液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，包括：一封閉箱體，一設(shè)置于封閉箱體外部的取樣裝置，所述取樣裝置一路連接下游物料管線，另一路通過(guò)管線連接蒸汽氣化裝置，一設(shè)置于封閉箱體內(nèi)部的蒸汽氣化裝置，快速回路裝置以及進(jìn)色譜裝置，還包括一氮?dú)獯祾哐b置，該氮?dú)獯祾哐b置設(shè)置于封閉箱體內(nèi)，并與快速回路裝置連接，其始終對(duì)快速回路裝置的排放管線進(jìn)行吹掃，實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的氮?dú)獯祾吆偷獨(dú)獗Ｗo(hù)，有效防止由于外部環(huán)境溫度降低以及管道背壓而導(dǎo)致氯硅烷回流。本實(shí)用新型能夠長(zhǎng)期、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行，確保液態(tài)氯硅烷完全汽化，達(dá)到在線分析儀表對(duì)樣品的要求，并得到準(zhǔn)確可靠地分析數(shù)據(jù)。
【專利說(shuō)明】液態(tài)氯娃院在線檢測(cè)樣品處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于在線分析領(lǐng)域，具體涉及液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前，國(guó)內(nèi)對(duì)于液態(tài)氯硅烷的檢測(cè)均采取離線取樣的方式進(jìn)行，存在取樣危險(xiǎn)性 高，物料浪費(fèi)大，低沸點(diǎn)組份易揮發(fā)，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性根本得不到保證，特別是二氯二氫硅等低 沸點(diǎn)組份含量較高時(shí)，易發(fā)生著火，離線無(wú)法取樣檢測(cè)。
[0003] 國(guó)內(nèi)也有個(gè)別廠家采用在線色譜進(jìn)行分析，采用液態(tài)進(jìn)樣閥進(jìn)行進(jìn)樣檢測(cè)，但由 于液態(tài)氯硅烷中含有少量的氮?dú)饣驓錃猓詺馀菪问酱嬖?，造成進(jìn)樣量偏差較大，檢測(cè)結(jié)果 重復(fù)性較差，準(zhǔn)確性不高；另由于氯硅烷易水解，過(guò)濾器易堵塞，更換頻繁，損耗量大；液態(tài) 氯硅烷汽化不充分，存在氣液兩相，影響分析結(jié)果。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，能夠長(zhǎng) 期、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行，確保液態(tài)氯硅烷完全汽化，達(dá)到在線分析儀表對(duì)樣品的要求，并得到準(zhǔn) 確可靠地分析數(shù)據(jù)。
[0005] 為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：
[0006] 液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，包括：
[0007] -封閉箱體，
[0008] -設(shè)置于封閉箱體外部的取樣裝置，所述取樣裝置一路連接下游物料管線，另一 路通過(guò)管線連接蒸汽氣化裝置，
[0009] -設(shè)置于封閉箱體內(nèi)部的蒸汽氣化裝置，快速回路裝置以及進(jìn)色譜裝置，
[0010] 所述蒸汽汽化裝置連接的蒸汽一部分進(jìn)入蒸汽散熱片對(duì)封閉箱體進(jìn)行加熱，另一 部分通過(guò)蒸汽汽化減壓閥進(jìn)入樣品通過(guò)路徑上進(jìn)行加熱汽化；
[0011] 所述快速回路裝置包括三通過(guò)濾器，所述三通過(guò)濾器第一端連接蒸汽氣化裝置， 三通過(guò)濾器第二端連接進(jìn)色譜裝置，三通過(guò)濾器第三端連接氮?dú)獯祾哐b置；
[0012] 所述進(jìn)色譜裝置包括標(biāo)氣三通切換閥，所述標(biāo)氣三通切換閥第一端連接快速回路 裝置，標(biāo)氣三通切換閥第二端將汽化的樣品送至進(jìn)入色譜，經(jīng)進(jìn)樣閥后返回至快速回路裝 置；
[0013] 還包括一氮?dú)獯祾哐b置，該氮?dú)獯祾哐b置設(shè)置于封閉箱體內(nèi)，并與快速回路裝置 連接，其始終對(duì)快速回路裝置的排放管線進(jìn)行吹掃，實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的氮?dú)獯祾吆偷獨(dú)獗Ｗo(hù)，有 效防止由于外部環(huán)境溫度降低以及管道背壓而導(dǎo)致氯硅烷回流。
[0014] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，還包括標(biāo)液裝置，所述標(biāo)液裝置通過(guò)管線連 接蒸汽汽化減壓閥，并經(jīng)蒸汽汽化減壓閥汽化后實(shí)現(xiàn)對(duì)色譜標(biāo)液標(biāo)定。
[0015] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，還包括標(biāo)氣裝置，所述標(biāo)氣裝置經(jīng)標(biāo)氣三通 切換閥后進(jìn)入色譜，實(shí)現(xiàn)對(duì)色譜的標(biāo)氣標(biāo)定。
[0016] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述取樣裝置包括一自清洗式過(guò)濾器，一連 接自清洗式過(guò)濾器第一端的第一兩通球閥，一連接自清洗式過(guò)濾器第二端的第一針閥和第 一止回閥，以及一連接自清洗式過(guò)濾器第三端的第二兩通球閥。
[0017] 所述第一兩通球閥連接進(jìn)料口，第一止回閥連接下游物料管線，所述第二兩通球 閥通過(guò)第一接口連接蒸汽氣化裝置。
[0018] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述蒸汽氣化裝置包括一控制蒸汽流量的第 三針閥，一與第三針閥連接的散熱片和蒸汽式汽化減壓閥。
[0019] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述封閉箱體為保溫層厚度為60mm的箱體， 且在封閉箱體上設(shè)置一用于觀察封閉箱體溫度的溫度計(jì)，第三針閥用于調(diào)節(jié)蒸汽大小，以 保證封閉箱體溫度達(dá)到要求。
[0020] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，還包括有安全閥以及與安全閥配合使用的廢 氣管線裝置，樣品壓力超過(guò)安全閥整定壓力時(shí)，安全閥起跳，樣品進(jìn)入廢氣管線裝置處理。
[0021] 通過(guò)上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是：
[0022] 1、取樣部分采用過(guò)濾精度為0.5μπι自清洗式過(guò)濾器，通過(guò)物料本身對(duì)過(guò)濾器進(jìn) 行沖刷，保證過(guò)濾器連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行，極大地降低了過(guò)濾器維護(hù)頻次；另外，樣品未經(jīng)過(guò)污染 及減壓操作，直接排入下游物料管線，極大地減少了物料的浪費(fèi)。
[0023] 2、蒸汽汽化減壓閥、蒸汽散熱片、保溫厚度為60_的箱體保證液態(tài)氯硅烷完全汽 化。
[0024] 3、樣品排放管路的氮?dú)獯祾咭约爸够亻y設(shè)計(jì)可以有效防止樣品由于外部環(huán)境溫 度降低以及管道背壓而導(dǎo)致樣品回流。
[0025] 4、安全閥可以確保在系統(tǒng)壓力較大時(shí)，能夠及時(shí)將樣品排入排放管線，確保裝置 穩(wěn)定、安全運(yùn)行。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026] 為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0028] 為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下 面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0029] 參照?qǐng)D1，液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，包括取樣過(guò)濾部分、蒸汽汽化減壓 閥（Κ1)、安全閥（G1)、快速回路、標(biāo)液流路、標(biāo)氣流路、大氣平衡閥（Ε1)、氮?dú)獯祾?、樣品?放、儀表氣吹掃、蒸汽散熱片（J1);
[0030] 取樣過(guò)濾部分包括兩通球閥（Α1、Α2、Α3)、自清洗式過(guò)濾器（F1)、針閥（Β1)和止回 閥（C1)，蒸汽汽化減壓閥（Κ1)與兩通球閥（Α4)并聯(lián)，
[0031] 快速回路包括三通過(guò)濾器（F2)、兩通球閥（Α8)、帶針閥的玻璃管浮子流量計(jì) (HI)、止回閥（C4)，
[0032] 氮?dú)獯祾甙▋赏ㄇ蜷y（A6、A7)、止回閥（C3)，三通球閥（D3)分別與標(biāo)液、標(biāo)氣流 路連接，
[0033] 樣品標(biāo)液三通切換閥（D1)公共端（C)通過(guò)三通與蒸汽式汽化減壓閥（K1)入口 及其并聯(lián)的兩通球閥（A4)連接，樣品標(biāo)氣三通切換閥（D2)公共端（C)與進(jìn)色譜前針閥流 量計(jì)（H2)入口連接，標(biāo)氣標(biāo)液流路三通氮?dú)獯祾唛y（D3)公共端（C)通過(guò)三通與兩通球閥 (A6、A7)連接，標(biāo)氣標(biāo)液流路三通氮?dú)獯祾唛y（D3)非公共端分別于標(biāo)液、標(biāo)氣進(jìn)口連接；
[0034] 所述自清洗式過(guò)濾器（F1)出口至蒸汽式汽化減壓閥（K1)入口、標(biāo)液管線全部采 用1/8"管線連接；蒸汽式汽化減壓閥（K1)采用G0生產(chǎn)的型號(hào)為H2-1D55B3G111的蒸汽汽 化減壓閥；
[0035] 除取樣部分外其余均安裝在保溫層厚度為60mm的箱體內(nèi)；溫度計(jì)（T1)用于觀察 箱體溫度，針閥（B3)用于調(diào)節(jié)蒸汽大小，以保證箱體溫度達(dá)到要求。
[0036] 工作過(guò)程：通過(guò)調(diào)節(jié)針閥（B3)開(kāi)度大小，并查看溫度計(jì)（T1)來(lái)保證箱體溫度達(dá)到 75。。。
[0037] 樣品經(jīng)過(guò)兩通球閥（A1)、自清洗式過(guò)濾器（F1)過(guò)濾后一部分經(jīng)針閥（B1)、止回閥 (C1)后與下游物料管線連接回收利用，另一部分過(guò)濾后樣品經(jīng)兩通球閥（A3)、接口（B)進(jìn) 入箱體內(nèi)，經(jīng)樣品標(biāo)液三通切換閥（D1)進(jìn)入蒸汽汽化減壓閥（K1)完全汽化后進(jìn)入三通過(guò) 濾器（F2)分為快速回路和進(jìn)色譜兩部分，
[0038] 快速回路部分經(jīng)過(guò)兩通球閥（A8)、帶針閥的玻璃管浮子流量計(jì)（H1)、止回閥（C4) 進(jìn)入快速回路管線；
[0039] 進(jìn)色譜部分經(jīng)樣品標(biāo)氣三通切換閥（D2)、帶針閥的玻璃管浮子流量計(jì)（H2)、 〇.5μπι直通過(guò)濾器（F3)，通過(guò)接口（H)進(jìn)入色譜，經(jīng)色譜進(jìn)樣閥后經(jīng)接口（I)、大氣平衡閥 (Ε1)、止回閥（C5)進(jìn)入快速回路管線。
[0040] 氮?dú)馔ㄟ^(guò)接口（Κ)進(jìn)入，經(jīng)針閥（Β2)調(diào)節(jié)、止回閥（C2)對(duì)快速回路排放管線始終 進(jìn)行吹掃，兩通球閥（Α6、Α7、Α4、Α3)打開(kāi)，兩通球閥（Α2)關(guān)閉，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的氮?dú)獯?掃和氮?dú)獗Ｗo(hù)，正常運(yùn)行時(shí)兩通球閥（Α2、Α5)處于打開(kāi)狀態(tài)，兩通球閥（Α3、Α4、Α7)處于關(guān) 閉狀態(tài)，止回閥（C2、C3)防止氯硅烷進(jìn)入氮?dú)夤芫€。
[0041] 6KG低壓蒸汽經(jīng)接口（C) 一部分進(jìn)入蒸汽散熱片（J1)對(duì)箱體進(jìn)行加熱，另一部分 通過(guò)蒸汽汽化減壓閥（K1)蒸汽入口進(jìn)入蒸汽汽化減壓閥內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行加熱汽化，蒸汽汽 化減壓閥和蒸汽散熱片出口蒸汽經(jīng)接口（E)排出。
[0042] 標(biāo)液由接口（F)進(jìn)入預(yù)處理箱，經(jīng)樣品標(biāo)液三通切換閥（D1)后進(jìn)入蒸汽汽化減壓 閥（K1)汽化后可以實(shí)現(xiàn)對(duì)色譜標(biāo)液標(biāo)定，
[0043] 標(biāo)氣由接口（G)接入，經(jīng)樣品/標(biāo)氣三通切換閥（D2)、帶針閥玻璃管浮子流量計(jì) (H2)、過(guò)濾器（F3)后進(jìn)入色譜，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)色譜的標(biāo)氣標(biāo)定，氮?dú)饨?jīng)兩通球閥（A6)、標(biāo)氣/ 標(biāo)液三通氮?dú)獯祾唛y切換，可以分別實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)液流路、標(biāo)氣流路的氮?dú)獯祾摺?br> [0044] 色譜進(jìn)樣前大氣平衡閥（E1)動(dòng)作，樣品經(jīng)接口（J)排入大氣排放管線，與大氣進(jìn) 行壓力平衡，保證每次進(jìn)樣量相同，確保檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確。樣品壓力超過(guò)安全閥（G1)整定壓 力時(shí)，安全閥（G1)起跳，樣品排入快速回路管線，快速回路樣品經(jīng)接口（A)排出系統(tǒng)進(jìn)入廢 氣管線處理。
[0045] 以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述 的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還 會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型 要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1. 液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，包括： 一封閉箱體， 一設(shè)置于封閉箱體外部的取樣裝置，所述取樣裝置一路連接下游物料管線，另一路通 過(guò)管線連接蒸汽氣化裝置， 一設(shè)置于封閉箱體內(nèi)部的蒸汽氣化裝置，快速回路裝置以及進(jìn)色譜裝置， 所述蒸汽汽化裝置連接的蒸汽一部分進(jìn)入蒸汽散熱片對(duì)封閉箱體進(jìn)行加熱，另一部分 通過(guò)蒸汽汽化減壓閥對(duì)樣品進(jìn)行加熱汽化； 所述快速回路裝置包括三通過(guò)濾器，所述三通過(guò)濾器第一端連接蒸汽氣化裝置，三通 過(guò)濾器第二端連接進(jìn)色譜裝置，三通過(guò)濾器第三端連接氮?dú)獯祾哐b置； 所述進(jìn)色譜裝置包括標(biāo)氣三通切換閥，所述標(biāo)氣三通切換閥第一端連接快速回路裝 置，標(biāo)氣三通切換閥第二端將汽化的樣品送至進(jìn)入色譜后，經(jīng)色譜進(jìn)樣閥后進(jìn)入快速回路 裝置； 還包括一氮?dú)獯祾哐b置，該氮?dú)獯祾哐b置設(shè)置于封閉箱體內(nèi)，并與快速回路裝置連接， 其始終對(duì)快速回路裝置的排放管線進(jìn)行吹掃，實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的氮?dú)獯祾吆偷獨(dú)獗Ｗo(hù)，有效防 止由于外部環(huán)境溫度降低以及管道背壓而導(dǎo)致氯硅烷回流。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，還包括標(biāo) 液裝置，所述標(biāo)液裝置通過(guò)管線連接蒸汽汽化減壓閥，并經(jīng)蒸汽汽化減壓閥汽化后實(shí)現(xiàn)對(duì) 色譜標(biāo)液標(biāo)定。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，還包括標(biāo) 氣裝置，所述標(biāo)氣裝置經(jīng)標(biāo)氣三通切換閥后進(jìn)入色譜，實(shí)現(xiàn)對(duì)色譜的標(biāo)氣標(biāo)定。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，所述取樣 裝置包括一自清洗式過(guò)濾器，一連接自清洗式過(guò)濾器第一端的第一兩通球閥，一連接自清 洗式過(guò)濾器第二端的第一針閥和第一止回閥，以及一連接自清洗式過(guò)濾器第三端的第二兩 通球閥， 所述第一兩通球閥連接進(jìn)料口，第一止回閥連接下游物料管線，所述第二兩通球閥通 過(guò)第一接口連接蒸汽氣化裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，所述蒸汽 氣化裝置包括一控制蒸汽流量的第三針閥，一與第三針閥連接的散熱片和蒸汽式汽化減壓 閥。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，所述封閉 箱體為保溫層厚度為60mm的箱體，且在封閉箱體上設(shè)置一用于觀察封閉箱體溫度的溫度 計(jì)，第三針閥用于調(diào)節(jié)蒸汽大小，以保證封閉箱體溫度達(dá)到要求。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)氯硅烷在線檢測(cè)樣品處理裝置，其特征在于，還包括有 安全閥以及與安全閥配合使用的廢氣管線裝置，樣品壓力超過(guò)安全閥整定壓力時(shí)，安全閥 起跳，樣品進(jìn)入廢氣管線裝置處理。
【文檔編號(hào)】G01N30/06GK203909003SQ201420311984
【公開(kāi)日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月12日
【發(fā)明者】童孟, 翁博豐, 程遠(yuǎn)梅, 賈哲, 宋安寧 申請(qǐng)人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司