夾具的中心點定位器及夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種夾具的中心點定位器及夾具，底座上的支撐腿貫穿螺紋孔來限定底座與下夾片接合在一起時兩者的相互位置，相當于底座與下夾片空間上重疊，此時底座的中心設置的定位孔在下夾片的投影位置即為下夾片的中心點的位置，避免了在制備進行拉力破壞性實驗的樣品的過程中，由于通過肉眼選定下夾片的中心點位置，使芯片偏離下夾片的中心點而使制備的樣品失敗的問題，準確的將芯片黏貼到下夾片的中心點位置，提高了樣品制備的成功率，減少了樣品制備過程所耗費的時間。
【專利說明】夾具的中心點定位器及夾具

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及定位裝備【技術領域】，尤其涉及一種夾具的中心點定位器及夾具。

【背景技術】
[0002]為了確保芯片在不同制程中的質量，需要在可靠性實驗室中進行多種實驗，其中，有一項實驗是對芯片做拉力破壞性實驗，該實驗通過觀察芯片的金屬層與金屬層的剝離狀態(tài)來分析制程是否正常。
[0003]每次做拉力破壞性實驗之前，實驗室都需要準備大量進行拉力破壞性實驗的樣品，樣品的制備過程是將芯片固定在夾具上的過程，所述的夾具主要包括上夾片和下夾片，上夾片和下夾片大小相同，且兩者均為方形。夾具在固定芯片時，需要確保上夾片與下夾片互相對齊，以便后續(xù)將夾具裝載在拉力試驗機上進行拉力破壞性實驗。
[0004]樣品的制備過程具體如下:首先在下夾片上涂膠，之后將其送入烤爐使膠固化以在下夾片表面形成平坦的膠層，將下夾片從烤爐取出冷卻；同理，將上夾片也作如同下夾片的操作；接下來在有膠層的下夾片上涂膠并將待進行拉力破壞性實驗的芯片黏貼到下夾片的中間位置并送入烤爐使膠固化，之后在有膠層的上夾片上涂膠并將其黏貼在已固定了芯片的下夾片上并送入烤爐使膠固化，最終芯片被固定在上夾片與下夾片中間，樣品制備結束，其中對于芯片黏貼在下夾片的步驟，芯片需要黏貼在下夾片的中心點，以往都是靠肉眼識別下夾片的中心點，然后用鑷子夾取芯片放置于下夾片的中心點的位置。然而實際操作過程中，芯片是不可能每次都準確的放置于下夾片的中心點的，如果放偏，肉眼卻沒有識別出來，最后烘烤完，會明顯發(fā)現(xiàn)上下夾片不平行，從而導致膠層粘合部位受力不均，以至于后續(xù)進行拉力破壞性實驗拉出很多無效的樣品，而而制備樣品的過程已經耗費了大量的人力物力，僅僅因芯片未放置到夾具的中心位置而使制備的樣品失敗，降低了樣品制備的成功率，從而使得后續(xù)實驗無法正常進行，大大提高了成本。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種夾具的中心點定位器及夾具，以解決現(xiàn)有技術中制備進行拉力破壞性實驗的樣品的過程中，由于芯片未放置到夾具的中心位置而使制備的樣品失敗，導致樣品制備的成功率降低的問題。
[0006]為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種夾具的中心點定位器，所述夾具包括一下夾片，所述下夾片上設置有螺紋孔，所述夾具的中心點定位器包括底座及設置于所述底座上的支撐腿，所述支撐腿貫穿所述螺紋孔以限定所述底座的位置，所述底座的中心設置有定位孔。
[0007]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述定位孔的形狀與芯片的形狀一致。
[0008]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，還包括設置于所述定位孔邊緣的鑷子夾孔。
[0009]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，還包括設置于所述底座上用于支撐所述底座的凸起，所述凸起設置于所述支撐腿的外側。
[0010]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述凸起的高度為0.5mm?Imm0
[0011]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述底座為長方體或正方體，所述底座的兩個面上分別設置有拾取部件，所述兩個面相對設置。
[0012]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述支撐腿的高度小于等于所述螺紋孔的深度。
[0013]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述夾具還包括與所述下夾片配合使用的上夾片。
[0014]可選的，在所述的夾具的中心點定位器中，所述上夾片及所述下夾片均為方形且大小相同。
[0015]本實用新型還提供一種夾具，所述夾具包括如上所述的夾具的中心點定位器。
[0016]在本實用新型所提供的夾具的中心點定位器及夾具中，底座上的支撐腿貫穿螺紋孔來限定底座與下夾片接合在一起時兩者的相互位置，相當于底座與下夾片空間上重疊，此時底座的中心設置的定位孔在下夾片的投影位置即為下夾片的中心點的位置，避免了在制備進行拉力破壞性實驗的樣品的過程中，由于通過肉眼選定下夾片的中心點位置，使芯片偏離下夾片的中心點而使制備的樣品失敗的問題，準確的將芯片黏貼到下夾片的中心點位置，提高了樣品制備的成功率，減少了樣品制備過程所耗費的時間。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的結構示意圖；
[0018]圖2是本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器裝載在夾具的下夾片上時的示意圖；
[0019]圖3是本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的側視圖；
[0020]圖4是本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的俯視圖；
[0021]圖5是現(xiàn)有技術與采用夾具的中心點定位器后制備的樣品成功率結果示意圖。
[0022]圖1-圖 4 中:
[0023]支撐腿-20 ;下夾片-30 ;底座-10 ;拾取部件-11 ;定位孔-12 ;鑷子夾孔-13 ;凸起-14。

【具體實施方式】
[0024]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的夾具的中心點定位器及夾具作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0025]請參考圖1，其為本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的結構示意圖。如圖1所示，所述夾具包括一下夾片30，所述下夾片30上設置有螺紋孔，所述夾具的中心點定位器包括底座10及設置于所述底座10的底部上的支撐腿20，所述支撐腿20貫穿所述螺紋孔以限定所述底座10的位置，所述底座10的中心設置有定位孔12。
[0026]較佳的，所述定位孔12的形狀與芯片的形狀一致?？紤]到通過定位孔12確定完下夾片30的中心點位置后，接下來需要做的就是將芯片黏貼到下夾片30的中心點位置，而若將夾具的中心點定位器從下夾片30上拆卸下來，又會耗費一部分時間，出于此方面的考慮，這里將定位孔12的形狀設置為與芯片的形狀一致，此時僅需要將事先將涂膠的下夾片30上裝載有夾具的中心點定位器，之后用鑷子將芯片放置于定位孔12中即可，在確定下夾片30中心點的位置的同時還將芯片準確的黏貼在下夾片30的中心點位置，這里需要說明的是所述定位孔12略大于芯片的邊緣尺寸，以便定位孔12在確保芯片可以從定位孔12以垂直方向落于下夾片30的中心點位置，又不會在水平方向上產生偏離。
[0027]請參考圖4，其為本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的俯視圖。如圖4所示，所述定位孔12邊緣還設置有鑷子夾孔13。由于將芯片放置于定位孔12中是通過鑷子夾取的方式，鑷子夾取芯片放置于定位孔12的過程中會存在芯片不是水平的放置于定位孔12中，導致芯片在接觸下夾片30表面的膠的時候，接觸點不同，芯片的不同位置粘著的情況不同，最終會使得夾具的上夾片與下夾片30粘合在一起的時候不能對齊，樣品制備失敗的問題。而在定位孔12的邊緣設置了鑷子夾孔13之后，就避免了上述問題的出現(xiàn)，提高了樣品制備的成功率。
[0028]請參考圖3，其為本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器的側視圖。如圖3所示，所述夾具的中心點定位器還包括設置于所述底座10上用于支撐所述底座10的凸起14，所述凸起14設置于所述支撐腿20的外側，其中，所述凸起14的高度為0.5mm?1mm。凸起14的設置主要考慮芯片通過定位孔12與下夾片30黏貼時，由于下夾片30表面有膠，會使底座10的下表面粘于下夾片30上不便于后續(xù)將夾具的中心點定位器從下夾片30上拆卸下來的問題，由于下夾片30表面涂膠是位于下夾片30的螺紋孔所包圍的表面，因此將凸起14設置在支撐腿20的外側，可以避免凸起14與下夾片30粘合；通過凸起14，底座10的下表面與下夾片30的表面相距高度為0.5mm?1mm，這個距離差可以確保芯片下落黏貼到下夾片30的中心點位置，避免出現(xiàn)由于距離差過大，芯片下落于下夾片30上的位置與下夾片30的中心點位置有偏離的現(xiàn)象。
[0029]進一步的，所述底座10為長方體或正方體，所述底座10的兩個面上分別設置有拾取部件11，所述兩個面相對設置。為了在夾具的中心點定位器的工作完成后將其從下夾片30上拆卸下來較為方便，設置了拾取部件11，工作人員僅需要捏著拾取部件11就可以將夾具的中心點定位器從下夾片30上拿下來，整個操作簡便，符合實際情況的需求。
[0030]較佳的，所述支撐腿20的高度小于等于所述螺紋孔的深度。當支撐腿20過高的時候，會出現(xiàn)支撐腿20伸出螺紋孔使得底座10與下夾片30之間有較大空間距離，不利于黏貼芯片時的操作，本實施例中，支撐腿20的高度優(yōu)選為Imm?3mm。
[0031]進一步的，所述夾具還包括與所述下夾片30配合使用的上夾片，所述上夾片及所述下夾片30均為方形且大小相同。
[0032]參照圖2，其為本實用新型一實施例中夾具的中心點定位器裝載在夾具的下夾片30上時的示意圖。如圖2所示的內容，在樣品制備過程中，當需要在下夾片30的中心點位置黏貼待進行拉力破壞性實驗的芯片時，將夾具的中心點定位器的支撐腿20對準下夾片30上的螺紋孔，此時由于螺紋孔起到限制支撐腿20水平方向運動的作用，因此底座10與下夾片30的水平方向的相對位置已確定，垂直方向上，由于底座10的底部設置有用于支撐所述底座10的凸起14，所述凸起14設置于所述支撐腿20的外側，因此所述凸起14會與下夾片30表面相接觸，從而確定底座10與下夾片30在垂直方向的相對位置。
[0033]請參考圖5，其為現(xiàn)有技術與采用夾具的中心點定位器后制備的樣品成功率結果示意圖。圖5中可以清楚的看出來，對于現(xiàn)有技術(即采用肉眼判斷下夾片30的中心點位置之后黏貼芯片實現(xiàn)樣品的制備)樣品成功率最高為50%，而本實用新型(即采用夾具的中心點定位器實現(xiàn)對下夾片30中心位置的確定，從而在該位置黏貼芯片實現(xiàn)樣品的制備)樣品成功率最高為40%?100%。由此可見，使用本實用新型所提供的夾具的中心點定位器確定下夾片30的中心點位置，極大的提高了樣品成功率。
[0034]本實用新型還提供一種夾具，所述夾具包括如上所述的夾具的中心點定位器。
[0035]綜上，在本實用新型所提供的夾具的中心點定位器及夾具中，底座上的支撐腿貫穿螺紋孔來限定底座與下夾片接合在一起時兩者的相互位置，相當于底座與下夾片空間上重疊，此時底座的中心設置的定位孔在下夾片的投影位置即為下夾片的中心點的位置，避免了在制備進行拉力破壞性實驗的樣品的過程中，由于通過肉眼選定下夾片的中心點位置，使芯片偏離下夾片的中心點而使制備的樣品失敗的問題，準確的將芯片黏貼到下夾片的中心點位置，提高了樣品制備的成功率，減少了樣品制備過程所耗費的時間。
[0036]顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種夾具的中心點定位器，所述夾具包括一下夾片，所述下夾片上設置有螺紋孔，其特征在于，所述夾具的中心點定位器包括底座及設置于所述底座上的支撐腿，所述支撐腿貫穿所述螺紋孔以限定所述底座的位置，所述底座的中心設置有定位孔。
2.如權利要求1所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述定位孔的形狀與芯片的形狀一致。
3.如權利要求1所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，還包括設置于所述定位孔邊緣的鑷子夾孔。
4.如權利要求1所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，還包括設置于所述底座上用于支撐所述底座的凸起，所述凸起設置于所述支撐腿的外側。
5.如權利要求4所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述凸起的高度為0.5mm?Imm0
6.如權利要求1所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述底座為長方體或正方體，所述底座的兩個面上分別設置有拾取部件，所述兩個面相對設置。
7.如權利要求1所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述支撐腿的高度小于等于所述螺紋孔的深度。
8.如權利要求7中任一項所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述夾具還包括與所述下夾片配合使用的上夾片。
9.如權利要求8所述的夾具的中心點定位器，其特征在于，所述上夾片及所述下夾片均為方形且大小相同。
10.一種夾具，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的夾具的中心點定位器。
【文檔編號】G01N1/28GK204241291SQ201420734896
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年11月28日 優(yōu)先權日:2014年11月28日
【發(fā)明者】陳霞莉 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司