一種激光位移測量裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種激光位移測量裝置，包括激光器，激光器的輸出光路上設(shè)置有分光棱鏡，所述分光棱鏡的兩個出光光路上分別設(shè)置有一組反射鏡，反射鏡包括兩個相互垂直設(shè)置的反射鏡片，所述反射鏡片之間設(shè)有角度測量儀，所述角度測量儀為半圓儀量角器，在任意一組反射鏡的出光光路上設(shè)置有一個第一光柵，第一光柵上設(shè)置有透光圓孔，在分光棱鏡的總干涉光路上設(shè)置有第二光柵，第二光柵上設(shè)置有透光狹縫；兩組反射鏡分別設(shè)置在相互垂直的兩個檢測滑軌上，透光圓孔的外邊緣設(shè)置有插槽，插槽內(nèi)環(huán)形設(shè)置有若干個弧形遮片，透光狹縫兩側(cè)設(shè)置有卡槽，卡槽內(nèi)卡接有若干個直線遮片。本實用新型能夠改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)的不足，實現(xiàn)了兩個相互垂直方向上不同位移的同步測量，并提高了測量精確度。
【專利說明】一種激光位移測量裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種激光測距裝置，尤其是一種激光位移測量裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 利用激光的干涉對微小位移進(jìn)行測量是一種常用的測量手段。中國實用新型專利 CN201540156U公開了一種振動校準(zhǔn)用激光干涉儀，提高了激光干涉儀的測量精度，但是這 種結(jié)構(gòu)的測量精度只能達(dá)到百微米級。 實用新型內(nèi)容
[0003] 本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種激光位移測量裝置，能夠解決現(xiàn)有技術(shù) 的不足，實現(xiàn)了兩個相互垂直方向上不同位移的同步測量，并提高了測量精確度。
[0004] 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案如下。
[0005] -種激光位移測量裝置，包括激光器，激光器的輸出光路上設(shè)置有分光棱鏡，分光 棱鏡的總出光光路上設(shè)置有光電收發(fā)器，所述分光棱鏡的兩個出光光路上分別設(shè)置有一組 反射鏡，反射鏡包括兩個相互垂直設(shè)置的反射鏡片，所述反射鏡片之間設(shè)有角度測量儀，所 述角度測量儀為半圓儀量角器，在任意一組反射鏡的出光光路上設(shè)置有一個第一光柵，第 一光柵上設(shè)置有透光圓孔，在分光棱鏡的總干涉光路上設(shè)置有第二光柵，第二光柵上設(shè)置 有透光狹縫；兩組反射鏡分別設(shè)置在相互垂直的兩個檢測滑軌上，透光圓孔的外邊緣設(shè)置 有插槽，插槽內(nèi)環(huán)形設(shè)置有若干個弧形遮片，相鄰的弧形遮片部分重疊，透光狹縫兩側(cè)設(shè)置 有卡槽，卡槽內(nèi)卡接有若干個直線遮片，直線遮片的兩側(cè)設(shè)置也有卡槽。
[0006] 作為優(yōu)選，所述出光光路上設(shè)置有第一光柵的反射鏡的反射率大于另一組反射 鏡。
[0007] 作為優(yōu)選，所述直線遮片的長度與透光圓孔的直徑之比為5 : 1。
[0008] 本實用新型能夠改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)的不足，實現(xiàn)了兩個相互垂直方向上不同位移的同 步測量，并提高了測量精確度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1是本實用新型一個【具體實施方式】的光路圖。
[0010] 圖2是本實用新型一個【具體實施方式】中第一光柵的示意圖。
[0011] 圖3是本實用新型一個【具體實施方式】中第二光柵的示意圖。

【具體實施方式】
[0012] 本實用新型中使用到的標(biāo)準(zhǔn)零件均可以從市場上購買，異形件根據(jù)說明書的和附 圖的記載均可以進(jìn)行訂制，各個零件的具體連接方式均采用現(xiàn)有技術(shù)中成熟的螺栓、鉚釘、 焊接、粘帖等常規(guī)手段，在此不再詳述。
[0013] 參照圖1-3,本實用新型一個【具體實施方式】包括激光器1，激光器1的輸出光路上 設(shè)置有分光棱鏡2,分光棱鏡2的總出光光路上設(shè)置有光電收發(fā)器15,所述分光棱鏡2的兩 個出光光路上分別設(shè)置有一組反射鏡，反射鏡包括兩個相互垂直設(shè)置的反射鏡片3,所述反 射鏡片3之間設(shè)有角度測量儀，所述角度測量儀為半圓儀量角器，在任意一組反射鏡的出 光光路上設(shè)置有一個第一光柵4,第一光柵4上設(shè)置有透光圓孔5,在分光棱鏡2的總干涉 光路上設(shè)置有第二光柵6,第二光柵6上設(shè)置有透光狹縫7 ;兩組反射鏡分別設(shè)置在相互垂 直的兩個檢測滑軌8上，透光圓孔5的外邊緣設(shè)置有插槽10,插槽10內(nèi)環(huán)形設(shè)置有八個弧 形遮片9,相鄰的弧形遮片9部分重疊，透光狹縫7兩側(cè)設(shè)置有卡槽11，卡槽11內(nèi)卡接有若 干個直線遮片12,直線遮片12的兩側(cè)設(shè)置也有卡槽11。其中，激光器1、分光棱鏡2和光 電收發(fā)器15的具體結(jié)構(gòu)以及測量原理在【背景技術(shù)】中引用的專利文件中已進(jìn)行了充分的公 開，在此不再詳述。本實用新型改進(jìn)了激光干涉儀的反射裝置，使用兩個相互垂直的反射鏡 作為反射裝置，可以減少反射前后的光線干擾。所述出光光路上設(shè)置有第一光柵4的反射 鏡的反射率為另一組反射鏡反射率的1. 2倍，可以平衡由于設(shè)置不同的光柵而造成的出光 量的差異。兩組反射裝置在檢測滑軌8上的微小位移，都可以最終反映在光線干涉條紋的 位移上，從而實現(xiàn)兩個方向上的位移測量。激光光線通過分光棱鏡2進(jìn)行分光后，分別經(jīng)過 兩個不同的光柵，產(chǎn)生相應(yīng)的衍射，通過兩個衍射條紋的相互疊加，可以提高最終干涉條紋 的密度，從而實現(xiàn)提高檢測精度的作用。本【具體實施方式】可以在不改變其它硬件條件的前 提下，將測量精度從百微米級別提高至十納米級別。所述直線遮片的長度與透光圓孔的直 徑之比為5 : 1，可以提高最終干涉條紋的清晰度。
[0014] 另外，在弧形遮片9的內(nèi)邊緣設(shè)置有鋸齒邊緣13,可以最終的干涉條紋中減少邊 緣模糊效應(yīng)所帶來的檢測誤差；在直線遮片12的兩邊設(shè)置平行的折邊14,可以防止漏光導(dǎo) 致的干涉條紋畸變。
[0015] 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型 要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1. 一種激光位移測量裝置，包括激光器（1)，激光器（1)的輸出光路上設(shè)置有分光棱 鏡（2)，分光棱鏡（2)的總出光光路上設(shè)置有光電收發(fā)器（15)，其特征在于：所述分光棱鏡 (2) 的兩個出光光路上分別設(shè)置有一組反射鏡，反射鏡包括兩個相互垂直設(shè)置的反射鏡片 (3) ，所述反射鏡片（3)之間設(shè)有角度測量儀，所述角度測量儀為半圓儀量角器，在任意一 組反射鏡的出光光路上設(shè)置有一個第一光柵（4)，第一光柵（4)上設(shè)置有透光圓孔（5)，在 分光棱鏡（2)的總干涉光路上設(shè)置有第二光柵（6)，第二光柵（6)上設(shè)置有透光狹縫（7); 兩組反射鏡分別設(shè)置在相互垂直的兩個檢測滑軌（8)上，透光圓孔（5)的外邊緣設(shè)置有插 槽（10)，插槽（10)內(nèi)環(huán)形設(shè)置有若干個弧形遮片（9)，相鄰的弧形遮片（9)部分重疊，透光 狹縫⑵兩側(cè)設(shè)置有卡槽（11)，卡槽（11)內(nèi)卡接有若干個直線遮片（12)，直線遮片（12) 的兩側(cè)設(shè)置也有卡槽（11)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移測量裝置，其特征在于：所述出光光路上設(shè)置有第 一光柵（4)的反射鏡的反射率大于另一組反射鏡。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移測量裝置，其特征在于：所述直線遮片（12)的長度 與透光圓孔（5)的直徑之比為5 : 1。
【文檔編號】G01B11/02GK203837660SQ201420257458
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月20日
【發(fā)明者】藍(lán)耀榮 申請人:廣西土木勘察檢測治理有限公司