X-y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及超聲波掃描【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說(shuō)是一種X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置。一種X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，包括底座、基座、水槽、固定模塊、定位模塊、換能器，其特征在于：底座的上方連接設(shè)有水槽，位于水槽左右兩側(cè)的底座上分別設(shè)有基座；位于水槽內(nèi)部的左右兩側(cè)分別設(shè)有齒條，位于齒條的上方設(shè)有圓軸檢具總成，圓軸檢具總成的上方連接設(shè)有固定模塊，位于固定模塊的前方連接設(shè)有定位模塊，位于定位模塊的前方通過(guò)換能器安裝塊連接換能器。同現(xiàn)有技術(shù)相比，將原來(lái)的X-Y方向掃描的二維超聲波掃描顯微鏡的Y軸轉(zhuǎn)化為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的方向，原來(lái)X-Y方向的掃描轉(zhuǎn)換成X-R方向的掃描運(yùn)動(dòng)，R即代表旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
【專利說(shuō)明】X-Y 二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及超聲波掃描【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說(shuō)是一種X-Y 二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]二維超聲波掃描顯微鏡采用高頻超聲波換能器，通過(guò)X-Y方向逐點(diǎn)進(jìn)行采樣掃描，得到被測(cè)樣品內(nèi)部的缺陷圖像，由于其分辨率可達(dá)Pm級(jí)別，而且在縱向，及Z的方向，對(duì)缺陷的靈敏度達(dá)到nm級(jí)別，因此，被廣泛用于各種材料，半導(dǎo)體器件等微小器件的內(nèi)部缺陷檢測(cè)，特別是一些有多層結(jié)構(gòu)的器件內(nèi)部的分層缺陷檢測(cè)，以及一些微小焊點(diǎn)的內(nèi)部空洞檢測(cè)。
[0003]但是，由于超聲波掃描顯微鏡只能進(jìn)行X-Y的二維方向的掃描，因此，只能對(duì)一些平面樣品，或者表面比較平整的樣品進(jìn)行掃描，對(duì)于一些曲率比較大，比如管材和圓柱體的樣品則無(wú)法進(jìn)行內(nèi)部缺陷檢測(cè)。
[0004]在無(wú)損探傷領(lǐng)域?qū)τ谝恍┕懿暮蛨A柱體的內(nèi)部缺陷超聲波探傷，只能采用多探頭陣列的形式，以及將多個(gè)探頭環(huán)繞圓柱體樣品外表面對(duì)內(nèi)部缺陷進(jìn)行檢測(cè)，但由于探頭本身的外形尺寸限制，這些探頭陣列的檢測(cè)方法分辨率比較差，只能達(dá)到mm級(jí)別的測(cè)試分辨率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于超聲波掃描的圓周檢測(cè)裝置，采用轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使得樣品穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)，對(duì)于不同直徑尺寸的管材和圓柱體都可以進(jìn)行掃描，具有通用性和操作的簡(jiǎn)便性保持了原有超聲掃描顯微鏡的高分辨率性能，可以達(dá)到微米級(jí)別的分辨率。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，設(shè)計(jì)一種X-Y 二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，包括底座、基座、水槽、固定模塊、定位模塊、換能器，其特征在于:底座的上方連接設(shè)有水槽，位于水槽左右兩側(cè)的底座上分別設(shè)有基座；位于水槽內(nèi)部的左右兩側(cè)分別設(shè)有齒條，位于齒條的上方設(shè)有圓軸檢具總成，圓軸檢具總成的上方連接設(shè)有固定模塊，位于固定模塊的前方連接設(shè)有定位模塊，位于定位模塊的前方通過(guò)換能器安裝塊連接換能器。
[0007]所述的圓軸檢具總成包括托架、齒輪、托架座板、輥軸，托架呈“C”字型，所述的托架設(shè)有兩個(gè)，并且左右兩側(cè)的托架分別位于左右兩側(cè)的齒條的上方；左右兩側(cè)的托架的一端通過(guò)兩根輥軸連接，左右兩側(cè)的托架的另一端為平面，并且左右兩側(cè)的托架的另一端通過(guò)托架座板連接，托架座板的上方設(shè)有固定模塊。
[0008]所述的兩根輥軸的兩端分別通過(guò)軸承連接齒輪，并且齒輪與齒輪下方的齒條相配入口 ο
[0009]所述的換能器的下端位于兩根輥軸之間的上方。
[0010]所述的水槽為有機(jī)玻璃水槽。
[0011]所述的齒輪為同步齒輪。
[0012]所述的齒條為同步齒條。
[0013]所述的換能器為超聲波換能器。
[0014]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，提供一種用于超聲波掃描的圓周檢測(cè)裝置，將原來(lái)的X-Y方向掃描的二維超聲波掃描顯微鏡的Y軸轉(zhuǎn)化為可以旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的方向，從而使得原來(lái)X-Y方向的掃描轉(zhuǎn)換成X-R方向的掃描運(yùn)動(dòng)，R即代表旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0015]采用轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使得樣品穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)，對(duì)于不同直徑尺寸的管材和圓柱體都可以進(jìn)行掃描，具有通用性和操作的簡(jiǎn)便性保持了原有超聲掃描顯微鏡的高分辨率性能，可以達(dá)到微米級(jí)別的分辨率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2為圓軸檢具總成的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]參見(jiàn)圖1，I為底座，2為水槽，3為齒條，4為固定模塊，5為定位模塊，6為換能器，7為換能器安裝塊，8為基座，9為圓軸檢具總成，10為檢測(cè)樣品。
[0019]參見(jiàn)圖2，9-1為托架座板，9-2為托架，9_3為齒輪，9_4為輥軸。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面根據(jù)附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0021]如圖1所示，底座I的上方連接設(shè)有水槽2，位于水槽2左右兩側(cè)的底座I上分別設(shè)有基座8 ;位于水槽2內(nèi)部的左右兩側(cè)分別設(shè)有齒條3，位于齒條3的上方設(shè)有圓軸檢具總成9，圓軸檢具總成9的上方連接設(shè)有固定模塊4，位于固定模塊4的前方連接設(shè)有定位模塊5，位于定位模塊5的前方通過(guò)換能器安裝塊7連接換能器6。
[0022]如圖2所示，圓軸檢具總成9包括托架、齒輪、托架座板、輥軸，托架9-2呈“C”字型，所述的托架9-2設(shè)有兩個(gè)，并且左右兩側(cè)的托架9-2分別位于左右兩側(cè)的齒條3的上方；左右兩側(cè)的托架9-2的一端通過(guò)兩根輥軸9-4連接，左右兩側(cè)的托架9-2的另一端為平面，并且左右兩側(cè)的托架9-2的另一端通過(guò)托架座板9-1連接，托架座板9-1的上方設(shè)有固定模塊4。
[0023]兩根輥軸9-4的兩端分別通過(guò)軸承連接齒輪9-3，并且齒輪9_3與齒輪9_3下方的齒條3相配合。
[0024]換能器6的下端位于兩根輥軸9-4之間的上方。
[0025]水槽2為有機(jī)玻璃水槽。
[0026]齒輪9-3為同步齒輪。
[0027]齒條3為同步齒條。
[0028]換能器6為超聲波換能器。
[0029]托架座板9-1及托架9-2上設(shè)有多孔的作用為一個(gè)是減重，另外一個(gè)是預(yù)防C型托架9-2內(nèi)部應(yīng)力所可能產(chǎn)生的翹曲。
[0030]將檢測(cè)樣品10放置于兩根輥軸9-4之間的上方，檢測(cè)樣品10為管材或圓柱體，兩根輥軸9-4兩端的齒輪9-3配合齒輪3進(jìn)行順時(shí)針運(yùn)動(dòng)，這樣檢測(cè)樣品10由于兩根輥軸9-4的順時(shí)針運(yùn)動(dòng)而同樣做順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)，位于兩根輥軸9-4之間的上方的換能器6進(jìn)行同步掃描，這樣，檢測(cè)樣品10的圓周的情況即可被換能器6掃描。
[0031]將原來(lái)的X-Y方向掃描的二維超聲波掃描顯微鏡的Y軸轉(zhuǎn)化為可以旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的方向，從而使得原來(lái)X-Y方向的掃描轉(zhuǎn)換成X-R方向的掃描運(yùn)動(dòng)，并且也能適用于不同直徑尺寸的管材或圓柱體，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通用性大。
【權(quán)利要求】
1.一種X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，包括底座、基座、水槽、固定模塊、定位模塊、換能器，其特征在于:底座(I)的上方連接設(shè)有水槽(2)，位于水槽(2)左右兩側(cè)的底座(I)上分別設(shè)有基座(8);位于水槽(2)內(nèi)部的左右兩側(cè)分別設(shè)有齒條(3)，位于齒條(3)的上方設(shè)有圓軸檢具總成(9)，圓軸檢具總成(9)的上方連接設(shè)有固定模塊(4)，位于固定模塊(4)的前方連接設(shè)有定位模塊(5)，位于定位模塊(5)的前方通過(guò)換能器安裝塊(7)連接換能器(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的圓軸檢具總成(9)包括托架、齒輪、托架座板、輥軸，托架(9-2)呈“C”字型，所述的托架(9-2)設(shè)有兩個(gè)，并且左右兩側(cè)的托架(9-2)分別位于左右兩側(cè)的齒條(3)的上方；左右兩側(cè)的托架(9-2)的一端通過(guò)兩根輥軸(9-4)連接，左右兩側(cè)的托架(9-2)的另一端為平面，并且左右兩側(cè)的托架(9-2)的另一端通過(guò)托架座板(9-1)連接，托架座板(9-1)的上方設(shè)有固定模塊(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的兩根輥軸(9-4)的兩端分別通過(guò)軸承連接齒輪(9-3)，并且齒輪(9-3)與齒輪(9-3)下方的齒條(3)相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的換能器(6)的下端位于兩根輥軸(9-4)之間的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的水槽(2)為有機(jī)玻璃水槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的齒輪(9-3)為同步齒輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的齒條(3)為同步齒條。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X-Y二維超聲掃描顯微鏡測(cè)試管材及圓柱體樣品的裝置，其特征在于:所述的換能器(6)為超聲波換能器。
【文檔編號(hào)】G01N29/27GK204008565SQ201420470092
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】林群 申請(qǐng)人:科視達(dá)（上海）國(guó)際貿(mào)易有限公司, 科視達(dá)（中國(guó)）有限公司