顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型給出一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、CCD相機、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測器以及計算機；本實用新型的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)能夠?qū)悠返墓庵掳l(fā)光進行測量，得到光譜圖，從而可以對光致發(fā)光峰進行分析，進而得到物質(zhì)的特征電子躍遷，粒子是否有表面缺陷發(fā)光，樣品的發(fā)光性能、能級結(jié)構(gòu)和表面狀態(tài)等信息。
【專利說明】顯微共聚焦熒光系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光致發(fā)光測量領(lǐng)域，尤其涉及一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]光致發(fā)光(Photoluminescence,PL),即指當外界光源照射物體時,物體吸收光子，電子從基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)，當處于激發(fā)態(tài)的電子以輻射躍遷的方式返回基態(tài)時，能量以光的形式發(fā)出的現(xiàn)象。紫外輻射、可見光及紅外輻射均可引起光致發(fā)光。光致發(fā)光可以提供有關(guān)材料的結(jié)構(gòu)、成分及環(huán)境原子排列的信息，例如，在光致發(fā)光譜中，發(fā)光峰的峰位標明了某個具有相互作用的能級間的能量間隔；光譜結(jié)構(gòu)的始端對應(yīng)最低光子能量，標志著一種躍遷閾值；而光譜形狀則是這種躍遷概率或是能態(tài)分布的表征。對于半導體納米材料的光學性質(zhì)研究，是十分有用的一種實驗技術(shù)。通過研究實驗中所得的光致發(fā)光譜，通過對發(fā)光譜中峰位、半高寬等的分析，可以得出材料帶隙、缺陷、雜質(zhì)級能以及復合機制等信息。本實用新型提出一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)對光致發(fā)光進行測量和分析。
實用新型內(nèi)容
[0003]有鑒于此，本實用新型提供了一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、CXD相機、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測器以及計算機；所述激光器的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、第一半反半透鏡；所述第一半反半透鏡將反射的激光通過顯微物鏡投射到樣品臺，并通過所述顯微物鏡收集樣品臺上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡將收集的樣品熒光一路透射至濾波片、第二半反半透鏡至CCD相機；另一路透射至第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡至光柵光譜儀，所述探測器對光柵光譜儀聚焦的光進行探測，并將光信號轉(zhuǎn)化為電信號后傳輸給計算機。
[0004]所述光柵光譜儀設(shè)置有第三狹縫板、第一球面反射鏡、光柵、第二球面反射鏡，所述第四透鏡將光透射至第三狹縫板，經(jīng)過狹縫入射至第一球面反射鏡，第一球面反射鏡將光通過光柵射向第二球面反射鏡，第二球面反射鏡將光反射至探測器。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0006]圖1為本實用新型一實施例提供的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0007]為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0008]圖1為本實用新型一實施例提供的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所不，本實施例的顯微共聚焦突光系統(tǒng)包括激光器1、第一透鏡2、第一狹縫板3、第二透鏡4、顯微物鏡5、樣品臺6、第一半反半透鏡7、濾波片8、第二半反半透鏡9、(XD相機10、第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13、光柵光譜儀14、探測器15以及計算機16 ;所述激光器I的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡2、第一狹縫板3、第二透鏡4、第一半反半透鏡7 ;所述第一半反半透鏡7將反射的激光通過顯微物鏡5投射到樣品臺6，并通過所述顯微物鏡5收集樣品臺6上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡7將收集的樣品熒光一路透射至濾波片8、第二半反半透鏡9至CXD相機10 ;另一路透射至第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13至光柵光譜儀14，所述探測器15對光柵光譜儀14聚焦的光進行探測，并將光信號轉(zhuǎn)化為電信號后傳輸給計算機16。
[0009]本實施例的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)中的激光器I出射激光經(jīng)由外部光路(第一透鏡
2、第一狹縫板3、第二透鏡4、一半反半透鏡7)進入顯微物鏡5照射到樣品上，樣品受到激光的激發(fā)，產(chǎn)生光致發(fā)光，樣品發(fā)出的熒光由顯微物鏡進行收集，經(jīng)過第一半反半透鏡7變成平行光，使得樣品所發(fā)熒光分為兩部分，一部分通過濾波片8、第二半反半透鏡9進入CCD相機10進行成像，一部分經(jīng)由第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13進入光柵光譜儀14，經(jīng)光柵分光后聚焦至探測器15。探測器15將光信號轉(zhuǎn)化為電信號后傳輸給計算機，根據(jù)所探測的樣品發(fā)光波長不同選擇合適的探測器。通過計算機顯示相應(yīng)的光致發(fā)光譜圖。同時也可以通過計算機對光柵光譜儀狹縫的大小、曝光時間、所要探測波長等一系列參數(shù)進行控制。
[0010]通過顯微共聚焦熒光系統(tǒng)得到的光譜圖可以對光致發(fā)光峰進行分析，進而得到物質(zhì)的特征電子躍遷，粒子是否有表面缺陷發(fā)光，樣品的發(fā)光性能、能級結(jié)構(gòu)和表面狀態(tài)等信肩、O
[0011]最后應(yīng)說明的是:以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換，而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種顯微共聚焦突光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、C⑶相機、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測器以及計算機；其特征在于，所述激光器的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、第一半反半透鏡；所述第一半反半透鏡將反射的激光通過顯微物鏡投射到樣品臺，并通過所述顯微物鏡收集樣品臺上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡將收集的樣品熒光一路透射至濾波片、第二半反半透鏡至CCD相機；另一路透射至第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡至光柵光譜儀，所述探測器對光柵光譜儀聚焦的光進行探測，并將光信號轉(zhuǎn)化為電信號后傳輸給計算機O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，其特征在于，所述光柵光譜儀設(shè)置有第三狹縫板、第一球面反射鏡、光柵、第二球面反射鏡，所述第四透鏡將光透射至第三狹縫板，經(jīng)過狹縫入射至第一球面反射鏡，第一球面反射鏡將光通過光柵射向第二球面反射鏡，第二球面反射鏡將光反射至探測器。
【文檔編號】G01N21/64GK204044069SQ201420344033
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月18日
【發(fā)明者】勵春亞 申請人:象山星旗電器科技有限公司