā)明者】劉峻承, 譚莉, 曾瑞軒, 林信安, 黃于維, 林志明 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司