探針卡及含有上述探針卡的探針裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種探針卡，具有正面和與正面相對(duì)設(shè)置的背面，所述探針卡上至少具有一個(gè)定位孔，所述定位孔沿所述正面至背面方向上的尺寸和/或形狀不唯一。本實(shí)用新型的探針卡及其探針裝置，解決了現(xiàn)有的探針卡正面與反面容易倒置的問(wèn)題，防止了測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、機(jī)械碰撞等質(zhì)量和安全問(wèn)題，減少了重新安裝探針卡的操作時(shí)間，提高了工作效率。
【專利說(shuō)明】探針卡及含有上述探針卡的探針裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及用于用于集成電路參數(shù)測(cè)試的探針卡 和含有上述探針卡的探針裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 探針裝置的應(yīng)用面在半導(dǎo)體領(lǐng)域是非常廣泛的。探針裝置通常包括：探針卡托 盤以及安裝在所述探針卡托盤上的托盤。測(cè)試過(guò)程中，探針卡是連接測(cè)試設(shè)備和被測(cè)對(duì)象 (芯片，測(cè)試結(jié)構(gòu)）的重要媒介。所以，探針卡本身質(zhì)量的好壞和正確安裝與否，決定了測(cè)試 結(jié)果的精度與正確性的高低。
[0003] 常用的探針卡的結(jié)構(gòu)請(qǐng)參考圖1所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意 圖。探針卡10上形成有探針11、第一定位孔13和第二定位孔12,所述第一定位孔13和第 二定位孔12用于與定位部件（比如定位銷，圖中未示出）配合，將探針卡安裝在探針卡托 盤（圖中未示出）上，并且防止探針卡在測(cè)試過(guò)程中移動(dòng)。所述第一定位孔13和第二定位 孔12具有不同的形狀，目的是方式探針卡10在安裝過(guò)程中左右顛倒。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)缺陷是，現(xiàn)有的探針卡的正面與反面容易被倒置，發(fā)生探針卡安裝倒置 的情況，無(wú)法通過(guò)測(cè)試設(shè)備和探針卡托盤檢測(cè)出來(lái)，這可能導(dǎo)致整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、機(jī) 械碰撞等質(zhì)量和安全方面的問(wèn)題，從而使得測(cè)試無(wú)法順利進(jìn)行甚至是探針卡和測(cè)試設(shè)備出 現(xiàn)損壞的結(jié)果，而且重新安裝探針卡也會(huì)增加操作時(shí)間，降低工作效率。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型解決的問(wèn)題是提供一種探針卡及其探針裝置，解決了現(xiàn)有的探針卡正 面與反面容易倒置的問(wèn)題，防止了測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、機(jī)械碰撞等質(zhì)量和安全問(wèn)題，減少了 重新安裝探針卡的操作時(shí)間，提高了工作效率。
[0006] 為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種探針卡，具有正面和與正面相對(duì)設(shè)置的背 面，所述探針卡上至少具有一個(gè)定位孔，所述定位孔沿所述正面至背面方向上的尺寸和/ 或形狀不唯一。
[0007] 可選地，所述探針卡上至少有兩個(gè)定位孔，所述至少兩個(gè)定位孔的形狀和/或尺 寸不同。
[0008] 可選地，沿正面至背面方向上至少部分所述定位孔的尺寸漸變?cè)龃蠡驖u變減小。
[0009] 可選地，沿正面至背面方向上，所述定位孔的孔徑逐漸增大。
[0010] 可選地，沿正面至背面方向上，所述定位孔的尺寸漸變?cè)龃蠡驖u變減小。
[0011] 可選地，所述定位孔的形狀為：圓錐形、圓臺(tái)形、圓柱形、長(zhǎng)方體、正方體或者其中 的組合。
[0012] 相應(yīng)地，本實(shí)用新型還提供一種探針裝置，包括所述探針卡，以及定位部件、探針 卡托盤，所述定位部件與所述定位孔相配合，以將所述定位卡定位于探針卡托盤上
[0013] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0014] 利用本實(shí)用新型提供一種探針卡及其探針裝置，所述定位孔沿所述正面至背面方 向上的尺寸和/或形狀不唯一，能夠區(qū)分探針卡的正面和背面，確保在安裝過(guò)程中，探針卡 的正面和反面不會(huì)倒置，防止了測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、機(jī)械碰撞等質(zhì)量和安全問(wèn)題，減少了重 新安裝探針卡的操作時(shí)間，提高了工作效率；
[0015] 進(jìn)一步優(yōu)化地，所述探針卡上至少有兩個(gè)定位孔，所述至少兩個(gè)定位孔的形狀和/ 或尺寸不同，進(jìn)一步防止卡左右方向安裝錯(cuò)誤。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖2是圖1所示的探針卡沿AA方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖3是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019] 圖4是圖3所示的探針卡沿AA方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020] 圖5是本實(shí)用新型又一實(shí)施例的探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖6是5所示的探針卡沿AA方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022] 現(xiàn)有技術(shù)的缺陷是，現(xiàn)有的探針卡的正面與反面容易被倒置，發(fā)生探針卡安裝倒 置的情況，無(wú)法通過(guò)測(cè)試設(shè)備和探針卡托盤檢測(cè)出來(lái)，這可能導(dǎo)致整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、 機(jī)械碰撞等質(zhì)量和安全方面的問(wèn)題，從而使得測(cè)試無(wú)法順利進(jìn)行甚至是探針卡和測(cè)試設(shè)備 出現(xiàn)損壞的結(jié)果，而且重新安裝探針卡也會(huì)增加操作時(shí)間，降低工作效率。
[0023] 為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種探針卡，具有正面和與正面相對(duì)設(shè)置的背 面，所述探針卡上至少具有一個(gè)定位孔，所述定位孔沿所述正面至背面方向上的尺寸和/ 或形狀不唯一。
[0024] 下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
[0025] 為了更好的說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，請(qǐng)參考圖3是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的 探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。探針卡100上有探針110,第一定位孔130和第二定位孔120。 所述第一定位孔130的正面尺寸（參見(jiàn)圖3中第一定位孔130的實(shí)線部分）與背面尺寸不 同（參見(jiàn)圖3中第一定位孔130的虛線部分），以及第二定位孔120的正面尺寸（參見(jiàn)圖3 中第二定位孔120的實(shí)線部分）和背面尺寸（參見(jiàn)圖3中第二定位孔120的虛線部分）不 同，這樣可以防止探針卡100的正面與背面安裝錯(cuò)誤。
[0026] 作為一個(gè)實(shí)施例，所述第一定位孔130與第二定位孔120的形狀不同，以便于探針 卡100左右方向安裝錯(cuò)誤。
[0027] 請(qǐng)結(jié)合圖4,圖4為圖3所示的探針卡沿AA方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。作為一個(gè)實(shí) 施例，所述第一定位孔130和所述第二定位孔120沿正面101至背面102尺寸均漸變?cè)龃螅?這樣的目的也是為了便于安裝定位銷。
[0028] 本實(shí)施例中，所述第一定位孔130為梯臺(tái)形。所述第二定位孔120的形狀為圓臺(tái) 形。所述第一定位孔130和第二定位孔120在正面101至背面102方向的尺寸不唯一，目 的是為了在安裝時(shí)區(qū)分正面101與背面102,防止將探針卡100的正面和背面混淆裝錯(cuò)。在 其他的實(shí)施例中，所述定位孔的形狀還可以為其他形狀，比如所述定位可以為圓錐形、圓臺(tái) 形、圓柱形、長(zhǎng)方體、正方體或者其中的組合?；蛘叨ㄎ豢椎目梢詢H僅一部分的尺寸沿正面 至背面方向尺寸漸變，定位孔的形狀也不局限于本實(shí)施例中所述。
[0029] 上述第一定位孔130和第二定位孔120需要對(duì)應(yīng)的定位部件（比如定位銷）將該 探針卡100定位在探針卡托盤上，形成探針裝置。由于定位孔沿正面至背面方向的尺寸/ 形狀不唯一，使得探針卡的正面與背面能夠區(qū)分開(kāi)來(lái)，進(jìn)而防止探針卡倒置。
[0030] 請(qǐng)參考圖5,圖5是本實(shí)用新型又一實(shí)施例的探針卡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。與圖3相 同的部件采用相同的標(biāo)號(hào)標(biāo)出，圖5與圖3的結(jié)構(gòu)基本相同，區(qū)別在于，第一定位孔130和 第二定位孔120在探針卡100上的相對(duì)位置不同，以及第一定位孔130和第二定位孔120的 剖面形狀不同。具體請(qǐng)參考圖6,圖6是5所示的探針卡沿AA方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。第 一定位孔130由兩個(gè)尺寸不同的長(zhǎng)方體形狀的孔組成，在正面101至背面102方向上，構(gòu)成 第一定位孔130的兩個(gè)孔的尺寸和形狀保持不變，而第二定位孔120由兩個(gè)尺寸和形狀不 同的圓臺(tái)形的孔構(gòu)成，在正面101至背面102方向上，兩個(gè)圓臺(tái)形的孔的孔徑逐漸增大。本 實(shí)施例中，所述第一定位孔130在正面101尺寸小于背面102的尺寸，所述第二定位孔120 在正面101的尺寸小于背面102的尺寸。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，在滿足從正面至背面的方 向第一定位孔或第二定位孔中至少一個(gè)定位孔的孔徑逐漸增大或逐漸減小的前提下，第一 定位孔和第二定位孔的孔徑和形狀還可以有更多的變形，只要是第一定位孔或第二定位孔 中的一個(gè)定位孔的正面尺寸和/或形狀與背面尺寸和/或形狀不同，能夠?qū)⑻结樋ǖ恼?與背面區(qū)分開(kāi)來(lái)，均可以實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，在此不做一一贅述。
[0031] 為了將上述探針卡固定在探針卡托盤上，需要對(duì)應(yīng)所述第一定位孔130和第二定 位孔120設(shè)置定位部件（即定位銷）來(lái)將探針卡固定在探針卡托盤上。
[0032] 綜上，利用本實(shí)用新型提供一種探針卡及其探針裝置，所述定位孔沿所述正面至 背面方向上的尺寸和/或形狀不唯一，能夠區(qū)分探針卡的正面和背面，確保在安裝過(guò)程中， 探針卡的正面和反面不會(huì)倒置，防止了測(cè)試系統(tǒng)出現(xiàn)接觸、機(jī)械碰撞等質(zhì)量和安全問(wèn)題，減 少了重新安裝探針卡的操作時(shí)間，提高了工作效率。
[0033] 因此，上述較佳實(shí)施例僅為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟 悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種探針卡，具有正面和與正面相對(duì)設(shè)置的背面，其特征在于，所述探針卡上至少具 有一個(gè)定位孔，所述定位孔沿所述正面至背面方向上的尺寸和/或形狀不唯一。
2. 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡上至少有兩個(gè)定位孔，所述至 少兩個(gè)定位孔的形狀和/或尺寸不同。
3. 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，沿正面至背面方向上至少部分所述定位 孔的尺寸漸變?cè)龃蠡驖u變減小。
4. 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，沿正面至背面方向上，所述定位孔的尺寸 漸變?cè)龃蠡驖u變減小。
5. 如權(quán)利要求4所述的探針卡，其特征在于，沿正面至背面方向上，所述定位孔的孔徑 逐漸增大。
6. 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述定位孔的形狀為：圓錐形、圓臺(tái)形、圓 柱形、長(zhǎng)方體或正方體。
7. 探針裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-6中任一權(quán)利要求所述探針卡，以及定位 部件、探針卡托盤，所述定位部件與所述定位孔相配合，以將所述定位卡定位于探針卡托盤 上。
【文檔編號(hào)】G01R31/28GK203894283SQ201420220571
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月30日
【發(fā)明者】王小寶, 周柯 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司