微銑刀刃口鈍圓測量裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種微銑刀刃口鈍圓測量裝置，屬于精微測量【技術領域】。包括CCD顯微鏡機構、測量平臺、微銑刀夾持運動機構和接觸式粗糙度儀；CCD顯微鏡機構包括CCD顯微鏡、安裝在底座上的立板和安裝在立板上用于使CCD顯微鏡上下運動的調節(jié)裝置；測量平臺上設有窄縫，位于CCD顯微鏡的下方；微銑刀夾持運動機構位于測量平臺的側邊，包括四軸運動平臺和固定連接在四軸運動平臺用于固定夾持微銑刀的彈簧夾頭。本裝置結構簡單、使用方便，大大提高了測量精度和效率。
【專利說明】微銑刀刃口鈍圓測量裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種微銑刀刃口鈍圓測量裝置，尤其是一種針對微銑刀刃口鈍圓 的機械接觸式測量裝置，屬于精微測量【技術領域】。 技術背景
[0002] 隨著微/納米科學與技術的迅猛發(fā)展，以形狀及尺度微小為特征的微小型化技術 在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療、汽車和電子等領域得以廣泛的應用。微細銑削技術在各 類微小型化零部件的加工制造中發(fā)揮著越來越重要的作用，而微銑刀是最終實現(xiàn)各種微小 型化技術的基礎工具裝備之一，其刀刃直徑一般在1mm以下。微銑刀刃口材料一般由聚晶 金剛石（P⑶）、立方氮化硼（CBN)等超硬材料制成的超硬刀頭組成。微銑刀刃口鈍圓是微銑 刀的主要參數(shù)，其大小一般在lum-10um之間。獲得刃口鈍圓的精確數(shù)據(jù)是使用微銑刀的前 提，由于微銑刀的刃口鈍圓非常小，并且刃口材料多為多晶或者聚晶金剛石材料，現(xiàn)有技術 中多數(shù)采用非接觸測量方法進行測量，其測量精度較低，無法滿足實際使用的需要，有的甚 至于根本無法進行測量。 實用新型內容
[0003] 本實用新型所要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術缺陷，提供一種能高效、精確 地測量微銑刀刃口鈍圓數(shù)據(jù)的測量裝置。
[0004] 為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種微銑刀刃口鈍圓測量裝置，包括 CCD顯微鏡機構、測量平臺、微銑刀夾持運動機構和接觸式粗糙度儀；所述CCD顯微鏡機構 包括CCD顯微鏡、安裝在底座上的立板和安裝在立板上用于使CCD顯微鏡上下運動的調節(jié) 裝置；所述測量平臺上設有窄縫，位于C⑶顯微鏡的下方；所述微銑刀夾持運動機構位于測 量平臺的側邊，包括四軸運動平臺和固定連接在四軸運動平臺用于固定夾持微銑刀的彈簧 夾頭。
[0005] 本實用新型中，所述調節(jié)裝置包括鏡頭支架、固定安裝在立板上的滾珠絲杠和設 在立板與滾珠絲杠平行的直線導軌；所述滾珠絲杠頂端固定連接滾動手柄，滾珠絲杠杠身 上安裝滾珠螺母，直線導軌上安裝導軌滑臺，滾珠螺母與直線導軌之間通過連板連接；所述 鏡頭支架通過連板支架與連板連接。
[0006] 本實用新型中，所述測量平臺上的窄縫寬度為50-100um、窄縫長度為3mm。
[0007] 本實用新型中，所述測量平臺的窄縫由硬質合金材料制成，窄縫下方為大于135° 的喇叭口形。
[0008] 本實用新型中，所述四軸運動平臺中XYZ軸的運動精度為lum、R軸的旋轉精度 0· 2。。
[0009] 本實用新型的有益效果在于：本測量裝置結構簡單、使用方便，大大提高了測量精 度和效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010] 圖1為本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量裝置的主視圖；
[0011] 圖2為本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量裝置的左視圖；其中（a)為左視圖，（b)為 圖（a)中A點放大圖；
[0012] 圖3為微銑刀刃口與窄縫重合區(qū)域示意圖；
[0013] 圖4為本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量方法過程示意圖，其中（a)為微銑刀刃口 靠近窄逢平臺、（b)為微銑刀刃口與窄逢平臺完全重合、（c)接觸式粗糙度儀上探針在窄逢 平臺附近滑動測量；
[0014] 圖5為倒V型表面輪廓示意圖。

【具體實施方式】
[0015] 下面結合附圖對本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量裝置及方法作詳細說明，其適 用于單晶或者PCD微銑刀的高效快捷測量。
[0016] 圖中，1-底座、2-底座螺柱、3-立板、4-螺栓、5-下支撐座、6-滾珠絲杠、7-上支撐 座、8-滾珠螺母、9-直線導軌、10-導軌滑臺、11-連扳、12-連扳支架、13-鏡頭支架、14-CXD 顯微鏡、15-XYZR四軸運動平臺、16-彈簧夾頭、17-微銑刀、18-測量平臺、19-滾動手柄、 20-接觸式粗糙度儀。
[0017] 如圖1、2、3所示，本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量裝置中，底座1上方安裝立板3 并通過螺栓4進行固定，底座1下方安裝4個底座螺柱2 ;立板3安裝滾珠絲杠6,滾珠絲杠 6與底座1相垂直，滾珠絲杠6的兩端分別通過下支撐座5、上支撐座7固定在立板3,滾珠 絲杠6杠身上安裝滾珠螺母8,滾珠絲杠6的頂端固定連接滾動手柄19,轉動滾動手柄19 可使?jié)L珠螺母8上下運行；滾珠絲杠6的一側、立板3上設有與滾珠絲杠6平行的直線導軌 9,直線導軌9內安裝導軌滑臺10,導軌滑臺10在直線導軌9可自由滑動；滾珠螺母8與導 軌滑臺10之間通過連扳11連接；連扳11固定連接連扳支架12,鏡頭支架13連接連扳支架 12上，CCD顯微鏡14安裝在鏡頭支架13上；轉動滾動手柄19通過滾珠螺母8帶動直線導 軌9內的導軌滑臺10上下自由移動，從而實現(xiàn)(XD顯微鏡14的上下移動。測量平臺18設 置在(XD顯微鏡14下方的底座1上，測量平臺上開有硬質合金材料制成的窄縫，窄縫下方 為大于135°的喇叭口形，其窄縫寬度為50-100um、長度為3mm。XYZR四軸運動平臺15設 置在測量平臺18的一側，用于固定夾持微銑刀的彈簧夾頭16安裝固定安裝在XYZR四軸運 動平臺15上，XYZR四軸運動平臺15中的XYZ軸的運動精度為lum、R軸的旋轉精度0. 2°。 接觸式粗糙度儀20放置在測量平臺18上。
[0018] 本實用新型微銑刀刃口鈍圓測量方法的主要步驟如下：
[0019] 步驟1，將C⑶鏡頭14安裝固定到鏡頭支架13上，調整滾動手輪19是(XD鏡頭的 焦距聚于測量平臺18的窄縫處，此時在電腦顯示屏上形成清晰窄縫圖像；
[0020] 步驟2,將微銑刀17的刀柄固定于XYZR四軸運動平臺15上的彈簧夾頭16上，旋 轉XYZR四軸運動平臺15的R軸使微銑刀刃口鈍圓垂直向上，調整XYZ軸使刃口鈍圓緩慢 靠近測量平臺18,并使微銑刀刃口平行位于窄縫前方，此時在電腦顯示屏上形成清晰窄縫 與微銑刀刃口圖像，如圖4 (a)所示；
[0021] 步驟3,在5倍物鏡的C⑶顯微鏡下，精密調整XYZR四軸運動平臺15的XYZ軸使 微銑刀刃口垂直位于窄縫正下方1mm處，然后緩慢調整XYZR四軸運動平臺15使微銑刀刃 口與窄縫重合，此時微銑刀刃口與窄縫形成倒V型微凸起，凸起高度為50-100um，如圖4(b) 所示；
[0022] 步驟4,將接觸式粗糙度儀20的探針沿刀刃垂直方向滑動，如圖4 (c)所示；測量 倒V型微凸起區(qū)域的3-6mm表面輪廓數(shù)據(jù)，使倒V型微凸起位于測量數(shù)據(jù)中間附近，將數(shù)據(jù) (*. txt)導入計算機數(shù)據(jù)處理軟件OriginPro 8,經(jīng)過數(shù)據(jù)處理得到表面輪廓曲線圖，在V 型微凸起圖形部分繪制內切圓，從而內切圓半徑大小，多次測量求其平均值，平均值就是微 銑刀人口鈍圓的大小，如圖5所示；
[0023] 步驟5,調整XYZR四軸運動平臺15的XYZ軸使微銑刀刃口遠離窄縫，取下微銑刀 17,測量結束。
[0024] 以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技 術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下還可以做出若干改進，這些改進也應視為 本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1. 一種微銑刀刃口鈍圓測量裝置，其特征在于：包括C⑶顯微鏡機構、測量平臺（18)、 微銑刀夾持運動機構和接觸式粗糙度儀（20); 所述CCD顯微鏡機構包括CCD顯微鏡（14)、安裝在底座（1)上的立板（3)和安裝在立 板（3)上用于使CCD顯微鏡（14)上下運動的調節(jié)裝置； 所述測量平臺（18)上設有窄縫，位于CCD顯微鏡（14)的下方； 所述微銑刀夾持運動機構位于測量平臺（18)的側邊，包括四軸運動平臺（15)和固定 連接在四軸運動平臺用于固定夾持微銑刀（17)的彈簧夾頭（16)。
2. 根據(jù)權利要求1所述的微銑刀刃口鈍圓測量裝置，其特征在于：所述調節(jié)裝置包括 鏡頭支架（13)、固定安裝在立板（3)上的滾珠絲杠（6)和設在立板（3)與滾珠絲杠（6)平 行的直線導軌（9);所述滾珠絲杠（6)頂端固定連接滾動手柄（19)，滾珠絲杠（6)杠身上安 裝滾珠螺母（8)，直線導軌（9)上安裝導軌滑臺（10)，滾珠螺母（8)與直線導軌（9)之間通 過連板（11)連接；所述鏡頭支架（12)通過連板支架（13)與連板（11)連接。
3. 根據(jù)權利要求1所述的微銑刀刃口鈍圓測量裝置，其特征在于：所述測量平臺（18) 上的窄縫寬度為50-100um、長度為3mm。
4. 根據(jù)權利要求1所述的微銑刀刃口鈍圓測量裝置，其特征在于：所述測量平臺（18) 的窄縫由硬質合金材料制成，窄縫下方為大于135°的喇叭口形。
5. 根據(jù)權利要求1所述的微銑刀刃口鈍圓測量裝置，其特征在于：所述四軸運動平臺 (15)中XYZ軸的運動精度為lum、R軸的旋轉精度0. 2°。
【文檔編號】G01B21/20GK203837681SQ201420156812
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年4月2日 優(yōu)先權日:2014年4月2日
【發(fā)明者】李亮, 何寧, 戰(zhàn)忠波, 趙威, 楊吟飛, 趙孟, 卞榮, 吳賢 申請人:南京航空航天大學