本發(fā)明有關(guān)于一種電路探測(cè)裝置與系統(tǒng)，尤指一種能夠覆蓋其探針區(qū)的電路探測(cè)裝置與系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)半導(dǎo)體與光電產(chǎn)品(如發(fā)光二極管、液晶顯示器、等離子顯示面板)的制造過程中皆包含一品質(zhì)測(cè)試程序。此品質(zhì)測(cè)試程序?yàn)橥ㄟ^探針卡的探針電性接觸測(cè)試電路的金屬墊，以便量測(cè)此測(cè)試電路的連線可靠度和導(dǎo)通性，以便快速地判讀或修正造成電路缺陷的參數(shù)，進(jìn)而提升制程良率(yield)。

然而，在操作人員取放探針卡時(shí)，常導(dǎo)致誤觸探針卡表面的探針，進(jìn)而損壞探針卡表面的探針，而影響探針卡的電氣性能與測(cè)試結(jié)果。

為此，若能提供一種解決方案的設(shè)計(jì)，可解決上述需求，讓業(yè)者于競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出，即成為亟待解決的一重要課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的一目的在于提供一種電路探測(cè)系統(tǒng)及其電路探測(cè)裝置，用以解決以上先前技術(shù)所提到的困難。

為了達(dá)到上述目的，依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，此種電路探測(cè)裝置，包含一探針卡與一保護(hù)罩。探針卡具有一探針區(qū)、至少一開孔與至少一第一磁吸件。第一磁吸件位于開孔內(nèi)。保護(hù)罩具有至少一第二磁吸件。故，當(dāng)保護(hù)罩覆蓋探針區(qū)，且第二磁吸件插入開孔時(shí)，透過第二磁吸件與第一磁吸件相互吸引，保護(hù)罩固定于探針卡上。

如此，透過此電路探測(cè)裝置，本實(shí)施方式得以減少探針卡的探針區(qū)受損的機(jī)會(huì)，以免影響探針卡的電氣性能與測(cè)試結(jié)果。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，第二磁吸件呈柱狀，且連接保護(hù)罩的一面。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，第二磁吸件包含一柱狀體與一磁性塊，且磁性塊位于柱狀體的末端。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，第一磁吸件與該第二磁吸件分別為金屬與磁鐵；或者該第一磁吸件與該第二磁吸件分別為磁鐵。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，開孔具有一柱狀通道，柱狀通道具有一長(zhǎng)軸方向，且第二磁吸件沿此長(zhǎng)軸方向進(jìn)入柱狀通道內(nèi)。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，開孔具有一柱狀通道與一開口周緣。開口周緣連接且圍繞柱狀通道，開口周緣包含一引導(dǎo)斜面，引導(dǎo)斜面用以引導(dǎo)第二磁吸件移入柱狀通道內(nèi)。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，探針卡還具有至少一熒光層。熒光層連接開孔，且熒光層具有熒光色。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，保護(hù)罩還具有至少一熒光層，熒光層位于第二磁吸件上，且熒光層具有熒光色。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，保護(hù)罩包含一圓弧面與一接合面，接合面的周緣連接圓弧面的周緣，且第二磁吸件位于接合面上。如此，當(dāng)保護(hù)罩覆蓋探針區(qū)時(shí)，接合面接觸探針卡。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，保護(hù)罩還包含一握持部。握持部相對(duì)第二磁吸件設(shè)置，以供透過握持部將保護(hù)罩脫離探針卡。

依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，此種電路探測(cè)系統(tǒng)包含如上述的電路探測(cè)裝置、一取物裝置與一傳動(dòng)裝置。取物裝置用以透過移動(dòng)握持部，將保護(hù)罩沿一第二方向脫離探針卡，第二方向與第一方向相反。傳動(dòng)裝置電性連接取物裝置，用以帶動(dòng)取物裝置運(yùn)動(dòng)。

如此，透過自動(dòng)化機(jī)械取下保護(hù)罩，本實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)得以降低，甚至省略，操作人員以人力移除保護(hù)罩的機(jī)會(huì)，不僅降低操作人員觸摸到探針區(qū)的機(jī)會(huì)，更可讓移除保護(hù)罩的步驟整合至整體測(cè)試程序中，進(jìn)而加速整體測(cè)試流程。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，握持部包含一頸部與一握把頭。握把頭連接頸部，且握把頭的直徑大于頸部的直徑。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，取物裝置包含一取物模塊。取物模塊包含一裝置主體與一U形叉件。U形叉件連接裝置主體，用 以伸至頸部并抵靠握把頭。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，取物模塊還包含一吸附頭，吸附頭可升降地連接裝置主體，并與U形叉件之間間隔出一可調(diào)式間隙。當(dāng)取物裝置移動(dòng)握持部時(shí)，握把頭位于可調(diào)式間隙內(nèi)、吸附頭與U形叉件夾持握把頭，且吸附頭吸附至握把頭背對(duì)頸部的一面。

在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)下，一個(gè)細(xì)部實(shí)施方式更提到，取物裝置還包含一升降引導(dǎo)模塊與一平移引導(dǎo)模塊。取物模塊可升降地接合于升降引導(dǎo)模塊上，升降引導(dǎo)模塊可平移地接合于平移引導(dǎo)模塊上。

以上所述僅是用以闡述本發(fā)明所欲解決的問題、解決問題的技術(shù)手段、及其產(chǎn)生的功效等等，本發(fā)明的具體細(xì)節(jié)將在下文的實(shí)施方式及相關(guān)附圖中詳細(xì)介紹。

附圖說明

為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附附圖的說明如下：

圖1繪示依照本發(fā)明第一實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置的探針卡與保護(hù)罩的分解圖；

圖2繪示圖1的探針卡的上視圖；

圖3繪示圖2沿線段A-A的剖視圖；

圖4繪示本發(fā)明第二實(shí)施方式的保護(hù)罩的第二磁吸件的示意圖；

圖5A至圖5B繪示依照本發(fā)明第三實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)的操作示意圖；以及

圖6A至圖6B繪示依照本發(fā)明第四實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)的操作示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將以附圖揭露本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式，為明確說明起見，許多實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)將在以下敘述中一并說明。然而，應(yīng)了解到，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)不應(yīng)用以限制本發(fā)明。也就是說，在本發(fā)明部分實(shí)施方式中，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)是非必要的。此外，為簡(jiǎn)化附圖起見，一些已知慣用的結(jié)構(gòu)與元件在附圖中將以簡(jiǎn) 單示意的方式繪示。

第一實(shí)施方式

圖1繪示依照本發(fā)明第一實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置10的探針卡100與保護(hù)罩200的分解圖。圖2繪示圖1的探針卡100的上視圖。如圖1與圖2所示，電路探測(cè)裝置10包含一探針卡100與一保護(hù)罩200。探針卡100包含一基板本體110、一探針區(qū)130與多數(shù)個(gè)第一磁吸件140?；灞倔w110具有相對(duì)的正面111與反面112。探針區(qū)130設(shè)置于基板本體110的正面111。基板本體110的正面111上還形成有多數(shù)個(gè)開孔120。每一第一磁吸件140固定于其中一開孔120內(nèi)，且連接基板本體110。保護(hù)罩200可移除地固定于探針卡100上。保護(hù)罩200包含一罩體210與多數(shù)個(gè)第二磁吸件220。這些第二磁吸件220分布于罩體210上。

當(dāng)保護(hù)罩200覆蓋基板本體110的正面111以遮蔽探針區(qū)130時(shí)，由于這些第二磁吸件220分別插入對(duì)應(yīng)的開孔120，且第二磁吸件220與第一磁吸件140相互吸引，故，保護(hù)罩200固定于探針卡100上。如此，透過保護(hù)罩200固定地遮蔽探針區(qū)130，本實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置10得以降低探針卡100受到損壞的機(jī)會(huì)，進(jìn)而避免影響探針卡100的電氣性能與測(cè)試結(jié)果。

具體來說，罩體210呈半球狀，包含一圓弧面211與一接合面212。接合面212的周緣連接圓弧面211的周緣，且這些第二磁吸件220分別位于接合面212上。如此，在保護(hù)罩200組合至探針卡100上，且接合面212實(shí)體接觸基板本體110的正面111時(shí)，由于保護(hù)罩200的圓弧面211具有一定弧度，若保護(hù)罩200受到外物撞擊，圓弧面211得以有效轉(zhuǎn)移外物的撞擊力道，以降低外物損壞保護(hù)罩200與探針卡100的機(jī)會(huì)。罩體210不限為一金屬罩或一透明塑膠罩。然而，本發(fā)明不限于保護(hù)罩的外型與材料。

此外，在保護(hù)罩200覆蓋基板本體110的正面111時(shí)，由于這些第二磁吸件220于接合面212上示意出一正多邊形(例如為三角形)，使得保護(hù)罩200固定于探針卡100上的力量得以更加均勻。需了解到，在本實(shí)施方式中，只要能保護(hù)探針區(qū)130的這些探針不致受到損害，保護(hù)罩不限實(shí)心或空心狀。

在此實(shí)施方式中，第一磁吸件140例如為金屬片或永久磁鐵，平放于開孔120底部。第二磁吸件220呈柱狀，且直接連接罩體210，用以整體地插入開 孔120內(nèi)，并與第一磁吸件140相互吸引。例如第二磁吸件220整體為永久磁鐵所組成。然而，本發(fā)明不限于第二磁吸件整體為永久磁鐵所組成。

圖3繪示圖2沿線段A-A’的剖視圖。如圖1與圖3所示，在此實(shí)施方式中，如圖1與圖3所示，各個(gè)開孔120具有一柱狀通道121與一開口周緣122。開口周緣122連接基板本體110的正面111與柱狀通道121，且圍繞柱狀通道121。柱狀通道121具有一長(zhǎng)軸方向L。如此，在操作人員將保護(hù)罩200組合至探針卡100時(shí)，需使各第二磁吸件220沿長(zhǎng)軸方向L朝第一方向(如Z軸向上)直線地插入對(duì)應(yīng)的開孔120，以防止非預(yù)期橫移而對(duì)探針區(qū)130所造成的損壞。此外，在保護(hù)罩200組合至探針卡100后，由于各個(gè)開孔120的柱狀通道121具有一定長(zhǎng)度，各第二磁吸件220于對(duì)應(yīng)的開孔120內(nèi)不致輕易脫離對(duì)應(yīng)的開孔120。

上述開口周緣122還包含一引導(dǎo)斜面123，引導(dǎo)斜面123傾斜地連接柱狀通道121與基板本體110的正面111，用以引導(dǎo)第二磁吸件220移入柱狀通道121內(nèi)，然而，本發(fā)明不限于此。

更進(jìn)一步地，第二磁吸件220的截面積被設(shè)計(jì)為大致匹配開孔120的口徑，如此，在這些第二磁吸件220分別插入對(duì)應(yīng)的開孔120后，第二磁吸件220能夠恰緊配于開孔120內(nèi)，以致更強(qiáng)化保護(hù)罩200固定于探針卡100上的強(qiáng)度。然而，本發(fā)明不限第二磁吸件的截面積必須匹配開孔的口徑。

更甚至，為了使操作人員讓第二磁吸件220快速對(duì)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的開孔120，在此實(shí)施方式中，基板本體110的正面111還具有多個(gè)熒光層124。每個(gè)熒光層124連接其中一開孔120，例如熒光層124涂布于開孔120的開口周緣122上或鄰接開孔120的開口周緣122。如此，由于熒光層124具有熒光色，熒光色明顯地有別于探針卡100的正面111的顏色，使其有效幫助操作人員快速辨識(shí)各開孔的位置，以加快保護(hù)罩組裝至探針卡上的操作時(shí)間。然而，本發(fā)明不限于只讓探針卡100的開孔120邊涂布熒光層124，其他實(shí)施方式中，也可讓保護(hù)罩的各第二磁吸件上也涂布熒光層(圖中未示)。

再者，保護(hù)罩200還包含一握持部240。握持部240位于圓弧面211上，相對(duì)第二磁吸件220設(shè)置。如此，操作人員透過移動(dòng)握持部240，將保護(hù)罩200沿長(zhǎng)軸方向L朝第二方向(如Z軸向下)脫離探針卡100。更細(xì)部地，握持部240包含一頸部241與一握把頭242。頸部241位于罩體210的圓弧面211與 握把頭242之間，且連接圓弧面211與握把頭242。頸部241的橫向截面積小于握把頭242的橫向截面積，即頸部241較握把頭242來的細(xì)小。

第二實(shí)施方式

第二實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置與第一實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置大致相同，只是第一實(shí)施方式的第二磁吸件220整體為永久磁鐵所組成(圖1)，反觀，圖4繪示本發(fā)明第二實(shí)施方式的保護(hù)罩201的第二磁吸件230的示意圖。如圖4所示，第二磁吸件230包含一柱狀體231與一磁性塊232。柱狀體231位于磁性塊232與罩體210之間，以便與第一磁吸件相互吸引。

如此，相較于圖1的第二磁吸件220整體為永久磁鐵，第二實(shí)施方式將較小的磁性塊232設(shè)置于柱狀體231的末端即可與第一磁吸件相互吸引，不僅可調(diào)整為預(yù)期的磁力強(qiáng)度，更可以降低磁鐵的購買成本。

第三實(shí)施方式

圖5A至圖5B繪示依照本發(fā)明第三實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)1的操作示意圖。如圖5A至圖5B所示，在此實(shí)施方式中，電路探測(cè)系統(tǒng)1包含如上述電路探測(cè)裝置10、一取物裝置300與一傳動(dòng)裝置400。第三實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置10沿用上述各實(shí)施方式的電路探測(cè)裝置的所有特征。取物裝置300用以透過移動(dòng)握持部240，將保護(hù)罩200朝第二方向(如Z軸向下)直線脫離探針卡100。傳動(dòng)裝置400電性連接取物裝置300，用以帶動(dòng)取物裝置300運(yùn)動(dòng)。傳動(dòng)裝置400例如為馬達(dá)或汽缸等已知技術(shù)，然而，本發(fā)明不限于此，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，應(yīng)視實(shí)際需要，彈性選擇傳動(dòng)裝置的種類。

如此，透過自動(dòng)化機(jī)械取下保護(hù)罩，本實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)得以降低，甚至省略以人力移除保護(hù)罩的機(jī)會(huì)，不僅減少操作人員誤觸探針區(qū)的機(jī)會(huì)，更可將移除保護(hù)罩的步驟整合至整體測(cè)試程序中，進(jìn)而加速整體測(cè)試流程。

在第三實(shí)施方式中，取物裝置300包含一取物模塊310、一升降引導(dǎo)模塊320與一平移引導(dǎo)模塊330。取物模塊310可升降地接合于升降引導(dǎo)模塊320上，升降引導(dǎo)模塊320可平移地接合于平移引導(dǎo)模塊330上。取物模塊310包含裝置主體311與U形叉件312。U形叉件312連接裝置主體311的一側(cè)。

如此，當(dāng)進(jìn)行移除保護(hù)罩200時(shí)，透過升降引導(dǎo)模塊320與平移引導(dǎo)模塊 330的交替作動(dòng)，取物模塊310得以被移動(dòng)至握持部240并抓持此握持部240(圖5B)。舉例來說，U形叉件312讓頸部241伸入U(xiǎn)形叉件312內(nèi)，且U形叉件312抵靠握把頭242。最后，透過升降引導(dǎo)模塊320移動(dòng)取物模塊310，使得取物模塊310朝第二方向(如Z軸向下)被移動(dòng)，進(jìn)而使保護(hù)罩200脫離探針卡100，以便探針卡100進(jìn)行后續(xù)的測(cè)試流程。

由于取物模塊310向下的力量大于上述磁吸件相互吸引的力量，保護(hù)罩200得以向下遠(yuǎn)離探針卡100。此外，由于頸部241較握把頭242來的細(xì)小，U形叉件312得以透過握持部240連接頸部241的一側(cè)作為施力點(diǎn)，以便完成移除保護(hù)罩200的程序。然而，本發(fā)明不限于此，只要能透過握持部穩(wěn)定移除保護(hù)罩，握持部不限上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，應(yīng)視實(shí)際需要，彈性選擇握持部的種類。

需了解到，只要能穩(wěn)定帶動(dòng)取物模塊移除保護(hù)罩，上述升降引導(dǎo)模塊與平移引導(dǎo)模塊不限為滾珠螺桿、導(dǎo)軌或馬達(dá)輸送帶等已知輸送技術(shù)；此外，取物裝置不限僅能軸向運(yùn)動(dòng)，其他實(shí)施方式中，取物裝置亦為可作三維運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手臂，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，應(yīng)視實(shí)際需要，彈性選擇取物裝置的種類。

第四實(shí)施方式

圖6A至圖6B繪示依照本發(fā)明第四實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)2的操作示意圖。第四實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)2與第三實(shí)施方式的電路探測(cè)系統(tǒng)1大致相同，如圖6A至圖6B所示，只是第四實(shí)施方式的取物裝置301的取物模塊310還包含一吸附頭313。U形叉件312與吸附頭313連接裝置主體311的同側(cè)，且吸附頭313可升降地連接裝置主體311，使得U形叉件312與吸附頭313彼此之間間隔出一可調(diào)式間隙G。

如此，如圖6B所示，在移除保護(hù)罩200的過程中，當(dāng)U形叉件312被移動(dòng)至握持部240的頸部241時(shí)，吸附頭313接著移動(dòng)至握把頭242相對(duì)頸部241的一面，使得吸附頭313與U形叉件312恰上下夾著握把頭242，意即，可調(diào)式間隙G恰等于握把頭242的厚度。

在第四實(shí)施方式中，除了吸附頭313與U形叉件312上下夾著握把頭242，吸附頭313更提供吸附力以吸附握把頭242相對(duì)頸部241的一面，故，有助握 持部240更穩(wěn)定地被固持于取物模塊310中，減緩取物裝置301進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生左右晃動(dòng)的程度。此外，由于通過吸附頭313能夠因應(yīng)握把頭242尺寸動(dòng)態(tài)修正可調(diào)式間隙G，握持部240尺寸不一的問題可以被克服。

在上述實(shí)施方式中，吸附頭不限為真空吸引器或橡膠吸盤。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，應(yīng)視實(shí)際需要，彈性選擇吸附頭的種類。

最后，上述所揭露的各實(shí)施例中，并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，皆可被保護(hù)于本發(fā)明中。因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。